JPH0713019A - 光フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
光フィルタ及びその製造方法Info
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- JPH0713019A JPH0713019A JP15650993A JP15650993A JPH0713019A JP H0713019 A JPH0713019 A JP H0713019A JP 15650993 A JP15650993 A JP 15650993A JP 15650993 A JP15650993 A JP 15650993A JP H0713019 A JPH0713019 A JP H0713019A
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- optical filter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小な間隔を有して配列されたアレイ状の光
導波路の特定の光導波路に波長選択機能を付与する光ス
イッチを提供する。 【構成】 多層干渉膜が存在する部分Ａ1 〜Ａ4 と多層
干渉膜が存在しない部分Ｂ1 〜Ｂ4 とを交互に設けてな
る光フィルタ８を形成してなり、一のフィルタを光導波
路に挿入することで所望の光導波路のみに波長選択機能
を付与する。
導波路の特定の光導波路に波長選択機能を付与する光ス
イッチを提供する。 【構成】 多層干渉膜が存在する部分Ａ1 〜Ａ4 と多層
干渉膜が存在しない部分Ｂ1 〜Ｂ4 とを交互に設けてな
る光フィルタ８を形成してなり、一のフィルタを光導波
路に挿入することで所望の光導波路のみに波長選択機能
を付与する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信において不要波
長を除去するために用いられる多層干渉膜形の光フィル
タ及びその製造方法に関するものである。
長を除去するために用いられる多層干渉膜形の光フィル
タ及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より光通信において、不要波長成分
を除去する目的で光ファイバもしくは光導波路中に光フ
ィルタが配設されている。図９は波長分割多重通信で必
要となる分波器の構成の一例であって、光導波路で形成
される光分岐器の出力端に薄い誘電体多層膜フィルタを
配設したものである（高戸他、「光合分波器」、特開昭
６３−３３７１３）。図９において、１はＳｉ基板上に
作製された石英光導波路、２は光分岐部、３，４はフィ
ルタ、５はフィルタ３，４を配設するための溝、６，７
は出力光導波路、８〜１１はファイバを各々図示する。
を除去する目的で光ファイバもしくは光導波路中に光フ
ィルタが配設されている。図９は波長分割多重通信で必
要となる分波器の構成の一例であって、光導波路で形成
される光分岐器の出力端に薄い誘電体多層膜フィルタを
配設したものである（高戸他、「光合分波器」、特開昭
６３−３３７１３）。図９において、１はＳｉ基板上に
作製された石英光導波路、２は光分岐部、３，４はフィ
ルタ、５はフィルタ３，４を配設するための溝、６，７
は出力光導波路、８〜１１はファイバを各々図示する。
【０００３】光導波路とファイバとの接続点では、それ
ぞれの光軸が一致するように光学的に接続される。通
常、両者の光学的接続状態が長期間維持されるように光
ファイバと光導波路とは図には示されてない補強材や支
持体等によって安定に固定されている。ここで、フィル
タ３は、波長λ1 の光を透過させ波長λ2 の光を反射さ
せるものであり、またフィルタ４は、波長λ2 の光を透
過させ波長λ1 の光を反射させるものである。この構成
によって、入力光ファイバ８から入力される波長λ1 と
波長λ2 との光は、光分岐部２において出力光導波路
６，７に分けられ、さらにフィルタの作用によって出力
端に於ては波長分離度の高い、波長λ1 と波長λ2との
光が出力される。
ぞれの光軸が一致するように光学的に接続される。通
常、両者の光学的接続状態が長期間維持されるように光
ファイバと光導波路とは図には示されてない補強材や支
持体等によって安定に固定されている。ここで、フィル
タ３は、波長λ1 の光を透過させ波長λ2 の光を反射さ
せるものであり、またフィルタ４は、波長λ2 の光を透
過させ波長λ1 の光を反射させるものである。この構成
によって、入力光ファイバ８から入力される波長λ1 と
波長λ2 との光は、光分岐部２において出力光導波路
６，７に分けられ、さらにフィルタの作用によって出力
端に於ては波長分離度の高い、波長λ1 と波長λ2との
光が出力される。
【０００４】ここで、フィルタ３，４を配設する溝５の
ために出力光導波路６，７が分断され損失が生じるが、
溝幅を狭くし、該溝に薄いフィルタを配設すれば損失増
は実用上問題ない程度になる。例えば、比屈折率差0.３
％の光導波路に幅３０μｍの溝を形成し、該溝に厚さ２
