JPH08197337A - 微細放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、三次元形状の加工を高精度に行な
うことができる微細放電加工装置を提供する。 【構成】 本発明の微細放電加工装置１は、被加工物１
３が絶縁液１６に浸されて配置された加工槽１２と、微
細径ワイヤと支持部材とを一体化した電極２４と、前記
電極２４を着脱手段を介して着脱可能に保持する電極軸
１７と、前記電極２４と前記被加工物１３の間に放電電
力を供給する電源３１と、複数の交換用電極を着脱手段
を介して着脱可能に保持する交換用電極保持手段と、前
記電極軸１７に保持された電極２４の消耗量を測定し交
換の要否を判断する判断手段と、この判断手段の判断結
果に基づき前記電極２４と前記交換用電極との交換を制
御する電極交換制御手段と、前記電極２４と前記被加工
物１３及び前記電極２４と前記交換電極保持手段とを各
々相対的に位置決めする駆動手段とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微細放電加工装置に関
し、より詳しくは、マイクロ部品、マイクロ金型等の加
工に好適な微細放電加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、内視鏡等医療機器をはじめ、精密
機器、マイクロマシン開発等において部品の微小化、高
精度化が要望されている。この要望に応える加工装置と
して微細放電加工装置が開発されている。従来の微細放
電加工装置としては、「応用機械工学１９９１年１２月
号１２４乃至１２９頁（発行所：株式会社大河出版）」
に記載されている構成が知られている。

【０００３】以下、図９を参照して従来の微細放電加工
装置について説明する。この微細放電加工装置は、図９
に示すように、電極１０１と、加工槽１０２内の絶縁液
１０３に浸された被加工物１０４とに電源１０５を接続
している。電極１０１はＺ方向駆動手段１０６によりＺ
方向に駆動可能となっており、被加工物１０４はＸＹ方
向駆動手段１０７によりＸＹ方向に駆動可能となってい
る。前記Ｚ方向駆動手段１０６及びＸＹ方向駆動手段１
０７は、位置決め制御部１０８に接続されている。

【０００４】この微細放電加工装置において、前記電源
１０５により電極１０１、被加工物１０４間に放電電力
を印加しながら、電極１０１と被加工物１０４とを接近
させると、電極１０１と被加工物１０４との間に放電が
生じ、被加工物１０４の電極１０１に対向する部分が溶
融除去される。

【０００５】この場合に、前記位置決め制御部１０８に
よりＺ方向駆動手段１０６及びＸＹ方向駆動手段１０７
が制御され、電極１０１と被加工物１０４とが任意位置
に位置決めされ、三次元形状の加工が行なわれる。この
際、電極１０１として微細径の電極を使用し、単発の放
電エネルギーを微小にすることにより、被加工物１０４
の微細な加工が可能となる。

【０００６】次に、図１０を参照して従来の微細放電加
工装置に用いる電極保持手段について説明する。この電
極保持手段は、図１０に示すように、筒状に形成した回
転マンドレル１１１を備え、この回転マンドレル１１１
の先端部にセラミックからなる案内管１１２が装着さ
れ、この案内管１１２の内側にセラミックからなる支持
管１１３が挿入保持されている。前記電極１０１は微細
径ワイヤからなり前記支持管１１３に挿通され、回転マ
ンドレル１１１の回転中心に一致する状態で保持されて
いる。

【０００７】また、前記電極１０１は、後端部が回転マ
ンドレル１１１の後端部内側でニッケル等からなる保持
管１１４に圧入保持され、回転マンドレル１１１の後端
部に放射方向に配設されたネジ（イモネジ）１１５によ
り保持管１１４と共に回転マンドレル１１１内部におい
て電気導通可能に締結保持されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術の欠点は
次のようになる。即ち、前記電極１０１は被加工物１０
４の溶融除去加工の進行に伴い必ず消耗する。そして、
電極１０１として微細径ワイヤが用いられているため強
度に劣り、前記支持管１１３からの突出量を大きくでき
ない。従って、一度の電極取り付けにより加工可能な加
工量には限界があり、特に加工対象形状が微細となるほ
ど微細径の電極１０１が必要であり、加工可能な加工量
の限界値は小さくなる。

