JPH08211281A - 自動焦点検出方法 - Google Patents
自動焦点検出方法Info
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- JPH08211281A JPH08211281A JP7017013A JP1701395A JPH08211281A JP H08211281 A JPH08211281 A JP H08211281A JP 7017013 A JP7017013 A JP 7017013A JP 1701395 A JP1701395 A JP 1701395A JP H08211281 A JPH08211281 A JP H08211281A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Focusing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 顕微鏡とこれにより形成され被写体の光像を
撮像するエリアセンサとを組み合わせ、寸法測定等の画
像処理を行う装置において、段差があり、複雑なパタ−
ンで構成される被写体像でも、常に、処理対象となる被
写体像に対して高精度の焦点を検出することができる自
動焦点検出方法を提供する。 【構成】 顕微鏡３に組み合わされたリアセンサ４が撮
像した被写体像の内、対象となる被写体像と同焦点位置
の焦点検出用被写体像を画像処理装置５により自動認識
し、その位置内の情報を映像切換回路６で抽出し、さら
に、微分成分抽出方式により検出した焦点情報からＣＰ
Ｕ１１は、焦点移動用機構部１３を駆動し、焦点位置を
上下サ−チ移動させ、サ−チ範囲内で対象被写体像に対
して高精度の合焦点位置を検出するものである。
撮像するエリアセンサとを組み合わせ、寸法測定等の画
像処理を行う装置において、段差があり、複雑なパタ−
ンで構成される被写体像でも、常に、処理対象となる被
写体像に対して高精度の焦点を検出することができる自
動焦点検出方法を提供する。 【構成】 顕微鏡３に組み合わされたリアセンサ４が撮
像した被写体像の内、対象となる被写体像と同焦点位置
の焦点検出用被写体像を画像処理装置５により自動認識
し、その位置内の情報を映像切換回路６で抽出し、さら
に、微分成分抽出方式により検出した焦点情報からＣＰ
Ｕ１１は、焦点移動用機構部１３を駆動し、焦点位置を
上下サ−チ移動させ、サ−チ範囲内で対象被写体像に対
して高精度の合焦点位置を検出するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡と顕微鏡による
拡大被写体像を撮像するテレビカメラ等エリアセンサと
を組み合わせた寸法測定等の画像処理を行う装置におい
て、エリアセンサが撮像した被写体像の輝度レベル差す
なわち微分成分を検出し、自動焦点を行う自動焦点検出
方法に関するものである。
拡大被写体像を撮像するテレビカメラ等エリアセンサと
を組み合わせた寸法測定等の画像処理を行う装置におい
て、エリアセンサが撮像した被写体像の輝度レベル差す
なわち微分成分を検出し、自動焦点を行う自動焦点検出
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばＴＦＴ（Thin Film Transistor）
液晶パネルの製造工程において、各画素ごとに形成され
る薄膜トランジスタのパターンの線幅等の寸法が高精度
で測定され、管理されることは製品の歩留まり、性能の
向上を図る上で極めて重要である。そのため、上記のよ
うに顕微鏡とテレビカメラ等を組み合わせて画像処理に
より測定を行う場合、測定対象部分の正確な焦点位置検
出が不可欠となる。
液晶パネルの製造工程において、各画素ごとに形成され
る薄膜トランジスタのパターンの線幅等の寸法が高精度
で測定され、管理されることは製品の歩留まり、性能の
向上を図る上で極めて重要である。そのため、上記のよ
うに顕微鏡とテレビカメラ等を組み合わせて画像処理に
より測定を行う場合、測定対象部分の正確な焦点位置検
出が不可欠となる。
【０００３】従来の焦点検出技術の１つとしては、顕微
鏡の光軸上に投入されたレ−ザ−光または被写体像の反
射光を合焦点位置前後に実装されたラインセンサやエリ
アセンサ等の受光素子で受光し、前ピンと後ピン位置の
受光範囲や受光光強度により合焦点検出を行う一般的に