０μｍのフィルタを配設した場合、損失増は0.２ｄＢ以
下に抑えられる。
ために出力光導波路６，７が分断され損失が生じるが、
溝幅を狭くし、該溝に薄いフィルタを配設すれば損失増
は実用上問題ない程度になる。例えば、比屈折率差0.３
％の光導波路に幅３０μｍの溝を形成し、該溝に厚さ２
０μｍのフィルタを配設した場合、損失増は0.２ｄＢ以
下に抑えられる。
【０００５】以上のように図９に示すような簡易な構成
と薄いフィルタを用いることによって、高波長分離度を
有し、かつ低損失な光分波器が実現される。また、光の
進行方向が逆になるように使用すれば光合波器となる。
と薄いフィルタを用いることによって、高波長分離度を
有し、かつ低損失な光分波器が実現される。また、光の
進行方向が逆になるように使用すれば光合波器となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、Ｓｉウェハ
等の上に微細な光回路が形成できる光導波路技術におい
ては、ウェハ上に同一の光導波路回路を複数個製造でき
るのが特徴である。このような光導波路技術の有利な利
用形態の一つに、一個のチップの上に同一機能の光導波
回路を複数個集積したアレイ構造がある。
等の上に微細な光回路が形成できる光導波路技術におい
ては、ウェハ上に同一の光導波路回路を複数個製造でき
るのが特徴である。このような光導波路技術の有利な利
用形態の一つに、一個のチップの上に同一機能の光導波
回路を複数個集積したアレイ構造がある。
【０００７】図１０は、従来の光分波器をアレイ構造に
拡張したものであり、一個のチップ上に４個の光分波器
が形成されている。ここで、図１０において、２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄは一つの基板上に形成された光分波器、
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄは波長λ1 の光を出力する出力
光導波路、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは波長λ2 の光を出
力する出力光導波路、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは波長λ
1 の光を透過させて波長λ2 を反射するフィルタ、４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは波長λ2 の光を透過させて波長
λ1 の光を反射するフィルタを各々図示する。
拡張したものであり、一個のチップ上に４個の光分波器
が形成されている。ここで、図１０において、２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄは一つの基板上に形成された光分波器、
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄは波長λ1 の光を出力する出力
光導波路、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは波長λ2 の光を出
力する出力光導波路、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは波長λ
1 の光を透過させて波長λ2 を反射するフィルタ、４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは波長λ2 の光を透過させて波長
λ1 の光を反射するフィルタを各々図示する。
【０００８】この構造は省スペース性に富み、かつ複数
の光分波器の一括的作製によって一つ一つを安価にでき
るので、特に多数のファイバが集線される光加入者用局
内装置等への適用に有利である。ところが、この図１０
に示す構造を実現するためには、近接して配置される出
力光導波路に交互に２種類の光フィルタを配設するとい
う極めて繁雑な作業が必要となる。例えば、出力光導波
路の配列ピッチは通常0.２５mm程度が採られるため、0.
２５mm間隔の微小な領域に微小なフィルタチップを配設
することになり、この作業は極めて繁雑である。ここ
で、配列ピッチ0.２５mmは、接続ファイバとして用いる
既存のアレイ状ファイバ（テープファイバとも呼ばれ
る）の配列ピッチと整合させるために選ばれるごく一般
的な寸法である。さらに、光導波路の小型化のためには
より小さい寸法が好ましく、従ってフィルタ配設作業は
より困難となる。従来、このようなアレイ構造の光分波
器が実現された例はないが、上記のフィルタの配設が困
難であったことが一因と考えられる。
の光分波器の一括的作製によって一つ一つを安価にでき
るので、特に多数のファイバが集線される光加入者用局
内装置等への適用に有利である。ところが、この図１０
に示す構造を実現するためには、近接して配置される出
力光導波路に交互に２種類の光フィルタを配設するとい
う極めて繁雑な作業が必要となる。例えば、出力光導波
路の配列ピッチは通常0.２５mm程度が採られるため、0.
