JPH08186319A - 固体レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ＱスイッチのＯＮ、ＯＦＦ制御を正確に行な
うことができ、高周波電気信号の振幅のしきい値付近に
おけるレーザ光のピークを適正に制御することのできる
固体レーザ加工装置を提供する。 【構成】 レーザ光を選択的に出力させるＱスイッチに
所定の波形に形成された高周波電気信号を供給するＱス
イッチドライバを設け、このＱスイッチドライバに、前
半にスロープが形成されたパルス波形を出力する変調信
号発振器を設けるとともに、この変調信号発振器からの
パルス波形に基づいて高周波をスロープが形成された波
形の高周波電気信号に変調して前記Ｑスイッチに供給さ
せる変調器を設けたことを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は固体レーザ加工装置に係
り、特に、Ｑスイッチによりレーザ光の出射を制御する
ようにした固体レーザ加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、レーザは、原子や分子による放
射の誘導放出を利用して、光の増幅、発振を行なうこと
をいう。したがって、多くの原子の集まった物質を光励
起させることにより高エネルギ状態の原子を多くして光
の吸収よりも誘導放出を多くしなければならない。そし
て、さらに光強度が強く、指向性の高い固体レーザ光を
得るためには、光を閉じ込めて光を増幅させる共振器が
必要である。

【０００３】そして、従来から、例えば、固体のレーザ
活性媒質としてＮｄ：ＹＡＧの結晶を用いて共振器によ
り光を増幅させ、このレーザ光を出射させることにより
被加工物に所望のマーキング、トリミング、切断、溶
接、半田付等の加工を行なう固体レーザ加工装置が多く
用いられている。

【０００４】図５はこのような固体レーザ装置の一例で
ある従来の固体レーザマーキング装置を示したもので、
光学特性に優れたレーザ活性媒質の一つである円柱状の
ＹＡＧロッド１は、楕円鏡筒からなるキャビティ２の内
部の一方の焦点位置に収容されており、このキャビティ
２の内部の他方の焦点位置には、このＹＡＧロッド１中
の原子を光励起させるための励起ランプ３が前記ＹＡＧ
ロッド１と平行に配設されている。前記励起ランプ３に
は、この励起ランプ３に電力を供給する電源部４が接続
されており、この電源部４には、前記励起ランプ３への
電力供給のタイミングを制御して前記励起ランプ３を点
灯、消灯動作させる制御部５が接続されている。そし
て、前記励起ランプ３の点灯により、ＹＡＧロッド１中
の原子が光励起エネルギを吸収、蓄積し、前記ＹＡＧロ
ッド１の励起原子が基底状態に戻る過程の際に光を放出
するようになっている。

【０００５】また、前記ＹＡＧロッド１の一端側には、
全反射ミラー６が前記ＹＡＧロッド１の端面に対して所
定間隔を有するように配設されており、前記ＹＡＧロッ
ド１の他端側には、前記ＹＡＧロッド１から放出される
光を回折するＱスイッチ７が前記ＹＡＧロッド１の端面
に対して所定間隔を有するように配設されている。さら
に、前記Ｑスイッチ７には、前記制御部５からの駆動信
号に応じてこのＱスイッチ７を特定周波数で作動させる
ために電圧を印加するＱスイッチドライバ８が接続され
ており、さらに、前記制御部５には、前記キャビティ２
およびＱスイッチ７を冷却するためのクーラ部９が接続
されている。

【０００６】前記Ｑスイッチ７は、図６に示すように、
両側面に反射防止コーティング１０が施され内部に合成
石英ガラス１１を配設して構成されており、この合成石
英ガラス１１の下端面には、接着層１２を介して圧電体
１３が接着されている。さらに、前記圧電体１３には、
例えば、５０Ωの特性インピーダンスに整合するインピ
ーダンス整合回路１４が接続されており、このインピー
ダンス整合回路１４には、前記Ｑスイッチドライバ８か
らの電圧を入力するための入力端子１５が接続されてい
る。

