JPH08190028A - N×mスプリッタ導波路素子及びその製造方法 - Google Patents
N×mスプリッタ導波路素子及びその製造方法Info
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- JPH08190028A JPH08190028A JP335995A JP335995A JPH08190028A JP H08190028 A JPH08190028 A JP H08190028A JP 335995 A JP335995 A JP 335995A JP 335995 A JP335995 A JP 335995A JP H08190028 A JPH08190028 A JP H08190028A
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- waveguide element
- splitter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポート数の少ないNポート側の基板の空きス
ペースに着目することにより、ポート数が多い導波路素
子でもウエハ上に多数形成でき、製造コストを抑えるこ
とができるN×Mスプリッタ導波路素子を提供する。 【構成】 基板上に複数の導波路が分岐して多数の導波
路となるよう光回路12を形成したN×Mスプリッタ導
波路素子11において、ポート数が少ないNポート側1
5の導波路素子幅をMポート側16の素子幅より細くし
て、素子11の形状を台形とする。
ペースに着目することにより、ポート数が多い導波路素
子でもウエハ上に多数形成でき、製造コストを抑えるこ
とができるN×Mスプリッタ導波路素子を提供する。 【構成】 基板上に複数の導波路が分岐して多数の導波
路となるよう光回路12を形成したN×Mスプリッタ導
波路素子11において、ポート数が少ないNポート側1
5の導波路素子幅をMポート側16の素子幅より細くし
て、素子11の形状を台形とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、N×Mスプリッタ導波
路素子とその製造方法に関するものである。
路素子とその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のN×Mスプリッタ導波路素子を図
8に示した。
8に示した。
【0003】N×Mスプリッタ導波路素子63は長方形
基板上に、複数の導波路が、分岐して多数の導波路とな
るよう光回路66を形成した構成で、各導波路は素子端
面に光入出力端部(ポート)を有している。ここで、ポ
ートの少ない側をNポート側62、ポートの多い側をM
ポート側61とする。
基板上に、複数の導波路が、分岐して多数の導波路とな
るよう光回路66を形成した構成で、各導波路は素子端
面に光入出力端部(ポート)を有している。ここで、ポ
ートの少ない側をNポート側62、ポートの多い側をM
ポート側61とする。
【0004】このN×Mスプリッタ導波路素子63のN
ポート側62に光ファイバアレイ64、Mポート側61
に光ファイバアレイ65を接続する。接続する際の位置
決め用のアライメントは、光回路66のポートに光を入
射させて行った。
ポート側62に光ファイバアレイ64、Mポート側61
に光ファイバアレイ65を接続する。接続する際の位置
決め用のアライメントは、光回路66のポートに光を入
射させて行った。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来では、N×Mスプ
リッタ導波路素子の形状を長方形としていたため、その
幅は、ポート数の多いMポート側61のポート数に依存
し、Mポート側61のポート数が多いほど素子の幅は広
くしなければならない。従って、素子を製造する場合、
図9に示すようにウエハ基板上71に形成できる素子7
2はポート数によって大きく制限される。
リッタ導波路素子の形状を長方形としていたため、その
幅は、ポート数の多いMポート側61のポート数に依存
し、Mポート側61のポート数が多いほど素子の幅は広
くしなければならない。従って、素子を製造する場合、
図9に示すようにウエハ基板上71に形成できる素子7
2はポート数によって大きく制限される。
【0006】つまり、N×Mスプリッタ導波路素子のポ