２５mm間隔の微小な領域に微小なフィルタチップを配設
することになり、この作業は極めて繁雑である。ここ
で、配列ピッチ0.２５mmは、接続ファイバとして用いる
既存のアレイ状ファイバ（テープファイバとも呼ばれ
る）の配列ピッチと整合させるために選ばれるごく一般
的な寸法である。さらに、光導波路の小型化のためには
より小さい寸法が好ましく、従ってフィルタ配設作業は
より困難となる。従来、このようなアレイ構造の光分波
器が実現された例はないが、上記のフィルタの配設が困
難であったことが一因と考えられる。
【０００９】本発明は、上記問題に鑑み、微小な間隔を
有して配列されたアレイ状の光導波路の特定の光導波路
に波長選択機能を付与する光フィルタ及びその製造方法
を提供することを目的とする。
有して配列されたアレイ状の光導波路の特定の光導波路
に波長選択機能を付与する光フィルタ及びその製造方法
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明に係る光フィルタの構成は、微小な間隔を隔てて配列
されたアレイ状の光導波路の当該間隔に配され、一律に
波長選択機能を付与する薄膜形状の多層干渉膜の光フィ
ルタにおいて、上記光導波路の光導波路の所定箇所に波
長選択機能を付与しない多層膜除去部分を配してなるこ
とを特徴とする。
明に係る光フィルタの構成は、微小な間隔を隔てて配列
されたアレイ状の光導波路の当該間隔に配され、一律に
波長選択機能を付与する薄膜形状の多層干渉膜の光フィ
ルタにおいて、上記光導波路の光導波路の所定箇所に波
長選択機能を付与しない多層膜除去部分を配してなるこ
とを特徴とする。
【００１１】また上記構成において、多層干渉膜を形成
する基板部がフッ素化ポリイミド薄膜であることを特徴
とする。
する基板部がフッ素化ポリイミド薄膜であることを特徴
とする。
【００１２】一方の本発明に係る光フィルタの製造方法
は、基板部に波長選択機能を有する多層干渉膜を形成し
た後、所定間隔を配して当該多層干渉膜の一部を除去
し、多層干渉膜が存在する部分と存在しない部分とを形
成し、光フィルタを得ることを特徴とする。
は、基板部に波長選択機能を有する多層干渉膜を形成し
た後、所定間隔を配して当該多層干渉膜の一部を除去
し、多層干渉膜が存在する部分と存在しない部分とを形
成し、光フィルタを得ることを特徴とする。
【００１３】以下、本発明の内容を詳細に説明する。
【００１４】本発明では、一つの多層干渉膜フィルタの
中に多層干渉膜が存在する部分と存在しない部分とを交
互に設けた、図１に示すような光フィルタを提案する。
図１において、符号８は厚さ２０μｍ程度の光フィル
タ、このうちＡ1,Ａ2,Ａ 3,Ａ4 は多層干渉膜が存在する
領域、Ｂ1,Ｂ2,Ｂ3,Ｂ4 は多層干渉膜が存在しない領域
である。この光フィルタの領域Ａ1 〜Ａ4 ，Ｂ1 〜Ｂ4
と光導波路の光軸が重なり合うように光導波路中に挿入
すれば、領域Ａ1,Ａ2,Ａ3,Ａ4 と重なった光導波路には
波長選択特性が付与され、領域Ｂ1,Ｂ2,Ｂ3,Ｂ4 と重な
る光導波路には波長選択特性は付与されない。従って、
一個の光フィルタを光導波路に挿入するだけの作業で、
所望の光導波路のみに波長選択機能を付与できる。
中に多層干渉膜が存在する部分と存在しない部分とを交
互に設けた、図１に示すような光フィルタを提案する。
図１において、符号８は厚さ２０μｍ程度の光フィル
タ、このうちＡ1,Ａ2,Ａ 3,Ａ4 は多層干渉膜が存在する
領域、Ｂ1,Ｂ2,Ｂ3,Ｂ4 は多層干渉膜が存在しない領域
である。この光フィルタの領域Ａ1 〜Ａ4 ，Ｂ1 〜Ｂ4
と光導波路の光軸が重なり合うように光導波路中に挿入
すれば、領域Ａ1,Ａ2,Ａ3,Ａ4 と重なった光導波路には
波長選択特性が付与され、領域Ｂ1,Ｂ2,Ｂ3,Ｂ4 と重な
る光導波路には波長選択特性は付与されない。従って、
一個の光フィルタを光導波路に挿入するだけの作業で、
所望の光導波路のみに波長選択機能を付与できる。
【００１５】また、発明者らが鋭意研究した結果、公知
のポリイミド薄膜を基板とするフィルタ（T.Oguchi,et.