【０００９】上述のように電極消耗により加工が不可能
となった時には、前記ネジ１１５を緩め、手動で保持筒
１１４と共に電極１０１を繰出し、ネジ１１５を締め直
して再使用するか、又は、前記保持筒１１４と共に電極
１０１を手動で交換し再使用していた。従って、電極１
０１の消耗量に応じて、電極１０１の繰出し作業又は交
換作業を頻繁に行なう必要があり、手間と時間がかかり
作業能率の低下を招いていた。

【００１０】また、放電加工は、機械加工に比べると長
時間の加工時間を要する加工法であり、特に高精度に加
工を行なう場合、荒加工、中仕上げ加工、仕上げ加工等
の工程順により精度を向上させる。このため、加工中、
微細放電加工装置の操作者が、長時間に亘って電極１０
１の消耗の監視をし、電極１０１の消耗量に応じて、電
極１０１の繰出し作業又は交換作業を行なう必要があ
り、その度に加工を中断することになる。これでは、長
時間の連続自動運転が不可能であり、荒加工、中仕上げ
加工、仕上げ加工等の各加工工程に自動的に移行するこ
とができないという問題もあった。

【００１１】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
あり、電極を消耗量に応じて自動的に交換でき、加工総
量が多く長時間の加工時間が要求される場合でも連続自
動運転が可能であり、荒加工、中仕上げ加工、仕上げ加
工等の各加工工程にも自動的に移行することが可能であ
り、三次元形状の加工を高精度に行なうことができる微
細放電加工装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の微細放電
加工装置は、被加工物が絶縁液に浸されて配置された加
工槽と、微細径ワイヤと支持部材とを一体化した電極
と、前記電極を着脱手段を介して着脱可能に保持する電
極軸と、前記電極と前記被加工物の間に放電電力を供給
する電源と、複数の交換用電極を着脱手段を介して着脱
可能に保持する交換用電極保持手段と、前記電極軸に保
持された電極の消耗量を測定し交換の要否を判断する判
断手段と、この判断手段の判断結果に基づき前記電極と
前記交換用電極との交換を制御する電極交換制御手段
と、前記電極と前記被加工物及び前記電極と前記交換電
極保持手段とを各々相対的に位置決めする駆動手段とを
有するものである。

【００１３】請求項２記載の微細放電加工装置は、請求
項１記載の微細放電加工装置における前記電極と電極軸
との着脱手段、前記前記電極と交換用電極保持手段との
着脱手段を、各々締結、弛緩の方向が逆の２つのネジ結
合により構成したものである。

【００１４】請求項３記載の微細放電加工装置は、請求
項１記載の微細放電加工装置における前記電極と電極軸
との着脱手段、前記電極と交換用電極保持手段との着脱
手段は，常温、高温の状態により開閉する爪片を用いて
構成され、前記電極軸は、前記複数の交換用電極を保持
する交換用電極保持手段を内蔵する構成としたものであ
る。

【００１５】

【作用】請求項１記載の微細放電加工装置の作用は以下
の通りである。即ち、前記電源により前記電極と前記被
加工物の間に放電電圧を印加しながら、駆動手段により
電極を駆動し被加工物に接近させると、電極と被加工物
の間に放電が生じ、被加工物における前記電極に対向す
る部分が溶融除去される。前記電極は、電極軸に取り付
けた際、微細径ワイヤが電極軸の回転軸に一致するよう
に支持部材に着脱手段により取り付けられた構成となっ
ているため、任意の加工設定位置で被加工物の除去加工
を高精度に行うことができる。