【０００７】また、前記Ｑスイッチドライバ８は、図７
に示すように、制御部５からの駆動信号に応じて、例え
ば、２４ＭＨｚの周波数の高周波を発振する高周波発振
器１６と、変調信号発振器１７から発振される１〜５０
ｋＨｚのパルス信号に基づいて前記高周波を高周波電気
信号に変調する変調器１８と、前記変調された高周波電
気信号を５０〜７０Ｗ程度に増幅してＱスイッチ７に供
給する電力増幅器１９とにより構成されている。さら
に、前記変調信号発振器１７は、図８に示すように、所
定の制御電圧が印加されてこの制御電圧に応じた周波数
の方形波形を形成するＶ−Ｆコンバータ２０と、このＶ
−Ｆコンバータ２０から出力される方形波形の幅を一定
の幅に揃える、例えば、１ショットマルチバイブレータ
等からなる波形整形回路２１とにより構成されており、
図９に示すように、前記制御電圧に応じてＶ−Ｆコンバ
ータ２０により、所定の周波数のパルス列を形成して出
力し、波形整形回路２１により、Ｖ−Ｆコンバータ２０
から出力されるパルス波形の幅を一定の幅に揃えて前記
変調器１８に出力するようになされている。

【０００８】そして、前記制御部５から送られる前記Ｑ
スイッチ７に加える電圧量やそのタイミングを制御する
駆動信号に基づいて、前記高周波発振器１６により、２
４ＭＨｚの周波数の高周波を発振させ、変調器１８によ
り、変調信号発振器１７から発振される１〜５０ｋＨｚ
のパルス信号の波形に基づいて前記高周波を所定波形の
高周波電気信号に変調し、電力増幅器１９により、変調
された高周波電気信号を５０〜７０Ｗ程度に増幅した
後、前記入力端子１５を介してＱスイッチ７に供給され
る。このようにＱスイッチドライバ８から供給される高
周波電気信号をインピーダンス整合回路１４により５０
Ωの特性インピーダンスに整合して圧電体１３に供給す
ることにより、前記圧電体１３を動作させて合成石英ガ
ラス１１を駆動させる。これにより、前記Ｑスイッチ７
を通過するレーザ光を回折させるようになされている。

【０００９】また、前記ＹＡＧロッド１と前記Ｑスイッ
チ７とを結ぶ延長線上には、一部透過性の出力ミラー２
２が配設されており、前記Ｑスイッチ７がＯＦＦの時に
光励起によりレーザ活性媒質を励起してエネルギを蓄
え、前記Ｑスイッチ７がＯＮの時に出力ミラー２２と全
反射ミラー６との間で瞬間にレーザ発振が起こり、出力
ミラー２２から一部レーザ光が出力されるようになされ
ている。

【００１０】さらに、前記出力ミラー２２のレーザ光の
出力側には、スキャナ部２３が配設されており、このス
キャナ部２３の内部には、前記出力ミラー２２からのレ
ーザ光を下方に指向させるとともに、Ｘ−Ｙ方向に走査
させるための図示しない２枚の可動ミラーが内蔵されて
いる。また、前記スキャナ部２３の出射部分には、ｆθ
レンズ２４が取付けられており、このレンズ２４の焦点
位置には、被マーキング材２５が配置されるようになさ
れている。

【００１１】このような従来の固体レーザ加工装置にお
いては、まず、前記制御部５からの制御信号に応じて前
記電源部４から励起ランプ３に電力を供給することによ
り励起ランプ３を発光させる。このとき、前記励起ラン
プ３の光は放射状に進行するため、前記ＹＡＧロッド１
へ向かって直接進行せずに前記キャビティ２の内壁に向
かって衝突してしまうものもあるが、前記キャビティ２
の内壁が鏡面で、かつ、断面楕円形状に形成されてお
り、かつ、前記励起ランプ３およびＹＡＧロッド１がキ
ャビティ２の楕円鏡筒内の各焦点に配置されているた
め、前記キャビティ２の内壁に衝突し反射される光はす
べてＹＡＧロッド１に集中することとなり、前記ＹＡＧ
ロッド１内の原子を効率的に励起することができる。