al.,"Dielectric multilayered interference filters
deposited on polyimide films",Electron.lett.,1991,
27,pp.706-707)に、図２もしくは図３のような加工が可
能であることを知見した。ここで、図２に示す加工方法
は多層干渉膜のみを矢印Ｌの方向から回転する砥石で切
削して基板部は残すものであり、図３に示す加工方法は
矢印Ｌの方向に沿ってフィルタの縁から一定深さの切れ
込みを入れるものである。
のポリイミド薄膜を基板とするフィルタ（T.Oguchi,et.
al.,"Dielectric multilayered interference filters
deposited on polyimide films",Electron.lett.,1991,
27,pp.706-707)に、図２もしくは図３のような加工が可
能であることを知見した。ここで、図２に示す加工方法
は多層干渉膜のみを矢印Ｌの方向から回転する砥石で切
削して基板部は残すものであり、図３に示す加工方法は
矢印Ｌの方向に沿ってフィルタの縁から一定深さの切れ
込みを入れるものである。
【００１６】図２、図３において、９ａ，９ｂは光フィ
ルタ、１０ａ，１０ｂはポリイミド薄膜の基板部、１１
ａ，１１ｂは多層干渉膜部を各々図示する。ちなみに同
様の加工をガラスを基板とするフィルタに試してみたと
ころ、基板が薄くかつ脆弱であるため加工中に割れる問
題が生じ、目的のものは得られなかった。尚、ポリイミ
ド薄膜基板のフィルタに対して上記加工が可能であった
のは、ある程度の曲げでは割れないという該フィルタの
フレキシブルな特性に依るものであると結論された。
ルタ、１０ａ，１０ｂはポリイミド薄膜の基板部、１１
ａ，１１ｂは多層干渉膜部を各々図示する。ちなみに同
様の加工をガラスを基板とするフィルタに試してみたと
ころ、基板が薄くかつ脆弱であるため加工中に割れる問
題が生じ、目的のものは得られなかった。尚、ポリイミ
ド薄膜基板のフィルタに対して上記加工が可能であった
のは、ある程度の曲げでは割れないという該フィルタの
フレキシブルな特性に依るものであると結論された。
【００１７】
【作用】本発明による光フィルタでは、特定部分の誘電
体多層膜が除去された薄いフィルタであるので、微小な
間隔を隔てて配列されたアレイ状の光導波路の特定の光
導波路に波長選択機能を付与することができる。
体多層膜が除去された薄いフィルタであるので、微小な
間隔を隔てて配列されたアレイ状の光導波路の特定の光
導波路に波長選択機能を付与することができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明に係る光フィルタの好適な実施
例を説明する。
例を説明する。
【００１９】（実施例１）図４は本発明の誘電体多層膜
フィルタの第１の実施例であって、大きさ1.５mm×2.５
mm、厚さ３０μｍのものを示した。図４において、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図を示し、図中、１２は
フッ素化ポリイミド薄膜の基板部、１３はTiO2/SiO2 の
交互層からなる多層干渉膜であり、多層干渉膜の一部は
領域１４においてフィルタの縁１５と略平行に0.５mm間
隔で除去されている。
フィルタの第１の実施例であって、大きさ1.５mm×2.５
mm、厚さ３０μｍのものを示した。図４において、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図を示し、図中、１２は