【００１６】前記電極と被加工物が駆動手段により順次
任意の加工設定位置に位置決めされることにより加工が
進行し、三次元形状の加工が行われる。加工の進行に伴
い電極の微細径ワイヤが消耗する。微細径ワイヤの消耗
により加工が不可能となる前に、前記判断手段は、事前
に加工条件に応じた電極消耗データによる加工量に応じ
た消耗量の予測結果から電極の交換を判断するか、又
は、電極消耗量測定を加工中定期的に行ない電極の交換
を判断する。

【００１７】前記判断手段により、電極の交換が必要と
判断されると、電極交換制御手段は、駆動手段に指令を
出し電極を交換用電極保持手段まで移動させ、電極を電
極軸から外し、交換用電極を電極軸に取付ける。電極軸
に取り付けられた交換用電極は、任意の加工設定位置に
移動され、引続き加工が進められる。前記交換用電極
は、交換用電極保持手段上に複数用意され、加工の進行
に伴い順次電極交換作業が自動的に行われるので、長時
間の連続自動運転が可能であり、荒加工、中仕上げ加
工、仕上げ加工等の各加工工程に自動的に移行すること
が可能である。

【００１８】荒加工、中仕上げ加工、仕上げ加工と各加
工工程に進むに従い、各加工工程での加工総量は小さく
なるため、電極の消耗量も小さくなる。従って、各加工
工程毎に新たな交換用電極を使用することにより、電極
の消耗による加工設定位置と実際の加工位置とのずれを
小さくすることができ、三次元形状の加工においても高
精度な加工を行なう。

【００１９】請求項２記載の微細放電加工装置の作用は
以下の通りである。即ち、前記電極と電極軸とが互いに
螺合するネジ結合で取り付けられており、また、前記電
極と交換用電極保持手段もまた同様のネジ結合で構成さ
れ、互いに締結、弛緩の方向が逆となっているため、電
極軸を回転させることにより、電極の交換作業を速やか
に行うことができる。

【００２０】請求項３記載の微細放電加工装置の作用は
以下の通りである。即ち、前記電極と電極軸との着脱手
段が常温、高温で開閉する爪片からなり、また、交換用
電極を保持した交換用電極保持手段を電極軸の内部に備
えているのて、前記爪片に温度変化を与えることで少な
い動作で迅速に消耗した電極と交換用電極との交換作業
を行なうことがでるきる。

【００２１】

【実施例】以下に本発明の実施例を詳細に説明する。

【００２２】（第１実施例）本発明の第１実施例を図１
乃至図３を参照しながら説明する。図１は本発明の第１
実施例における微細放電加工装置１を示す要部の断面正
面図であり、図２は微細放電加工装置１の電極保持手段
２を示す一部拡大断面図であり、図３は微細放電加工装
置１の交換用電極保持手段１４を示す一部拡大断面図で
ある。

【００２３】（構成）図１を参照して本実施例の微細放
電加工装置１の全体の構成を説明する。この微細放電加
工装置１は、ＸＹステージ１１上に加工槽１２が配設さ
れ、加工槽１２内には被加工物１３及び交換用電極保持
手段１４、判断手段としての電極消耗量測定ピン１５が
同程度の高さに揃うように配置され、駆動手段を構成す
るＸＹステージ１１の駆動により一体となって移動する
ようになっている。

【００２４】また、前記加工槽１２内には絶縁液１６が
注入されており、被加工物１３及び交換用電極保持手段
１４、電極消耗量測定ピン１５を浸している。また、前
記加工槽１２の上部には、導電性材料からなる電極軸１
７をその一端が被加工物１３に対向し、かつ、駆動手段
を構成するＺステージ１８によるＺ方向の移動及びモー
タ１９による回転が可能な状態で配置されている。前記
電極軸１７の被加工物１３に対向する側の端部には電極
２４が取付けられている。

【００２５】前記電極軸１７、被加工物１３及び電極消
耗量測定ピン１５は電源３１に接続されており、それぞ
れ電極軸１７と被加工物１３の間及び電極軸１７と電極
消耗量測定ピン１５との間に放電電圧を供給できるよう
になっている。

