JPH08203055A - 記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触力が大きく
変動せず、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記
録再生ヘッドスライダを提供する。 【構成】磁気ディスクと対向しこの磁気ディスクの回転
による流体軸受作用を受けて浮上する磁気ヘッドスライ
ダ1 は、第１のスライダ2 と第２のスライダ3 とを有す
る。第１のスライダ2 の側には記録再生ヘッド4 および
接触端5 が設けられており、また第２のスライダ3 は第
１のスライダ2 に比べて幅（面積）が大きく形成されて
いる。この磁気ヘッドスライダに流体軸受力に対する押
付け力を作用させる点7 は、第１のスライダ2 よりも第
２のスライダに近い位置に設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクなどの情
報記録媒体上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド、
およびこれら情報記録媒体や記録再生ヘッドを搭載した
記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、記録再生装置の分野においては、
記録密度の向上に関する技術開発が盛んに行われてい
る。例えば記録再生装置の一種である磁気ディスク装置
にあっては、記録密度の向上に伴い、情報記録媒体であ
る磁気ディスクと記録再生ヘッドである磁気ヘッドとの
スペーシング（浮上隙間）がより一層狭くなる傾向にあ
る。そして将来は、磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触
した状態で記録再生を行う可能性が高くなるものと考え
られる。磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触した状態で
の記録再生を考えた場合、その最大の技術課題は両者の
摩耗を低減することである。そのためには、磁気ディス
クと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重かつ安定に保つこ
とが必要となる。

【０００３】磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を
安定に保つ方法の一例として、例えば特開昭62-20125号
公報や特開平5-74090 号公報に開示されている方法が知
られている。以下、図59乃至図61を参照しながらこの方
法について説明する。

【０００４】図59において符号24は磁気ディスクであ
り、矢印Ｘの方向に回転駆動される。この磁気ディスク
24の回転により流体軸受作用により、磁気ディスク24上
に微小隙間を介して磁気ヘッドスライダ100 が浮上して
いる。磁気ヘッドスライダ100には図60の背面図に示す
ように、磁気ディスク24との対向面に２本の同一形状の
スライダ22a,22b を有している。なお図59では、流体軸
受作用により発生する流体軸受力はｆh で示されてい
る。

【０００５】スライダ22a の後端部すなわち空気流出端
には、磁気ディスク24に対する情報の記録再生のための
電気信号を磁気信号に変換する記録再生ヘッド20が配置
され、その下方には磁気ディスク24に磁束を供給する接
触端21が延出されている。記録再生時には接触端21と磁
気ディスク24とは接触可能であり、スライダ22a は接触
力ｆc を受ける。なお、スライダ22b の後端部にも同様
に接触力ｆc が作用しているため、２本のスライダ22a,
22b には全く同じ流体軸受力および接触力が作用し、磁
気ヘッドスライダ100 の左右のバランスが保たれてい
る。

【０００６】一方、スライダ22a,22b が受ける流体軸受
力ｆh および接触力ｆc と反対方向の力を発生させて磁
気ヘッドスライダ100 の前後のバランスを取るために、
磁気ヘッドスライダ100 の上部中心位置には、図示しな
いサスペンションから押付け力Ｆが加えられる。押付け
力Ｆはピボット23を介して与えられるが、このピボット
23は図59の方向から見て接触端21からｌp だけ離れた位
置に形成されている。

【０００７】ここで、流体軸受作用によって磁気ディス
ク24とスライダ22（22a,22b ）との間で発生する圧力は
符号25で示す分布圧力のようになっている。同図からも
わかるように、スライダ22の先端部側に大きな圧力のピ
ークが、また後端部側に小さなピークが、それぞれ発生
する。そして、この分布圧力25の圧力中心26（すなわち
単一の流体軸受力ｆh の位置）は接触端21からｌh だけ
離れた位置となる。

【０００８】なお、図59からも明らかなとおり、磁気ヘ
ッドスライダ100 は左右対称の形状となっているため、
この分布圧力25は図59のように２次元的に表現すること
ができ、紙面方向に向かって一様となっている。

【０００９】このように、磁気ヘッドスライダ100 の浮
上状態においては、流体軸受力ｆh，接触力ｆc ，押付
け力Ｆがバランスを保つことになる。そして、これら３
つの力およびモーメントの釣合条件は以下のとおりとな
る。

【００１０】

【数１】 以上のような構成によれば、流体力Ｆの圧力中心26の位
置が変化しない限りにおいては、磁気ディスク24の振動
やうねりなどの外乱要因に対しても磁気ヘッドスライダ
100 が十分に追従することができる。そのため接触端21
と磁気ディスク24との位置関係が安定に保たれ、接触端
21から磁気ディスク24に対して供給される磁束の変動も
最小限に抑えられる。

【００１１】しかしながら、記録再生のために磁気ヘッ
ドスライダ100 が磁気ディスク24上をその半径方向に移
動すると、両者の相対速度の変化により圧力中心26の位
置ｌh も移動してしまう。そのため、磁気ヘッドスライ
ダ100 が磁気ディスク24半径方向のどの位置にあるかに
よって接触力ｆc が変動してしまい、結果として装置と
しての安定性に欠けるという欠点がある。

【００１２】さらに、ピボット23の位置におけるサスペ
ンションの等価質量と磁気ヘッドスライダ100 の質量分
布とで決定される重心は、図61に示すように、ピボット
23の位置と磁気ヘッドスライダ100 単体の重心Ｇとの間
にくる。ここでは磁気ヘッドスライダ100 の重心Ｇと接
触端21との距離をｌg とする。磁気ディスク24の振動
や、装置に加わる衝撃などによる慣性力に起因する接触
力の変動を考慮した場合、外部からの振動に伴う慣性力
ｆg は重心位置Ｇに作用する。作用する慣性力ｆg は、
接触力の変動分Δｆc 及び流体力の変動分Δｆh の２つ
の力と釣合うことになるので、その作用位置の関係より
以下の式が成立する。

【００１３】

【数２】 前述の特開昭62-20125号公報および特開平5-74090 号公
報に開示されている技術においては、いずれの場合も
（ｌh −ｌg ）/ ｌh が0.2 以上となっており、これは
外部からの振動に伴う慣性力ｆg の20％以上が接触力の
変動分Δｆc として作用してしまうことを意味する。こ
のような変動Δｆc は、磁気ディスク24と磁気ヘッドス
ライダ100 との摩耗を防ぐために接触力を低く設定する
際に大きな妨げとなってしまう。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来技術
にあっては、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上をそ
の半径方向に移動したり、あるいは磁気ディスクの振動
や装置に加わる衝撃などによる慣性力の変化があった場
合に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触力が変動して
しまう。そしてそのために装置としての安定性に欠ける
という欠点があった。

【００１５】そこで、本発明ではこれらの問題点を解決
し、情報記録媒体（磁気ディスク）と記録再生ヘッド
（磁気ヘッド）との接触力が大きく変動せず、両者の接
触状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライ
ダ及びこれを用いた記録再生装置を提供することを目的
とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明においてば、情報記録媒体と対向配置される
第１のスライダと、前記情報記録媒体との対向面が前記
第１のスライダよりも大に形成され、前記第１のスライ
ダとともに前記情報記録媒体から流体軸受作用による浮
上力を受ける第２のスライダと、前記第１のスライダの
端部付近に固定され前記情報記録媒体に対して情報の記
録再生を行う記録再生ヘッドとを有し、前記第１および
第２のスライダを備えて流体軸受力により前記情報記録
媒体上での浮上力を得るとともに、前記第１のスライダ
よりも前記第２のスライダに近い位置に前記情報記録媒
体に対する押付け力の作用点を設けてなる記録再生ヘッ
ドスライダとした。

【００１７】また、情報記録媒体と対向配置される主ス
ライダと、第１の連結部を介して前記主スライダと接続
し、前記情報記録媒体との対向面が前記主スライダより
も小に形成された第１の副スライダと、前記第１の連結
部よりも高い剛性を有する第２の連結部を介して前記主
スライダと接続し、前記情報記録媒体との対向面が前記
主スライダよりも大に形成された第２の副スライダと、
前記第１の副スライダの端部付近に固定され前記情報記
録媒体に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと
を有し、前記主スライダ，前記第１および第２の副スラ
イダを備えて流体軸受力により前記情報記録媒体上での
浮上力を得るとともに、前記主スライダ上の位置に前記
情報記録媒体に対する押付け力の作用点を設けてなる記
録再生ヘッドスライダとした。