ート数が多くなるほど、導波路素子幅の面積が著しく広
くなり、1ウエハ内に形成できる素子数が大幅に減少
し、導波路素子一個当たりの製造コストが高くなってし
まう。
ート数が多くなるほど、導波路素子幅の面積が著しく広
くなり、1ウエハ内に形成できる素子数が大幅に減少
し、導波路素子一個当たりの製造コストが高くなってし
まう。
【0007】更に、ポート数が多くなると発生する問題
として、ファイバアレイと接続する際、アライメントの
ためにNポート側から光を入射すると、スプリッタの分
岐数が多いためスプリッタを伝搬しMポート側から出射
する光パワーが著しく減少してしまうことから、アライ
メント誤差が生じ易いという問題がある。
として、ファイバアレイと接続する際、アライメントの
ためにNポート側から光を入射すると、スプリッタの分
岐数が多いためスプリッタを伝搬しMポート側から出射
する光パワーが著しく減少してしまうことから、アライ
メント誤差が生じ易いという問題がある。
【0008】例えば、図8のN×Mスプリッタ導波路素
子は16分岐であるが、さらに分岐数の多い32分岐の
スプリッタ等では入射した光パワーは32分配され15
dB以上減衰し、非常に弱い光となってしまう。このよ
うに光パワーが弱くなってしまうと、ファイバアレイを
接続する際、位置決めのためのアライメントが不正確に
なり、軸ずれ等が生じ接続損失の増加を招いてしまう。
子は16分岐であるが、さらに分岐数の多い32分岐の
スプリッタ等では入射した光パワーは32分配され15
dB以上減衰し、非常に弱い光となってしまう。このよ
うに光パワーが弱くなってしまうと、ファイバアレイを
接続する際、位置決めのためのアライメントが不正確に
なり、軸ずれ等が生じ接続損失の増加を招いてしまう。
【0009】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、ポート数の少ないNポート側の基板の空きスペース
に着目することにより、ポート数が多い導波路素子でも
ウエハ上に多数形成し製造コストを抑えることができる
N×Mスプリッタ導波路素子を提供することにある。ま
た本発明の目的は、他の光部品と接続する際のアライメ
ントを正確に行ってアライメント誤差による接続損失の
増加を低減できるN×Mスプリッタ導波路素子を提供す
ることにある。
し、ポート数の少ないNポート側の基板の空きスペース
に着目することにより、ポート数が多い導波路素子でも
ウエハ上に多数形成し製造コストを抑えることができる
N×Mスプリッタ導波路素子を提供することにある。ま
た本発明の目的は、他の光部品と接続する際のアライメ
ントを正確に行ってアライメント誤差による接続損失の
増加を低減できるN×Mスプリッタ導波路素子を提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1の発明は、基板上に複数の導波路が分岐して
多数の導波路となるよう光回路を形成したN×Mスプリ
ッタ導波路素子において、ポート数が少ないNポート側
15の導波路素子幅をMポート側16の素子幅より細く
して、素子の形状を台形とすることを特徴としたN×M
スプリッタ導波路素子である。
に請求項1の発明は、基板上に複数の導波路が分岐して
多数の導波路となるよう光回路を形成したN×Mスプリ
ッタ導波路素子において、ポート数が少ないNポート側
15の導波路素子幅をMポート側16の素子幅より細く
して、素子の形状を台形とすることを特徴としたN×M
スプリッタ導波路素子である。
【0011】請求項2の発明は、N×Mスプリッタ導波
路素子の両ポート側にファイバアレイを接続する際に、
該ファイバアレイとの光軸を調整するために使用するア
ライメント用導波路を光回路以外の領域に設けたことを
特徴とする請求項1記載のN×Mスプリッタ導波路素子
である。
路素子の両ポート側にファイバアレイを接続する際に、
該ファイバアレイとの光軸を調整するために使用するア
ライメント用導波路を光回路以外の領域に設けたことを
特徴とする請求項1記載のN×Mスプリッタ導波路素子
である。
【0012】請求項3の発明は、アライメント用導波路
が導波路素子側面にほぼ平行であることを特徴とする請
求項2記載のN×Mスプリッタ導波路素子である。
が導波路素子側面にほぼ平行であることを特徴とする請
求項2記載のN×Mスプリッタ導波路素子である。
【0013】請求項4の発明は、アライメント用導波路
