JPH08204331A - 印刷配線板の製造方法 - Google Patents

印刷配線板の製造方法

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JPH08204331A
JPH08204331A JP2739795A JP2739795A JPH08204331A JP H08204331 A JPH08204331 A JP H08204331A JP 2739795 A JP2739795 A JP 2739795A JP 2739795 A JP2739795 A JP 2739795A JP H08204331 A JPH08204331 A JP H08204331A
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智 前川
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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 本発明は、導体バンプ群を形設した支持基体
(1) の主面に、合成樹脂系シート(3) 主面を対接配置す
る工程と、前記合成樹脂系シート(3) の上に例えば弾性
体(2b)、紙パルプシート、穴明け金属板などのバンプ貫
通補助材を積層配置して加圧し合成樹脂系シート(3) の
厚さ方向に前記導体バンプ(5) 群を貫挿させて貫通型の
導体配線部を形成する工程と、その形成後に前記バンプ
貫通補助材(2b)を除去する工程と、その除去後に前記合
成樹脂系シートの上面に金属箔(2a)を配置一体成形する
工程とを具備してなる印刷配線板の製造方法である。 【効果】 本発明によればバンプ貫挿性を向上させ、か
つ貫通型の導体配線部と積層体の導電性金属箔との接続
信頼性を向上させ、歩留り良好でコスト低減に寄与する
印刷配線板を製造することができる

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、配線層間を貫通型の導
体配線部で接続して、高密度な配線および実装を可能に
した高信頼性の印刷配線板を、歩留り良好に製造する印
刷配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、両面印刷配線板もしくは多層印刷
配線板において、導電パターン等の配線層の間の電気的
接続は、次のように行っていた。例えば、両面印刷配線
板の場合は、両面銅張基板の所定位置に穴明け加工を施
し、穴の内壁面を含めて全面に化学メッキ処理を施しさ
らに電気メッキ処理で穴の内壁面の金属層を厚くし信頼
性を高めて、配線層間の電気的な接続を行っている。ま
た、多層印刷配線板の場合は、内層銅張基板両面に貼ら
れた銅箔をパターニングした後、そのパターニング面上
に絶縁シート(例えばプリプレグ)を介して銅箔を積層
配置し、加熱加圧により一体化した後、両面印刷配線板
のときと同様に、穴明け加工および化学・電気メッキ処
理による配線層間の電気的接続を行った後、表面銅箔を
パターニングすることにより4 層の多層印刷配線板を得
ている。なお、4 層より配線層の多い多層印刷配線板の
場合は、中間に介挿させる内層銅張基板の枚数を増やす
方式で製造できる。
【0003】前記印刷配線板の製造方法において、配線
層間の電気的接続をメッキ処理によらず行う方法とし
て、両面銅張基板の所定位置に穴明けし、この穴内に導
電性ペーストを印刷法などにより流し込み、穴内に流し
込んだ導電性ペーストの樹脂分を硬化させて、配線層間
を電気的に接続する方法も行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、配線
層間の電気的接続にメッキ法を利用する印刷配線板の製
造方法においては、配線層間の電気的接続用の基板穴明
け加工、穴内壁面を含めたメッキ処理工程などを要し、
製造工程が冗長であるとともに工程管理も繁雑であると
いう欠点がある。
【0005】一方、配線層間の電気的接続用の穴に、導
電性ペーストを印刷などにより流し込む方法の場合も、
前記メッキ法の場合と同様に基板穴明け工程を必要とす