【００１８】また、情報記録媒体と対向配置されるとと
もに２本のスライダを備える主スライダと、前記２本の
スライダ間に連結部を介して接続されるとともに、前記
情報記録媒体との対向面積の異なる２本のスライダを備
える副スライダと、前記副スライダのうち前記対向面積
の小さいスライダの端部付近に固定され前記情報記録媒
体に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドとを有
し、前記主スライダ，副スライダを備えて流体軸受力に
より前記情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前
記主スライダに対して前記副スライダ上から押付け力を
作用させてなる記録再生ヘッドスライダとした。

【００１９】また、情報記録媒体と、記情報記録媒体に
対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを備え、前
記記録再生ヘッドスライダは、前記情報記録媒体と対向
配置される第１のスライダと、前記情報記録媒体との対
向面が前記第１のスライダよりも大に形成され、前記第
１のスライダとともに前記情報記録媒体から流体軸受作
用による浮上力を受ける第２のスライダとを有し、前記
第１および第２のスライダを備えて流体軸受力により前
記情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前記第１
のスライダよりも前記第２のスライダに近い位置に前記
情報記録媒体に対する押付け力の作用点を設けてなる記
録再生装置とした。

【００２０】また、情報記録媒体と、前記情報記録媒体
に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを備え、
前記記録再生ヘッドスライダは、前記情報記録媒体と対
向配置される主スライダと、第１の連結部を介して前記
主スライダと接続し、前記情報記録媒体との対向面が前
記主スライダよりも小に形成された第１の副スライダ
と、前記第１の連結部よりも高い剛性を有する第２の連
結部を介して前記主スライダと接続し、前記情報記録媒
体との対向面が前記主スライダよりも大に形成された第
２の副スライダと、前記第１の副スライダの端部付近に
固定され前記情報記録媒体に対して情報の記録再生を行
う記録再生ヘッドとを有し、前記主スライダ，前記第１
および第２の副スライダを備えて流体軸受力により前記
情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前記主スラ
イダ上の位置に前記情報記録媒体に対する押付け力の作
用点を設けてなる記録再生装置とした。

【００２１】また、情報記録媒体と、前記情報記録媒体
に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを備え、
前記記録再生ヘッドスライダは、前記情報記録媒体と対
向配置されるとともに２本のスライダを備える主スライ
ダと、前記２本のスライダ間に連結部を介して接続され
るとともに、前記情報記録媒体との対向面積の異なる２
本のスライダを備える副スライダと、前記副スライダの
うち前記対向面積の小さいスライダの端部付近に固定さ
れ前記情報記録媒体に対して情報の記録再生を行う記録
再生ヘッドとを有し、前記主スライダ，副スライダを備
えて流体軸受力により前記情報記録媒体上での浮上力を
得るとともに、前記主スライダに対して前記副スライダ
上から押付け力を作用させてなる記録再生装置とした。

【００２２】

【作用】上記の如く構成した本発明によれば、記録再生
ヘッドスライダ( 例えば磁気ヘッドスライダ) が情報記
録媒体( 例えば磁気ディスク) 上をその半径方向に移動
することによって情報記録媒体の接線方向の流体力の位
置は変動しても、情報記録媒体の半径方向の流体力の位
置はほとんど変化しない。そのため、情報記録媒体と記
録再生ヘッド（磁気ヘッド）との接触力には変動が発生
しない。また、情報記録媒体の振動や装置に加わる衝撃
にともない慣性力の変化があっても、そのほとんどが流
体力の剛性によって支えられることになる。そのため、
記録再生ヘッドに作用する接触力の変動を小さく抑える
ことができる。

【００２３】したがって、情報記録媒体と記録再生ヘッ
ドとの接触力が大きく変動せず、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。

【００２４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。なお、以下の実施例では記録再生ヘッドスライダ
として磁気ヘッドスライダを、また記録再生装置として
磁気ディスク装置を、それぞれ例にとって説明する。

【００２５】図１乃至図３は本発明の第１実施例を示す
記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図であ
る。

【００２６】まず、本発明が適用される磁気ディスク装
置の概略について図58を参照して説明する。

【００２７】情報を記録再生するための磁気ディスク
（記録媒体）101 は硬質の円板からなり、スピンドルモ
ータ102 に装着されて一定速度で回転駆動される。磁気
ディスク101 に対して微小な隙間を介して浮上する磁気
ヘッドスライダ1 は、記録再生を行う磁気ヘッド（図示
せず）を搭載している。なお、磁気ヘッドスライダ1 は
金属薄板からなるサスペンション104 の先端に取り付け
られている。

【００２８】サスペンション104 は、金属もしくは樹脂
などで成形されたアーム105 の一端に接続されている。
アーム105 の他端にはコイルボビン（図示せず）が形成
されており、このコイルボビンには平面状に巻装された
駆動コイルが固定されている。そしてこの駆動コイルを
上下方向から挟み込むよう、永久磁石およびヨークから
なる磁気回路106 が配置され、駆動コイルとともにボイ
スコイルモータを構成している。磁気回路106 からの磁
束と駆動コイルへの通電によってローレンツ力が発生
し、回転軸107 を中心にアーム105 を回動駆動する。

【００２９】そして、磁気ディスク101 上での磁気ヘッ
ドの位置決めは、磁気ディスク101に書き込まれたサー
ボ情報を磁気ヘッドにより読み出し、この情報をボイス
コイルモータにフィードバックする位置決めサーボ系に
より行われる。位置決めサーボ系によって駆動コイルへ
の供給電流を調節し、磁気ヘッドの位置を制御すること
により情報の記録再生を行う。

【００３０】これらの各構成部品は、位置決めサーボ制
御に必要な半導体素子などの電気部品とともに筺体108
内に収納されている。また上部からは金属薄板からなる
カバー109 により覆われて、装置全体は気密に密閉され
た構造となっている。

【００３１】このように構成された磁気ディスク装置
は、筺体108 の外部に突出した端子群110 を介してコン
ピュータ本体と電気的に接続することが可能となってい
る。

【００３２】そして本実施例においては、上記磁気ヘッ
ドスライダ1 は図１乃至図３に示すように構成されてい
る。

【００３３】この磁気ヘッドスライダ1 は、磁気ディス
ク101 と対向する側の面に第１のスライダ2 と第２のス
ライダ3 が互いに平行に設けられたテーパフラット型を
なし、第１のスライダ部2 の後端部付近すなわち空気流
出端付近には、磁気ディスク101 に対する情報の記録再
生のための電気信号を磁気信号に変換する記録再生ヘッ
ド（記録再生部）4 が配置されている。記録再生ヘッド
4 としては、例えばＭＲ（Magneto-Resistant ）ヘッド
やインダクティブヘッド等が用いられる。この記録再生
ヘッド4 の下方には磁気ディスク101 に磁束を供給する
接触端5 が形成され、この接触端5 を介して磁気ディス
ク101 と接触可能に構成されている。

【００３４】なお、第１のスライダ2 と第２のスライダ
3 は、磁気ヘッドスライダ1 と一体的に製作されてお
り、例えばシリコンウエハーを異方性エッチングするな
どの方法が採用されている。また、記録再生ヘッド4 は
磁気ヘッドスライダ1 に対して蒸着やエッチングなどの
方法により形成されている。

【００３５】ここで図１に示されるように第１のスライ
ダ2 と第２のスライダ3 は矩形形状をなし、第１のスラ
イダ2 は第２のスライダ3 と比較して例えば1/2 以下の
幅（1/2 以下の面積）に形成されている。これによって
第１のスライダ2 で発生する流体力が第２のスライダ3
で発生する流体力に比べて十分に小さくなるように構成
されている。

【００３６】また図２に示すように、第１のスライダ2
の側部と第２のスライダ3 の中央部とはｌh の長さとな
るように形成され、後述するピボット位置7 は第１のス
ライダ2 の側部からｌp の長さとなるように形成されて
いる。

【００３７】ここで、磁気ヘッドスライダ1 の側面から
見た場合、第２のスライダ2 には図４（図１中のＡ−Ａ
線断面図）に示すような分布圧力8 が発生している。こ
の分布圧力8 は等価的に見れば矢印で示すｆh2の力が作
用していることと同じであるが、分布圧力8 は磁気ディ
スク101 との相対速度に依存するため、図中Ｘ方向にわ
ずかに移動する。しかしながら、図２に示す方向から見
た流体軸受力ｆh2の位置は速度に依存することなく、常
にほぼ第２のスライダ3 の中央位置にある。

【００３８】一方、第１のスライダ2 に発生する分布圧
力9 は図５（図１中のＢ−Ｂ線断面図）に示すように、
第２のスライダ3 で発生する分布圧力8 （図４）と比較
し非常に小さく、等価的にはわずかな流体軸受力ｆh1が
発生している。なお、第１のスライダ2 にはさらに、接
触端5 にて磁気ディスク101 からの反力である接触力ｆ
c を受けている。