の入出射部が、導波路素子の端面と垂直になるように、
アライメント用導波路に曲がり導波路を設けたことを特
徴とする請求項3記載のN×Mスプリッタ導波路素子で
ある。
の入出射部が、導波路素子の端面と垂直になるように、
アライメント用導波路に曲がり導波路を設けたことを特
徴とする請求項3記載のN×Mスプリッタ導波路素子で
ある。
【0014】請求項5の発明は、導波路素子の端面が厚
さ方向に8度斜め研磨されていることを特徴とする請求
項1ないし4記載のN×Mスプリッタ導波路素子であ
る。
さ方向に8度斜め研磨されていることを特徴とする請求
項1ないし4記載のN×Mスプリッタ導波路素子であ
る。
【0015】請求項6の発明は、複数の台形形状の導波
路素子をウエハ基板上に、それぞれの向きが互い違いに
なるように形成したことを特徴とするN×Mスプリッタ
導波路素子の製造方法である。
路素子をウエハ基板上に、それぞれの向きが互い違いに
なるように形成したことを特徴とするN×Mスプリッタ
導波路素子の製造方法である。
【0016】請求項7の発明は、複数の台形形状の導波
路素子をウエハ基板上に、それぞれの台形の上辺と下辺
が、一直線になるよう形成し、その直線に沿って切断
し、導波路素子の端面を一括してその厚さ方向に斜め研
磨し、導波路素子を個別に切出すことを特徴とする請求
項6記載のN×Mスプリッタ導波路素子の製造方法であ
る。
路素子をウエハ基板上に、それぞれの台形の上辺と下辺
が、一直線になるよう形成し、その直線に沿って切断
し、導波路素子の端面を一括してその厚さ方向に斜め研
磨し、導波路素子を個別に切出すことを特徴とする請求
項6記載のN×Mスプリッタ導波路素子の製造方法であ
る。
【0017】
【作用】上記構成によりN×Mスプリッタ導波路素子は
台形形状となるため、素子面積は小さくなり、ウエハ上
に多くの素子を形成することができる。また、アライメ
ント用導波路を設けたことにより、ポート数の多い導波
路素子と光部品の接続において、アライメント誤差を小
さくすることができる。
台形形状となるため、素子面積は小さくなり、ウエハ上
に多くの素子を形成することができる。また、アライメ
ント用導波路を設けたことにより、ポート数の多い導波
路素子と光部品の接続において、アライメント誤差を小
さくすることができる。
【0018】更に、台形形状とした複数の導波路素子を
それぞれ向きが互い違いになるようウエハ基板上に形成
することにより、1ウエハ内に形成できる素子数を多く
することができ、また、それぞれの台形の上辺と下辺が
一直線になるように形成し、その直線に沿って切り出し
た素子ブロックに、斜め研磨を一括して施すことによ
り、研磨時間の短縮をすることができる。
それぞれ向きが互い違いになるようウエハ基板上に形成
することにより、1ウエハ内に形成できる素子数を多く
することができ、また、それぞれの台形の上辺と下辺が
一直線になるように形成し、その直線に沿って切り出し
た素子ブロックに、斜め研磨を一括して施すことによ
り、研磨時間の短縮をすることができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【0020】図1に、N×Mスプリッタ導波路素子の平
面図を示した。
面図を示した。
【0021】N×Mスプリッタ導波路素子11は、台形
基板上に、上辺から下辺方向に複数の導波路が分岐して
多数の導波路となる光回路12と、光回路以外の領域に
アライメント用導波路13,14を設けた構成であり、
各導波路は導波路素子11の端面に光入出力端部(ポー
ト)を有する。
基板上に、上辺から下辺方向に複数の導波路が分岐して
多数の導波路となる光回路12と、光回路以外の領域に
アライメント用導波路13,14を設けた構成であり、
各導波路は導波路素子11の端面に光入出力端部(ポー
ト)を有する。
【0022】N×Mスプリッタ導波路素子11のポート
数の少ないNポート側15は台形の上辺側でありそのN
×Mスプリッタ導波路素子11の端面の幅は狭く、ポー
ト数の多いMポート側16は台形の下辺側でありそのN
×Mスプリッタ導波路素子11の端面の幅は広くなって
いる。
数の少ないNポート側15は台形の上辺側でありそのN
×Mスプリッタ導波路素子11の端面の幅は狭く、ポー
ト数の多いMポート側16は台形の下辺側でありそのN
×Mスプリッタ導波路素子11の端面の幅は広くなって
いる。