ボケ方式と称する自動焦点検出装置がある。
鏡の光軸上に投入されたレ−ザ−光または被写体像の反
射光を合焦点位置前後に実装されたラインセンサやエリ
アセンサ等の受光素子で受光し、前ピンと後ピン位置の
受光範囲や受光光強度により合焦点検出を行う一般的に
ボケ方式と称する自動焦点検出装置がある。
【０００４】さらに、顕微鏡に組み合わされたラインセ
ンサやエリアセンサ等の受光素子で得られる被写体像の
輝度レベル差または微分成分レベルを検出し、輝度レベ
ル差が最も急俊となる位置又は微分成分レベルが最大と
なる位置を合焦点位置として検出する微分成分抽出方式
の自動焦点検出装置がある。
ンサやエリアセンサ等の受光素子で得られる被写体像の
輝度レベル差または微分成分レベルを検出し、輝度レベ
ル差が最も急俊となる位置又は微分成分レベルが最大と
なる位置を合焦点位置として検出する微分成分抽出方式
の自動焦点検出装置がある。
【０００５】図２により、微分成分抽出方式の原理を説
明する。図２（１）のように白地に黒地の被写体が撮像
されている場合の映像信号波形を図２（２）に、以下、
微分波形を図２（３）、絶対値処理波形を図２（４）、
積分波形を図２（５）に示す。この積分波形は焦点検出
動作中の被写体と顕微鏡対物レンズの位置関係（間隔）
の一時点における積分レベルを示すものである。図２
（６）は被写体の対物レンズに対する位置を変化させた
場合の上記積分レベルの変化を連続的に示すものであ
り、積分レベルが最大となる位置を合焦点位置としてい
る。
明する。図２（１）のように白地に黒地の被写体が撮像
されている場合の映像信号波形を図２（２）に、以下、
微分波形を図２（３）、絶対値処理波形を図２（４）、
積分波形を図２（５）に示す。この積分波形は焦点検出
動作中の被写体と顕微鏡対物レンズの位置関係（間隔）
の一時点における積分レベルを示すものである。図２
（６）は被写体の対物レンズに対する位置を変化させた
場合の上記積分レベルの変化を連続的に示すものであ
り、積分レベルが最大となる位置を合焦点位置としてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術である
ボケ方式では、レ−ザ−光を使用した場合、レ−ザ−光
が照射する被写体部のスポット範囲の位置に対して、ま
た、被写体像の反射光強度を受光する受光素子の範囲に
対して、焦点を合わせてしまう。また、被写体像の微分
成分抽出方式でも、同様に被写体像の反射光をを受光す
る受光素子の範囲全ての微分成分の積分された位置に焦
点を合わせてしまう。従って、これらの方式では被写体
が平面の場合には問題ないが、凹凸があり複雑な被写体
像において、寸法測定等の画像処理を行う場合に、処理
を行う対象の被写体部だけに焦点を合わせることが困難
である。本発明は、これらの欠点を除去し、凹凸があ
り、複雑な被写体像においても処理を行う対象の被写体
部に、常に、焦点を合わせ、自動寸法測定等における測
定精度を向上させることを目的とする。
ボケ方式では、レ−ザ−光を使用した場合、レ−ザ−光
が照射する被写体部のスポット範囲の位置に対して、ま
た、被写体像の反射光強度を受光する受光素子の範囲に
対して、焦点を合わせてしまう。また、被写体像の微分
成分抽出方式でも、同様に被写体像の反射光をを受光す
る受光素子の範囲全ての微分成分の積分された位置に焦
点を合わせてしまう。従って、これらの方式では被写体
が平面の場合には問題ないが、凹凸があり複雑な被写体
像において、寸法測定等の画像処理を行う場合に、処理
を行う対象の被写体部だけに焦点を合わせることが困難
である。本発明は、これらの欠点を除去し、凹凸があ
り、複雑な被写体像においても処理を行う対象の被写体
部に、常に、焦点を合わせ、自動寸法測定等における測
定精度を向上させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、被写体を撮像するエリアセンサを使用
し、光電変換された被写体像すなわち映像信号から寸法
測定等画像処理を行う対象被写体部と、同焦点位置にあ
る他の被写体像を焦点検出エリアとして検出し、そのエ
リア内の映像信号だけを抽出し、その範囲内の微分成分
により合焦点位置を検出するようにしたものである。
達成するために、被写体を撮像するエリアセンサを使用
し、光電変換された被写体像すなわち映像信号から寸法
測定等画像処理を行う対象被写体部と、同焦点位置にあ