【００２６】前記ＸＹステージ１１、Ｚステージ１８及
びモータ４９は、コントローラ２０に接続されており、
コントローラ２０の指令により、電極１４と被加工物１
３のＸ−Ｙ−Ｚの任意位置への位置決めと電極軸１７の
回転を可能としている。

【００２７】また、電極交換制御手段としての電極交換
制御部２１は、コントローラ２０に接続され、コントロ
ーラ２０に駆動指令を送信し、ＸＹステージ１１、Ｚス
テージ１８及びモータ１９を各々駆動できるようになっ
ている。また、電極交換制御部２１は電源３１とも接続
されており、放電状態及び通電状態を電源３１から検出
できるようになっている。

【００２８】次に図２、図３を参照して本実施例の電極
保持手段２及び交換用電極保持手段１４の構成を説明す
る。

【００２９】電極保持手段２の電極軸１７は筒状に形成
され、この電極軸１７の被加工物１３に対向する側の端
部には、内周部に雌ネジ３２が形成され、外周側がセラ
ミックからなる円筒状の案内管３３を配置している。

【００３０】前記電極２４は、導電性材料からなる支持
部材３５に微細径ワイヤ３６をその一端が突出するよう
に挿通し多端側をハンダ４２により固着した構成となっ
ている。

【００３１】前記支持部材３５の両端部には、前記案内
管３３の雌ネジ３２に螺合する雄ネジ３７が形成されて
おり、これにより、電極２４はネジ結合により案内管３
３に螺合して微細径ワイヤ３６が突出していない方の端
部を電極軸１７側としてこの電極軸１７に取り付けられ
ている。

【００３２】前記交換用電極保持手段１４には、図３に
示すように、上面部に電極軸１７と一致する方向に複数
の電極挿入穴４８が設けられている。電極挿入穴４８の
入口部分には雄ネジ３７と螺合する雌ネジ４９が形成さ
れて、ネジ結合により電極２４の取付け、取外しが可能
になっており、電極２４と同様な構成の複数の交換用電
極２４ａを螺合して取り付けている。

【００３３】前記雌ネジ３２と雄ネジ３７とは、電極軸
１７の時計回りの回転により緩み、反時計回りの回転に
より締るようになっている。また、雌ネジ４９と雄ネジ
３７とは、電極軸１７の時計回りの回転により締り、反
時計回りの回転により緩むようになっている。

【００３４】（作用）以下に本実施例の作用を説明す
る。前記電源３１により電極２４と被加工物１３に放電
電圧を印加しながら、コントローラ２０によりＸＹステ
ージ１１及びＺステージ１８を駆動し、電極２４を被加
工物１３に接近させると、電極２４と被加工物１３の間
で放電が生じ、被加工物１３の電極２４に対向する部分
が溶融除去される。この際、コントローラ３０により加
工形状に応じて順次加工設定位置に電極２４と被加工物
１３と位置決めし、三次元形状の加工を行なう。

【００３５】前記電極交換制御部３１は、予め被加工物
１３の材質等の加工条件による電極消耗比を設定するこ
とにより、加工量に応じて、電極２４の消耗状態を判別
し電極交換の指令をコントローラ３０に送信する。

【００３６】前記コントローラ３０は、電極交換制御部
３１の電極交換の指令を受信すると、電極２４を交換用
電極保持手段１４上に移動し、交換用電極２４ａが挿入
されていない電極挿入穴４８に、電極軸１７を時計回り
に回転させながら挿入し、挿入完了後、電極軸１７を時
計回りに回転させたまま引上げる。時計回りの回転によ
り、雌ネジ３２と雄ネジ３７は緩み、雄ネジ３７と雌ネ
ジ４９とは締るため、電極２４は、挿入時に交換用電極
保持手段１４に取付けられ、引上げ時に電極軸２７から
外される。