【００１２】そして、前記励起ランプ３による照射時間
に比例して前記ＹＡＧロッド１内に蓄積されるエネルギ
は増大し、時間の経過に伴い固体レーザ光を発振できる
エネルギを蓄積し、さらに定常パルスを発するために必
要なエネルギを蓄積する状態を経て飽和状態に達する。
このように励起されて高エネルギ状態となった原子はも
との基底状態に戻る過程の際にそのエネルギを光として
放出する。これらの光は自然放出による発光であるが、
これらの光のうち前記ＹＡＧロッド１の軸方向に放出さ
れた自然放出光により位相のそろった共振姿態が形成さ
れると、これにより、誘導放出が引き起こされて光強度
を増し固体レーザ光を発振することとなる。

【００１３】一方、前記制御部５からの駆動信号に基づ
いて、前記高周波発振器１６により発振される高周波
を、変調信号発振器１７から発振されるパルス信号に基
づいて変調器１８により高周波電気信号に変調し、電力
増幅器１９により変調された高周波電気信号を増幅した
後、前記入力端子１５を介してＱスイッチ７に供給され
る。このＱスイッチドライバ８から供給される高周波電
気信号をインピーダンス整合回路１４を介して圧電体１
３に供給して前記圧電体１３を動作させる。この状態
で、ＹＡＧロッド１からその軸方向に直進してくる光
が、Ｑスイッチ７により回折されてレーザ発振しないよ
うに保持され、前記励起ランプ３による照射を続けて前
記ＹＡＧロッド１の内部に所定の固体レーザ光を発振す
るために十分大きなエネルギを蓄積させる。

【００１４】そして、変調器１８により所定の波形に形
成された前記高周波電気信号の振幅が、図１０に示すよ
うに、所定のしきい値以下になると、前記圧電体１３に
高周波電気信号が供給されなくなり、前記Ｑスイッチ７
がＯＮとなる。これにより、前記ＹＡＧロッド１から出
射されるレーザ光は、前記Ｑスイッチ７を通過すること
になり、その一部が前記出力ミラー２２を透過する。

【００１５】その後、前記出力ミラー２２を透過したレ
ーザ光は、前記スキャナ部２３に入射し、このスキャナ
部２３において前記２枚の可動ミラーにより進行方向を
被マーキング材２５の方向に偏光されて走査されなが
ら、ｆθレンズを介して被マーキング材２５に集光され
て書込みが行なわれる。

【００１６】前記動作を繰り返し行なうことにより、被
マーキング材２５に所望の書込みを行なうようになって
いる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の固
体レーザ加工装置においては、前記高周波電気信号の振
幅が、所定のしきい値以下になった場合に、前記Ｑスイ
ッチ７がＯＮとなるように制御するようにしており、前
記高周波電気信号を変調器１８により方形の波形に整形
するようにしているので、この方形波形により、前記高
周波電気信号の振幅が急激に０になり、その結果、前記
高周波電気信号が急激にしきい値を通過することにな
り、前記Ｑスイッチ７が急激にＯＮされることになる。
そのため、前記しきい値があらかじめ分かっていない
と、Ｑスイッチ７のＯＮ、ＯＦＦ制御を正確に行なうこ
とができず、目的通りにレーザ光の制御を行なうことが
できないという問題を有している。しかも、前記しきい
値は温度等の環境条件により変化するものであるため、
しきい値付近では、飽和エネルギによるレーザ光のピー
クを押える効果を得ることが困難であるという問題を有
している。