る他の被写体像を焦点検出エリアとして検出し、そのエ
リア内の映像信号だけを抽出し、その範囲内の微分成分
により合焦点位置を検出するようにしたものである。
【０００８】
【作用】その結果、対象被写体部の範囲内又は周辺に凹
凸があり複雑であっても対象被写体像と同焦点位置にあ
る他の被写体像を画像処理により位置を自動認識し、そ
の位置に対応した映像信号だけを抽出し、その範囲内の
微分成分を検出することにより寸法測定等の画像処理を
行う被写体部に対して、常に焦点を合わせることがで
き、自動寸法測定等における焦点検出誤差が低減でき、
測定精度が向上できる。
凸があり複雑であっても対象被写体像と同焦点位置にあ
る他の被写体像を画像処理により位置を自動認識し、そ
の位置に対応した映像信号だけを抽出し、その範囲内の
微分成分を検出することにより寸法測定等の画像処理を
行う被写体部に対して、常に焦点を合わせることがで
き、自動寸法測定等における焦点検出誤差が低減でき、
測定精度が向上できる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１により説明
する。被写体１の像は顕微鏡３の対物レンズ２で拡大さ
れ、テレビカメラ４にて被写体像を映像信号としてとら
えられる。通常、寸法測定等を行う画像処理システムに
おいては、顕微鏡３に被写体１を搭載した状態では焦点
が合ってなく、対象となる被写体像の位置を検出するこ
とができないため、前記従来の技術方式であるテレビカ
メラでとらえた全エリア内の被写体像すなわち映像信号
から微分成分を検出して粗焦点位置合わせを行う。ここ
で、被写体１は、例えばＴＦＴ液晶パネルにおける薄膜
トランジスタを構成するパターンとパターンの間隙の部
分であるものとする。なお、上記パネルにおける寸法測
定等のパターン幅又は間隙は数μｍ〜数十μｍ、層構成
による段差は２〜６μｍ／層で例えば６層から構成され
ている。
する。被写体１の像は顕微鏡３の対物レンズ２で拡大さ
れ、テレビカメラ４にて被写体像を映像信号としてとら
えられる。通常、寸法測定等を行う画像処理システムに
おいては、顕微鏡３に被写体１を搭載した状態では焦点
が合ってなく、対象となる被写体像の位置を検出するこ
とができないため、前記従来の技術方式であるテレビカ
メラでとらえた全エリア内の被写体像すなわち映像信号
から微分成分を検出して粗焦点位置合わせを行う。ここ
で、被写体１は、例えばＴＦＴ液晶パネルにおける薄膜
トランジスタを構成するパターンとパターンの間隙の部
分であるものとする。なお、上記パネルにおける寸法測
定等のパターン幅又は間隙は数μｍ〜数十μｍ、層構成
による段差は２〜６μｍ／層で例えば６層から構成され
ている。
【００１０】次に、画像処理装置５において、被写体部
の対象被写体像と同焦点位置の被写体像を焦点被写体像
として画像処理により位置を自動認識し、その位置情報
から映像切換回路６により焦点被写体像の映像信号だけ
を抽出し、次段の微分回路７により濃淡エッジ部の微分
成分を検出し、絶対値回路８にて負の微分成分の絶対値
信号を得て、積分回路９にて微分信号の積分を行い、Ｃ
ＰＵ１１にて合焦点制御を行うためＡ／Ｄ変換回路１０
にて積分信号レベルをデジタル変換する。
の対象被写体像と同焦点位置の被写体像を焦点被写体像
として画像処理により位置を自動認識し、その位置情報
から映像切換回路６により焦点被写体像の映像信号だけ
を抽出し、次段の微分回路７により濃淡エッジ部の微分
成分を検出し、絶対値回路８にて負の微分成分の絶対値
信号を得て、積分回路９にて微分信号の積分を行い、Ｃ
ＰＵ１１にて合焦点制御を行うためＡ／Ｄ変換回路１０
にて積分信号レベルをデジタル変換する。
【００１１】ＣＰＵ１１では顕微鏡３の焦点移動機構部
１３をモ−タ駆動回路１２を介して駆動し、焦点位置を
対物レンズ２の倍率に対応した範囲で上下方向に移動さ
せながら移動範囲内で焦点制御信号である積分信号が最
大になる位置を合焦点位置として検出することにより、
寸法測定等画像処理を行う被写体像の焦点位置に対して
焦点を合わせることができる。
１３をモ−タ駆動回路１２を介して駆動し、焦点位置を
対物レンズ２の倍率に対応した範囲で上下方向に移動さ
せながら移動範囲内で焦点制御信号である積分信号が最
大になる位置を合焦点位置として検出することにより、
寸法測定等画像処理を行う被写体像の焦点位置に対して