【００３９】そして、磁気ヘッドスライダ1 に作用する
全ての力、すなわち、流体軸受力ｆh1，ｆh2、接触力ｆ
c 、押付け力Ｆは、図３に示されるように釣合ってい
る。そしてこの力の釣合から接触力ｆc を求めることが
できる。本発明では、上述のとおり、第１のスライダ2
が第２のスライダ3 と比較して例えば1/2 以下の幅（1/
2 以下の面積）に形成されているため、第１のスライダ
2 の流体軸受力ｆh1が第２のスライダ3 の流体軸受力ｆ
h2と比較して十分に小さくなる。そのため、第１のスラ
イダ2 の流体軸受力ｆh1を無視することができ、流体軸
受力ｆh2と接触力ｆc と押付け力Ｆの力の釣合により接
触力ｆc を定めることができる。つまり磁気ヘッドスラ
イダ1 の力の釣合いは図２に示す方向から見た力の釣合
に帰着することになる。

【００４０】先に示したように、図２に示す方向から見
た流体軸受力ｆh2の位置は磁気ディスク101 との相対速
度に依存しない。そのため、結果として以下のような関
係が成り立つことになる。

【００４１】

【数３】 ここで、ピボット7 の形成される位置は第２のスライダ
3 側に寄った位置である。そのため接触力ｆc は、サス
ペンション104 からの押付け力Ｆを( ｌh −ｌp)／ｌh
の比で縮小した値であり一定値となる。

【００４２】通常であれば、図59からも明らかなよう
に、流体軸受力ｆh の位置がズレると押付け力Ｆの位置
が近いために押付け力Ｆが大きく変動することになって
しまう。しかしながら本発明の場合は、得られる接触力
ｆc を小さくするためにサスペンションの押付け力Ｆの
位置を第２のスライダ3 の近くに設定することにより、
例えば磁気ディスク101 との相対速度が変化したとして
も、押付け力Ｆが変動しないという点に特徴がある。し
たがって、ｌh の値を自由に大きくして接触力ｆc を小
さく設定することが可能となる。

【００４３】次に、ピボット7 の形成される位置に関し
て説明する。

【００４４】図６に示されるように、サスペンション10
4 の先端部にはジンバル10が取付けられ、ジンバル10の
先端部に磁気ヘッドスライダ1 が接着などの手段により
固定されている。ジンバル10は平面状の金属製板バネか
らなり、磁気ディスク101 の面とほぼ平行となるように
固定されている。したがって面内方向には十分な剛性を
有するが、傾き方向および曲げ方向には柔軟な構造とな
っている。

【００４５】磁気ヘッドスライダ1 の磁気ディスク101
面と反対側の面には、図７に示すように、磁気ヘッドス
ライダ1 と一体的に突起部11が形成されている。突起部
11は略四角錐に形成されており、その頂点部分がピボッ
ト7 の位置となる。そして、図８に示すように、突起部
11の先端部分（頂点部分）を介してサスペンション104
の先端から磁気ヘッドスライダ1 に対して所定の押付け
力Ｆを付与する構成になっている。

【００４６】このような構成を採用することにより、サ
スペンション104 からの押付け力Ｆは突起部11の先端に
のみ作用し、しかも押付け力Ｆの位置はサスペンション
104やジンバル10や磁気ヘッドスライダ1 の取付け位置
にかかわらず突起部11の先端位置にのみ依存することに
なる。

【００４７】また、突起部11は磁気ヘッドスライダ1 の
製作過程でエッチングにより一体的に形成することがで
きるので、精度の高いピボット7 位置が得られ、結果と
して接触端5 の接触力ｆc を精度良く設定できることに
なる。

【００４８】なお、突起部11の形状は図７(b) に示した
ように半球状の形状としてもよく、やはり同様の効果を
期待することができる。

【００４９】以上説明したような本発明によれば、磁気
ヘッドスライダが磁気ディスク上をその半径方向に移動
したり、あるいは磁気ディスクの振動や装置に加わる衝
撃などによる慣性力の変化があった場合であっても、磁
気ディスクと磁気ヘッドとの接触力が変動してしまうこ
とがなく、両者の接触状態を安定に保つことが可能とな
る。

【００５０】なお、第１のスライダ部2 と磁気ディスク
101 とが極めて近接した状態においては、第１のスライ
ダ部2 表面と磁気ディスク101 表面との間に、いわゆる
原子間力が作用することが考えられる。ここで作用する
原子間力は、第１のスライダ部2 と磁気ディスク101 と
が離間する方向の微小な反発力を発生するものであるた
め、この反発力と逆向きに力を発生させれば原子間力と
の釣り合いを保つことが可能となる。

【００５１】そのため、両者のギャップ寸法が原子間力
の作用する程度のギャップ寸法となった場合に、この原
子間力を見込んで接触力ｆc を補正し、この補正された
接触力に対応した押付け力Ｆを用いてモーメントの釣合
いや力の釣合いを考慮することが好ましい。

【００５２】原子間力は、例えば半径0.5mm 程度のプロ
ーブでは50mg、半径2 μm 程度のプローブでは10mgの測
定圧であることが知られている。そのため、数mg程度の
圧力を設定することにより、副スライダと磁気ディスク
のギャップ寸法，接触力の制御はもちろん、これらに原
子間力が作用する状態であったとしても、非接触状態で
極めて微小なギャップを保つことができ、副スライダと
磁気ディスクとの摩耗を防止することのできる浮上制御
を行うことが可能となる。

【００５３】続いて、図９乃至図11を参照して本発明の
第２実施例を説明する。ここで、図９は記録再生ヘッド
スライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図10は図
９中のＣ−Ｃ線断面図、図11は斜視図である。なお、以
下の各実施例においては、前述の第１実施例と同一構成
要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【００５４】第１実施例では、記録再生ヘッド4 が形成
された第１のスライダ2 に作用する流体力を小さくする
ために、第１のスライダ2 の幅を第２のスライダ3 より
も狭く設定した。これに対して第２実施例では、第１の
スライダ2 の長さを短くして同様な効果を得ようとする
ものである。

【００５５】すなわち、第１のスライダ2 の長さを短く
することで第１のスライダ2 の流体軸受力ｆh1を第２の
スライダ3 の流体軸受力ｆh2と比較して十分に小さくす
ることができる。そのため本実施例でも、第１のスライ
ダ2 の流体軸受力ｆh1を無視することができ、したがっ
て流体軸受力ｆh2と接触力ｆc と押付け力Ｆの力の釣合
により接触力ｆc を定めることができるようになる。

【００５６】なお、磁気ディスク101 に対向する第１の
スライダ2 の面積を、第２のスライダ3 の面積よりも小
さく設定することにより、これら実施例と同様の効果を
期待することができる。この場合、第１のスライダ2 と
第２のスライダ3 のそれぞれの表面形状は必ずしも矩形
である必要はなく、任意形状に設定することが可能であ
る。

【００５７】また、第１実施例では、ピボット7 の位置
を定める突起部11の形状が略四角錘であった。これに対
して第２実施例では、突起部11の形状が第２のスライダ
3 の長手方向に延びた形状になっている。そして、ピボ
ット7 の位置を定める突起部11の先端形状も第２のスラ
イダ3 の長手方向に長い形状になっている。そのため、
突起部11の先端部分に対する摩耗や衝撃による破損の危
険性を少なくすることができるようになる。

【００５８】なお、突起部11の先端形状が長いため、ピ
ボット7 の長手方向の位置は変化しやすくなるが、長手
方向（空気の流れる方向）から見たピボット7 の位置は
常に一点となる。そのため、押付け力Ｆと第２のスライ
ダ3 の流体軸受力ｆh2と接触力ｆc の比率にはほとんど
影響がなく、したがって本実施例の場合も上述した(式
３) が成り立つことになる。

【００５９】なお、突起部11の形状は図11(b) に示した
ように半円柱状の形状としてもよく、やはり同様の効果
を期待することができる。

【００６０】続いて図12および図13を参照して本発明の
第３実施例を説明する。ここで、図12は記録再生ヘッド
スライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図13は断
面図である。

【００６１】本実施例が第１および第２実施例と異なる
点は、磁気ヘッドスライダ1 の形状にある。すなわち、
第２のスライダ3 を挟んで第１のスライダ2 と反対側
に、カウンタウエイト12を設けた点にある。なお、この
カウンタウエイト12は第１のスライダ2 および第２のス
ライダ3 とともに、エッチングなどにより一体成形され
ている。

【００６２】そして、カウンタウエイト12を設けること
によって、磁気ヘッドスライダ1 全体の重心位置がほぼ
第２のスライダ3 上となるように設計されている。

【００６３】このように構成された場合、装置全体に衝
撃力が加わったとしても、衝撃加速度により発生する慣
性力は重心が存在する第２のスライダ3 上に作用する。
そのため、力の釣合を考えると、その衝撃力とバランス
する力は全て第２のスライダ3 で発生することになる。