【００３７】次に、電極２４が外れた電極軸１７を、交
換用電極保持手段１４上に移動し、反時計回りに回転さ
せながら下降させて、前記交換用電極２４ａを挿入し、
挿入完了後、引上げる。電極軸１７の反時計回りの回転
により、雌ネジ３２と雄ネジ３７は締り、雄ネジ３７と
雌ネジ４９は緩むため、交換用電極２４ａは、挿入時に
電極軸４７に取付けられ、引上げ時に交換用電極保持部
手段１４から外される。このとき、交換用電極２４ａ
は、前記案内管３３を介して取付けられるため偏心する
ことなく高精度に電極軸２７の回転軸に一致した状態に
取付けられる。

【００３８】このような動作により、電極２４の交換が
行われ、交換作業終了後、交換用電極２４ａを取付けた
電極軸４７は、加工位置まで移動され被加工物１３の加
工が続行される。前記交換用電極２４ａは交換用電極保
持手段１４に複数個用意することができ、予め必要数の
交換用電極２４ａを用意することにより放電加工の全加
工工程が終了するまで自動運転により加工を行うことが
でき、また、三次元形状の加工を高精度に行なうことが
可能となる。

【００３９】また、電極消耗比が不明な材料からなる被
加工物１３を加工する場合、電極交換制御部３１は、一
定量の加工をする毎に電極消耗量測定ピン１５を用いて
電極消耗量の測定を行い、測定結果より電極消耗比を算
出し、そのデータを記録する。

【００４０】前記電極消耗量は、前記電極２４を電極消
耗量測定ピン１５の上方に移動させ、上面に接触するま
で徐々に下降し、接触した位置から前回の測定で接触し
た位置との距離により求める。このとき、電極２４と電
極消耗量測定ピン１５との接触は、電源３１から電極２
４と電極消耗量測定ピン１５との通電状態を検出し判定
する。次回より、記録されたデータを基に適正な間隔で
の電極交換が可能になる。

【００４１】また、本実施例の微細放電加工装置１の構
成によれば、被加工物１３及び交換用電極保持手段１
４、電極消耗量測定ピン１５を加工槽１２内に配置し、
同程度の高さに調整することにより、電極交換、電極消
耗量測定時の余分な動作を省き、効率良く電極交換およ
び電極消耗量の測定が実行できる。

【００４２】（第２実施例）本発明の第２実施例を図
５、図６を参照して説明する。図５は本発明の第２実施
例の電極保持手段５２を示し、図６は第２実施例の交換
用電極保持手段５４を示すものである。

【００４３】（構成）本実施例における微細放電加工装
置１は本発明の第１実施例と同様のものである。以下に
本実施例の電極保持手段５２及び交換保持手段５４の構
成を説明する。

【００４４】本実施例の電極軸５７は、図４に示すよう
に、筒状に形成され、電極軸５７の前記被加工物１３に
対向する側の端部の外周に雄ネジ６１が形成されてい
る。

【００４５】本実施例の電極６４は、セラミックからな
る支持部材７２に対し、一端に導電性材料からなる導通
ピン６３を取り付けた微細径ワイヤ５６を挿通した構成
であり、支持部材７２一端から突出させた導通ピン６３
側を前記電極軸５７の内方に臨ませ、微細径ワイヤ５６
を支持部材７２の他端側から外方（図４において下方）
に突出している。

【００４６】前記支持部材７２の導通ピン７３が突出し
ている側の内側段部には、前記雄ネジ６１と螺合する雌
ネジ７４が形成されており、また、支持部材７２の他端
外周には雄ネジ７５が形成され、さらに、支持部材７２
の雄ネジ７５に下側には螺旋溝７８を備えたテーパ部７
６を設けている。

【００４７】本実施例の交換用電極保持手段５４には、
図５に示すように、上面部に電極軸５７と一致する方向
に複数の電極挿入穴６８が設けられている。電極挿入穴
６８の入口部分には前記雄ネジ７５と螺合する雌ネジ７
７が形成され、前記電極６４の取付け、取外しが可能に
なっており、電極６４と同構成の複数の交換用電極６４
ａが取付けられている。