焦点を合わせることができる。
【００１２】図３により、実際に３層からなる段差のあ
るパタ−ンの被写体に対して説明する。図３（１）に示
す被写体画像において、測定する対象被写体像１４が、
各パタ−ン上の最上部に成形されているものとすると、
対象被写体像の段面ライン１５上の段面は図３（２）
に、また、映像信号は図３（４）に示すようになる。実
際に寸法測定等画像処理する範囲、対象被写体像の段面
１９間の寸法Ｘを測定する場合、従来技術の方式では、
図３（２）において被写体の段面部Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃに
おける段差の部分の映像信号は図３（４）のようにな
り、この範囲にて微分成分を抽出し積分した場合、積分
信号レベルと焦点位置の関係は、例えば図３（６）の実
線波形２０のようになる。これは、段面Ｈａ、Ｈｂ、Ｈ
ｃの段差が対物レンズ２の焦点深度よりも十分に大きい
場合である。ＨａとＨｂの段差が焦点深度以内の場合、
積分信号レベルと焦点位置の関係は図３（６）の破線波
形２１のようになる。従って、各段面Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ
における微分成分レベルの強弱によって検出する焦点位
置が異なってしまい、対象被写体像１４に対して焦点検
出も一定しなくなる。
るパタ−ンの被写体に対して説明する。図３（１）に示
す被写体画像において、測定する対象被写体像１４が、
各パタ−ン上の最上部に成形されているものとすると、
対象被写体像の段面ライン１５上の段面は図３（２）
に、また、映像信号は図３（４）に示すようになる。実
際に寸法測定等画像処理する範囲、対象被写体像の段面
１９間の寸法Ｘを測定する場合、従来技術の方式では、
図３（２）において被写体の段面部Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃに
おける段差の部分の映像信号は図３（４）のようにな
り、この範囲にて微分成分を抽出し積分した場合、積分
信号レベルと焦点位置の関係は、例えば図３（６）の実
線波形２０のようになる。これは、段面Ｈａ、Ｈｂ、Ｈ
ｃの段差が対物レンズ２の焦点深度よりも十分に大きい
場合である。ＨａとＨｂの段差が焦点深度以内の場合、
積分信号レベルと焦点位置の関係は図３（６）の破線波
形２１のようになる。従って、各段面Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ
における微分成分レベルの強弱によって検出する焦点位
置が異なってしまい、対象被写体像１４に対して焦点検
出も一定しなくなる。
【００１３】これを解決するために、本発明では図３
（１）のように、対象被写体像の段面１９（図３
（２））と同一高さ位置すなわち同焦点位置で形成され
た別の位置の比較的単純な焦点検出用被写体像１６を焦
点検出用に利用する。焦点検出用被写体像１６は、寸法
測定等画像処理を行う対象被写体像１４と同一段面にあ
り、焦点検出用段面ライン１８上の段面は図３（３）の
ようになっている。寸法測定等の画像処理を行う画像処
理装置にて焦点検出用被写体像１６の位置を自動認識す
る。自動認識した位置から映像信号内の焦点検出用映像
エリア１７を設定する。この時のエリア内の映像信号
は、図３（５）になり、この焦点検出用映像エリア１７
内の映像信号を上記の処理により焦点を検出するための
微分成分さらに積分信号を抽出し、焦点位置を対物レン
ズ２の倍率に対応した範囲で上下方向にサ−チ移動させ
ながらサ−チ範囲内で積分信号レベルが最大になる位置
を合焦点位置として検出する。この時の積分信号レベル
と焦点位置の関係は、映像エリア内に１段差しかないた
め、図３（６）の点線波形２２の特性になる。
（１）のように、対象被写体像の段面１９（図３
（２））と同一高さ位置すなわち同焦点位置で形成され
た別の位置の比較的単純な焦点検出用被写体像１６を焦
点検出用に利用する。焦点検出用被写体像１６は、寸法
測定等画像処理を行う対象被写体像１４と同一段面にあ
り、焦点検出用段面ライン１８上の段面は図３（３）の
ようになっている。寸法測定等の画像処理を行う画像処
理装置にて焦点検出用被写体像１６の位置を自動認識す
る。自動認識した位置から映像信号内の焦点検出用映像
エリア１７を設定する。この時のエリア内の映像信号
は、図３（５）になり、この焦点検出用映像エリア１７