る。しかも、穿設した穴内に、導電性ペーストを均一に
流し込むことが難しく、電気的接続の信頼性に問題があ
った。いずれにしても、前記基板穴明け工程などを要す
ることは、印刷配線板のコストや歩留りなどに反映し、
低コスト化などの要望に対応し得ないという欠点があ
る。
【0006】また、前記メッキ処理あるいは導電性ペー
スト流込みによる電気的接続ではいずれの場合にも、印
刷配線板の表裏面に、配線層間の電気的接続用の穴が設
置されているため、その穴の領域には配線を形成・配置
し得ないし、さらに電子部品を搭載することもできない
ので、配線密度の向上が制約されるとともに、部品実装
密度の向上も阻害されるという問題がある。つまり従来
の製造方法によって得られる印刷配線板は、高密度配線
や高密度実装による回路装置のコンパクト化、ひいては
電子機器類の小型化などの要望に、十分応え得るものと
はいえず、前記コスト面を含め、実用的な印刷配線板の
製造方法が望まれていた。
【0007】それに応えるため、発明者らは、支持基体
上に設けたバンプ群を合成樹脂系シートに対して加圧
し、バンプ群を合成樹脂系シートの厚さ方向にそれぞれ
貫挿させて貫通型の導体配線部を形成し、合成樹脂系シ
ートの上面に配置した金属箔に接続する方法を提案した
が、加圧の際に合成樹脂系シートがバンプ上部に持ち上
げられ、それにより貫通型の導体配線部が形成できなか
ったり、バンプ上部で接続する金属箔との接続面積が減
少したりして、配線層間の電気的接続の信頼性に問題が
あった。
【0008】本発明は、合成樹脂系シートに貫通型の導
体配線部を形成する場合における上記の欠点を解消する
ためになされたもので、バンプの貫挿性を向上させ、か
つ貫通型の導体配線部と金属箔との接続信頼性を向上さ
せ、歩留り良好な印刷配線板の製造方法を提供しようと
するものである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の目的
を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、導体バンプ群を
加圧・貫挿させる際にバンプ貫通補助材を積層して加圧
することによってバンプの貫挿性を向上させ、上記の目
的を達成できることを見いだし、本発明を完成したもの
である。
【0010】即ち、本発明は、所定位置に導体バンプ群
を形設した支持基体の主面に、合成樹脂系シート主面を
対接させて積層配置する工程と、この積層物における前
記合成樹脂系シートの上にバンプ貫通補助材を積層配置
して加圧し合成樹脂系シートの厚さ方向に前記導体バン
プ群をそれぞれ貫挿させて貫通型の導体配線部を形成す
る工程と、導体配線部を形成後に前記バンプ貫通補助材
を除去する工程と、バンプ貫通補助材を除去後に前記合
成樹脂系シートの上面に金属箔を配置して一体成形する
工程とを具備してなることを特徴とする印刷配線板の製
造方法である。
【0011】以下、本発明を詳細に説明する。
【0012】本発明に用いる支持基体、つまり導体バン
プ群が形設される支持基体としては、例えば導電性シー
トもしくは箔又は剥離性良好な合成樹脂シートなどが挙
げられ、この支持基体は 1枚のシートであってもよい
し、パターン化されたものでもよく、その形状は特に限
定されない。さらに導体バンプ群は、支持基体の一方の
主面だけでなく、両主面にそれぞれ形設したものを用い
てもよい。
【0013】本発明において支持基体上の導体バンプ群
としては、導電性組成物又は導電性金属を用いて形設す
る。この導電性組成物は、バインダーとなる合成樹脂に
導電性粉末を配合したものである。バインダーとなる合
成樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂あるいは
これらの混合樹脂が使用できる。例えば、ユリア樹脂、
メラミン樹脂、フェノール樹脂、レゾルシノール樹脂、
エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポ
リビニルアルコール樹脂、アクリル樹脂、ビニルウレタ
ン樹脂、シリコーン樹脂、α−オレフィン無水マレイン
酸樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂等が挙げられ