【0023】また、Nポート側15には、その端面の幅
と等しい幅のファイバアレイ18が、Mポート側16に
は、その端面の幅と等しい幅のファイバアレイ17がそ
れぞれ接続されている。この接続面であるNポート側1
5、Mポート側16の端面は厚さ方向に対して8度斜め
に研磨されている。
と等しい幅のファイバアレイ18が、Mポート側16に
は、その端面の幅と等しい幅のファイバアレイ17がそ
れぞれ接続されている。この接続面であるNポート側1
5、Mポート側16の端面は厚さ方向に対して8度斜め
に研磨されている。
【0024】アライメント用導波路13,14について
は、光回路12の両側にN×Mスプリッタ導波路素子1
1の側面にほぼ平行に配した。アライメント用導波路1
3のNポート側の端部の拡大図を図2に示した。アライ
メント用導波路13は、N×Mスプリッタ導波路素子1
1の側面84に平行な直線導波路82と曲がり導波路8
1と直線導波路85から構成されている。アライメント
用導波路13の入出力端部となる直線導波路85は導波
路素子11のNポート側15の端面83と垂直であり、
曲がり導波路81は、直線導波路82と直線導波路85
を曲線状に繋げるように設けられている。
は、光回路12の両側にN×Mスプリッタ導波路素子1
1の側面にほぼ平行に配した。アライメント用導波路1
3のNポート側の端部の拡大図を図2に示した。アライ
メント用導波路13は、N×Mスプリッタ導波路素子1
1の側面84に平行な直線導波路82と曲がり導波路8
1と直線導波路85から構成されている。アライメント
用導波路13の入出力端部となる直線導波路85は導波
路素子11のNポート側15の端面83と垂直であり、
曲がり導波路81は、直線導波路82と直線導波路85
を曲線状に繋げるように設けられている。
【0025】図3には、ファイバアレイとの接続面とな
る導波路素子の端面に施された斜め研磨の様子を示し
た。斜め研磨した導波路素子31〜34にファイバアレ
イ311,312,321,322,331,332,
341,342が接続されている。斜め研磨方向は
(a)(b)(c)(d)に示すどの方向でもよい。
る導波路素子の端面に施された斜め研磨の様子を示し
た。斜め研磨した導波路素子31〜34にファイバアレ
イ311,312,321,322,331,332,
341,342が接続されている。斜め研磨方向は
(a)(b)(c)(d)に示すどの方向でもよい。
【0026】ここで、図1に示す導波路素子を製造する
ために、導波路素子をウエハ基板に形成した状態を図4
に示した。導波路素子22〜26をそれぞれの向きが互
い違いになるようにし、台形の上辺と下辺が一直線にな
るようウエハ基板21上に形成した。このように導波路
素子を形成すれば、1ウエハ上に導波路素子を5個形成
することができる。
ために、導波路素子をウエハ基板に形成した状態を図4
に示した。導波路素子22〜26をそれぞれの向きが互
い違いになるようにし、台形の上辺と下辺が一直線にな
るようウエハ基板21上に形成した。このように導波路
素子を形成すれば、1ウエハ上に導波路素子を5個形成
することができる。
【0027】次に、導波路素子の一括研磨方法を示す。
まず、図5に示すウエハ基板54に形成された導波路素
子の切り出しを行う。切り出す場合は、個々の導波路素
子ではなく導波路素子ブロック55を切り出す。図6に
この導波路素子ブロックの切り出し例を示した。導波路
素子ブロックは切り出し形状51,52,53のいずれ
でもよい。
まず、図5に示すウエハ基板54に形成された導波路素
子の切り出しを行う。切り出す場合は、個々の導波路素
子ではなく導波路素子ブロック55を切り出す。図6に
この導波路素子ブロックの切り出し例を示した。導波路
素子ブロックは切り出し形状51,52,53のいずれ
でもよい。
【0028】次にこの切出した導波路素子ブロック5
1,52,53の上辺と下辺からなる直線を含む端面5
6,57,58,59,501,502を厚さ方向に対
して8度斜めに研磨し、そして、図7に示したように個
々の導波路素子503〜507に切断する。
1,52,53の上辺と下辺からなる直線を含む端面5
6,57,58,59,501,502を厚さ方向に対
して8度斜めに研磨し、そして、図7に示したように個
々の導波路素子503〜507に切断する。
【0029】この一括研磨方法によれば、例えば、図6
の導波路素子ブロック51は端面56と端面57を研磨
