JPH08193914A - 着色パターンの検査方法及び検査装置 - Google Patents
着色パターンの検査方法及び検査装置Info
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- JPH08193914A JPH08193914A JP475495A JP475495A JPH08193914A JP H08193914 A JPH08193914 A JP H08193914A JP 475495 A JP475495 A JP 475495A JP 475495 A JP475495 A JP 475495A JP H08193914 A JPH08193914 A JP H08193914A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 単位パターンごとの欠陥検出感度を同等に
し、或いは単位パターン間の欠陥検出感度の比を任意に
調整する。 【構成】 異なる分光強度を持つ光源光を試料７に照射
して、カメラ１０から見た各単位パターンの透過光強度
が所望の比率となるように各光源光の発光強度を調整す
る。単位パターンごとの欠陥検出感度を同等にできる。
また、カメラ１０から見た各単位パターンの各光源光に
対する分光透過率を測定し、単位パターンごとの欠陥検
出感度が所望の比率になるように単位パターン間の透過
光強度の比率を設定し、両データから各光源光の発光強
度の比率を計算して調整する。単位パターン間の欠陥検
出感度の比を同等にできる。
し、或いは単位パターン間の欠陥検出感度の比を任意に
調整する。 【構成】 異なる分光強度を持つ光源光を試料７に照射
して、カメラ１０から見た各単位パターンの透過光強度
が所望の比率となるように各光源光の発光強度を調整す
る。単位パターンごとの欠陥検出感度を同等にできる。
また、カメラ１０から見た各単位パターンの各光源光に
対する分光透過率を測定し、単位パターンごとの欠陥検
出感度が所望の比率になるように単位パターン間の透過
光強度の比率を設定し、両データから各光源光の発光強
度の比率を計算して調整する。単位パターン間の欠陥検
出感度の比を同等にできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ用カラーフィル
ター、カラーテレビカメラ用カラーフィルター等、複数
の異なる分光透過率を持つ単位パターンが周期的に配置
されている試料を検査する着色パターンの検査方法及び
検査装置に関する。
ター、カラーテレビカメラ用カラーフィルター等、複数
の異なる分光透過率を持つ単位パターンが周期的に配置
されている試料を検査する着色パターンの検査方法及び
検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の着色パターンを有する試
料の欠陥を検査する方法として、特開平５−２８８６４
０号公報に示される如く、試料を透過光で観察した際に
欠陥の有る部位の透過光強度が欠陥の無い部位のそれと
異なることを利用し、ハロゲンランプや蛍光灯等単一な
分光強度を持つ光源を透過光源として用い、撮像手段に
よって撮影した試料の透過光画像の近傍の映像レベルの
差を抽出して欠陥を検出する手法が提案されている。
料の欠陥を検査する方法として、特開平５−２８８６４
０号公報に示される如く、試料を透過光で観察した際に
欠陥の有る部位の透過光強度が欠陥の無い部位のそれと
異なることを利用し、ハロゲンランプや蛍光灯等単一な
分光強度を持つ光源を透過光源として用い、撮像手段に
よって撮影した試料の透過光画像の近傍の映像レベルの
差を抽出して欠陥を検出する手法が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べた検
査方法では、異なる分光透過率を持つ複数の単位パター
ンを有する試料を検査する場合に、単位パターンごとの
欠陥検出感度を同等にすることができないという第１の
問題点があった。また、単位パターン間の欠陥検出感度
の比を任意に調整できないという第２の問題点があっ
た。
査方法では、異なる分光透過率を持つ複数の単位パター
ンを有する試料を検査する場合に、単位パターンごとの
欠陥検出感度を同等にすることができないという第１の
問題点があった。また、単位パターン間の欠陥検出感度
の比を任意に調整できないという第２の問題点があっ
た。
【０００４】つまり、欠陥部と欠陥の無い箇所の映像レ
ベルの差は、両者における透過光強度の差となるため、
異なる分光透過率を持つ複数の単位パターンを有する試
料では、単位パターン間の欠陥検出感度の比は、各単位
パターンの分光透過率、検査に使用する光源の分光強
度、撮像手段の分光感度で決定される。よって、単位パ
ターン間の欠陥検出感度の比を調整するためには、光源
の分光強度若しくはセンサの分光感度を変化させること