る。また、ここで用いる導電性粉末としては、金粉末、
銀粉末、銅粉末、半田粉末、ニッケル粉末、カーボン粉
末、表面に導電物層を有する粉末等が挙げられ、これら
は単独または 2種以上混合して使用することができる。
【0014】上述したように導電性組成物は、合成樹脂
と導電性粉末を主成分とするものであるが、本発明の目
的に反しない程度において、また必要に応じて、粘度調
整用の溶剤、カップリング剤、その他の添加物を配合す
ることができる。ここで用いる溶剤としては、ジオキサ
ン、ベンゼン、ヘキサン、トルエン、ソルベントナフ
サ、工業用ガソリン、酢酸セロソルブ、エチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブアセテート、ブチルカルビトール
アセテート、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトア
ミド、N−メチルピロリドン等が挙げられ、これらは単
独または 2種以上混合して使用することができる。こう
して得られる導電性組成物を用いてバンプ群を形設す
る。
【0015】導電性組成物を用いたバンプ群の形設方法
としては、メタルマスクを用いた印刷法等が挙げられる
が、特に制限されるものではない。そのバンプ群の高さ
は一般的に 100〜400 μm 程度が望ましく、比較的厚い
メタルマスクを用いればアスペクト比の高いバンプが形
成でき、2 回以上繰り返し印刷すれば、所望のバンプ高
さとすることができる。さらにバンプ群の高さは 1層の
合成樹脂系シートを貫通し得る高さ及び複数層の合成樹
脂系シートを貫通し得る高さが適宜混在していてもよ
い。
【0016】一方、導電性金属でバンプ群を形成する方
法としては、(a)ある程度形状又は寸法が一定な微小
金属塊を、接着剤層を予め設けた支持基体面に散布し、
選択的に固着させる(このときマスクを配置しておこな
ってもよい)、(b)銅箔等を支持基体とした場合は、
メッキレジストを印刷・パターンニングして、銅、錫、
金、銀、半田などをメッキして選択的に微小な金属柱群
を形成する、(c )支持基体に半田レジストの塗布・パ
ターンニングをして、半田浴に浸漬して選択的に微小な
金属柱群を形成する、などが挙げられる。ここで、バン
プとして形成した微小な金属塊あるいは微小な金属柱
は、異種金属を組み合わせてなる多層構造、多層シェル
構造でもよい。例えば銅を芯にした表面を金や銀で被覆
して耐酸化性を付与したり、銅を芯にした表面を半田で
被覆して半田接合性をもたせたりしてもよい。なお、バ
ンプ群を導電性組成物で形成する場合は、メッキ法等の
手段で行う場合に比べて、工程等一段と簡略化し得るの
で低コスト化の点で有利である。
【0017】本発明に用いる合成樹脂系シートとして
は、前記導体バンプ群が貫挿され、貫通型の導体配線部
を形成するもので、その厚さは50〜800 μm 程度が好ま
しい。具体的な合成樹脂系シートとして、まず熱可塑性
樹脂フィルム、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリス
ルホン樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、4 フッ化ポリエ
チレン樹脂、6 フッ化ポリプロピレン樹脂、ポリエーテ
ルエーテルケトン樹脂等のシート類が挙げられる。次
に、硬化前状態に保持される熱硬化性樹脂シート、例え
ば、エポキシ樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポ
リイミド樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、メ
ラミン樹脂等のプリプレグ類が挙げられ、或いは生ゴム
シート類、例えば、ブタジエンゴム、ブチルゴム、天然
ゴム、ネオプレンゴム、シリコーンゴムなどのシートが
挙げられる。これらの合成樹脂系シートは、合成樹脂単
独でもよいが無機物や有機物系の絶縁性充填物を含有し
てもよく、さらにガラスクロスやマット、有機合成繊維
布やマット、或いは紙等の補強材と組み合わせてなるシ
ートであってもよい。