フッ素化ポリイミド薄膜の基板部、１３はTiO2/SiO2 の
交互層からなる多層干渉膜であり、多層干渉膜の一部は
領域１４においてフィルタの縁１５と略平行に0.５mm間
隔で除去されている。
【００２０】この形状のフィルタを得るため、公知の方
法（T.Oguchi,et.al.,前出）によって、先ず直径３０mm
のガラス板に厚さ約２０μｍのフッ素化ポリイミド薄膜
を形成し、その上にTiO2/SiO2 の多層干渉膜を約４０層
蒸着した。多層干渉膜の厚さは約１０μｍであった。
法（T.Oguchi,et.al.,前出）によって、先ず直径３０mm
のガラス板に厚さ約２０μｍのフッ素化ポリイミド薄膜
を形成し、その上にTiO2/SiO2 の多層干渉膜を約４０層
蒸着した。多層干渉膜の厚さは約１０μｍであった。
【００２１】これを、市販のダイシングソーの台座にガ
ラス面を下にして水平に固定し、厚さ0.１mmのダイヤモ
ンド砥石でガラス板まで達しない深さ約１２μｍの溝を
成形した。溝形成部の多層干渉膜は砥石回転に伴う破砕
もしくは切削と見られる現象によって完全に除去された
が、加工深さがガラス板まで達しないためポリイミド基
板は残った。続いて、ガラス板まで達する深さ４０μｍ
の溝によって1.５mm×2.５mmの大きさに区画し、これを
ガラス板より剥離した。以上によって、多層干渉膜があ
る領域と無い領域とを交互に有し、かつ連結したポリイ
ミド薄膜基板によって一つのフィルタとしての取扱が可
能な目的の光フィルタが得られた。
ラス面を下にして水平に固定し、厚さ0.１mmのダイヤモ
ンド砥石でガラス板まで達しない深さ約１２μｍの溝を
成形した。溝形成部の多層干渉膜は砥石回転に伴う破砕
もしくは切削と見られる現象によって完全に除去された
が、加工深さがガラス板まで達しないためポリイミド基
板は残った。続いて、ガラス板まで達する深さ４０μｍ
の溝によって1.５mm×2.５mmの大きさに区画し、これを
ガラス板より剥離した。以上によって、多層干渉膜があ
る領域と無い領域とを交互に有し、かつ連結したポリイ
ミド薄膜基板によって一つのフィルタとしての取扱が可
能な目的の光フィルタが得られた。
【００２２】（実施例２）図５は本発明の誘電体多層膜
フィルタの第２の実施例を示すものであって、同図中、
符号Ａは多層干渉膜が存在する部分、符号Ｂは多層干渉
膜とポリイミド基板が共に除去された部分を示してい
る。このフィルタの外形は1.５mm×2.５mm、厚さは３０
μｍである。Ｂ部は約0.１mm×0.３mmの大きさを有し、
各々は0.５mm間隔で並んでいる。この形状のフィルタ
は、例えば、幅約1.５mm、長さ約３０mm、厚さ２０μｍ
に切断した短冊状のポリイミド薄基板のフィルタを積層
し、ダイシングソーの台座上に垂直に立てる様に支持体
で保持しておいてから、Ｂ部を形成するための深さ約0.
３mmの溝と、個々のフィルタに切り離すための深さ1.７
mmの溝を形成することによって得られた。
フィルタの第２の実施例を示すものであって、同図中、
符号Ａは多層干渉膜が存在する部分、符号Ｂは多層干渉
膜とポリイミド基板が共に除去された部分を示してい
る。このフィルタの外形は1.５mm×2.５mm、厚さは３０
μｍである。Ｂ部は約0.１mm×0.３mmの大きさを有し、
各々は0.５mm間隔で並んでいる。この形状のフィルタ
は、例えば、幅約1.５mm、長さ約３０mm、厚さ２０μｍ
に切断した短冊状のポリイミド薄基板のフィルタを積層
し、ダイシングソーの台座上に垂直に立てる様に支持体
で保持しておいてから、Ｂ部を形成するための深さ約0.
