JP3775787B2 - 自動焦点検出方法及び装置 - Google Patents
自動焦点検出方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3775787B2 JP3775787B2 JP2002198091A JP2002198091A JP3775787B2 JP 3775787 B2 JP3775787 B2 JP 3775787B2 JP 2002198091 A JP2002198091 A JP 2002198091A JP 2002198091 A JP2002198091 A JP 2002198091A JP 3775787 B2 JP3775787 B2 JP 3775787B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- focus detection
- image
- subject
- video signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡と顕微鏡による拡大被写体像を撮像するテレビカメラ等エリアセンサとを組み合わせた寸法測定等の画像処理を行う装置において、エリアセンサが撮像した被写体像の輝度レベル差すなわち微分成分を検出し、自動焦点を行う自動焦点検出方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えばTFT(Thin Film Transistor)液晶パネルの製造工程において、各画素ごとに形成される薄膜トランジスタのパターンの線幅等の寸法が高精度で測定され、管理されることは製品の歩留まり、性能の向上を図る上で極めて重要である。そのため、上記のように顕微鏡とテレビカメラ等を組み合わせて画像処理により測定を行う場合、測定対象部分の正確な焦点位置検出が不可欠となる。
【0003】
従来の焦点検出技術の1つとしては、顕微鏡の光軸上に投入されたレ−ザ−光または被写体像の反射光を合焦点位置前後に実装されたラインセンサやエリアセンサ等の受光素子で受光し、前ピンと後ピン位置の受光範囲や受光光強度により合焦点検出を行う一般的にボケ方式と称する自動焦点検出装置がある。
【0004】
さらに、顕微鏡に組み合わされたラインセンサやエリアセンサ等の受光素子で得られる被写体像の輝度レベル差または微分成分レベルを検出し、輝度レベル差が最も急俊となる位置又は微分成分レベルが最大となる位置を合焦点位置として検出する微分成分抽出方式の自動焦点検出装置がある。
【0005】
図2により、微分成分抽出方式の原理を説明する。図2(1)のように白地に黒地の被写体が撮像されている場合の映像信号波形を図2(2)に、以下、微分波形を図2(3)、絶対値処理波形を図2(4)、積分波形を図2(5)に示す。この積分波形は焦点検出動作中の被写体と顕微鏡対物レンズの位置関係(間隔)の一時点における積分レベルを示すものである。図2(6)は被写体の対物レンズに対する位置を変化させた場合の上記積分レベルの変化を連続的に示すものであり、積分レベルが最大となる位置を合焦点位置としている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前述の従来技術であるボケ方式では、レ−ザ−光を使用した場合、レ−ザ−光が照射する被写体部のスポット範囲の位置に対して、また、被写体像の反射光強度を受光する受光素子の範囲に対して、焦点を合わせてしまう。また、被写体像の微分成分抽出方式でも、同様に被写体像の反射光を受光する受光素子の範囲全ての微分成分の積分された位置に焦点を合わせてしまう。従って、これらの方式では被写体が平面の場合には問題ないが、凹凸があり複雑な被写体像において、寸法測定等の画像処理を行う場合に、処理を行う対象の被写体部だけに焦点を合わせることが困難である。本発明は、これらの欠点を除去し、凹凸があり、複雑な被写体像においても処理を行う対象の被写体部に、常に、焦点を合わせ、自動寸法測定等における測定精度を向上させることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために、被写体を撮像するエリアセンサを使用し、光電変換された被写体像すなわち映像信号から寸法測定等画像処理を行う対象被写体部と、同焦点位置にある他の被写体像を焦点検出エリアとして検出し、そのエリア内の映像信号だけを抽出し、その範囲内の微分成分により合焦点位置を検出するようにしたものである。
【0008】
【作用】
その結果、対象被写体部の範囲内又は周辺に凹凸があり複雑であっても対象被写体像と同焦点位置にある他の被写体像を画像処理により位置を自動認識し、その位置に対応した映像信号だけを抽出し、その範囲内の微分成分を検出することにより寸法測定等の画像処理を行う被写体部に対して、常に焦点を合わせることができ、自動寸法測定等における焦点検出誤差が低減でき、測定精度が向上できる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施例を図1により説明する。被写体1の像は顕微鏡3の対物レンズ2で拡大され、テレビカメラ4にて被写体像を映像信号としてとらえられる。通常、寸法測定等を行う画像処理システムにおいては、顕微鏡3に被写体1を搭載した状態では焦点が合ってなく、対象となる被写体像の位置を検出することができないため、前記従来の技術方式であるテレビカメラでとらえた全エリア内の被写体像すなわち映像信号から微分成分を検出して粗焦点位置合わせを行う。ここで、被写体1は、例えばTFT液晶パネルにおける薄膜トランジスタを構成するパターンとパターンの間隙の部分であるものとする。なお、上記パネルにおける寸法測定等のパターン幅又は間隙は数μm〜数十μm、層構成による段差は2〜6μm/層で例えば6層から構成されている。