が必要になる。しかしながら、光源の分光強度やセンサ
の分光感度は、検査装置の製作段階で固定してしまうた
め、試料の材料等の変更で分光透過率が変わったり、単
位パターンごとの見つけなければならない欠陥の大きさ
のスペックが変更になった場合に、光源やセンサを製作
し直さなければならないという不便さがある。
ベルの差は、両者における透過光強度の差となるため、
異なる分光透過率を持つ複数の単位パターンを有する試
料では、単位パターン間の欠陥検出感度の比は、各単位
パターンの分光透過率、検査に使用する光源の分光強
度、撮像手段の分光感度で決定される。よって、単位パ
ターン間の欠陥検出感度の比を調整するためには、光源
の分光強度若しくはセンサの分光感度を変化させること
が必要になる。しかしながら、光源の分光強度やセンサ
の分光感度は、検査装置の製作段階で固定してしまうた
め、試料の材料等の変更で分光透過率が変わったり、単
位パターンごとの見つけなければならない欠陥の大きさ
のスペックが変更になった場合に、光源やセンサを製作
し直さなければならないという不便さがある。
【０００５】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、必要に応じ
て単位パターンごとの欠陥検出感度を同等にでき、また
単位パターン間の欠陥検出感度の比を任意に調整できる
ようにした着色パターンの検査方法及び検査装置を提供
することにある。
れたものであり、その目的とするところは、必要に応じ
て単位パターンごとの欠陥検出感度を同等にでき、また
単位パターン間の欠陥検出感度の比を任意に調整できる
ようにした着色パターンの検査方法及び検査装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の検査方法は、それぞれ異なる分光透過率を
持つ複数の単位パターンが透明基板上に周期的に配置さ
れている試料を検査する方法であって、第１の検査方法
は、異なる分光強度を持つ複数の光源光を前記試料に照
射して、撮像手段から見た各単位パターンの透過光強度
が所望の比率となるように各光源光の発光強度を調整
し、前記撮像手段によって撮影した試料の映像信号によ
り欠陥箇所を検出することを特徴とする。
め、本発明の検査方法は、それぞれ異なる分光透過率を
持つ複数の単位パターンが透明基板上に周期的に配置さ
れている試料を検査する方法であって、第１の検査方法
は、異なる分光強度を持つ複数の光源光を前記試料に照
射して、撮像手段から見た各単位パターンの透過光強度
が所望の比率となるように各光源光の発光強度を調整
し、前記撮像手段によって撮影した試料の映像信号によ
り欠陥箇所を検出することを特徴とする。
【０００７】また、第２の検査方法は、異なる分光強度
を持つ複数の光源光を前記試料に照射して、撮像手段か
ら見た各単位パターンの各光源光に対する分光透過率を
測定し、単位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比率
になるように単位パターン間の透過光強度の比率を設定
し、前記分光透過率と前記透過光強度の比率から各光源
光の発光強度の比率を計算して調整し、前記撮像手段に
よって撮影した試料の映像信号により欠陥箇所を検出す
ることを特徴とする。
を持つ複数の光源光を前記試料に照射して、撮像手段か
ら見た各単位パターンの各光源光に対する分光透過率を
測定し、単位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比率
になるように単位パターン間の透過光強度の比率を設定
し、前記分光透過率と前記透過光強度の比率から各光源
光の発光強度の比率を計算して調整し、前記撮像手段に
よって撮影した試料の映像信号により欠陥箇所を検出す
ることを特徴とする。
【０００８】上記第１の検査方法を行う検査装置は、異
なる分光強度を持つ複数の光源と、複数の光源光の発光
強度を個々に調節する光強度調節手段と、試料を透過し
た複数の光源光からの光を撮影する撮像手段と、撮像手
段によって撮影した試料の映像信号により欠陥検出処理
を行う信号処理装置とを備えて構成される。
なる分光強度を持つ複数の光源と、複数の光源光の発光
強度を個々に調節する光強度調節手段と、試料を透過し
た複数の光源光からの光を撮影する撮像手段と、撮像手
段によって撮影した試料の映像信号により欠陥検出処理
を行う信号処理装置とを備えて構成される。
【０００９】また、上記第２の検査方法を行う検査装置
は、上記の検査装置において、各光源に対する各単位パ
ターンの分光透過率を測定して設定する第１の設定部
と、単位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比率にな
るように単位パターン間の透過光強度の比率を設定する
第２の設定部と、前記第１及び第２の設定部により設定