【００４８】前記雄ネジ６１と雌ネジ７４は、電極軸５
７の時計回りの回転により緩み、反時計回りの回転によ
り締まるようになっており、前記雄オネジ７５と雌ネジ
７７とは、電極軸５７の時計回りの回転によって締り、
反時計回りの回転により緩むようになっている。

【００４９】（作用）以下に本実施例における電極保持
手段５２及び交換用電極保持手段５４の作用を説明す
る。本実施例においては、前記導通ピン６３が突出した
セラミックからなる支持部材７２を電極軸５７に取付け
るため、電極軸５７と微細径ワイヤ５６とが、前記導通
ピン６３を電極軸４７の内側に接触させることで導通状
態となる。

【００５０】したがって、前記支持部材７２を非伝導性
のセラミックとすることで、放電電圧を印加するときに
電極６４に残留する余分な浮遊電気容量を軽減でき、ま
た、螺旋溝７８が形成されているテーパ部７６を備えて
いるので、螺旋溝７８により被加工物１３の加工の際に
発生する加工屑の排出を促進でき、より安定した放電加
工状態を実現し、より高精度な加工が可能となる。

【００５１】また、前記微細径ワイヤ５６を前記導通ピ
ン６３とともに支持部材７２から簡単に抜取り、交換で
きるため、この支持部材７２の繰返し使用も可能とな
る。

【００５２】（第３実施例）本発明の第３実施例を図６
乃至図８を参照して説明する。図６乃至図８は本発明の
第３実施例の交換用電極保持手段を含む電極保持手段８
２を示すものである。

【００５３】（構成）本実施例における微細放電加工装
置１は本発明の第１実施例と同様のものである。以下に
本実施例の交換用電極保持手段を含む電極保持手段８２
の構成を説明する。

【００５４】本実施例の電極軸８７は筒状に形成され、
電極軸８７の被加工物１３に対向する側の端部には、セ
ラミックからなる案内管８１が配置され、反対側の端部
の内周部には、雌ネジ８３ａを形成した段差部８３が設
けられている。

【００５５】本実施例の電極９４は、支持部材８４、Ｓ
ＭＡからなる爪片８５及び微細径ワイヤ８６により構成
され、爪片８５は常温で図７に示すように開いた状態で
あり、高温で図８に示すように閉じた状態に変形するよ
うになっている。前記微細径ワイヤ８６は、前記支持部
材８４の軸方向に挿通され図示してないがハンダにより
固着されている。また、電極９４の上端部には、中空部
９６が設けられている。

【００５６】前記電極９４は、電極軸８７内に挿入さ
れ、図７に示すように、常温で開いた状態の爪片８５が
前記案内管８１の孔部の内側で引っかかり、これにより
電極９４が電極軸８７に保持されるようになっている。
このとき、爪片８５は、電極軸８７の端部と接触してお
り、爪片８５を介して微細径ワイヤ５６に通電可能とな
っている。

【００５７】前記電極９４と同構成の交換用電極９４ａ
は、図６に示すように、電極９４に積み重なるように電
極軸８７内に複数挿入されており、最上部の交換用電極
９４ａの上に押さえ板９８が配置されている。電極軸８
７内の各交換用電極９４ａの各微細径ワイヤ８６は、各
々、下側の電極９４又は交換用電極９４ａの中空部９６
に収まるようになっている。

【００５８】前記押さえ板９８の上部には、バネ７９及
び固定板９９が配置されている。固定板９９は、段差部
８２の最深部まで挿入され、リング９１の外周に設けた
雄ネジ９０を前記雌ネジ８３に螺合することで電極軸８
７に締結されている。また、電極軸８７の近傍には、熱
源９２が電極５４の指示部材８４を加熱可能に配置され
ている。

【００５９】（作用）次に本実施例における交換用電極
保持手段を含む電極保持手段８２の作用を説明する。電
極交換制御部２１の指令により、電極軸８７は被加工物
１３と干渉しない任意位置に移動される。