内の映像信号を上記の処理により焦点を検出するための
微分成分さらに積分信号を抽出し、焦点位置を対物レン
ズ２の倍率に対応した範囲で上下方向にサ−チ移動させ
ながらサ−チ範囲内で積分信号レベルが最大になる位置
を合焦点位置として検出する。この時の積分信号レベル
と焦点位置の関係は、映像エリア内に１段差しかないた
め、図３（６）の点線波形２２の特性になる。
【００１４】なお、上記寸法測定等のための焦点検出
は、工程単位に行われるため、測定対象被写体部と同一
高さ位置の焦点検出用被写体部は必ず存在する。
は、工程単位に行われるため、測定対象被写体部と同一
高さ位置の焦点検出用被写体部は必ず存在する。
【００１５】また、焦点検出用被写体像１６の位置は測
定等の種類に応じて、基準パターン画像、合焦点エリ
ア、測定エリアについてデータを登録しておくことによ
り自動認識することが出来る。
定等の種類に応じて、基準パターン画像、合焦点エリ
ア、測定エリアについてデータを登録しておくことによ
り自動認識することが出来る。
【００１６】本発明をＴＦＴ液晶パネルのパターン寸法
測定に適用することにより測定精度を従来の０.１μｍ
から０.０２μｍへ向上させることが出来た。
測定に適用することにより測定精度を従来の０.１μｍ
から０.０２μｍへ向上させることが出来た。
【００１７】
【発明の効果】顕微鏡と被写体を撮像するテレビカメラ
等のエリアセンサとを組み合わせ、エリアセンサから得
られる被写体像すなわち映像信号から寸法測定等を行う
画像処理装置において、凹凸があり、複雑な被写体部の
対象被写体像に対して合焦点位置を検出する場合、対象
被写体像と同焦点位置にある他の焦点検出用被写体像を
焦点検出エリアとし、焦点検出用被写体像の位置を画像
処理により自動認識し、その位置に対応した映像信号だ
けを抽出し、その範囲内の微分成分を検出し、合焦点位
置を検出するようにしたので、寸法測定等画像処理を行
う時、段差のある複雑な被写体像に対しても、常に最良
の焦点位置に合わせることができる。
等のエリアセンサとを組み合わせ、エリアセンサから得
られる被写体像すなわち映像信号から寸法測定等を行う
画像処理装置において、凹凸があり、複雑な被写体部の
対象被写体像に対して合焦点位置を検出する場合、対象
被写体像と同焦点位置にある他の焦点検出用被写体像を
焦点検出エリアとし、焦点検出用被写体像の位置を画像
処理により自動認識し、その位置に対応した映像信号だ
けを抽出し、その範囲内の微分成分を検出し、合焦点位
置を検出するようにしたので、寸法測定等画像処理を行
う時、段差のある複雑な被写体像に対しても、常に最良
の焦点位置に合わせることができる。
【図１】本発明の全体構成を示すブロック図である。
【図２】従来技術である微分方式の原理図である。
【図３】本発明の実施例の段差のある被写体に対する説
明図である。
明図である。
１ 被写体 ２ 対物レンズ ３ 顕微鏡 ４ テレビカメラ ５ 画像処理装置 ６ 映像切換回路 ７ 微分回路 ８ 絶対値回路 ９ 積分回路 １０ Ａ／Ｄ変換回路 １１ ＣＰＵ １２ モ−タ駆動回路 １３ 焦点移動用機構部 １４ 対象被写体像 １５ 対象被写体像の段面ライン １６ 焦点検出用被写体像 １７ 焦点検出用映像エリア １８ 焦点検出用段面ライン １９ 対象被写体像の段面 ２０ 実線波形 ２１ 破線波形 ２２ 点線波形
Claims (3)
- 【請求項１】 顕微鏡とこの顕微鏡により形成された被
写体像を撮像するエリアセンサとを組み合わせて寸法測
定等の画像処理を行う装置において、寸法測定等の画像
処理を行う被写体の撮像されたエリア内にて対象被写体
とは異なる位置の同焦点位置の被写体部分に対して焦点
検出エリアを設定し、この焦点検出エリアにて焦点位置
を検出し、これを対象被写体の焦点位置とすることを特
徴とする自動焦点検出方法。 - 【請求項２】 請求項１において、焦点情報の検出手段
として、寸法測定等画像処理を行う被写体を撮像する媒
体にエリアセンサであるテレビカメラを使用し、被写体
像すなわち映像信号から被写体部における濃淡エッジが
最も急俊となる位置を焦点位置とする微分成分抽出方式
を採用したことを特徴とする自動焦点検出方法。 - 【請求項３】 請求項１において、焦点位置の検出手段
として、ある任意の範囲で焦点位置を上下サ−チし、そ
の範囲内で被写体像すなわち映像信号から被写体部にお