【0018】上記した導体バンプ群を形設した支持基体
の主面には、合成樹脂系シート一主面を対接させて積層
配置して加圧するのであるが、本発明においては、特に
合成樹脂系シート他面の上にバンプ貫通補助材を積層配
置して加圧することにより、貫通型の導体配線部を形成
する。バンプ貫通補助材は、導体バンプ群を貫挿させて
導体配線部を形成したのちは除去されて、印刷配線板の
構造要素として残らず、導体バンプ群を貫通させるとき
にのみ使用するものである。
【0019】本発明において、合成樹脂系シート主面上
に配置されるバンプ貫通補助材の内容としては、(A)
金属箔と弾性体との積層体、(B)金属箔と紙パルプシ
ートとの積層体、(C)バンプ群の位置に穴を開けた金
属板、(D)弾性体と、バンプ群の位置に穴を開けた金
属板との積層体、(E)金属箔と、紙パルプシートと、
バンプ群の位置に穴を開けた金属板との積層体等が挙げ
られる。
【0020】具体的なバンプ貫通補助材としての、弾性
体は硬度75〜110 、厚さ0.03〜5.0mmの合成ゴムシート
など、紙パルプシートは、厚さ0.05〜1.00mmのクッショ
ン紙など、穴を開けた金属板は厚さ0.02〜2.0 mm程度の
ステンレス板などに導体バンプ径以上の穴を明けたもの
が適当である。弾性体、紙パルプシートは弾性、クッシ
ョン性を利用し、穴明け金属板は選択的な加圧をするも
のであるから、そのような作用を利用するものであれ
ば、上記(A)ないし(E)以外の積層組合せに制限さ
れるものでなく、これらは単独又は 2種以上の組合せ積
層体で使用することができる。
【0021】上述の導体バンプ群を形設した支持基体の
主面に、合成樹脂系シート(プリプレグ)主面を対接さ
せて積層配置し、その積層物を加熱せずにそのままもし
くは加熱して加圧するのであるが、そのとき合成樹脂系
シートを載置する基台(当て板)としては、寸法や変形
の少ない金属板もしくは耐熱性樹脂板、例えばステンレ
ス板、真鍮板、ポリイミド樹脂板(シート)、ポリテト
ラフロロエチレン樹脂板(シート)等が使用される。こ
の積層物の加圧に際し、加熱して合成樹脂系シートの樹
脂分が柔らかくなった状態で加圧すれば、良好なバンプ
群の貫挿をさせることができる。
【0022】バンプ群を貫挿して貫通型の導体配線部を
形成し、バンプ貫通補助材を除去した合成樹脂系シート
は、金属箔と積層して一体に成形すれば印刷配線板を製
造することができる。その際の成形条件は、導体バンプ
の導電性組成物と合成樹脂系シートの合成樹脂の種類、
組成により適宜選択することができる。
【0023】
【作用】本発明の印刷配線板の製造方法によれば、バン
プ貫通補助材を用いたことによって、合成樹脂系シート
の厚さ方向に、バンプ群をそれぞれ貫挿させる際に、前
記合成樹脂系シートがバンプ上部に持ち上げられ、それ
により貫通型の導体配線部が形成できなかったり、一体
成形した金属箔とバンプ上部との接続面積が減少するこ
となく、信頼性の高い配線層間の電気的接続が得られ
る。即ち、バンプの貫挿性を向上させ、かつ貫通型の導
体配線部と金属箔との接続信頼性を向上させるものであ
る。
【0024】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例よって限定されるもの
ではない。
【0025】実施例1 図1に示したように支持基体として厚さ35μm の電解銅
箔1に、熱硬化性エポキシ樹脂系銀ペーストをメタルマ
スク(ステンレス製、板厚 0.2mm、穴径 0.4mm)を用い
て印刷、乾燥後、同一マスクを用い、同一位置に印刷す
ることを 4回繰り返し、高さ約 200μm の導体バンプ5
を形成した。合成樹脂系シートとして、ガラスクロスに
エポキシ樹脂を含浸してなる厚さ100 μm のプリプレグ
3を用い、このプリプレグの上面には金属箔2a および
硬度75〜110 の弾性体2b の積層体をバンプ貫通補助材
として配置して加圧し、前記プリプレグの厚さ方向に、
前記導体バンプ群をそれぞれ貫挿させて貫通型の導体配
線部を形成した。
【0026】次いで、金属箔2a および硬度75〜110 の
弾性体2b の積層体のバンプ貫通補助材を取り除き、裏