【００６０】電極９４は、熱源９２により加熱され、常
温で図７に示すように爪片８５が案内管８１に引っかか
り保持された状態から、図８に示すような高温で爪片８
５が閉じた状態に変化し、案内管８１から外されるとと
もに、複数の交換用電極９４ａ及び押さえ板９７を介し
てバネ７９により押し出され落下する。

【００６１】熱源９２による加熱は、短時間のものであ
り、このとき、交換用電極９４ａの爪片８５は常温のま
まになっている。複数の交換用電極９４ａのうち最下部
にあったものが、バネ７９により押し出され案内管８１
の箇所で保持される。電極軸８７は、加工設定位置に移
動され、加工が再開される。

【００６２】本実施例においては、被加工物１３に干渉
しない位置ならば、どの位置でも電極９４の交換作業を
実施できるため、少ない動作で迅速に交換作業を行なう
ことができる。

【００６３】

【発明の効果】本発明の請求項１の効果は、電極を消耗
量に応じて自動的に交換でき、加工総量が多く長時間の
加工時間が要求される場合でも連続自動運転が可能であ
り、荒加工、中仕上げ加工、仕上げ加工等の各加工工程
にも自動的に移行することが可能であり、三次元形状の
加工を高精度に行うことができることである。

【００６４】本発明の請求項２の効果は、電極軸の回転
により、容易に電極の交換作業ができることである。

【００６５】本発明の請求項３の効果は、電極に温度変
化を与えることにより、少ない動作で迅速に電極の交換
作業ができることである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例における微細放電加工装置
を示すブロック図である。

【図２】本発明の第１実施例における電極及び電極保持
手段を示す断面図である。

【図３】本発明の第１実施例における交換用電極保持手
段を示す断面図である。

【図４】本発明の第２実施例における電極及び電極保持
手段を示す断面図である。

【図５】本発明の第２実施例における交換用電極保持手
段を示す断面図である。

【図６】本発明の第３実施例における電極保持手段及び
交換用電極保持手段を示す断面図である。

【図７】本発明の第３実施例における電極及び爪片の常
温での状態を示す拡大断面図である。

【図８】本発明の第３実施例における電極及び爪片の高
温での状態を示す拡大断面図である。

【図９】従来の微細放電加工装置を示すブロック図であ
る。

【図１０】従来の微細放電加工装置に用いる電極保持手
段を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 微細放電加工装置 １１ ＸＹステージ １２ 加工槽 １３ 被加工物 １４ 交換用電極保持手段 １５ 電極消耗量測定ピン １６ 絶縁液 １７ 電極軸 １８ Ｚステージ １９ モータ ２０ コントローラ ２１ 電極交換制御部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被加工物が絶縁液に浸されて配置された
   加工槽と、 微細径ワイヤと支持部材とを一体化した電極と、 前記電極を着脱手段を介して着脱可能に保持する電極軸
   と、 前記電極と前記被加工物の間に放電電力を供給する電源
   と、 複数の交換用電極を着脱手段を介して着脱可能に保持す
   る交換用電極保持手段と、 前記電極軸に保持された電極の消耗量を測定し交換の要
   否を判断する判断手段と、 この判断手段の判断結果に基づき前記電極と前記交換用
   電極との交換を制御する電極交換制御手段と、 前記電極と前記被加工物及び前記電極と前記交換電極保
   持手段とを各々相対的に位置決めする駆動手段と、 を有することを特徴とする微細放電加工装置。
2. 【請求項２】 前記電極と電極軸との着脱手段、前記電
   極と交換用電極保持手段との着脱手段は、各々締結、弛
   緩の方向が逆の２つのネジ結合により構成したものであ
   る請求項１記載の微細放電加工装置。
3. 【請求項３】 前記電極と電極軸との着脱手段、前記電
   極と交換用電極保持手段との着脱手段は，常温、高温の
   状態により開閉する爪片を用いて構成され、前記電極軸
   は、前記複数の交換用電極を保持する交換用電極保持手
   段を内蔵するものである請求項１記載の微細放電加工装
   置。