【００６４】したがって、外部からの衝撃力が加わった
場合においても、接触力ｆc の変動がほとんどなくな
り、記録再生ヘッド4 の長寿命化を可能にするといった
実用上多大な効果が得られる。

【００６５】続いて図14および図15を参照して本発明の
第４実施例を説明する。ここで、図14は記録再生ヘッド
スライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図15は断
面図である。

【００６６】本実施例の特徴は、第３実施例のカウンタ
ウエイト12の端部にさらに第３のスライダ13を設けた点
にある。第３のスライダ13の表面状態は第１のスライダ
2 および第２のスライダ3 と同様に仕上げられている
が、その幅および長さは図示の形態以外の状態に設定し
てもよい。

【００６７】このようにカウンタウエイト12側に第３の
スライダ13を設けることにより、不測の事態によって押
付け力Ｆと第２のスライダ3 で発生する流体軸受力ｆh2
と接触力ｆc との力のバランスが崩れてしまった場合で
あっても、カウンタウエイト12が磁気ディスク101 面に
直接衝突することが防止される。そしてその結果、磁気
ディスク101 上の記録情報を損傷する危険性を極めて低
く抑え、かつ磁気ヘッドスライダ1 の寿命を長くするこ
とができるといった実用上多大な効果が得られる。

【００６８】続いて図16乃至図18を参照して本発明の第
５実施例を説明する。ここで、図16は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図17は側面
図、図18は斜視図である。この実施例での記録再生ヘッ
ドスライダの構造は先の３つの実施例のものとは大きく
異なっている。

【００６９】磁気ヘッドスライダ31はその中心付近に主
スライダ32を備え、一方の側には第１の連結ビーム33を
介して第１の副スライダ34が配置され、他方の側には第
２の連結ビーム35を介して第２の副スライダ36が配置さ
れている。

【００７０】ここで、第１の連結ビーム33に比べて第２
の連結ビーム35の剛性が高く形成されている。すなわ
ち、第１の連結ビーム33は弾性係数が比較的高く撓みや
すくなっており、例えば図示されたように第２の連結ビ
ーム35に比べて厚みが薄く一部が中空に形成される。第
２の連結ビーム35は例えば第１および第２の副スライダ
34,36 と同じ程度の剛なる弾性係数からなる。

【００７１】また、第２の副スライダ36は第１の副スラ
イダ34に比べて幅（または面積）が広く形成されてお
り、さらに主スライダ32は第２の副スライダ36に比べて
幅（または面積）が広く形成されている。

【００７２】具体的には、第１の副スライダ34は第２の
副スライダ36と比較して例えば1/2以下の幅（1/2 以下
の面積）に形成されており、これによって第１の副スラ
イダ34で発生する流体力が第２の副スライダ36で発生す
る流体力に比べて十分に小さくなるように構成されてい
る。また、第２の副スライダ36は主スライダ32と比較し
て例えば1/2 以下の長さ（1/2 以下の面積）に形成され
ており、これによって第２の副スライダ36で発生する流
体力が主スライダ32で発生する流体力に比べて十分に小
さくなるように構成されている。

【００７３】そして、第１の副スライダ34の後端部付近
には記録再生ヘッド4 および接触端5 が配置されてい
る。

【００７４】また図17に示すように、磁気ヘッドスライ
ダ31のピボット7 の位置は主スライダ32上となってお
り、このピボット7 の位置から第１の副スライダ34の側
部までの長さ、およびピボット7 の位置から第２の副ス
ライダ36の中央部までの長さは、それぞれｌ1 ，ｌ2 と
なるように形成されている。

【００７５】なお、主スライダ32，第１の副スライダ3
4，第２の副スライダ36は一体的にエッチングなどの方
法により製作されている。また、記録再生ヘッド4 は磁
気ヘッドスライダ31に対して蒸着やエッチングなどの方
法により形成されている。

【００７６】ここで、第２の副スライダ36で発生する分
布圧力についても、等価的に見れば図４に示される第１
の実施例に代表されるようにｆh2の力が作用しているこ
とと同じである。そして分布圧力は磁気ディスク101 と
の相対速度に依存しているため、図16中Ｘ方向に移動す
る。しかしながら、図19に示す方向から見た流体軸受力
ｆh2の位置は速度に依存することなく、常にほぼ第２の
副スライダ36の中心位置となる。

【００７７】一方、第１の副スライダ34に発生する分布
圧力は第２の副スライダ36で発生する分布圧力と比較し
非常に小さく、等価的にはわずかな流体軸受力ｆh1が発
生している。なお、第１の副スライダ34にはさらに、接
触端5 にて磁気ディスク101からの反発力である接触力
ｆc を受けている。

【００７８】また、主スライダ32に発生する分布圧力
は、等価的に流体軸受力ｆhmが作用していること同じと
なる。

【００７９】この磁気ヘッドスライダ31とサスペンショ
ン104 との取り付け方法は、図20および図21に示されて
いる。すなわち、サスペンション104 の先端部にはジン
バル10が取付けられ、ジンバル10の先端部に磁気ヘッド
スライダ31が接着などの手段により固定されている。

【００８０】前述の各実施例では、磁気ヘッドスライダ
31と一体的な突起部が形成されていた。しかし本実施例
ではサスペンション104 側に突起部37を設け、ピボット
7 の位置、つまり主スライダ32に対して所定の押付け力
Ｆを付与する構成になっている。突起部37は図21の断面
図に示されるように、金属からなるサスペンション104
を塑性加工して断面略円弧状に形成したものであるが、
断面形状についてはこの例のとおりである必要はなく、
例えばもっと尖った断面形状に形成してもよい。

【００８１】このような構成を採用することにより、サ
スペンション104 からの押付け力Ｆは突起部37の先端に
のみ作用し、しかも押付け力Ｆの位置はサスペンション
104やジンバル10や磁気ヘッドスライダ31の取付け位置
にかかわらず突起部37の先端位置にのみ依存することに
なる。

【００８２】そして本実施例においても、磁気ヘッドス
ライダ31に作用する全ての力、すなわち、流体軸受力ｆ
hm，ｆh1，ｆh2、接触力ｆc 、押付け力Ｆは釣合う。そ
してこの力の釣合から接触力ｆc を求めることができ
る。今、主スライダ32の面積が第１の副スライダ34およ
び第２の副スライダ36と比較して十分に大きいことか
ら、主スライダ32の側部の浮上量をｄm とした場合に
は、ｄm は流体力ｆhmと押付け力Ｆとの釣合だけで定め
ることができる。そして、図19に示したように、主スラ
イダ32の中心には磁気ディスク101 からｄm だけ離れた
位置に仮想的に回転中心38が規定されることになる。こ
の仮想回転中心38回りの磁気ヘッドスライダ31の回転角
Θが、磁気ヘッドスライダ31の姿勢を決めるために必要
なパラメータとなる。

【００８３】回転角Θは第１の副スライダ34で発生する
流体軸受力ｆh1と接触力ｆc と、第２の副スライダ36で
発生する流体軸受力ｆh2との力のバランスで定まる。

【００８４】ここで、第１の副スライダ34は第２の副ス
ライダ36に比べて十分に面積が小さいことから、第１の
副スライダ34で発生する流体軸受力ｆh1は第２の副スラ
イダ36で発生する流体軸受力ｆh2に比べて無視できる程
度の大きさである。したがって、接触力ｆc は次式のよ
うに表すことができる。

【００８５】

【数４】 ここで大切な点は、接触力ｆc は第２の副スライダ36で
発生する流体軸受力ｆh2を（ｌ2 ／ｌ1 ）の比で縮小し
た値で一定値となることである。

【００８６】次に、第２の副スライダ36に発生する流体
軸受力ｆh2を規定するパラメータについて考える。ここ
で第２の副スライダ36の浮上量をｄ2 とすると、浮上量
ｄ2と流体軸受力ｆh2との関係は図22に示すように、浮
上量ｄ2 が増加するほど流体軸受力ｆh2が減少する関係
になる。

【００８７】また、浮上量ｄ2 と流体軸受力ｆh2とによ
り発生する仮想回転中心38回りの回転モーメントＭ2 は
次のとおりとなる。

【００８８】

【数５】 そして図22と( 式５) とにより、浮上量ｄ2 と回転モー
メントＭ2 との間には図23の関係が成立する。

【００８９】一方、先に述べた磁気ヘッドスライダ31の
主スライダ32の浮上量ｄm は一義的に定まるため、仮想
回転中心38が一定位置に固定される。そのため、第２の
副スライダ36の浮上量ｄ2 と第１の連結ビーム33の曲げ
変形による接触端5 の変位量ｄc との関係は、傾き角が
小さい時は次式のように近似できる。