３mmの溝と、個々のフィルタに切り離すための深さ1.７
mmの溝を形成することによって得られた。
【００２３】このようなフィルタの適用例を以下図６〜
図８に示す。
図８に示す。
【００２４】先づ、図６は本発明の光フィルタをＳｉ基
板上に形成された直線状の石英光導波路に配設したもの
である。図６において、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６
ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈは、0.２５mm間隔
で平行に配列された８本の直線光導波路、１７は該光導
波路を横断する幅４０μｍ、深さ２００μｍの溝、１８
はフィルタの多層干渉膜部、１９はフィルタのポリイミ
ド基板部である。多層干渉膜は1.３μｍを透過させ1.５
５μｍを反射するように設計されている。このフィルタ
を配設する際、光導波路１６ｂ，１６ｄ，１６ｆ，１６
ｈと誘電体多層膜部分が除去された領域が一致するよう
にフィルタを溝中で移動させ、その後、光学接着剤で固
定した。
板上に形成された直線状の石英光導波路に配設したもの
である。図６において、１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６
ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈは、0.２５mm間隔
で平行に配列された８本の直線光導波路、１７は該光導
波路を横断する幅４０μｍ、深さ２００μｍの溝、１８
はフィルタの多層干渉膜部、１９はフィルタのポリイミ
ド基板部である。多層干渉膜は1.３μｍを透過させ1.５
５μｍを反射するように設計されている。このフィルタ
を配設する際、光導波路１６ｂ，１６ｄ，１６ｆ，１６
ｈと誘電体多層膜部分が除去された領域が一致するよう
にフィルタを溝中で移動させ、その後、光学接着剤で固
定した。
【００２５】この構成で、波長1.３μｍの光λ1 を透過
し、波長1.５５μｍの光λ2 を反射する特性が光導波路
１６ａ，１６ｃ，１６ｅ，１６ｇのみに付与された。フ
ィルタを配設したことによる損失増は、約0.３ｄＢと実
用上殆ど問題とならない程小さかった。
し、波長1.５５μｍの光λ2 を反射する特性が光導波路
１６ａ，１６ｃ，１６ｅ，１６ｇのみに付与された。フ
ィルタを配設したことによる損失増は、約0.３ｄＢと実
用上殆ど問題とならない程小さかった。
【００２６】図７は本発明のフィルタを方向性結合器に
適用したものである。図７において、２０は1.３μｍを
透過、1.５５μｍを反射するフィルタ、２１は1.３μｍ
を反射、1.５５μｍを透過するフィルタであって、いず
れも実施例で示したような多層干渉膜除去の加工が施さ
れ、それぞれはアレイ状の光導波路形方向性結合器２２
ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの出力光導波路２３ａ〜２
３ｈを横断する２本の溝２４、２５の中に配設されてい
る。方向性結合器には、約５０％分岐比を有する波長無
依存形のものが用いられている。
適用したものである。図７において、２０は1.３μｍを
透過、1.５５μｍを反射するフィルタ、２１は1.３μｍ
を反射、1.５５μｍを透過するフィルタであって、いず
れも実施例で示したような多層干渉膜除去の加工が施さ
れ、それぞれはアレイ状の光導波路形方向性結合器２２
ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの出力光導波路２３ａ〜２
３ｈを横断する２本の溝２４、２５の中に配設されてい
る。方向性結合器には、約５０％分岐比を有する波長無
依存形のものが用いられている。
【００２７】方向性結合器の入力端２６ａ，２６ｂ，２
６ｃ，２６ｄから波長1.３μｍの光λ1 と1.５μｍの光
λ2 とを同時に入力すると、出力光導波路端２３ａ，２
３ｃ，２３ｅ，２３ｇからは1.３μｍの光λ1 が出力さ
れ、出力光導波路端２３ｂ，２３ｄ，２３ｆ，２３ｈか
らは1.５５μｍの光λ2 が出力される。フィルタの作用
によって、出力光導波路端２３ａ，２３ｃ，２３ｅ，２
３ｇにおける1.５５μｍの光λ2 の出力は極めて小さく
なり、1.３μｍの透過出力光に比べ５０ｄＢ以上低いレ
ベルにある。出力光導波路端２３ｂ，２３ｄ，２３ｆ，
２３ｈにおける1.３μｍの光λ1 も同様に低レベルであ
る。
６ｃ，２６ｄから波長1.３μｍの光λ1 と1.５μｍの光
λ2 とを同時に入力すると、出力光導波路端２３ａ，２
３ｃ，２３ｅ，２３ｇからは1.３μｍの光λ1 が出力さ
れ、出力光導波路端２３ｂ，２３ｄ，２３ｆ，２３ｈか
らは1.５５μｍの光λ2 が出力される。フィルタの作用
によって、出力光導波路端２３ａ，２３ｃ，２３ｅ，２
３ｇにおける1.５５μｍの光λ2 の出力は極めて小さく
なり、1.３μｍの透過出力光に比べ５０ｄＢ以上低いレ
ベルにある。出力光導波路端２３ｂ，２３ｄ，２３ｆ，
２３ｈにおける1.３μｍの光λ1 も同様に低レベルであ
る。
【００２８】透過光の受ける損失は４ｄＢ程度であり、