面金属箔として厚さ35μm の電解銅箔を、前記プリプレ
グの上に積層配置して、 170℃,50kg/cm2 で90分間加
熱加圧一体に成形して両面印刷配線板を製造した。
【0027】実施例2 図2に示したように支持基体として厚さ35μm の電解銅
箔1に、熱硬化性エポキシ樹脂系銀ペーストをメタルマ
スク(ステンレス製、板厚 0.2mm、穴径 0.4mm)を用い
て印刷、乾燥後、同一マスクを用い、同一位置に印刷す
ることを 4回繰り返し、高さ約200 μm の導体バンプ5
を形成した。合成樹脂系シートとして、ガラスクロスに
エポキシ樹脂を含浸してなる厚さ100 μm のプリプレグ
3を用い、このプリプレグの上面には金属箔2c および
紙パルプシート2d の積層体をバンプ貫通補助材として
配置して加圧し、前記プリプレグの厚さ方向に、前記導
体バンプ群をそれぞれ貫挿させて貫通型の導体配線部を
形成した。
【0028】次いで、金属箔2c および紙パルプシート
2d の積層体のバンプ貫通補助材を取り除き、裏面金属
箔として厚さ35μm の電解銅箔を、前記プリプレグの上
に積層配置して、170 ℃,50kg/cm2 で90分間加熱加圧
一体に成形して両面印刷配線板を製造した。
【0029】実施例3 図3に示したように支持基体として厚さ35μm の電解銅
箔1に、熱硬化性エポキシ樹脂系銀ペーストをメタルマ
スク(ステンレス製、板厚 0.2mm、穴径 0.4mm)を用い
て印刷、乾燥後、同一マスクを用い、同一位置に印刷す
ることを 4回繰り返し、高さ約200 μm の導体バンプ5
を形成した。合成樹脂系シートとして、ガラスクロスに
エポキシ樹脂を含浸してなる厚さ 100μm のプリプレグ
3を用い、このプリプレグの上面には、前記導体バンプ
群を形成した位置にバンプ径以上の穴を明けた厚さ2 mm
の金属板2e をバンプ貫通補助材として配置して加圧
し、前記プリプレグの厚さ方向に、前記バンプ群をそれ
ぞれ貫挿させて貫通型の導体配線部を形成した。
【0030】次いで、バンプ貫通補助材の金属板2e を
取り除き、裏面金属箔として厚さ35μm の電解銅箔を、
前記プリプレグの上に積層配置して、170 ℃,50kg/cm
2 で90分間加熱加圧一体に成形して両面印刷配線板を製
造した。
【0031】実施例4 図4に示したように支持基体として厚さ35μm の電解銅
箔1に、熱硬化性エポキシ樹脂系銀ペーストをメタルマ
スク(ステンレス製、板厚 0.2mm、穴径 0.4mm)を用い
て印刷、乾燥後、同一マスクを用い、同一位置に印刷す
ることを 4回繰り返し、高さ約200 μm の導体バンプ5
を形成した。合成樹脂系シートとして、ガラスクロスに
エポキシ樹脂を含浸してなる厚さ100 μm のプリプレグ
3を用い、このプリプレグの上面には金属箔2f 、硬度
75〜110 の弾性体2g および前記導体バンプ群を形成し
た位置にバンプ径以上の穴を明けた厚さ2 mmの金属板2
hの積層体をバンプ貫通補助材として配置して加圧し、
前記プリプレグの厚さ方向に、前記導体バンプ群をそれ
ぞれ貫挿させて貫通型の導体配線部を形成した。
【0032】次いで、金属箔2f 、硬度75〜110 の弾性
体2g および前記導体バンプ群を形成した位置にバンプ
径以上の穴を明けた厚さ2 mmの金属板2h の積層体のバ
ンプ貫通補助材を取り除き、裏面金属箔として厚さ35μ
m の電解銅箔を、前記プリプレグの上に積層配置して、
170 ℃,50kg/cm2 で90分間加熱加圧一体に成形して両
面印刷配線板を製造した。
【0033】実施例5 図5に示したように支持基体として厚さ35μm の電解銅
箔1に、熱硬化性エポキシ樹脂系銀ペーストをメタルマ
スク(ステンレス製、板厚 0.2mm、穴径 0.4mm)を用い
て印刷、乾燥後、同一マスクを用い、同一位置に印刷す
ることを 4回繰り返し、高さ約 200μm の導体バンプ5
を形成した。合成樹脂系シートとして、ガラスクロスに
エポキシ樹脂を含浸してなる厚さ100 μm のプリプレグ
3を用い、このプリプレグの上面には金属箔2i 、紙パ
ルプシート2j および前記バンプ群を形成した位置にバ
ンプ径以上の穴を明けた厚さ2 mmの金属板2k の積層体
をバンプ貫通補助材として配置して加圧し、前記プリプ