されたデータを用いて各光源光の発光強度の比率を計算
する演算部とを備えて構成される。
は、上記の検査装置において、各光源に対する各単位パ
ターンの分光透過率を測定して設定する第１の設定部
と、単位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比率にな
るように単位パターン間の透過光強度の比率を設定する
第２の設定部と、前記第１及び第２の設定部により設定
されたデータを用いて各光源光の発光強度の比率を計算
する演算部とを備えて構成される。
【００１０】ここで、上記「分光透過率」は光透過性を
有する物質の波長ごとの透過率、すなわち当該物質の光
に対する性質を表しており、上記「分光強度」はある光
に含まれている波長ごとの光の強度を表している。ま
た、上記「透過光強度」は試料を透過した光源光のパワ
ーであり、上記「発光強度」は光源個々の発光パワーで
ある。
有する物質の波長ごとの透過率、すなわち当該物質の光
に対する性質を表しており、上記「分光強度」はある光
に含まれている波長ごとの光の強度を表している。ま
た、上記「透過光強度」は試料を透過した光源光のパワ
ーであり、上記「発光強度」は光源個々の発光パワーで
ある。
【００１１】
【作用】第１の検査方法においては、異なる分光強度を
持つ複数の光源光を前記試料に照射して、撮像手段から
見た各単位パターンの透過光強度が所望の比率となるよ
うに各光源光の発光強度を調整することにより、異なる
分光透過率を持つ複数の単位パターンごとの欠陥検出感
度を同等にすることができる。
持つ複数の光源光を前記試料に照射して、撮像手段から
見た各単位パターンの透過光強度が所望の比率となるよ
うに各光源光の発光強度を調整することにより、異なる
分光透過率を持つ複数の単位パターンごとの欠陥検出感
度を同等にすることができる。
【００１２】第２の検査方法においては、異なる分光強
度を持つ複数の光源光を前記試料に照射して、撮像手段
から見た各単位パターンの各光源光に対する分光透過率
を測定し、単位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比
率になるように単位パターン間の透過光強度の比率を設
定し、前記分光透過率と前記透過光強度の比率から各光
源光の発光強度の比率を計算して調整することにより、
単位パターン間の欠陥検出感度の比を任意に調整するこ
とができる。
度を持つ複数の光源光を前記試料に照射して、撮像手段
から見た各単位パターンの各光源光に対する分光透過率
を測定し、単位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比
率になるように単位パターン間の透過光強度の比率を設
定し、前記分光透過率と前記透過光強度の比率から各光
源光の発光強度の比率を計算して調整することにより、
単位パターン間の欠陥検出感度の比を任意に調整するこ
とができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１４】図１に本発明の製造装置にて使用する光源
装置を示す。図中１1 〜１n は光源で、少なくとも着色
パターンを構成する単位パターンの色の数ｎだけあり、
条件は後述するがそれぞれ異なる分光強度を持ってお
り、２1 〜２n の点灯装置により点灯される。そして、
これらの点灯装置２1 〜２n はそれぞれ光源の発光強度
を調節できる調光機能を備えている。３は光ファイバー
で、光源１1 〜１n からの複数のファイバーを束ねた構
造になっており、一度一本ずつ分離され出射端４にて検
査に都合のよい形状に再度まとめられている。図１では
長方形の形状になっている。分離した複数のファイバー
を再度まとめる際には光源１1 〜１n に接続された個々
のファイバーが均等に混合されるようにする。５は出射
端４の前に設けられた拡散板である。
装置を示す。図中１1 〜１n は光源で、少なくとも着色
パターンを構成する単位パターンの色の数ｎだけあり、
条件は後述するがそれぞれ異なる分光強度を持ってお
り、２1 〜２n の点灯装置により点灯される。そして、
これらの点灯装置２1 〜２n はそれぞれ光源の発光強度
を調節できる調光機能を備えている。３は光ファイバー
で、光源１1 〜１n からの複数のファイバーを束ねた構
造になっており、一度一本ずつ分離され出射端４にて検
査に都合のよい形状に再度まとめられている。図１では
長方形の形状になっている。分離した複数のファイバー
を再度まとめる際には光源１1 〜１n に接続された個々
のファイバーが均等に混合されるようにする。５は出射
端４の前に設けられた拡散板である。
【００１５】光源１1 〜１n から出射した光は、ファイ
バー３により出射端４に導かれ、出射端４で均等に混合
された後、拡散板５を透過して試料へ照射される。そし
て、各光源１1 〜１n の発光強度を点灯装置２1 〜２n