【0010】
次に、画像処理装置5において、被写体部の対象被写体像と同焦点位置の被写体像を焦点被写体像として画像処理により位置を自動認識し、その位置情報から映像切換回路6により焦点被写体像の映像信号だけを抽出し、次段の微分回路7により濃淡エッジ部の微分成分を検出し、絶対値回路8にて負の微分成分の絶対値信号を得て、積分回路9にて微分信号の積分を行い、CPU11にて合焦点制御を行うためA/D変換回路10にて積分信号レベルをデジタル変換する。
【0011】
CPU11では顕微鏡3の焦点移動機構部13をモ−タ駆動回路12を介して駆動し、焦点位置を対物レンズ2の倍率に対応した範囲で上下方向に移動させながら移動範囲内で焦点制御信号である積分信号が最大になる位置を合焦点位置として検出することにより、寸法測定等画像処理を行う被写体像の焦点位置に対して焦点を合わせることができる。
【0012】
図3により、実際に3層からなる段差のあるパタ−ンの被写体に対して説明する。図3(1)に示す被写体画像において、測定する対象被写体像14が、各パタ−ン上の最上部に成形されているものとすると、対象被写体像の段面ライン15上の段面は図3(2)に、また、映像信号は図3(4)に示すようになる。実際に寸法測定等画像処理する範囲、対象被写体像の段面19間の寸法Xを測定する場合、従来技術の方式では、図3(2)において被写体の段面部Ha、Hb、Hcにおける段差の部分の映像信号は図3(4)のようになり、この範囲にて微分成分を抽出し積分した場合、積分信号レベルと焦点位置の関係は、例えば図3(6)の実線波形20のようになる。これは、段面Ha、Hb、Hcの段差が対物レンズ2の焦点深度よりも十分に大きい場合である。HaとHbの段差が焦点深度以内の場合、積分信号レベルと焦点位置の関係は図3(6)の破線波形21のようになる。従って、各段面Ha、Hb、Hcにおける微分成分レベルの強弱によって検出する焦点位置が異なってしまい、対象被写体像14に対して焦点検出も一定しなくなる。
【0013】
これを解決するために、本発明では図3(1)のように、対象被写体像の段面19(図3(2))と同一高さ位置すなわち同焦点位置で形成された別の位置の比較的単純な焦点検出用被写体像16を焦点検出用に利用する。焦点検出用被写体像16は、寸法測定等画像処理を行う対象被写体像14と同一段面にあり、焦点検出用段面ライン18上の段面は図3(3)のようになっている。寸法測定等の画像処理を行う画像処理装置にて焦点検出用被写体像16の位置を自動認識する。自動認識した位置から映像信号内の焦点検出用映像エリア17を設定する。この時のエリア内の映像信号は、図3(5)になり、この焦点検出用映像エリア17内の映像信号を上記の処理により焦点を検出するための微分成分さらに積分信号を抽出し、焦点位置を対物レンズ2の倍率に対応した範囲で上下方向にサ−チ移動させながらサ−チ範囲内で積分信号レベルが最大になる位置を合焦点位置として検出する。この時の積分信号レベルと焦点位置の関係は、映像エリア内に1段差しかないため、図3(6)の点線波形22の特性になる。
【0014】
なお、上記寸法測定等のための焦点検出は、工程単位に行われるため、測定対象被写体部と同一高さ位置の焦点検出用被写体部は必ず存在する。
【0015】
また、焦点検出用被写体像16の位置は測定等の種類に応じて、基準パターン画像、合焦点エリア、測定エリアについてデータを登録しておくことにより自動認識することが出来る。
【0016】
本発明をTFT液晶パネルのパターン寸法測定に適用することにより測定精度を従来の0.1μmから0.02μmへ向上させることが出来た。
【0017】
【発明の効果】
顕微鏡と被写体を撮像するテレビカメラ等のエリアセンサとを組み合わせ、エリアセンサから得られる被写体像すなわち映像信号から寸法測定等を行う画像処理装置において、凹凸があり、複雑な被写体部の対象被写体像に対して合焦点位置を検出する場合、対象被写体像と同焦点位置にある他の焦点検出用被写体像を焦点検出エリアとし、焦点検出用被写体像の位置を画像処理により自動認識し、その位置に対応した映像信号だけを抽出し、その範囲内の微分成分を検出し、合焦点位置を検出するようにしたので、寸法測定等画像処理を行う時、段差のある複雑な被写体像に対しても、常に最良の焦点位置に合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の全体構成を示すブロック図である。
【図2】 従来技術である微分方式の原理図である。
【図3】 本発明の実施例の段差のある被写体に対する説明図である。
【符号の説明】
1 被写体
2 対物レンズ
3 顕微鏡
4 テレビカメラ
5 画像処理装置
6 映像切換回路