その内訳として方向性結合器の分岐損失約３ｄＢ、フィ
ルタ挿入損失約0.５ｄＢ、両端に接続したファイバの接
続損失が約0.５ｄＢと見積られ、フィルタ配設による損
失は小さい。さらにまた、方向性結合器として波長依存
形のものを用いれば、分岐に起因する損失が殆ど無いの
で、損失はさらに小さく、例えばフィルタ挿入損失、フ
ァイバの接続損失等すべてを含めても２ｄＢ程度のもの
でも実現が可能である。このようにして低損失、高波長
分離度にも係わらず、小形、低価格な実用性の高い光分
波器が得られる。
その内訳として方向性結合器の分岐損失約３ｄＢ、フィ
ルタ挿入損失約0.５ｄＢ、両端に接続したファイバの接
続損失が約0.５ｄＢと見積られ、フィルタ配設による損
失は小さい。さらにまた、方向性結合器として波長依存
形のものを用いれば、分岐に起因する損失が殆ど無いの
で、損失はさらに小さく、例えばフィルタ挿入損失、フ
ァイバの接続損失等すべてを含めても２ｄＢ程度のもの
でも実現が可能である。このようにして低損失、高波長
分離度にも係わらず、小形、低価格な実用性の高い光分
波器が得られる。
【００２９】図８は光ファイバ伝送路の試験や監視の目
的とするシステム（富田他、「光線路試験・管理システ
ムの構成法」、１９９０年電子通信情報学会春季全国大
会論文集、Ｂ−８８８参照）に好適な光結合器の形態を
示している。図８において２７ａ〜２７ｄはアレイ状に
配列された方向性結合器、２８は本発明の1.３／1.５５
μｍ短波長通過形フィルタであり、該フィルタは方向性
結合器の入力光導波路２９ａ〜２９ｄに配設される。こ
れを光ファイバ伝送路の試験、保守に適用するために、
出力光導波路端子３０ａ〜３０ｄは光ファイバ伝送路に
接続される。
的とするシステム（富田他、「光線路試験・管理システ
ムの構成法」、１９９０年電子通信情報学会春季全国大
会論文集、Ｂ−８８８参照）に好適な光結合器の形態を
示している。図８において２７ａ〜２７ｄはアレイ状に
配列された方向性結合器、２８は本発明の1.３／1.５５
μｍ短波長通過形フィルタであり、該フィルタは方向性
結合器の入力光導波路２９ａ〜２９ｄに配設される。こ
れを光ファイバ伝送路の試験、保守に適用するために、
出力光導波路端子３０ａ〜３０ｄは光ファイバ伝送路に
接続される。
【００３０】入力光導波路２９ａ〜２９ｄ端子からは波
長1.３μｍの通信光λ1 が入力され、光フィルタと方向
性結合器を経て、光導波路出力端子３０ａ〜３０ｄより
光ファイバ伝送路に送出される。この状態において、入
力光導波路端子２９ａ〜２９ｄから方向性結合器を介し
て1.５５μｍのパルス試験光（ＯＴＤＲ光：OpticalTim
e Domain Refrectmeter）が光ファイバ伝送路に送出さ
れ、その戻り光からファイバの破断位置等が検出され
る。
長1.３μｍの通信光λ1 が入力され、光フィルタと方向
性結合器を経て、光導波路出力端子３０ａ〜３０ｄより
光ファイバ伝送路に送出される。この状態において、入
力光導波路端子２９ａ〜２９ｄから方向性結合器を介し
て1.５５μｍのパルス試験光（ＯＴＤＲ光：OpticalTim
e Domain Refrectmeter）が光ファイバ伝送路に送出さ
れ、その戻り光からファイバの破断位置等が検出され
る。
【００３１】この際、1.５５μｍの光を反射する光フィ
ルタの機能によって、入力端子２９ａ〜２９ｄに戻る光
はフィルタによって除去されるので通信装置には戻ら
ず、通信への影響はない。以上の構成によって、この一
つの部品によって４本分の光ファイバ伝送路の試験が可
能となる。
ルタの機能によって、入力端子２９ａ〜２９ｄに戻る光
はフィルタによって除去されるので通信装置には戻ら
ず、通信への影響はない。以上の構成によって、この一
つの部品によって４本分の光ファイバ伝送路の試験が可
能となる。
【００３２】
【発明の効果】以上実施例と共に詳述したように、本発
明によれば、複数の並列した光導波路アレイに選択的に
フィルタ機能を付与出来るので、小形かつ低価格のアレ
イ形の光分波器を提供できる。これによって加入者光線
路網等へ波長多重技術が安価に導入され、サービスの多
様化、運用・保守の効率化等に多大な効果がある。
明によれば、複数の並列した光導波路アレイに選択的に
フィルタ機能を付与出来るので、小形かつ低価格のアレ
イ形の光分波器を提供できる。これによって加入者光線
路網等へ波長多重技術が安価に導入され、サービスの多
様化、運用・保守の効率化等に多大な効果がある。
【図１】本発明に係る光フィルタの概略図である。
【図２】本発明に係る光フィルタの概略図である。
【図３】本発明に係る光フィルタの概略図である。
【図４】実施例１に係る誘電体多層膜フィルタの概略図
である。
である。
【図５】実施例２に係る誘電体多層膜フィルタの概略図
である。
である。
【図６】光フィルタを石英導波路に配した概略図であ
る。
る。
【図７】光フィルタを方向性結合器に適用した概略図で
ある。
ある。
【図８】光システムに好適な光結合器に光フィルタを配
した概略図である。
した概略図である。
【図９】従来技術の分波器の概略図である。