【００９０】

【数６】 そして( 式６) の関係は図24に示ように直線となる。

【００９１】ただし( 式６) における変位量ｄc は正の
値を示す時のみ有効である。すなわち、( 式６) におい
てｄc が負の値を示す時は実際には接触端5 が磁気ディ
スク101 に接触していない状態を意味しており、その場
合にはｄc の絶対値は磁気ディスク101 からの浮上量を
示すことになる。

【００９２】また、この接触端5 が第１の連結ビーム33
に対して変位量ｄc を与える際、第１の連結ビーム33に
作用する歪によって磁気ディスク101 への接触力ｆc が
発生する。ここで接触力ｆc と変位量ｄc との関係は次
式で表現される。

【００９３】

【数７】 なお、ここでｋは第１の連結ビーム33の曲げ方向のバネ
定数であり、第１の連結ビーム33の材料や形状によって
決定される定数である。そして図24と( 式７)とにより
図25の関係が成立する。

【００９４】以上のことから、第２の副スライダ36の浮
上量ｄ2 と、接触端5 の変位量ｄcにより発生する仮想
回転中心38回りの回転モーメントＭc との関係は、図26
に示すようになる。

【００９５】そして、図23と図26との関係から、第２の
副スライダ36の浮上量ｄ2 は図27に示すように一義的に
定まることになる。例えば第２の副スライダ36の浮上量
がｄ2 ０であるとすると、第１の副スライダ34の接触力
ｆc ０は図25から一義的に定まることになる。

【００９６】すなわち、接触力ｆc ０はピボット7 の位
置に作用する押付け力Ｆの影響を受けることはなく、第
１の連結ビーム33のバネ剛性と第２の副スライダ36のス
ライダ形状（面積）にのみ依存することになる。そのた
めに、磁気ヘッドスライダ31の組立て誤差によって得ら
れる接触力ｆc ０がバラつく恐れを極めて少なく抑える
ことができるといった実用上多大な効果が得られる。

【００９７】また、磁気ヘッドスライダ31の重心Ｇの位
置と主スライダ32の流体軸受力ｆhmが作用する位置とは
ほぼ一致している。そのため、外乱が作用した場合には
慣性力は重心位置に作用し、その慣性力を打消す力は全
て主スライダ32の流体軸受力ｆhmの変化で吸収されるの
で、接触力ｆc はほとんど変動することがない。このた
め磁気ヘッドスライダ31は安定した接触状態を保つこと
ができるので、記録再生ヘッド4 や磁気ディスク101 が
損傷を受ける危険性が少なくなり装置の寿命を長くする
ことができる。

【００９８】ここで、重心Ｇを主スライダ32上に設定す
るために必要な第１の副スライダ34および第１の連結ビ
ーム33に対するバランス重りの役割を、第２の副スライ
ダ36および第２の連結ビーム35が果たしている。これら
の構成要素の関係を適当に設定することにより、磁気ヘ
ッドスライダ31の小形軽量化を図ることができる。

【００９９】続いて図28乃至図30を参照して本発明の第
６実施例を説明する。ここで、図28は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図29は側面
図、図30は斜視図である。

【０１００】本実施例が第５実施例と異なる点は、主ス
ライダがさらに２本のスライダで構成されている点にあ
る。すなわち本実施例では第１の連列ビーム33と第２の
連結ビーム35との間に２本の平行なスライダ32a,32b が
配置されている。

【０１０１】このように主スライダが２本の平行なスラ
イダ32a,32b で形成されると、上述の実施例の効果はも
とより、ピボット7 の位置が磁気ディスク101 の径方向
にずれてしまうことに対しても接触力ｆc の変動を少な
く抑えることができる。これは図31に示すように、主ス
ライダ2 と押付け力Ｆとで定まる仮想回転中心（第５実
施例を示す図19における符号38）の位置が、ピボットの
位置に対して分散して鈍感になるからである。

【０１０２】続いて図32乃至図34を参照して本発明の第
７実施例を説明する。ここで、図32は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図33は側面
図、図34は斜視図である。

【０１０３】本実施例が第５実施例と異なる点は、第１
の連結ビーム33および第２の連結ビーム35の形状にあ
る。

【０１０４】まず第１の連結ビーム33は、主スライダ32
の先端部から横方向（磁気ディスク101 の径方向）に張
り出したレバー39の端部付近に固定され、そこから空気
流出端に向けて延びている。第１の連結ビーム33のさら
に後端には、第１の副スライダ34が取り付けられてい
る。レバー39は第１の連結ビーム33よりも剛性が高く設
定されている。なお、レバー39は図33に示した位置より
も上方（磁気ディスク101 から離れた位置）に取付けら
れてもよい。

【０１０５】一方第２の連結ビーム35は、空気流出端に
向かって主スライダ32とほぼ同じ長さを有している。第
２の連結ビーム35の側面には、同じく主スライダ32とほ
ぼ同じ長さの第２の副スライダ36が配置されている。

【０１０６】なお、第１の副スライダ34および第２の副
スライダ36の大きさ（面積）は、ここでは第５，第６実
施例と同じ大きさに設定されている。

【０１０７】このように構成された本実施例によれば、
仮に磁気ディスク101 上に異物があるような場合でもレ
バー39との衝突の可能性が高くなる（あるいはレバー39
と磁気ディスク101 との間を通り抜ける）ため、磁気ヘ
ッドスライダ31と異物との直接的な衝突を避けることが
できる。なお、異物がレバー39と衝突して発生する摩擦
力により、第１の連結ビーム33が振動してしまうことが
防止される。

【０１０８】なお、図35は突起部の変形例を示した斜視
図である。本変形例が図16に示した第５実施例のものと
異なる点は、主スライダ32上に略四角錐に形成された突
起部11が設けられ、その頂点部分がピボット7 の位置と
なっている点にある。そして図36の断面図に示すよう
に、突起部11の先端部分（頂点部分）を介してサスペン
ション104 の先端から磁気ヘッドスライダ31に対して所
定の押付け力Ｆを付与する構成になっている。

【０１０９】なお、突起部11の形成方法などその他の構
造については、図７に示した第１実施例のものと同じで
あるのでここでは説明を省略する。

【０１１０】続いて図37乃至図39を参照して本発明の第
８実施例を説明する。ここで、図37は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図38は図37
中のＤ−Ｄ線，Ｅ−Ｅ線断面図、図39は斜視図である。
この実施例での記録再生ヘッドスライダの構造は先の各
実施例のものとは大きく異なっている。

【０１１１】ここで磁気ヘッドスライダ41は、略Ｕ字型
をなした主スライダ42と、この主スライダ42の空間部分
中央に配置され空気流出端に延びる、弾性係数が比較的
高く撓みやすい連結ビーム43と、この連結ビーム43の端
部に位置する副スライダ44とで構成されている。

【０１１２】主スライダ42は左右に第１の主スライダ42
a と第２の主スライダ42b を備えており、それぞれの主
スライダ42a,42b の面積は図37に示すように等しく形成
されている。

【０１１３】連結ビーム43は横方向（磁気ディスク101
の径方向）に対してはねじりモーメントによる曲げ変形
を発生しやすく、その一方で縦方向（磁気ディスク101
の厚み方向）に対しては曲げ変形を発生しにくくするた
めに、図38(b) に示すように、上下方向の長さを横方向
の長さに対して十分に大きく設定してある。

【０１１４】副スライダ44は図37および図38(a) に示さ
れるように、第１の副スライダ44aと第２の副スライダ4
4b を備えている。第１の副スライダ44a の面積は第２
の副スライダ44b の面積と比較して例えば1/2 以下の幅
（1/2 以下の面積）に形成されている。また、第１の副
スライダ44a の後端部付近には記録再生ヘッド4 および
接触端5 が配置されている。また、連結ビーム43の延長
線上に副スライダ44の重心がくるように構成されてい
る。

【０１１５】なお、主スライダ42，連結ビーム43，副ス
ライダ44は一体的にエッチングなどの方法により製作さ
れている。また、記録再生ヘッド4 は副スライダ44に対
して蒸着やエッチングなどの方法により形成されてい
る。

【０１１６】このような磁気ヘッドスライダ41の上部に
対しては、図41の断面図に示されるように、補強プレー
ト45が拡散接合などの手段により取付けられている。補
強プレート45は主スライダ42を構成する第１の主スライ
ダ42a と第２の主スライダ42b とが常に同一平面を形成
するように（互いにねじれることのないように）用いら
れており、その形状は磁気ヘッドスライダ41の上面をち
ょうど覆うような矩形状の平板である。

【０１１７】そして、この補強プレート45はサスペンシ
ョン104 の先端部に取付けられたジンバル10の先端部に
接着などの手段により固定されている。ジンバル10は平
面状の金属製板バネからなり、磁気ディスク101 の面と
ほぼ平行に固定されている。したがって面内方向には十
分な剛性を有するが、傾き方向および曲げ方向には柔軟
な構造となっている。

【０１１８】また、図41に示されるように、サスペンシ
ョン104 の先端付近には突起部37が形成され、補強プレ
ート45の中央付近に対して所定の押付け力Ｆを付与する
構成になっている。補強プレート45の中央付近に押付け
力Ｆを付与することにより、この実施例ではちょうど中
空となっているピボットの位置に押付け力を作用させる
ことができる。

【０１１９】このような本実施例の動作について説明す
る。

【０１２０】第１および第２の主スライダ42a,42b の面
積は第１および第２の副スライダ44a,44b の面積に比べ
て十分に大きいものとなっている。そのため、主スライ
ダ42で発生する流体軸受力に比べて副スライダ44で発生
する流体軸受力は無視することのできる程度の大きさと
考えることができる。したがって、第１の主スライダ42
a で発生する流体軸受力ｆhm1 、第２の主スライダ42b
で発生する流体軸受力ｆhm2 、そしてサスペンション10
4 が突起部37を介して作用させる押付け力Ｆの力の釣合
いにより磁気ヘッドスライダ41の浮上量ｄm が定まる。

【０１２１】そして、このような状態によれば第１の副
スライダ44a の後端部の浮上量は主スライダ42の浮上量
ｄm と同じとなる。

【０１２２】しかしながら実際の副スライダ44は、図42
の断面図に示すような浮上状態をなしている。すなわ
ち、第１の副スライダ44a よりも十分に面積が大きな第
２の副スライダ44b には流体軸受力ｆh2が発生し、これ
により連結ビーム43がねじれ変形を起こして副スライダ
44全体が傾く。そして同図からも明らかなように、第１
の副スライダ44a の空気流出端に形成された記録再生ヘ
ッド4 は、磁気ディスク101 にさらに近づく（または接
触する）ことになる。

【０１２３】ここで、連結ビーム43は前述のように横方
向には曲げ変形が発生しやすく、縦方向には曲げ変形を
発生しにくいように形成されている。したがって副スラ
イダ44の姿勢については、連結ビーム43との接続部46
（図42に示した回転中心）回りのねじり変形のみを考慮
すればよいことになる。

【０１２４】さらに、第１の副スライダ44a が磁気ディ
スク101 と接触していない状態での浮上量をｄ1 、接触
時の接触力をｆc 、第２の副スライダ44b の浮上量をｄ
2 とすると、第１の副スライダ44a で発生する流体軸受
力ｆhs1 は第２のスライダ44b で発生する流体軸受力ｆ
hs2 に比べて十分に小さいことから、ｆhs2 とｄ2 との
関係は図43に示すようになる。図43によれば、浮上量ｄ
2 が小さくなると流体軸受力ｆhs2 が大きくなることが
わかり、その結果として、第２の副スライダ44b で発生
する流体軸受力ｆhs2 による接続部46回りの回転モーメ
ントＭ2 は次のように表される。

【０１２５】

【数８】 この関係は図44に示すように、図43と相似形となる。な
お、ここでｌ2 は接続部46から流体軸受力ｆhs2 の作用
点までの距離を表しており、この値は第２の副スライダ
44b のスライド面の中心までの距離とほぼ等しい。

【０１２６】また、連結ビーム43のねじりモーメントＭ
d は回転角に比例し、次式のようになる。

【０１２７】

【数９】 この関係は図45に示される。ここでＧは連結ビーム43の
断面形状と、上記ｌ2とによって定まる定数である。

【０１２８】そしてこのような力の釣合いの関係から、
まず最初に、第１の副スライダ44aが磁気ディスク101
と接触している状態について述べる。

【０１２９】接触力ｆc により発生する回転モーメント
をＭfcとすると、Ｍfcは次のようになる。

【０１３０】

【数１０】 ここでｌ1 は、接続部46から接触端5 までの距離であ
る。

【０１３１】そして、これらＭ2 ，Ｍd ，Ｍfcが互いに
釣合いを保つためには、第１の副スライダ44a の接触力
ｆc は次式のようになる。

【０１３２】

【数１１】 一方、副スライダ44は接続部46を中心にして回転移動
し、この接続部46の主スライダ42のスライダ面からの高
さはｄm である。このため、第１の副スライダ44a の浮
上量ｄ1 と第２の副スライダ44b の浮上量ｄ2 との関係
は次のとおりである。

【０１３３】

【数１２】 ここで、第１の副スライダ44a が接触しているという条
件からｄ1 が０となり、次式が成立する。

【０１３４】

【数１３】 この( 式13) の結果を先の( 式11) に代入することによ
り、ｆc が一義的に定まる。

【０１３５】

【数１４】 ここで、ｆhs2 は図43に示す関係から求められる。

【０１３６】以上のように、第１の副スライダ44a の接
触力ｆc は、比例係数Ｇすなわち連結ビーム43の形状
と、第２のスライダ44b で発生する流体軸受力ｆhs2
と、第２の副スライダ44b の浮上量（すなわち第２のス
ライダ44b のスライド面の形状）の関係により一義的に
定まるものであり、主スライダ42の取付け誤差などの要
因はほとんど含まれていないことがわかる。この理由
は、主スライダ42の浮上量ｄm よりも、第２の副スライ
ダ44b の浮上量の方が大きくなるため、主スライダ42の
浮上量ｄm のバラツキがもたらす接触力の変動の影響を
少なくできるためである。

【０１３７】そしてこのことは、( 式14) の右辺第１項
ｆhs2 が図43からも明らかなように、その浮上量が大き
いところではその変化が小さくなることと、また同式で
ｌ1＞ｌ2 とすると右辺第２項のｄm の変化は( ｌ2 ／
ｌ1 ２) で圧縮されることからも理解できる。

【０１３８】また、連結ビーム43や副スライダ44はシリ
コンプロセスなどを利用して高精度に一体的に製作する
ことができるため、組立誤差などの影響を受けることが
なく、比例係数Ｇのバラツキを非常に小さく抑えられる
ことも、高精度な接触力ｆcを得るために貢献してい
る。

【０１３９】次に、第１の副スライダ44a が磁気ディス
ク101 とは接触せずに、わずかに浮上するように設計し
た場合の浮上量ｄ1 の変動について説明する。

【０１４０】先に示したモーメントの釣合いは、第１の
副スライダ44a の接触力ｆc が０であるために、連結ビ
ーム43のねじりモーメントＭd と、第２の副スライダ44
b に発生する流体軸受力ｆ2 による接続部46回りの回転
モーメントＭ2 との釣合いにより定まっている。すなわ
ち、図43および図44の関係から得られる図46に示される
ように、両曲線の交点がＭd とＭ2 が等しくなる浮上量
ｄ2oを示し、そのときの第１の副スライダ44a の浮上量
ｄ1 は、( 式12) より次式で与えられる。

【０１４１】

【数１５】 この場合はｌ2 ＞ｌ1 とすることにより、第２の副スラ
イダ44b の浮上量の変動の影響を少なくすることができ
る。

【０１４２】次に、外乱として装置に衝撃力等が作用し
た場合の挙動について述べる。

【０１４３】連結ビーム43の延長線上に副スライダ44の
重心がくるように構成してあるために、装置に衝撃力が
作用した場合にも連結ビーム43にはねじり変形が発生す
ることがなく、曲げ変形のみが発生することになる。

【０１４４】ところが連結ビーム43の断面形状は磁気デ
ィスク101 面と垂直な方向に長い形状をしていることか
ら、磁気ディスク101 面と垂直な方向の曲げ変形は起こ
りにくい形状になっている。

【０１４５】このようなことから、実質的には衝撃力に
よる影響はほとんど受けない構成になっている。

【０１４６】続いて図47を参照して本発明の第９実施例
を説明する。ここで、図47は記録再生ヘッドスライダで
ある磁気ヘッドスライダの斜視図である。

【０１４７】本実施例が第８実施例と異なる点は、サス
ペンション104 に対する磁気ヘッドスライダ41の固定方
法にある。すなわち、第８実施例では図41に示されるよ
うな層構造を介して磁気ヘッドスライダ41とサスペンシ
ョン104 とが固定されている。これに対して本実施例で
は、磁気ヘッドスライダ41がサスペンション104 に直接
固定されている。

【０１４８】磁気ヘッドスライダ41の上面部には図47に
示されるように、主スライダ42の空気流入端から連結ビ
ーム43，副スライダ44を経て記録再生ヘッド4 に至るま
で、アルミ蒸着またはエッチングなどの方法によって配
線パターンが形成されている。

【０１４９】一方、これに対向するサスペンション104
側には図示しない配線パターンが対応して形成されてお
り、両者はちょうど主スライダ42の空気流入端の部分に
接点を有し、この接点の部分で半田や金によって接合が
図られている。なお、配線パターンはサスペンション10
4 の根元を通じて装置本体へ導かれている。

【０１５０】また、サスペンション104 には図48に示す
ような細いスリット47が設けられている。このスリット
47は、磁気ヘッドスライダ41の取付け面48を包囲するよ
うに形成されており、取付け面48に固定された磁気ヘッ
ドスライダ41をＸ軸回りおよびＹ軸回りに回転させるこ
とができるようになっている。

【０１５１】本実施例では第８実施例と同様に、ピボッ
トの位置についての制約が比較的緩いため組立も容易で
ある。つまり、上述のように、サスペンション104 に設
けられた取付け面48の回転中心が磁気ヘッドスライダ41
の中心付近となるように組立てられればよく、これによ
って組立性を飛躍的に向上させることができるといった
実用上多大な効果が得られる。

【０１５２】続いて図49乃至図51を参照して本発明の第
10実施例を説明する。ここで、図49は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図50は図49
中のＦ−Ｆ線，Ｇ−Ｇ線断面図、図51は斜視図である。

【０１５３】本実施例においては、主スライダ42および
連結ビーム43の形状に特徴がある。

【０１５４】図49に示すように、本実施例における主ス
ライダ42はロ字型形状をなし、この中に包囲されるよう
に連結ビーム43および副スライダ44が設けられている。

【０１５５】また、連結ビーム43は前述の第８，第９実
施例のような片持ち方式ではなく、両持ち方式を採用し
ている。連結ビーム43は、空気流入端に近い第１連結ビ
ーム43a と、空気流出端に近い第２連結ビーム43b とか
らなっている。

【０１５６】また、第１連結ビーム43a と第２連結ビー
ム43b とはその長さがほぼ等しく形成され、副スライダ
44は主スライダ42が形成する空間のほぼ中心に位置して
いる。副スライダ44の重心位置はちょうど２本の連結ビ
ーム43a,43b を結ぶ直線上に設定されている。

【０１５７】このように、副スライダ44を前後両側から
支持する方式を採用しているため、Ｙ軸回りの剛性を前
述の２つの実施例と同じ値に設定したとしても、Ｘ軸方
向およびＺ軸方向の剛性を飛躍的に高くすることができ
る。したがって、外乱による影響を更に小さく抑えるこ
とができるようになる。

【０１５８】続いて図52乃至図54を参照して本発明の第
11実施例を説明する。ここで、図52は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図53は側面
図、図54は斜視図である。

【０１５９】本実施例においては、連結ビーム43の取付
け位置が空気流入方向と直交する方向となっており、ま
た両持ち方式を採用している。連結ビーム43は、左右に
配置された右連結ビーム43c と左連結ビーム43d とから
なっている。

【０１６０】副スライダ44は、空気流入側にはスライダ
44c を、空気流出側にはレバー44dを、それぞれ備えて
いる。スライダ44c はレバー44d に比べて幅が大きく形
成されており、流体軸受作用を受けやすい形状となてい
る。レバー44d はその一部に連結ビーム43c,43d を接続
しており、空気流出端には記録再生ヘッド4 および接触
端5 が形成されている。なお、副スライダ44の重心位置
はちょうど２本の連結ビーム43c,43d を結ぶ直線上とな
るように設定されている。

【０１６１】この実施例においても副スライダ44の接触
力ｆc が定まるメカニズムは第10実施例と同じである
が、副スライダ44が空気の流れる方向に向かって長尺な
形状となっているために、副スライダ44の回転中心（接
続部46）から接触端5 までの距離ｌ1 を長く設定するこ
とができる。そのため、接触力ｆc の変動をさらに小さ
くすることができるという効果がある。

【０１６２】続いて図55乃至図57を参照して本発明の第
12実施例を説明する。ここで、図55は記録再生ヘッドス
ライダである磁気ヘッドスライダの背面図、図56は側面
図、図57は斜視図である。

【０１６３】本実施例ではレバー44d の上部にさらにテ
ーブル49を備えた形状をなしており、主スライダ42の上
部に拡散接合などの手段により取り付けられた補強プレ
ート45との間に２μｍ程度の隙間が設定されている。な
お、テーブル49とスライダ44c のそれぞれの上面は同一
平面となっている。

【０１６４】このような構造の本実施例によれば、前述
の第11実施例と同様の効果が得られることはもちろん、
補強プレート45とテーブル49との間に形成される隙間
（エアギャップ）6 に作用するスクイズフィルム効果に
より効果的なダンピングが作用する。そのため、副スラ
イダ44に異常な振動が発生することが防止され、記録再
生特性を安定化させることができる。

【０１６５】以上、本発明について説明したが、本発明
はこれら実施例に限定されるものではなく、その要旨を
変更しない範囲で種々の変形が可能である。

【０１６６】例えば上述の実施例では突起部の形状とし
て種々のものを示したが、これらはいずれの磁気ヘッド
スライダと組み合わせてもよい。もちろん、サスペンシ
ョン側に突起部を取り付けた図21のような形態を任意の
磁気ヘッドスライダに適用することも可能である。

【０１６７】また、上述の実施例では図２に示したよう
に、記録再生ヘッドや接触端が第１のスライダの中心線
に位置するものを例示して説明したが、記録再生ヘッド
や接触端が第１のスライダの端面（図２中右端）に位置
するように構成することもできる。前者の場合には記録
再生ヘッドの電気絶縁を保つ上で効果があり、また後者
の場合には記録・再生特性が向上する点で効果がある。

【０１６８】また、本発明はいわゆるロータリアクチュ
エータにより位置決め駆動される磁気ディスク装置に限
らず、リニアアクチュエータ等を有する他の磁気ディス
ク装置においても同様の効果が期待できることは言うま
でもない。

【０１６９】上述の各実施例では、記録再生ヘッドスラ
イダの一例として磁気ヘッドスライダを、また記録再生
装置の一例として磁気ディスク装置について説明した。
しかしながら本発明はこの実施形態に限ることなく、例
えば光情報記録再生装置等の他の記録再生装置にも応用
が可能である。

【０１７０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、記
録再生ヘッドスライダが情報記録媒体上をその半径方向
に移動することによって情報記録媒体の接線方向の流体
力の位置は変動しても、情報記録媒体の半径方向の流体
力の位置はほとんど変化しない。そのため、情報記録媒
体と記録再生ヘッドとの接触力には変動が発生しない。
また、情報記録媒体の振動や装置に加わる衝撃にともな
い慣性力の変化があっても、そのほとんどが流体力の剛
性によって支えられることになる。そのため、記録再生
ヘッドに作用する接触力の変動を小さく抑えることがで
きる。

【０１７１】したがって、情報記録媒体と記録再生ヘッ
ドとの接触力が大きく変動せず、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図２】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。

【図３】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図４】図１中のＡ−Ａ線断面図。

【図５】図１中のＢ−Ｂ線断面図。

【図６】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの
取り付け方法を示す図。

【図７】記録再生ヘッドスライダに形成された突起部を
示す斜視図。

【図８】記録再生ヘッドスライダに形成された突起部を
示す断面図。

【図９】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図10】図９中のＣ−Ｃ線断面図。

【図11】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図12】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図13】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。

【図14】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図15】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。

【図16】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図17】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの側面図。

【図18】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図19】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。

【図20】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの
取り付け方法を示す図。

【図21】サスペンションに形成された突起部を示す断面
図。

【図22】浮上量ｄ2 と流体軸受力ｆh2との関係を示す
図。

【図23】浮上量ｄ2 と回転モーメントＭ2 との関係を示
す図。

【図24】浮上量ｄ2 と接触端の変位量ｄc との関係を示
す図。

【図25】浮上量ｄ2 と接触力ｆc との関係を示す図。

【図26】浮上量ｄ2 と仮想回転中心回りの回転モーメン
トＭc との関係を示す図。

【図27】浮上量ｄ2 と回転モーメントＭとの関係を示す
図。

【図28】本発明の第６実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図29】本発明の第６実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの側面図。

【図30】本発明の第６実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図31】本発明の第６実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。

【図32】本発明の第７実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図33】本発明の第７実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの側面図。

【図34】本発明の第７実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図35】サスペンションに形成された突起部を示す斜視
図。

【図36】サスペンションに形成された突起部を示す断面
図。

【図37】本発明の第８実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図38】図37中のＤ−Ｄ線，Ｅ−Ｅ線断面図。

【図39】本発明の第８実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図40】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの
取り付け方法を示す図。