7 微分回路
8 絶対値回路
9 積分回路
10 A/D変換回路
11 CPU
12 モ−タ駆動回路
13 焦点移動用機構部
14 対象被写体像
15 対象被写体像の段面ライン
16 焦点検出用被写体像
17 焦点検出用映像エリア
18 焦点検出用段面ライン
19 対象被写体像の段面
20 実線波形
21 破線波形
22 点線波形
Claims (9)
- 被写体像を拡大する顕微鏡と、該拡大された被写体像の焦点を合わせるために該顕微鏡の焦点位置を上下に移動する機構部と、該拡大された被写体像を映像信号としてとらえる撮像装置と、該映像信号の画像処理を行う画像処理装置とを有し、前記被写体像について寸法測定等の画像処理を行う画像処理システムにおいて、前記撮像装置でとらえた全エリア内の被写体像に基いて粗焦点合わせを行ない、寸法測定対象被写体とは異なる位置の、該寸法測定対象被写体と同一高さ位置の焦点検出用被写体像を焦点検出エリアとして、予め登録された寸法測定対象被写体と同一高さ位置の焦点検出用被写体像のデータから自動認識することによって画像処理により検出し、検出された焦点検出用被写体像の映像信号を抽出し、該抽出された映像信号から合焦点位置を検出し、該検出された合焦点位置を前記寸法測定対象被写体の合焦点位置とすることを特徴とする自動焦点検出方法。
- 請求項1に記載の自動焦点検出方法において、前記登録された寸法測定対象被写体と同一高さ位置の焦点検出用被写体像のデータは、測定等の種類に応じた、基準パターン画像、合焦点エリア、測定エリアのデータであることを特徴とする自動焦点検出方法。
- 請求項1または請求項2のいずれかに記載の自動焦点検出方法において、合焦点位置の検出手段として、前記焦点検出用被写体像の映像信号から濃淡エッジが最も急俊となる焦点位置を合焦点位置とする微分成分抽出方式を採用したことを特徴とする自動焦点検出方法。
- 請求項1または請求項2のいずれかに記載の自動焦点検出方法おいて、合焦点位置の検出手段として、前記焦点検出用被写体像の映像信号の微分成分を抽出し、この微分成分の絶対値信号の積分を行い、積分信号が最大となる焦点位置を合焦点位置として検出することを特徴とする自動焦点検出方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の自動焦点検出方法において、合焦点位置の検出手段として、ある任意の高さ範囲で焦点位置を上下サ−チし、その高さ範囲内で前記焦点検出用被写体像の映像信号から濃淡エッジが最も急俊となる焦点位置を合焦点位置とするようにしたことを特徴とする自動焦点検出方法。
- 被写体像を拡大する顕微鏡と、該拡大された被写体像の焦点を合わせるために該顕微鏡の焦点位置を上下に移動する機構部と、該拡大された被写体像を映像信号としてとらえる撮像装置と、該映像信号の画像処理を行う画像処理装置とを有し、前記被写体像について寸法測定等の画像処理を行う画像処理システムにおける自動焦点検出装置において、前記画像処理装置は、前記撮像装置によってとらえた全エリア内の被写体像基づいて前記機構部を制御して粗焦点合わせを行い、該粗焦点合わせ後の全エリア内の被写体像の映像信号と予め登録された寸法測定対象被写体と同一高さ位置の焦点検出用被写体像のデータから、対象被写体像と同一高さ位置の焦点検出用被写体像を前記焦点検出エリアとして自動認識し、その位置情報を出力する画像処理装置であって、前記画像処理装置の位置情報に応じて前記映像信号から焦点検出用被写体像の映像信号を抽出する映像切換回路と、該抽出された映像信号の微分成分を検出し、該微分成分の絶対値を出力する微分処理部と、該絶対値の積分を行う積分回路と、合焦点制御を行うために前記機構部を制御し、前記積分値に基づいて前記焦点検出用被写体像の焦点高さ位置を前記顕微鏡の合焦点位置として検出する制御部とを備えたことを特徴とする自動焦点検出装置。
- 請求項6に記載の自動焦点検出装置において、前記登録された寸法測定対象被写体と同一高さ位置の焦点検出用被写体像のデータは、測定等の種類に応じた、基準パターン画像、合焦点エリア、測定エリアのデータであることを特徴とする自動焦点検出装置。
- 請求項6または請求項7のいずれかに記載の自動焦点検出装置において、前記制御部は、前記機構部を制御して前記顕微鏡の焦点位置を上下に移動させ、前記積分の値を求め、求めた積分の値が最大となる焦点位置を検出し、該焦点位置を前記寸法測定対象被写体の合焦点位置とすることを特徴とする自動焦点検出装置。
- 請求項6乃至請求項8のいずれか1つに記載の自動焦点検出装置において、前記機構部は、前記制御部からの制御に応じて焦点高さ位置を上下に移動し、前記撮像装置は該移動した焦点位置高さで撮像された被写体像の映像信号をそれぞれ出力し、前記制御部は、該それぞれの映像信号に基づいて検出した合焦点位置のうち、前記積分の値が最大となるときの焦点位置を前記寸法測定対象被写体の合焦点位置とすることを特徴とする自動焦点検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002198091A JP3775787B2 (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 自動焦点検出方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002198091A JP3775787B2 (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 自動焦点検出方法及び装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01701395A Division JP3357210B2 (ja) | 1995-02-03 | 1995-02-03 | 自動焦点検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003098425A JP2003098425A (ja) | 2003-04-03 |
JP3775787B2 true JP3775787B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=19195630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002198091A Expired - Lifetime JP3775787B2 (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 自動焦点検出方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3775787B2 (ja) |
-
2002
- 2002-07-08 JP JP2002198091A patent/JP3775787B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003098425A (ja) | 2003-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3357210B2 (ja) | 自動焦点検出方法 | |
JP2996806B2 (ja) | カメラ、自動焦点調節装置及び焦点調節方法 | |
JPH05264221A (ja) | 半導体露光装置用マーク位置検出装置及びこれを用いた半導体露光装置用位置合わせ装置 | |
US20100026819A1 (en) | Method and apparatus for compensating for motion of an autofocus area, and autofocusing method and apparatus using the same | |
JPS62267713A (ja) | 合焦検出装置 | |
JPH05137047A (ja) | 焦点検出方法及び焦点検出装置 | |
JP2008262100A (ja) | 標本スキャナ装置、該装置による標本位置検出方法 | |
JP2012049381A (ja) | 検査装置、及び、検査方法 | |
JPH09126739A (ja) | 立体形状計測装置 | |
JP4871691B2 (ja) | 撮像装置及びその制御方法 | |
JP2000266995A (ja) | 顕微鏡合焦点検出方法 | |
JP3775790B2 (ja) | 画像処理システム | |
JPH09211308A (ja) | 自動焦点撮像装置の被写体検出機構 | |
JP2009042555A (ja) | 電子カメラ | |
JP3775787B2 (ja) | 自動焦点検出方法及び装置 | |
JP3093057B2 (ja) | 自動焦点検出装置 | |
JP3427248B2 (ja) | 異物検出方法 | |
JP2013088570A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2003309856A (ja) | 撮像装置および方法、記録媒体、並びにプログラム | |
JPH06308040A (ja) | 異物検査装置 | |
JPH06253198A (ja) | 自動焦点調節装置 | |
JPH09127403A (ja) | 自動焦点検出装置 | |
JP5428559B2 (ja) | 焦点検出装置及び撮像装置 | |
JPH05196420A (ja) | 半導体露光装置用位置合わせ方法及び装置 | |
JP2001305421A (ja) | オートフォーカス装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100303 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100303 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110303 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120303 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120303 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130303 Year of fee payment: 7 |