レグの厚さ方向に、前記導体バンプ群をそれぞれ貫挿さ
せて貫通型の導体配線部を形成した。
【0034】次いで、金属箔2i 、紙パルプシート2j
および前記バンプ群を形成した位置にバンプ径以上の穴
を明けた厚さ2 mmの金属板2k の積層体のバンプ貫通補
助材を取り除き、裏面金属箔として厚さ35μm の電解銅
箔を、前記プリプレグの上に積層配置して、170 ℃,50
kg/cm2 で90分間加熱加圧一体に成形して両面印刷配線
板を製造した。
【0035】比較例 図6に示したように支持基体として厚さ35μm の電解銅
箔1に、熱硬化性エポキシ樹脂系銀ペーストをメタルマ
スク(ステンレス製、板厚 0.2mm、穴径 0.4mm)を用い
て印刷、乾燥後、同一マスクを用い、同一位置に印刷す
ることを 4回繰り返し、高さ約 200μm の導体バンプ5
を形成した。合成樹脂系シートとして、ガラスクロスに
エポキシ樹脂を含浸してなる厚さ100 μm のプリプレグ
3を積層配置して加圧し、前記プリプレグの厚さ方向
に、前記導体バンプ群をそれぞれ貫挿させて貫通型の導
体配線部を形成した。
【0036】次いで、裏面金属箔として厚さ35μm の電
解銅箔を、前記プリプレグの上に積層配置して、170
℃,50kg/cm2 で90分間加熱加圧一体に成形して両面印
刷配線板を製造した。
【0037】実施例1〜5および比較例で製造した印刷
配線板について、バンプ貫通率、スルーホール信頼性を
試験したのでその結果を表1に示した。本発明は優れた
特性を示し、本発明の効果を確認することができた。
【0038】
【表1】 *1 :貫通型の導体配線部について、テスターで各導体配線部を表裏面から導通 テストを行った。 *2 :1872穴の導通したスルーホール基板をつくり、260 ℃のオイルに12秒間浸 漬した後、20℃のオイルに25秒間浸漬することを 1サイクルとし、各サイクル毎 に導通抵抗を測定し、スルーホールが断裂するまでのサイクル数を試験した。
【0039】
【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明の印刷配線板の製造方法によればバンプの貫
挿性を向上させ、かつ貫通型の導体配線部と配線層の導
電性金属箔との接続信頼性を向上させ、歩留り良好でコ
スト低減に寄与する印刷配線板を製造することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の印刷配線板における層構成を分離し
て説明する概略断面図である。
【図2】実施例2の印刷配線板における層構成を分離し
て説明する概略断面図である。
【図3】実施例3の印刷配線板における層構成を分離し
て説明する概略断面図である。
【図4】実施例4の印刷配線板における層構成を分離し
て説明する概略断面図である。
【図5】実施例5の印刷配線板における層構成を分離し
て説明する概略断面図である。
【図6】従来の印刷配線板の層構成を分離して説明する
概略断面図である。
【符号の説明】
1 電解銅箔 2 バンプ貫通補助材 3 プリプレグ 4 電解銅箔(当て板) 5 導体バンプ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定位置に導体バンプ群を形設した支持
    基体の主面に、合成樹脂系シート主面を対接させて積層
    配置する工程と、この積層物における前記合成樹脂系シ
    ートの上にバンプ貫通補助材を積層配置して加圧し合成
    樹脂系シートの厚さ方向に前記導体バンプ群をそれぞれ
    貫挿させて貫通型の導体配線部を形成する工程と、導体
    配線部を形成後に前記バンプ貫通補助材を除去する工程
    と、バンプ貫通補助材を除去後に前記合成樹脂系シート
    の上面に金属箔を配置して一体成形する工程とを具備し
    てなることを特徴とする印刷配線板の製造方法。
JP02739795A 1995-01-23 1995-01-23 印刷配線板の製造方法 Expired - Fee Related JP3600294B2 (ja)

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