で調整することにより、試料へ照射される光の分光強度
を調整することができる。拡散板５を用いるのは、ファ
イバー３を出射した光がある程度の指向性を持っている
ため、そのまま試料へ照射しても適当に混合されない場
合があるので、十分に混合された光を試料へ照射するた
めである。
バー３により出射端４に導かれ、出射端４で均等に混合
された後、拡散板５を透過して試料へ照射される。そし
て、各光源１1 〜１n の発光強度を点灯装置２1 〜２n
で調整することにより、試料へ照射される光の分光強度
を調整することができる。拡散板５を用いるのは、ファ
イバー３を出射した光がある程度の指向性を持っている
ため、そのまま試料へ照射しても適当に混合されない場
合があるので、十分に混合された光を試料へ照射するた
めである。
【００１６】次に、各光源１1 〜１n における発光強度
の調整方法を説明する。ここで、ｉ番目の光源から出射
される光を第ｉ光と呼ぶ。同じく、ｉ番目の単位パター
ンをパターンｉと呼ぶ。また、説明のために以下の変数
を定義する。 撮影手段の分光感度（波長λに対する感度）：ｓ
（λ） 第ｉ光の分光強度：ｃi （λ） パターンｉの分光透過率：ｔi （λ）
の調整方法を説明する。ここで、ｉ番目の光源から出射
される光を第ｉ光と呼ぶ。同じく、ｉ番目の単位パター
ンをパターンｉと呼ぶ。また、説明のために以下の変数
を定義する。 撮影手段の分光感度（波長λに対する感度）：ｓ
（λ） 第ｉ光の分光強度：ｃi （λ） パターンｉの分光透過率：ｔi （λ）
【００１７】第ｉ光がパターンを透過せずにそのまま撮
像手段に入射した場合、第ｉ光に対する撮像手段の出力
Ｉi は数１の式で表される。この数１の式でλ1 、λ2
はそれぞれ撮像手段の有効な波長域の下限と上限であ
る。
像手段に入射した場合、第ｉ光に対する撮像手段の出力
Ｉi は数１の式で表される。この数１の式でλ1 、λ2
はそれぞれ撮像手段の有効な波長域の下限と上限であ
る。
【００１８】
【数１】
【００１９】一方、第ｉ光がパターンｊを透過してから
撮像手段に入射した場合、第ｉ光に対する撮像手段の出
力Ｌjiは数２の式で表される。
撮像手段に入射した場合、第ｉ光に対する撮像手段の出
力Ｌjiは数２の式で表される。
【００２０】
【数２】
【００２１】パターンｊの第ｉ光に対する透過率Ｔjiを
数３の式のように定義する。
数３の式のように定義する。
【００２２】
【数３】
【００２３】この数３の式から、パターンｊを透過した
第ｉ光に対する撮像手段の出力Ｌjiは数４の式で表され
る。
第ｉ光に対する撮像手段の出力Ｌjiは数４の式で表され
る。
【００２４】
【数４】
【００２５】上記の光源装置で照明して試料の透過光を
撮影した場合、あるパターンを透過した光に対する撮像
手段の出力は、そのパターンを透過した第１光から第ｎ
光までの個々の光に対する撮像手段の出力の総和とな
る。よって、上記の光源装置で照明して試料の透過光を
撮影した場合のパターンｊの透過光に対する撮像手段の
出力Ａj は数５の式のように表される。
撮影した場合、あるパターンを透過した光に対する撮像
手段の出力は、そのパターンを透過した第１光から第ｎ
光までの個々の光に対する撮像手段の出力の総和とな
る。よって、上記の光源装置で照明して試料の透過光を
撮影した場合のパターンｊの透過光に対する撮像手段の
出力Ａj は数５の式のように表される。
【００２６】
【数５】
【００２７】このような式が単位パターンの種類の数ｎ
だけ導出されるので、数６の式のように表すことができ
る。
だけ導出されるので、数６の式のように表すことができ
る。
【００２８】
【数６】
【００２９】数６の式より、各Ｔjiをあらかじめ測定し
ておけば、一般的な逆行列を用いた計算等により所望の
各Ａji間の比率を得るために必要なＩi 間の比率を求め
ることができる。したがって、図１の各光源１1 〜１n
の発光強度の比が上記のようにして求めたＩi 間の比率
になるように各光源１1 〜１n を点灯装置２1 〜２nで
調整することによって、各単位パターンの透過光強度を
所望の比率にすることができる。前述の各光源１1 〜１
n に求められる条件は、計算で求めた光源１1〜１n の
発光強度の比率が負の値にならないこととなる。
ておけば、一般的な逆行列を用いた計算等により所望の
各Ａji間の比率を得るために必要なＩi 間の比率を求め
ることができる。したがって、図１の各光源１1 〜１n
の発光強度の比が上記のようにして求めたＩi 間の比率
になるように各光源１1 〜１n を点灯装置２1 〜２nで
調整することによって、各単位パターンの透過光強度を
所望の比率にすることができる。前述の各光源１1 〜１
n に求められる条件は、計算で求めた光源１1〜１n の
発光強度の比率が負の値にならないこととなる。
【００３０】例として図２のように、α，β，γ３種類
の異なる分光透過率を有する単位パターンが配置された
試料を検査する場合について説明する。なお、図２では
ストライプ型の着色パターンを示しているが、検査対象
とする他の着色パターンにはモザイク型、トライアング
ル型、４画素配置型等がある。
の異なる分光透過率を有する単位パターンが配置された
試料を検査する場合について説明する。なお、図２では
ストライプ型の着色パターンを示しているが、検査対象
とする他の着色パターンにはモザイク型、トライアング
ル型、４画素配置型等がある。
【００３１】この検査を行うための検査装置の一構成例
を図３示す。１1 ，１2 ，１3 は光源、２1 ，２2 ，２
3 は光源光の発光強度を個々に調節する光強度調節手段
としての点灯装置、６は光源１1 ，１2 ，１3 からの光
ファイバー３をまとめるファイバーガイド、５は拡散
板、７は試料、８は試料を一方向へ移動させるステー
ジ、９はステージ駆動装置、１０は撮影手段としてのＣ
ＣＤライセンサカメラ、１１はカメラレンズ、１２は信
号処理装置、１３はパソコンである。各光源１1 ，
１2 ，１3 は試料７の単位パターンに対応して各々異な
る分光強度を有しており、各光源１1 ，１2 ，１3 から
の光は光ファイバー３によってファイバーガイド６に導
かれ、均一に混合されてファイバーガイド６の出射端か
ら出射する。ファイバーガイド６の出射端から出射した
光は、拡散板５で拡散された後、試料７に照射される。
カメラ１０は、拡散板５に対して試料７と反対側の位置
から試料７面上の線状の領域を観察しており、試料７に
照射された光のうち、試料７を透過してきた光のみがレ
ンズ１１によってカメラ１０のＣＣＤ上に結像される。
ＣＣＤ上に結像された単位パターンの大きさが、ＣＣＤ
の１画素と同程度の大きさになるように、レンズ１１の
焦点距離、試料７とカメラ１０の距離が調整されてい
る。そして、駆動装置９によりステージ８と共に試料１
９を一方向へ移動させながら、カメラ１０で線状領域を
連続的に撮影することにより、試料７の全面を撮影する
ことができる。
を図３示す。１1 ，１2 ，１3 は光源、２1 ，２2 ，２
3 は光源光の発光強度を個々に調節する光強度調節手段
としての点灯装置、６は光源１1 ，１2 ，１3 からの光
ファイバー３をまとめるファイバーガイド、５は拡散
板、７は試料、８は試料を一方向へ移動させるステー
ジ、９はステージ駆動装置、１０は撮影手段としてのＣ
ＣＤライセンサカメラ、１１はカメラレンズ、１２は信
号処理装置、１３はパソコンである。各光源１1 ，
１2 ，１3 は試料７の単位パターンに対応して各々異な
る分光強度を有しており、各光源１1 ，１2 ，１3 から
の光は光ファイバー３によってファイバーガイド６に導
かれ、均一に混合されてファイバーガイド６の出射端か
ら出射する。ファイバーガイド６の出射端から出射した
光は、拡散板５で拡散された後、試料７に照射される。
カメラ１０は、拡散板５に対して試料７と反対側の位置
から試料７面上の線状の領域を観察しており、試料７に
照射された光のうち、試料７を透過してきた光のみがレ
ンズ１１によってカメラ１０のＣＣＤ上に結像される。
ＣＣＤ上に結像された単位パターンの大きさが、ＣＣＤ
の１画素と同程度の大きさになるように、レンズ１１の
焦点距離、試料７とカメラ１０の距離が調整されてい
る。そして、駆動装置９によりステージ８と共に試料１
９を一方向へ移動させながら、カメラ１０で線状領域を
連続的に撮影することにより、試料７の全面を撮影する
ことができる。
【００３２】上記の検査装置において、各光源１1 ，１
2 ，１3 を順次点灯させながら光源光を試料７に照射
し、カメラ１０から見た各単位パターンα、β、γの透
過光強度が所望の比率となるように各光源光の発光強度
を点灯装置２1 ，２2 ，２3 で調整することにより、３
つの単位パターンα、β、γごとの欠陥検出感度を同等
にすることができる。
2 ，１3 を順次点灯させながら光源光を試料７に照射
し、カメラ１０から見た各単位パターンα、β、γの透
過光強度が所望の比率となるように各光源光の発光強度
を点灯装置２1 ，２2 ，２3 で調整することにより、３
つの単位パターンα、β、γごとの欠陥検出感度を同等
にすることができる。
【００３３】また、上記の検査装置によれば、３つの単
位パターンα、β、γ間の欠陥検出感度の比を任意に調
整することもできる。すなわち、各光源１1 ，１2 ，１
3 を順次点灯させながら光源光を試料７に照射し、この
透過光をカメラ１０で計測してパターンが有る時と無い
時の透過光強度の比率をパソコン１３で計算し、これを
各単位パターンα、β、γの分光透過率として設定す
る。さらに、パソコン１３に試料７の欠陥スペックを入
力し、それを元に単位パターンα、β、γごとの欠陥検
出感度が所望の比率になるように単位パターンα、β、
γ間の透過光強度の比率を計算する。そして、各単位パ
ターンα、β、γの分光透過率データと透過光強度の比
率データを用いて各光源光の発光強度の比率をパソコン
１３で計算し、この計算結果に基づいて各光源光の発光
強度を調整することで、単位パターンα、β、γ間の欠
陥検出感度の比を任意に調整することができる。
位パターンα、β、γ間の欠陥検出感度の比を任意に調
整することもできる。すなわち、各光源１1 ，１2 ，１
3 を順次点灯させながら光源光を試料７に照射し、この
透過光をカメラ１０で計測してパターンが有る時と無い
時の透過光強度の比率をパソコン１３で計算し、これを
各単位パターンα、β、γの分光透過率として設定す
る。さらに、パソコン１３に試料７の欠陥スペックを入
力し、それを元に単位パターンα、β、γごとの欠陥検
出感度が所望の比率になるように単位パターンα、β、
γ間の透過光強度の比率を計算する。そして、各単位パ
ターンα、β、γの分光透過率データと透過光強度の比
率データを用いて各光源光の発光強度の比率をパソコン
１３で計算し、この計算結果に基づいて各光源光の発光
強度を調整することで、単位パターンα、β、γ間の欠
陥検出感度の比を任意に調整することができる。
【００３４】上記検査装置では、ステージ８の上に試料
７を設置し、パソコン１３の操作により検査開始を指示
すると、この指示によりステージ８が一軸方向へ移動す
ると同時にカメラ１０で撮影が開始される。カメラ１０
からの映像信号は連続的に信号処理装置１２へ送られ、
ここで逐次欠陥検出処理が施される。そして、検出され
た欠陥の位置は信号処理装置１２に記憶され、一枚分の
試料７の処理が全て終了するとデータがパソコン１３へ
送られる。
７を設置し、パソコン１３の操作により検査開始を指示
すると、この指示によりステージ８が一軸方向へ移動す
ると同時にカメラ１０で撮影が開始される。カメラ１０
からの映像信号は連続的に信号処理装置１２へ送られ、
ここで逐次欠陥検出処理が施される。そして、検出され
た欠陥の位置は信号処理装置１２に記憶され、一枚分の
試料７の処理が全て終了するとデータがパソコン１３へ
送られる。
【００３５】信号処理装置１２は、カメラ１０からの映
像信号をスキャン方向に微分し、この微分信号のうち予
め設定したレベルを越える部分の位置を記憶する機能を
有する。微分は１次微分もしくは２次微分が適当であ
る。この機能を専用回路によるデジタル演算で実現する
場合の信号処理装置１２の構成を図４に示す。図４の信
号処理装置１２の動作を処理過程ごとの信号を示す図５
と併せて説明する。
像信号をスキャン方向に微分し、この微分信号のうち予
め設定したレベルを越える部分の位置を記憶する機能を
有する。微分は１次微分もしくは２次微分が適当であ
る。この機能を専用回路によるデジタル演算で実現する
場合の信号処理装置１２の構成を図４に示す。図４の信
号処理装置１２の動作を処理過程ごとの信号を示す図５
と併せて説明する。
【００３６】図５（ａ）〜（ｃ）は１スキャン分の信号
である。カメラ１０からのアナログ信号をＡ／Ｄ変換器
２１でデジタルデータに変換し、（ａ）に示すデジタル
データＸを得る。このデジタルデータＸに対し、微分器
２２で離散的な微分処理を施して（ｂ）に示す微分デー
タＹを得る。微分処理により欠陥の無い部分のレベルは
０付近にあり、欠陥の有る箇所のレベルＹP のみが突出
する。さらに比較器２３により微分信号中、予め設定し
たスライスレベルを越えるデータを「１」に、そうでな
いデータを「０」に変換し（ｃ）に示す２値データＺを
得る。最後にカウンタ２４により２値データＺ中の
「１」のデータの位置をスキャン回数と画素の位置から
表される座標データに変換してメモリ２５に記憶する。
上記一連の動作をパイプライン処理でリアルタイムに行
い、試料７の全面を検査し終えたらメモリ２５内の座標
データをパソコン１３へ送信する。
である。カメラ１０からのアナログ信号をＡ／Ｄ変換器
２１でデジタルデータに変換し、（ａ）に示すデジタル
データＸを得る。このデジタルデータＸに対し、微分器
２２で離散的な微分処理を施して（ｂ）に示す微分デー
タＹを得る。微分処理により欠陥の無い部分のレベルは
０付近にあり、欠陥の有る箇所のレベルＹP のみが突出
する。さらに比較器２３により微分信号中、予め設定し
たスライスレベルを越えるデータを「１」に、そうでな
いデータを「０」に変換し（ｃ）に示す２値データＺを
得る。最後にカウンタ２４により２値データＺ中の
「１」のデータの位置をスキャン回数と画素の位置から
表される座標データに変換してメモリ２５に記憶する。
上記一連の動作をパイプライン処理でリアルタイムに行
い、試料７の全面を検査し終えたらメモリ２５内の座標
データをパソコン１３へ送信する。
【００３７】次に検査装置の検査時の動作を具体的に説
明する。
明する。
【００３８】自動搬送装置又は人手によりステージ８に
試料７が設置される。そして、外部からのスタート信号
の入力又は人手によるキー操作によりパソコン１３に検
査開始が指示されると、パソコン１３はステージ駆動装
置９に移動開始命令を送信するとともに、信号処理装置
１２に処理開始命令を送信する。ステージ駆動装置９は
パソコン１３からの１動開始命令を受信すると、直ちに
ステージ８の移動を開始する。一方、信号処理装置１２
はパソコン１３からの処理開始命令を受信すると、直ち
にカメラ１０からの映像信号を取り込んで検査処理を開
始する。
試料７が設置される。そして、外部からのスタート信号
の入力又は人手によるキー操作によりパソコン１３に検
査開始が指示されると、パソコン１３はステージ駆動装
置９に移動開始命令を送信するとともに、信号処理装置
１２に処理開始命令を送信する。ステージ駆動装置９は
パソコン１３からの１動開始命令を受信すると、直ちに
ステージ８の移動を開始する。一方、信号処理装置１２
はパソコン１３からの処理開始命令を受信すると、直ち
にカメラ１０からの映像信号を取り込んで検査処理を開
始する。
【００３９】ステージ駆動装置９には予め試料７の移動
方向の長さが設定されており、試料７の長さ分だけステ
ージ８を移動させるとステージ８を停止させ、パソコン
１３へステージ８の移動終了信号を送信する。パソコン
１３はステージ駆動装置９からステージ８の移動終了信
号を受信すると信号処理装置１２へ処理終了命令を送信
する。信号処理装置１２は処理終了命令を受信すると検
査処理を終了し、欠陥位置をパソコン１３へ送信する。
欠陥位置は検査開始信号を受信してから欠陥検出するま
でのカメラ１０のスキャン回数と、欠陥検出されたセン
サの画素の位置で表される。そして、パソコン１３が欠
陥位置をディスプレイに表示して１枚の試料の検査が終
了する。
方向の長さが設定されており、試料７の長さ分だけステ
ージ８を移動させるとステージ８を停止させ、パソコン
１３へステージ８の移動終了信号を送信する。パソコン
１３はステージ駆動装置９からステージ８の移動終了信
号を受信すると信号処理装置１２へ処理終了命令を送信
する。信号処理装置１２は処理終了命令を受信すると検
査処理を終了し、欠陥位置をパソコン１３へ送信する。
欠陥位置は検査開始信号を受信してから欠陥検出するま
でのカメラ１０のスキャン回数と、欠陥検出されたセン
サの画素の位置で表される。そして、パソコン１３が欠
陥位置をディスプレイに表示して１枚の試料の検査が終
了する。
【００４０】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載の効果を奏する。
で、次に記載の効果を奏する。
【００４１】２種類以上の異なる分光透過率を持つ単位
パターンを有する試料の検査でも、各単位パターンごと
の欠陥検出感度を同等にすることができるので、異なる
分光透過率を持つ単位パターンによって許容サイズ以上
の欠陥の見逃しや、許容サイズ以下の問題とならないサ
イズの欠陥の過剰検出を防ぐことができる。
パターンを有する試料の検査でも、各単位パターンごと
の欠陥検出感度を同等にすることができるので、異なる
分光透過率を持つ単位パターンによって許容サイズ以上
の欠陥の見逃しや、許容サイズ以下の問題とならないサ
イズの欠陥の過剰検出を防ぐことができる。
【００４２】また、分光透過率の異なる単位パターン間
の欠陥検出強度の比率を計算することにより、単位パタ
ーン間の欠陥検出感度の比を任意に調整して、これを同
等にすることができるので、１つのスライスレベル設定
により、異なる分光透過率を持つ単位パターンの欠陥検
査を、見逃しや過剰検出なく行うことができる。
の欠陥検出強度の比率を計算することにより、単位パタ
ーン間の欠陥検出感度の比を任意に調整して、これを同
等にすることができるので、１つのスライスレベル設定
により、異なる分光透過率を持つ単位パターンの欠陥検
査を、見逃しや過剰検出なく行うことができる。
【図１】光源装置を示す概略図である。
【図２】異なる分光透過率を有する３種類の単位パター
ンが配置された試料を示す平面図である。
ンが配置された試料を示す平面図である。
【図３】検査装置の一構成例を示す図である。
【図４】信号処理装置を示すブロック図である。
【図５】カメラが入力した１スキャン分のデータ例を示
すグラフである。
すグラフである。
【符号の説明】 １1 〜１n 光源 ２1 〜２n 点灯装置 ３ ファイバー ４ 出射端 ５ 拡散板 ６ ファイバーガイド ７ 試料 ８ ステージ ９ ステージ駆動装置 １０ カメラ １１ レンズ １２ 信号処理装置 １３ パソコン
Claims (4)
- 【請求項１】 それぞれ異なる分光透過率を持つ複数の
単位パターンが透明基板上に周期的に配置されている試
料を検査する方法であって、異なる分光強度を持つ複数
の光源光を前記試料に照射して、撮像手段から見た各単
位パターンの透過光強度が所望の比率となるように各光
源光の発光強度を調整し、前記撮像手段によって撮影し
た試料の映像信号により欠陥箇所を検出することを特徴
とする着色パターンの検査方法。 - 【請求項２】 それぞれ異なる分光透過率を持つ複数の
単位パターンが透明基板上に周期的に配置されている試
料を検査する方法であって、異なる分光強度を持つ複数
の光源光を前記試料に照射して、撮像手段から見た各単
位パターンの各光源光に対する分光透過率を測定し、単
位パターンごとの欠陥検出感度が所望の比率になるよう
に単位パターン間の透過光強度の比率を設定し、前記分
光透過率と前記透過光強度の比率から各光源光の発光強
度の比率を計算して調整し、前記撮像手段によって撮影
した試料の映像信号により欠陥箇所を検出することを特
徴とする着色パターンの検査方法。 - 【請求項３】 それぞれ異なる分光透過率を持つ複数の
単位パターンが透明基板上に周期的に配置されている試
料を検査する装置であって、異なる分光強度を持つ複数
の光源と、複数の光源光の発光強度を個々に調節する光
強度調節手段と、試料を透過した複数の光源光からの光
を撮影する撮像手段と、撮像手段によって撮影した試料
の映像信号により欠陥検出処理を行う信号処理装置とを
備えたことを特徴とする着色パターンの検査装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の着色パターンの検査装置
において、各光源に対する各単位パターンの分光透過率
を測定して設定する第１の設定部と、単位パターンごと
の欠陥検出感度が所望の比率になるように単位パターン
間の透過光強度の比率を設定する第２の設定部と、前記
第１及び第２の設定部により設定されたデータを用いて
各光源光の発光強度の比率を計算する演算部とを備えた
ことを特徴とする着色パターンの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP475495A JPH08193914A (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 着色パターンの検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP475495A JPH08193914A (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 着色パターンの検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08193914A true JPH08193914A (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=11592699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP475495A Pending JPH08193914A (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 着色パターンの検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08193914A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020063729A (ko) * | 2001-01-30 | 2002-08-05 | 사단법인 고등기술연구원 연구조합 | 확산판을 이용한 유리의 결함 검출 장치 |
| CN111610197A (zh) * | 2020-06-01 | 2020-09-01 | 上海御微半导体技术有限公司 | 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
-
1995
- 1995-01-17 JP JP475495A patent/JPH08193914A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020063729A (ko) * | 2001-01-30 | 2002-08-05 | 사단법인 고등기술연구원 연구조합 | 확산판을 이용한 유리의 결함 검출 장치 |
| CN111610197A (zh) * | 2020-06-01 | 2020-09-01 | 上海御微半导体技术有限公司 | 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
| CN111610197B (zh) * | 2020-06-01 | 2023-09-12 | 上海御微半导体技术有限公司 | 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 |
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