すればよいのだから計2回の研磨で、5個の導波路素子
の研磨が終了する。もし、個々に切り出してから研磨す
るとすれば10回の研磨が必要である。
の導波路素子ブロック51は端面56と端面57を研磨
すればよいのだから計2回の研磨で、5個の導波路素子
の研磨が終了する。もし、個々に切り出してから研磨す
るとすれば10回の研磨が必要である。
【0030】次に実施例の作用を述べる。
【0031】上記構成によればN×Mスプリッタ導波路
素子は、Nポート側に空きスペースの無い、コンパクト
な台形形状となり、この台形型導波路素子を複数個それ
ぞれの向きが互い違いになるよう形成することにより、
1ウエハ上に形成できる素子数を多くすることができ
る。また、これらの台形型の導波路素子の台形の上辺と
下辺が一直線になるように形成し、この直線に沿って切
出した導波路素子ブロックの端面を研磨することによ
り、導波路素子の一括研磨が可能になる。
素子は、Nポート側に空きスペースの無い、コンパクト
な台形形状となり、この台形型導波路素子を複数個それ
ぞれの向きが互い違いになるよう形成することにより、
1ウエハ上に形成できる素子数を多くすることができ
る。また、これらの台形型の導波路素子の台形の上辺と
下辺が一直線になるように形成し、この直線に沿って切
出した導波路素子ブロックの端面を研磨することによ
り、導波路素子の一括研磨が可能になる。
【0032】更に、上記導波路素子に設けたアライメン
ト用導波路は光回路と独立しているため、光回路のポー
ト数が多くなっても光パワーが小さくなることがないた
め、アライメント誤差が増大することがなくなる。
ト用導波路は光回路と独立しているため、光回路のポー
ト数が多くなっても光パワーが小さくなることがないた
め、アライメント誤差が増大することがなくなる。
【0033】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、ポート数
の多いN×Mスプリッタ導波路素子において、形状をコ
ンパクトな台形とし、台形の向きが互い違いになるよう
形成することにより、1ウエハ上に形成できる素子数を
多くし、導波路素子一個当たりの製造コストを低くする
ことができる。また、素子の一括研磨が可能なため、研
磨時間の短縮が計れる。
の多いN×Mスプリッタ導波路素子において、形状をコ
ンパクトな台形とし、台形の向きが互い違いになるよう
形成することにより、1ウエハ上に形成できる素子数を
多くし、導波路素子一個当たりの製造コストを低くする
ことができる。また、素子の一括研磨が可能なため、研
磨時間の短縮が計れる。
【0034】更に、アライメント用導波路を設けること
によって、光部品と接続する際のアライメントの誤差を
小さくすることができるので、接続損失を小さくするこ
とができる。
によって、光部品と接続する際のアライメントの誤差を
小さくすることができるので、接続損失を小さくするこ
とができる。
【図1】本発明N×Mスプリッタ導波路素子である。
【図2】アライメント用導波路の導波路素子端面部分の
拡大図である。
拡大図である。
【図3】導波路素子の斜め研磨の方向を示す図である。
【図4】図1のN×Mスプリッタ導波路素子をウエハ上
に形成した状態を示す図である。
に形成した状態を示す図である。
【図5】導波路素子ブロックに切出す前の状態を示す図
である。
である。
【図6】切出した導波路素子ブロックを示す図である。
【図7】導波路素子ブロックから切断された個々の導波
路素子を示す図である。
路素子を示す図である。
【図8】従来のN×Mスプリッタ導波路素子である。
【図9】図8のN×Mスプリッタ導波路素子をウエハ上
に形成した状態を示す図である。
に形成した状態を示す図である。
11 N×Mスプリッタ導波路素子 12 光回路 13 アライメント用導波路 14 アライメント用導波路 15 Nポート側 16 Mポート側 17 ファイバアレイ 18 ファイバアレイ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡野 広明 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 竹谷 則明 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (7)
- 【請求項1】 基板上に複数の導波路が分岐して多数の