ける濃淡エッジが最も急俊となる位置を焦点位置とする
ようにしたことを特徴とする自動焦点検出方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01701395A JP3357210B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 自動焦点検出方法 |
| TW085101151A TW320809B (ja) | 1995-02-03 | 1996-01-30 | |
| US08/595,306 US5675141A (en) | 1995-02-03 | 1996-02-01 | Method and apparatus for automatically detecting focusing point and image processing method and apparatus using the same |
| KR1019960002516A KR100198876B1 (ko) | 1995-02-03 | 1996-02-02 | 자동초점위치 검출방법 및 장치, 그것을 사용한 화상처리방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01701395A JP3357210B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 自動焦点検出方法 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002198091A Division JP3775787B2 (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 自動焦点検出方法及び装置 |
| JP2002230087A Division JP3775790B2 (ja) | 2002-08-07 | 2002-08-07 | 画像処理システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08211281A true JPH08211281A (ja) | 1996-08-20 |
| JP3357210B2 JP3357210B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=11932123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01701395A Expired - Fee Related JP3357210B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 自動焦点検出方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5675141A (ja) |
| JP (1) | JP3357210B2 (ja) |
| KR (1) | KR100198876B1 (ja) |
| TW (1) | TW320809B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007171710A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 合焦点装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1096848A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-14 | Olympus Optical Co Ltd | 自動焦点検出装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5675141A (en) | 1997-10-07 |
| KR100198876B1 (ko) | 1999-06-15 |
| JP3357210B2 (ja) | 2002-12-16 |
| KR960033050A (ko) | 1996-09-17 |
| TW320809B (ja) | 1997-11-21 |
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