【図41】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの
取り付け方法を示す図。

【図42】副スライダの浮上状態を示す断面図。

【図43】浮上量ｄ2 と流体軸受力ｆhs2 との関係を示す
図。

【図44】浮上量ｄ2 と回転モーメントＭとの関係を示す
図。

【図45】浮上量ｄ2 と連結ビームのねじりモーメントＭ
d との関係を示す図。

【図46】浮上量ｄ2 とモーメントＭとの関係を示す図。

【図47】本発明の第９実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図48】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの
取り付け方法を示す図。

【図49】本発明の第10実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図50】図49中のＦ−Ｆ線，Ｇ−Ｇ線断面図。

【図51】本発明の第10実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図52】本発明の第11実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図53】本発明の第11実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの側面図。

【図54】本発明の第11実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図55】本発明の第12実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。

【図56】本発明の第12実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの側面図。

【図57】本発明の第12実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。

【図58】本発明が適用される一例である磁気ディスク装
置の概略構成を示す斜視図。

【図59】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの断面
図であり、力およびモーメントの釣合いを説明する図。

【図60】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの背面
図。

【図61】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの断面
図であり、慣性力，接触力，流体力の釣合いを説明する
図。

【符号の説明】

１,31,41 磁気ヘッドスライダ（記録再生ヘッドスライ
ダ） ２ 第１のスライダ ３ 第２のスライダ ４ 記録再生ヘッド（記録再生部） ５ 接触端 ７ ピボット（ピボット位置） 10 ジンバル 11,37 突起部 12 カウンタウエイト 13 第３のスライダ 32,32a,32b,42,42a,42b 主スライダ 33 第１の連結ビーム 34 第１の副スライダ 35 第２の連結ビーム 36 第２の副スライダ 38 仮想回転中心 39 レバー 43,43a,43b,43c,43d 連結ビーム 44,44a,44b,44c,44d 副スライダ 45 補強プレート 47 スリット 49 テーブル 101 磁気ディスク 104 サスペンション

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】情報記録媒体と対向配置される第１のスラ
   イダと、 前記情報記録媒体との対向面が前記第１のスライダより
   も大に形成され、前記第１のスライダとともに前記情報
   記録媒体から流体軸受作用による浮上力を受ける第２の
   スライダと、 前記第１のスライダの端部付近に固定され前記情報記録
   媒体に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドとを
   有し、 前記第１および第２のスライダを備えて流体軸受力によ
   り前記情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前記
   第１のスライダよりも前記第２のスライダに近い位置に
   前記情報記録媒体に対する押付け力の作用点を設けてな
   ることを特徴とする記録再生ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】前記押付け力の作用点に突起を形成してな
   ることを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスラ
   イダ。
3. 【請求項３】前記第２のスライダの、前記第１のスライ
   ダに対して反対の側にカウンタウエイトを設けてなるこ
   とを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスライ
   ダ。
4. 【請求項４】前記第２のスライダの、前記第１のスライ
   ダに対して反対の側に第３のスライダを設けてなること
   を特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスライダ。
5. 【請求項５】情報記録媒体と対向配置される主スライダ
   と、 第１の連結部を介して前記主スライダと接続し、前記情
   報記録媒体との対向面が前記主スライダよりも小に形成
   された第１の副スライダと、 前記第１の連結部よりも高い剛性を有する第２の連結部
   を介して前記主スライダと接続し、前記情報記録媒体と
   の対向面が前記主スライダよりも大に形成された第２の
   副スライダと、 前記第１の副スライダの端部付近に固定され前記情報記
   録媒体に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと
   を有し、 前記主スライダ，前記第１および第２の副スライダを備
   えて流体軸受力により前記情報記録媒体上での浮上力を
   得るとともに、前記主スライダ上の位置に前記情報記録
   媒体に対する押付け力の作用点を設けてなることを特徴
   とする記録再生ヘッドスライダ。
6. 【請求項６】前記押付け力の作用点に突起を形成してな
   ることを特徴とする請求項５記載の記録再生ヘッドスラ
   イダ。
7. 【請求項７】前記主スライダを２本のスライダとしたこ
   とを特徴とする請求項５記載の記録再生ヘッドスライ
   ダ。
8. 【請求項８】情報記録媒体と対向配置されるとともに２
   本のスライダを備える主スライダと、 前記２本のスライダ間に連結部を介して接続されるとと
   もに、前記情報記録媒体との対向面積の異なる２本のス
   ライダを備える副スライダと、 前記副スライダのうち前記対向面積の小さいスライダの
   端部付近に固定され前記情報記録媒体に対して情報の記
   録再生を行う記録再生ヘッドとを有し、 前記主スライダ，副スライダを備えて流体軸受力により
   前記情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前記主
   スライダに対して前記副スライダ上から押付け力を作用
   させてなることを特徴とする記録再生ヘッドスライダ。
9. 【請求項９】前記主スライダ上にプレートを固定してな
   ることを特徴とする請求項８記載の記録再生ヘッドスラ
   イダ。
10. 【請求項10】前記主スライダ上に固定されたプレートを
    介して押付け力を作用させてなることを特徴とする請求
    項９記載の記録再生ヘッドスライダ。
11. 【請求項11】情報記録媒体と、 前記情報記録媒体に対して情報の記録再生を行う記録再
    生ヘッドを備え、 前記記録再生ヘッドスライダは、前記情報記録媒体と対
    向配置される第１のスライダと、 前記情報記録媒体との対向面が前記第１のスライダより
    も大に形成され、前記第１のスライダとともに前記情報
    記録媒体から流体軸受作用による浮上力を受ける第２の
    スライダとを有し、 前記第１および第２のスライダを備えて流体軸受力によ
    り前記情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前記
    第１のスライダよりも前記第２のスライダに近い位置に
    前記情報記録媒体に対する押付け力の作用点を設けてな
    ることを特徴とする記録再生装置。
12. 【請求項12】前記押付け力の作用点に突起を形成してな
    ることを特徴とする請求項11記載の記録再生装置。
13. 【請求項13】前記第２のスライダの、前記第１のスライ
    ダに対して反対の側にカウンタウエイトを設けてなるこ
    とを特徴とする請求項11記載の記録再生装置。
14. 【請求項14】前記第２のスライダの、前記第１のスライ
    ダに対して反対の側に第３のスライダを設けてなること
    を特徴とする請求項11記載の記録再生装置。
15. 【請求項15】情報記録媒体と、 前記情報記録媒体に対して情報の記録再生を行う記録再
    生ヘッドを備え、 前記記録再生ヘッドスライダは、前記情報記録媒体と対
    向配置される主スライダと、 第１の連結部を介して前記主スライダと接続し、前記情
    報記録媒体との対向面が前記主スライダよりも小に形成
    された第１の副スライダと、 前記第１の連結部よりも高い剛性を有する第２の連結部
    を介して前記主スライダと接続し、前記情報記録媒体と
    の対向面が前記主スライダよりも大に形成された第２の
    副スライダと、 前記第１の副スライダの端部付近に固定され前記情報記
    録媒体に対して情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと
    を有し、 前記主スライダ，前記第１および第２の副スライダを備
    えて流体軸受力により前記情報記録媒体上での浮上力を
    得るとともに、前記主スライダ上の位置に前記情報記録
    媒体に対する押付け力の作用点を設けてなることを特徴
    とする記録再生装置。
16. 【請求項16】前記押付け力の作用点に突起を形成してな
    ることを特徴とする請求項15記載の記録再生装置。
17. 【請求項17】前記主スライダを２本のスライダとしたこ
    とを特徴とする請求項15記載の記録再生装置。
18. 【請求項18】情報記録媒体と、 前記情報記録媒体に対して情報の記録再生を行う記録再
    生ヘッドを備え、 前記記録再生ヘッドスライダは、前記情報記録媒体と対
    向配置されるとともに２本のスライダを備える主スライ
    ダと、 前記２本のスライダ間に連結部を介して接続されるとと
    もに、前記情報記録媒体との対向面積の異なる２本のス
    ライダを備える副スライダと、 前記副スライダのうち前記対向面積の小さいスライダの
    端部付近に固定され前記情報記録媒体に対して情報の記
    録再生を行う記録再生ヘッドとを有し、 前記主スライダ，副スライダを備えて流体軸受力により
    前記情報記録媒体上での浮上力を得るとともに、前記主
    スライダに対して前記副スライダ上から押付け力を作用
    させてなることを特徴とする記録再生装置。
19. 【請求項19】前記主スライダ上にプレートを固定してな
    ることを特徴とする請求項18記載の記録再生装置。
20. 【請求項20】前記主スライダ上に固定されたプレートを
    介して押付け力を作用させてなることを特徴とする請求
    項19記載の記録再生装置。