導波路となるよう光回路を形成したN×Mスプリッタ導
波路素子において、ポート数が少ないNポート側の導波
路素子幅をMポート側の素子幅より細くして、素子の形
状を台形とすることを特徴としたN×Mスプリッタ導波
路素子。 - 【請求項2】 N×Mスプリッタ導波路素子の両ポート
側にファイバアレイを接続する際に、該ファイバアレイ
との光軸を調整するために使用するアライメント用導波
路を光回路以外の領域に設けたことを特徴とする請求項
1記載のN×Mスプリッタ導波路素子。 - 【請求項3】 アライメント用導波路が導波路素子側面
にほぼ平行であることを特徴とする請求項2記載のN×
Mスプリッタ導波路素子。 - 【請求項4】 アライメント用導波路の入出射部が、導
波路素子の端面と垂直になるように、アライメント用導
波路に曲がり導波路を設けたことを特徴とする請求項3
記載のN×Mスプリッタ導波路素子。 - 【請求項5】 導波路素子の端面が厚さ方向に8度斜め
研磨されていることを特徴とする請求項1ないし4記載
のN×Mスプリッタ導波路素子。 - 【請求項6】 複数の台形形状の導波路素子をウエハ基
板上に、それぞれの向きが互い違いになるように形成し
たことを特徴とするN×Mスプリッタ導波路素子の製造
方法。 - 【請求項7】 複数の台形形状の導波路素子をウエハ基
板上に、それぞれの台形の上辺と下辺が、一直線になる
よう形成し、その直線に沿って切断し、導波路素子の端
面を一括してその厚さ方向に斜め研磨し、導波路素子を
個別に切出すことを特徴とする請求項6記載のN×Mス
プリッタ導波路素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP335995A JPH08190028A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | N×mスプリッタ導波路素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP335995A JPH08190028A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | N×mスプリッタ導波路素子及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08190028A true JPH08190028A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11555162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP335995A Pending JPH08190028A (ja) | 1995-01-12 | 1995-01-12 | N×mスプリッタ導波路素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08190028A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100513013B1 (ko) * | 2002-07-09 | 2005-09-05 | 삼성전자주식회사 | 광파워 분할기 |
KR100509511B1 (ko) * | 1997-11-06 | 2005-11-08 | 삼성전자주식회사 | 집적광학광파워분할기및그제조방법 |
US7580597B2 (en) | 2004-07-02 | 2009-08-25 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical functional circuit |
KR101119515B1 (ko) * | 2010-03-19 | 2012-02-28 | 우리로광통신주식회사 | 평판형 광소자 및 그 제조방법 |
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1995
- 1995-01-12 JP JP335995A patent/JPH08190028A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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