【図１０】従来技術の分波器の概略図である。
３，４，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，４ａ，４ｂ，４ｃ，
４ｄ 光フィルタ、 ２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２２ａ，２２ｂ，２２
ｃ，２２ｄ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ 光方向
性結合器、 ８，９，１０，１１ 光ファイバ、 ５，１７，２４，２５，２８ フィルタ配設溝。
４ｄ 光フィルタ、 ２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２２ａ，２２ｂ，２２
ｃ，２２ｄ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ 光方向
性結合器、 ８，９，１０，１１ 光ファイバ、 ５，１７，２４，２５，２８ フィルタ配設溝。
Claims (3)
- 【請求項１】 微小な間隔を隔てて配列されたアレイ状
の光導波路の当該間隔に配され、一律に波長選択機能を
付与する薄膜形状の多層干渉膜の光フィルタにおいて、 上記光導波路の光導波路の所定箇所に、波長選択機能を
付与しない多層膜除去部分を配してなることを特徴とす
る光フィルタ。 - 【請求項２】 請求項１において、多層干渉膜を形成す
る基板部がフッ素化ポリイミド薄膜であることを特徴と
する光フィルタ。 - 【請求項３】 基板部に波長選択機能を有する多層干渉
膜を形成した後、所定間隔を配して当該多層干渉膜の一
部を除去し、多層干渉膜が存在する部分と存在しない部
分とを形成し、光フィルタを得ることを特徴とする光フ
ィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15650993A JPH0713019A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | 光フィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15650993A JPH0713019A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | 光フィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0713019A true JPH0713019A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15629328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15650993A Withdrawn JPH0713019A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | 光フィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713019A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6795331B2 (en) | 2002-03-08 | 2004-09-21 | Fujitsu Limited | Ferroelectric memory wherein bit line capacitance can be maximized |
| JP2013020131A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路 |
| WO2016208126A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 光導波路デバイス |
-
1993
- 1993-06-28 JP JP15650993A patent/JPH0713019A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6795331B2 (en) | 2002-03-08 | 2004-09-21 | Fujitsu Limited | Ferroelectric memory wherein bit line capacitance can be maximized |
| JP2013020131A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路 |
| WO2016208126A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 光導波路デバイス |
| US10310159B2 (en) | 2015-06-25 | 2019-06-04 | Ntt Electronics Corporation | Optical waveguide device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |