JPH08193573A

JPH08193573A - クライオポンプの安全弁装置

Info

Publication number: JPH08193573A
Application number: JP7022240A
Authority: JP
Inventors: Kenji Tanaka; 賢二田中
Original assignee: Tel Varian Ltd
Current assignee: Tel Varian Ltd
Priority date: 1995-01-17
Filing date: 1995-01-17
Publication date: 1996-07-30

Abstract

(57)【要約】【目的】弁体を確実にアースして静電気の蓄積を防止
することができる、クライオポンプの安全弁装置を提供
する。【構成】真空容器７４内に低温液体により冷却された
凝縮パネル８８，９４を有するクライオポンプ７２に設
けられる安全弁装置であって、弁口１１４を有する弁座
１１２を収容した筐体１３２と、前記真空容器内の過度
の圧力を逃がすために前記弁座に着座可能になされた弁
体を備えた安全弁装置において、上記弁体と例えば筐体
との間にアース線１３８を接続し、これらの間の電気的
抵抗を比較的少なくする。これにより、弁体と筐体等
が、例えばゼロボルトの同電位となり、静電気火花に伴
う水素ガス等の爆発を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、イオン注入装置や真空
処理装置等に取り付けられるクライオポンプの安全弁装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体デバイスの製造工程にお
ける不純物導入を行う装置として、不純物導入量の精密
な制御が可能であり、しかもイオンの数を把握しながら
処理できるという理由からイオン注入装置が用いられて
いる。

【０００３】このイオン注入装置は、ハロゲン化合物な
どのガスをプラズマ状態にし、これに途中に設けた電極
により電界を加えることによりイオンを引き出して、そ
して、引き出されたイオンビームに所定の磁界をかける
ことにより不純物イオンを排除して所定のイオンのみを
取り出す質量分析を行い、更に取り出したイオンのエネ
ルギを上げたり、下げたりして被処理体へ注入するよう
になっている。このイオン注入操作においては、イオン
ビーム経路途中に不要なガスが存在するとこの不要ガス
にイオンビームが散乱等させられてしまい、適正なイオ
ン注入ができなくなることから、装置内を超高真空に維
持して不要なガスを排除することが行われている。

【０００４】このイオン注入装置とその真空排気系を図
５及び図６に基づいて説明する。図５は一般的なイオン
注入装置とその真空排気系を示す断面図、図６は真空排
気系に用いるクライオポンプを示す概略構成図である。
図示するようにこのイオン注入装置２は、供給ガスをプ
ラズマ化するためのイオン源４を有しており、このイオ
ン源４はこれに必要とするハロゲンガス等を供給するガ
スボックス６に配管８を介して接続されている。このイ
オン源４からプラスイオンを引き出すために出口側には
引出し電極１０が設けられており、引き出されたイオン
ビームＢ１は加速されて、強力な電磁マグネットを有す
る質量分析器１２を通過して、ここで所定の必要なイオ
ンのみを取り出し、不純物イオンを排除する。この取り
出されたイオンは、加速管１４に配置した多段の加速電
極１６により更に加速され、或いは減速されてエンドス
テーションチャンバー１８内に入り、ディスクチャンバ
２０内の回転可能なウエハディスク２２に取り付けられ
た半導体ウエハＷに注入される。

【０００５】イオンビームＢ１を引き出すためにイオン
源４には、例えば最大６０ＫＶ程度の高圧直流を出力で
きるように可変になされた引出し電源２４が接続されて
おり、ターミナル３２を介して引き出し電極１０に接続
されている。また、加速電極１６と上記引出し電極１０
との間には例えば最大１４０ＫＶ程度の高圧を出力でき
るように可変になされた加速電源２６が接続されてお
り、最大２００ＫＶのエネルギでイオン注入を行い得る
ようになっている。

【０００６】また、真空度がイオン注入装置の性能に大
きな影響を与えるために、イオンビームＢ１が通過する
部分、特に後段のエンドステーションチャンバー１８は
ターボ分子ポンプやクライオポンプ等により内部を例え
ば１０^-6Ｔｏｒｒ程度の高真空に維持している。

【０００７】例えばエンドステーションチャンバー１８
には、排気系２８が接続され、この排気系２８の粗引き
用排気管３０には、第１の開閉弁３４を介して油拡散ポ
ンプ又はドライポンプ等の開放型の粗引き用ポンプ３６
が介設される。また、エンドステーションチャンバー１
８には、高真空用排気口３２が設けられ、ここにはゲー
トバルブ等よりなる第２の開閉弁３８を介して非開放型
のクライオポンプ４０が介設されている。そして、常圧
から数ｍＴｏｒｒまで減圧する時には粗引き用ポンプ３
６を用い、それ以降はクライオポンプ４０を用いて、高
真空を実現するようにっている。そして、このクライオ
ポンプ４０は非開放型であることから、内部圧力が過度
に上昇した時にこれを開放するための安全弁装置４２
が、安全排気管４４に介設されている。

【０００８】ここで図６に基づいてクライオポンプ４０
の基本構成について説明する。一般的にクライオポンプ
は、液体水素（２０Ｋ：ケルビン）や液体ヘリウム
（４．２Ｋ）またはそれ以下の温度で冷却したクライオ
面に気体を凝縮させることによって排気するポンプであ
り、上記した油拡散ポンプ，ドライポンプ又はターボ分
子ポンプ等と異なり、非開放型のポンプである。

【０００９】図示するようにこのクライオポンプ４０
は、吸気口４６を有する真空容器４８内に第１のクライ
オパネル５０と、これに連接した第２のクライオパネル
５２を収容し、また、第２のクライオパネル５２の内側
に、活性炭よりなる吸着剤５４を接着して構成されてい
る。そして、第１のクライオパネル５０に膨張室を備え
た駆動部５６を接続し、コンプレッサで圧縮された高圧
ヘリウムガス等をこの駆動部５６で断熱膨張させて冷熱
を得るようになっている。尚、５８は水素（Ｈ₂ ）の蒸
気圧温度計である。上述のように構成することにより、
通常の粗引き用ポンプでは十分に排出し得ない水蒸気
や、ヘリウムガス、水素ガス等を高い付着率で吸引し、
超高真空を得るようになっている。

【００１０】ところで、前述したようにこのクライオポ
ンプ４０は、ある程度の吸着量を超えると吸着能力がな
くなり、例えば吸着能力を回復する再生処理時には吸着
したガスが再蒸発して内部圧力が高くなるが、このポン
プ４０は前述のように非開放型であることから内部圧力
を逃がすために安全弁装置４２を、ポンプ４０の真空容
器４８に貫通させた安全排気管４４に介設している。

【００１１】図７は上記した安全弁装置４２を示す断面
図であり、この安全弁装置４２は安全排気管４４の途中
に、弁口６０を有する弁座６２を介設し、この弁座６２
に摺動可能になされた弁支持棒６４を介して弁体６６を
取り付けて構成されている。この弁支持棒６４にはコイ
ルバネのごとき弾発部材６８が介設されて、弁体６６を
弁座６２に着座させるように常時付勢しており、所定の
圧力以上、例えば０．１ｋｇｆ／ｃｍ² から０．３ｋｇ
ｆ／ｃｍ² 程度以上のガス圧で弾発部材６８の付勢力に
抗して弁体６６が開方向へ移動して圧力を開放するよう
になっている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに再生処理時のようにクライオポンプ内圧力が過度に
大きくなると、上記した安全弁装置４２が内部圧力を開
放するように動作するが、この場合、弁支持棒６４とこ
れを支持する弁座６２の貫通孔とのクリアランスがほと
んどないことからこれらの間の摩擦により静電気が発生
し、電荷が弁体６６に蓄積されてしまう。また、弁体６
６の移動に伴って弾発部材６８も伸縮し、この時の弾発
部材６８の摩擦によっても弁体６６に電荷が蓄積されて
しまう。

【００１３】弁体６６、弁座６２、弾発部材６８は、ス
テンレススチールや鋼で形成されているが、弾発部材６
８と弁座６２とは点接触であり、また、弁支持棒６４と
弁座６２の貫通孔との間は潤滑油が介在され、更には、
弁体６６の周縁部には、弁座６２との密着性を良好にす
る絶縁材料製のＯリング７０が介在されているので、弁
体６６と弁座６２との間の電気的抵抗は、１００Ω程度
にも達してしまい、弁体６６に蓄積した電荷を十分に
は、逃がすことができない。

【００１４】この場合、クライオポンプ４０内のガス種
が不燃焼のＨｅ（ヘリウム）や水蒸気等であれば問題は
何ら生じないが、イオン注入処理を行う時には、処理ガ
スとして例えばＰＨ₃ ガスとＨ₂ ガスの混合ガスを用い
る場合もあり、このような可燃性のガス、例えば０．０
２ｍＪ（ミリジュール）程度の着火源で容易に着火する
水素ガスを用いた場合には、弁体６６と弁座６２との間
で生ずる、静電気による火花放電により容易に爆発する
危険性があった。

【００１５】また、クライオポンプのガス蓄積量が限界
に近づいた時に行われるポンプ再生処理時においても、
吸着されていた水素ガスが放出されることから上記した
爆発の危険性があった。特に、ＩＣ集積回路の高集積化
及び微細化の傾向によりイオン注入装置が多様化される
傾向にある今日において、上記した問題点の解決が強く
望まれている。

【００１６】本発明は、以上のような問題点に着目し、
これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明
の目的は、弁体を確実にアースして静電気の蓄積を防止
することができるクライオポンプの安全弁装置を提供す
ることにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、真空容器内に低温液体により冷却され
た凝縮パネルを有するクライオポンプに設けられる安全
弁装置であって、弁口を有する弁座を収容した筐体と、
前記真空容器内の過度の圧力を逃がすために前記弁座に
着座可能になされた弁体を備えた安全弁装置において、
前記弁体に、これに発生する静電気を排除するアース線
を接続するように構成したものである。

【００１８】

【作用】本発明は、以上のように構成したので、クライ
オポンプ内の圧力を開放するために弁体が移動して、弁
座等との間における摩擦により弁体に静電気が発生して
も、この弁体と例えば筐体との間はアース線により電気
的に確実に、すなわち電気抵抗が非常に少ない状態で接
続されているので、発生した静電気はアース線を介して
直ちに筐体側へ流れて消滅してしまう。従って、弁体が
移動して弁口の開閉が頻繁に生じても静電気はほとんど
蓄積されず、静電気による火花放電が発生することを阻
止することができる。これにより、クライオポンプが吸
着した水素ガス等の可燃性ガスが再蒸気化して安全弁装
置側から排出されたとしても、火花放電による爆発の危
険性を防ぐことが可能となる。この場合、安全弁として
の機能を確保しつつ、弁体に貯まった静電気を効率的に
逃がすためには、筐体、弁体、弁座等をステンレステー
ルで形成し、且つアース線を導電性が高く且つ安価な銅
線で形成することが望ましい。

【００１９】

【実施例】以下に、本発明に係るクライオポンプの安全
弁装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１
は本発明に係る安全弁装置を示す断面図、図２は本発明
の安全弁装置を取り付ける一般的なクライオポンプを示
す分解組立図である。

【００２０】まず、図２に基づいて本発明の安全弁装置
を取り付ける一般的なクライオポンプの構成について説
明する。このクライオポンプ７２は、上方が開放された
有底円筒体状のステンレススチール製真空容器７４を有
しており、この上端周縁部には、取付孔７６を備えたフ
ランジ７８が形成されている。この真空容器７４の底部
中心部には、下端が開口されて内部が中空になされた内
部構造物取付コラム８０が上方へ突出させて設けられて
いる。このコラム８０の途中には、取付段部８０Ａが形
成されており、このコラム８０の取付段部８０Ａにイン
ジウム板８２を介して、上方が開放されて底部に挿通孔
を有する容器状のラジエーションシールド８４を取り付
けている。このシールド内部に、活性炭等の吸着剤８６
を備えたクライオパネルとしての凝縮パネル８８が多段
に設けられ、多段になされたパネル８８の上部にはアセ
ンブリ組み立て板９０がネジ９２により凝縮パネル８８
側に取り付けている。この凝縮パネル８８は、例えば１
５Ｋ（ケルビン）で冷却される第１のクライオパネルを
構成する。

【００２１】このように組み立てられたパネルアセンブ
リは、その中心部に上記コラム８０を挿通させた状態で
ラジエーションシールド８４内に収容され、その上部に
は例えば８０Ｋ（ケルビン）で冷却される第２のクライ
オパネルとしての凝縮パネル９４がネジ９６により上記
シールド８４の上端内側の取付金具９８に固定される。
そして、この凝縮パネル９４の上部には円板状の保護カ
バー１００が設けられる。

【００２２】一方、真空容器７４内に設けた中空の内部
構造物取付コラム８０内には、底部下方により駆動ユニ
ット１０２が挿入されて取り付けられており、外部より
送り込んだ低温液体例えば液体ヘリウムを内部で気化さ
せることにより上記凝縮パネル８８、９４を所望の低温
域まで冷却するようになっている。また、ハウジング７
４の底部７４Ａには、内部温度を検出する温度センサ１
０４、内部の水素蒸気圧を測定する水素蒸気圧計１０６
及び内部圧力が許容値以上になった時に開放するための
安全排気管１０８等が設けられている。このように構成
されたクライオポンプは、そのフランジ７８を、Ｏリン
グ１０９及びゲートバルブ３２（図５も参照）を介して
エンドステーションチャンバー１８の排気口３２に取り
付けることにより固定される。

【００２３】ここで上記安全排気管１０８に本発明に係
る安全弁装置１１０が取り付けられる。具体的には、こ
の安全弁装置１１０は、安全排気管１０８の端部にこれ
を閉塞するように設けた弁座１１２を有しており、この
弁座１１２には複数の弁口１１４が形成されている。弁
座１１２の中心部には、弁体支持棒を挿通する挿通孔１
１６が形成され、ここに弁体支持棒１１８を摺動可能に
挿通している。この弁体支持棒１１８の気体放出側端部
には、上記挿通孔１１６全体をカバーし得る大きさの円
板状の弁座１２０が取り付けられると共にその周縁部は
弁座１１２側に断面三角形状に突状になされ、この部分
に着座時の気密性を確保するためのＯリング等のシール
部材１２２が取り付けられている。

【００２４】上記弁体支持棒１１６には、コイルバネ等
の弾発部材１２４が巻装されており、そのバネの一端は
上記弁座１１２に接し、他端は弁体支持棒１１６の端部
のフランジ部１２６に溶接１２８により強固に接続され
る。従って、弾発部材１２４の弾発力により弁体１２０
は、常時弁座１１２側へ付勢されて着座するようになっ
ている。この時の弾発部材１１２のバネ定数は、クライ
オポンプの耐圧特性等によって設定されるが、例えば
０．１ｋｇｆ／ｃｍ² 〜０．３ｋｇｆ／ｃｍ² の範囲内
の圧力で弁体１２０が動くように設定される。

【００２５】上記弁座１１２は、肉厚な円板状に成形さ
れており、その側面にはネジ山１３０が形成されてい
る。そして、このネジ部１３０に、弁体１２０を保護す
るように円筒状の筐体１３２のネジ部１３４を螺合させ
てこれを取り付け固定しており、筐体１３２の反対側は
開放されて排出口１３４を構成している。上記弁座１１
２、弁体１２０、弁体支持棒１１８及びこれを保護する
筐体１３２は、それぞれ比較的剛性が高くて導電性が良
好な材料、例えばステンレススチールにより作られてい
る。そして、弁体１２０のガス排出側中央部にはアース
線用ネジ１３６が取り付けられており、このアース線用
ネジ１３６と上記ステンレス製筐体１３２の内壁との間
には、例えば銅線等の良導体よりなるアース線１３８
が、例えば溶接１４０等により接続固定されており、筐
体−弁体間を電気的に接続している。これにより、弁体
１２０の駆動によってこれに発生した静電気を直ちに筐
体１３２側へ逃がすようになっている。

【００２６】この場合、弁体１２０に発生した静電気を
容易に逃がすためには、弁体−筐体間の電気抵抗を好ま
しくは０．１Ω以下に設定する。また、円筒状筐体１３
２の直径は略５０ｍｍ程度であるが、この場合には、弁
体１２０の最大ストロークは略１０ｍｍ程度になるが、
この全ストローク範囲において弁体１２０の移動を許容
し得るようにアース線１３８の長さを十分に長く、例え
ば３０ｍｍ程度以上に設定しておく。

【００２７】また、１本のアース線１３８では、所望す
る電気抵抗値を得られない場合にはこれを複数本設ける
ようにしてもよいし、また、アース線用ネジ１３６を設
けることなく、アース線１３８の端部を弁体１２０に直
接的に溶接で取り付け固定するようにしてもよい。

【００２８】次に、以上のように構成された安全弁装置
の動作について説明する。まず、処理ガスとして例えば
ＰＨ₃ ガスとＨ₂ ガスの混合ガスを用いてイオン注入操
作を行う場合には、エンドステーションチャンバー１８
（図５参照）内に上記混合ガスが導入されており、内部
を所定圧に維持する場合或いは内部を大気開放等する時
には有害ガスである混合ガスをまず排出する必要から、
内部圧力が比較的高い時には粗引き用ポンプ３６のみを
用いてエンドステーションチャンバー１８内を真空引き
し、内部を所定の真空度、例えば１０^-2Ｔｏｒｒ程度ま
で減圧し、その後、ゲートバルブよりなる第２の開閉弁
３８（図５参照）を開いてクライオポンプ７２（図２参
照）を動作させる。これにより、エンドステーションチ
ャンバー１８内に残留する比較的軽いガス、特に水素ガ
ス等は液体ヘリウムにより超低温まで冷却されている凝
縮パネル８８、９４や吸着剤８６により吸着されて排気
され、所定の真空度、例えば１０^-7Ｔｏｒｒ程度まで減
圧することができる。

【００２９】ここで、上記クライオポンプ７２が繰り返
し使用される間に、ガス蓄積量が限界に近づいてくるこ
とから、凝縮パネル８８、９４や吸着剤８６の再生処理
が行われ、この時、多量の水素ガスが放出される。尚、
この時、第２の開閉弁３８は閉じられて、クライオポン
プ４０はエンドステーションチャンバー１８側から仕切
られているのは勿論である。

【００３０】水素ガスが再放出されて、クライオポンプ
７２内の圧力が図１に示す安全弁装置１０の弾発部材１
２４の設定圧、例えば０．２ｋｇｆ／ｃｍ² 以上になる
と、この弾発部材１２４の付勢力に抗して弁体１２０は
図１中にて一点鎖線にて示すように開方向へ移動して弁
口１１４を排出口１３４側へ開放し、過剰なガスが放出
されることになる。

【００３１】弁体１２０が移動する場合には、これと弁
座１１２との間の摩擦、弁体支持棒１１６と弾発部材１
２４との間の摩擦或いは弁体支持棒１１６と弁座１１２
との間の摩擦等に起因して弁体１２０に静電気が発生
し、蓄積される傾向にある。しかしながら、本発明にお
いては、弁体１２０と筐体１３２との間をアース線１３
８により電気的に接続してこれらの間の電気的抵抗を非
常に小さくしているので、弁体１２０に発生したほとん
どの静電気はアース線１３８を介して筐体１３２側へ直
ちに流れてしまう。従って、着座していた弁体１２０が
弁座１１２から離れる時には、これらの間に静電気によ
る火花放電が発生することなく、水素ガスによる爆発を
未然に防止することが可能となる。

【００３２】このように本発明では、弁体１２０と筐体
１３２との間をアース線１３８で電気的に接続してこれ
らの間の電気的抵抗を非常に小さくしたので、弁体１２
０に発生した静電気がほとんど筐体１３２に流れてしま
い、弁体１２０と筐体１３２及びこの筐体１３２と電気
的に密に接合されている弁座１１２とがゼロ電位或いは
同じ電位となるので、弁体１２０が開放する時に静電気
による火花放電が発生するを防止することができる。

【００３３】尚、図１に示す装置例にあっては、弁体１
２０と筐体１３２との間にアース線１３８を接続した場
合を示しているが、弁体１２０に蓄積する静電気を逃が
し得る接続状態ならばどのような構成でもよく、例えば
アース線１３８を、弁体１２０と弁座１１２との間で接
続してもよいし、或いは弁体１２０に代えてこれと電気
的に密に結合されている弁体支持棒１２８を用いるよう
にしてもよい。

【００３４】また、図１に示す安全弁装置１１０の基本
構成は、一例を示したに過ぎず、従って図１に示したも
のに限定されず、例えば図３或いは図４に示す構成の装
置にも適用し得る。図３に示す安全弁装置１４２にあっ
ては、弁座１１２を有底状の円筒体として形成し、この
円筒状の弁座１１２の開放端側のネジ部１３４を、安全
排気管１０８の端部のネジ部１３０に螺合させて弁座１
１２を固定している。

【００３５】そして、弁体１２０を被う円筒状の筐体１
３２は、一端が上記安全排気管１０８の端部のフランジ
１４４に複数のネジ１４６により固定され、他端は、そ
の開口面積を絞り込んで排出口１３４として形成されて
いる。他の部分の構成は、図１に示す装置例と略同じで
あり、この場合にも弁体１２０に取り付けたアース線用
ネジ１３６と筐体１３２との間をアース線１３８で接続
し、これらの間の電気的抵抗を非常に小さい値に設定し
ている。

【００３６】図４に示す安全弁装置１４８にあっては、
弾発部材１２４を弁口１１４のガス排出側に設けている
点が図１及び図３に示す装置と比較して大きく異なる。
すなわち安全排気管１０８として流路面積を大きく絞り
込んだ管径の小さな排気管を用い、この端部に、先端排
出側に向けて拡径された弁口１１４を有する肉厚な弁座
１１２が接続されている。

【００３７】この弁座１１２の外周に形成したネジ部１
３０には、有底円筒体状の弁体支持ケーシング１５０
が、その基端部に形成したネジ部１５２を螺合させるこ
とにより取り付け固定されている。このケーシング１５
０の側壁部には、弁口１１４を流れてきたガスを排出側
へ流す複数の流通孔１５４が形成されており、また、ケ
ーシング１５０の底部には、弁体支持棒１１６が弁口１
１４に向けて摺動可能に貫通させて支持され、この弁体
支持棒１１６の先端部に上記弁口１１４に嵌装される上
下２段の円板状の弁体１２０が設けられている。

【００３８】この上下２段の弁体間には、周縁部に沿っ
てリング状のＯリング等よりなるシール部材１２２が介
設されており、着座時に弁口１１４を気密に密閉し得る
ようになっている。そして、弁体１２０とケーシング底
部の間の弁体支持棒１１６に弾発部材１２４を巻装させ
てこの弾発力により弁体１２０を弁座１１２側へ常時付
勢している。

【００３９】そして、弁体１２０を被う円筒状の筐体１
３２は、一端が上記安全排気管１０８の端部のフランジ
１４４に複数のネジ１４６により固定され、他端は、そ
の開口面積を絞り込んで排出口１３４として形成されて
いる。そして、この実施例の場合には、弁体支持棒１１
６の端部に取り付けたアース線用ネジ１３６と筐体１３
２との間をアース線１３８で接続し、弁体１２０と筐体
１３２との間の電気的抵抗を非常に小さい値に設定して
いる。

【００４０】図３及び図４に示す構成においても弁体１
２０と筐体１３２との間の電気的抵抗は非常に小さくな
っているので、図１に示す装置と同様な作用効果を示
し、弁体１２０に静電気が蓄積されていることがないの
で、静電気火花に起因する水素ガスの爆発の発生を未然
に防止することができる。

【００４１】尚、以上の各実施例においてはイオン注入
装置に設けたクライオポンプに本発明の安全弁装置を取
り付けた場合を例にとって説明したが、これに限定され
ず、他の真空装置、例えば半導体ウエハのＣＶＤ成膜装
置、プラズマ処理装置、エッチング装置等にも適用し得
るのは勿論である。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の安全弁装
置によれば、次のように優れた作用効果を発揮すること
ができる。弁体にアース線を接続してこれに蓄積する静
電気を逃がすようにしたので、爆発性の危険ガスを取り
扱う場合においても静電気火花に起因する爆発の危険性
を未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る安全弁装置を示す断面図である。

【図２】本発明の安全弁装置を取り付ける一般的なクラ
イオポンプを示す分解組立図である。

【図３】本発明の安全弁装置の変形例を示す断面図であ
る。

【図４】本発明の安全弁装置の他の変形例を示す断面図
である。

【図５】一般的なイオン注入装置とその真空排気系を示
す断面図である。

【図６】真空排気系に用いるクライオポンプを示す概略
構成図である。

【図７】従来の安全弁装置を示す断面図である。

【符号の説明】

２イオン注入装置４イオン源１２質量分析器１４加速管１８エンドステーションチャンバー２２ウエハディスク３０粗引き用排気管３６粗引き用ポンプ３８第２の開閉弁（ゲートバルブ）４４安全排気管７２クライオポンプ７４真空容器８８、９４凝縮パネル１１０、１４２、１４８安全弁装置１１２弁座１１４弁口１２０弁体１２４弾発部材１３２筐体１３６アース線用ネジ１３８アース線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器内に低温液体により冷却された
凝縮パネルを有するクライオポンプに設けられる安全弁
装置であって、弁口を有する弁座を収容した筐体と、前
記真空容器内の過度の圧力を逃がすために前記弁座に着
座可能になされた弁体を備えた安全弁装置において、前
記弁体に、これに発生する静電気を排除するアース線を
接続するように構成したことを特徴とするクライオポン
プの安全弁装置。
【請求項２】前記アース線は、前記弁体と前記筐体と
の間を接続することを特徴とする請求項１記載のクライ
オポンプの安全弁装置。
【請求項３】前記筐体と弁体と弁座は、それぞれステ
ンレススチールにより形成されると共に前記アース線は
銅線により形成されることを特徴とする請求項１または
２記載のクライオポンプの安全弁装置。