【００１８】このようにしきい値付近におけるレーザ光
のピークを適正に制御することができないと、次のよう
な問題を生じる。

【００１９】すなわち、従来から使用されている励起ラ
ンプ３は、ランプ発光強度をレーザ光のパルス列のよう
な高速で制御することが不可能であるため、前記ＹＡＧ
ロッド１の原子は常に励起され続ける。このため、原子
を励起することにより蓄積されるエネルギの量も制御で
きないこととなり、時間の経過とともにＹＡＧロッド１
内の蓄積エネルギ量は増大する。そして、ついには、エ
ネルギの蓄積量が定常時の蓄積量を超えて、飽和状態と
なってしまう。

【００２０】したがって、被マーキング材２５へのマー
キングを開始するために、前記Ｑスイッチ７をＯＮにし
て、それまで蓄積されたエネルギをレーザ光として一気
に放出すると、出力開始直後の固体レーザ光の初期パル
スは、定常パルスよりも尖頭値（ピーク値）が大きくな
ってしまう。このような固体レーザ光の尖頭値の大きさ
は、前記被マーキング材２５のマーキング深度に直接影
響を与えるため、尖頭値の大きい初期パルスによるマー
キングは、定常パルスによるマーキングに比べて深くな
り、マーキングの開始位置には、ポンチを打ったような
跡が形成されてしまうという問題をも有している。

【００２１】本発明は前記した点に鑑みなされたもの
で、ＱスイッチのＯＮ、ＯＦＦ制御を正確に行なうこと
ができ、高周波電気信号の振幅のしきい値付近における
レーザ光のピークを適正に制御することのできる固体レ
ーザ加工装置を提供することを目的とするものである。

【００２２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項１に記載の発明に係る固体レーザ加工装置は、光
を受けることにより内部に励起エネルギを蓄積するＹＡ
Ｇロッドと、このＹＡＧロッドに励起用の光を照射する
励起ランプとを有し、前記ＹＡＧロッドのレーザ光の出
射側近傍に、高周波電気信号によりＯＮ、ＯＦＦ動作さ
れて前記レーザ光を選択的に出力させるＱスイッチを配
置し、このＱスイッチに制御部からの制御信号に基づい
て所定の波形に形成された高周波電気信号を前記Ｑスイ
ッチに供給するＱスイッチドライバを接続し、このＱス
イッチを通過する光の進行方向に前記レーザ光の一部を
通過させる出力ミラーを配設するとともに、前記ＹＡＧ
ロッドのレーザ光の出射方向と反対側に光を全反射させ
る全反射ミラーを配設し、前記出力ミラーを通過するレ
ーザ光をスキャナ部により被加工材の表面に走査させて
所望の加工を行なう固体レーザ加工装置において、前記
Ｑスイッチドライバに、前半にスロープが形成されたパ
ルス波形を出力する変調信号発振器を設けるとともに、
この変調信号発振器からのパルス波形に基づいて高周波
をスロープが形成された波形の高周波電気信号に変調し
て前記Ｑスイッチに供給させる変調器を設けたことを特
徴とするものである。

【００２３】また、請求項２に記載の発明に係る固体レ
ーザ加工装置は、前記変調信号発振器にパルス波形にス
ロープを形成する積分回路を設けたことを特徴とするも
のであり、請求項３に記載の発明に係る固体レーザ加工
装置は、前記変調信号発振器にあらかじめ前半にスロー
プが形成された複数の波形データを記憶して所定の波形
データを前記変調器に出力する波形データメモリを設け
たことを特徴とするものである。

【００２４】

【作用】本発明に係る固体レーザ加工装置によれば、変
調信号発振器により、積分回路あるいは波形データメモ
リを用いてスロープが形成されたパルス波形に基づい
て、高周波発振器から発振される高周波をスロープが形
成された高周波電気信号に整形し、この高周波電気信号
をＱスイッチに供給することにより、前記高周波電気信
号の振幅が、所定のしきい値以下になった場合に、前記
ＱスイッチがＯＮとなるように制御され、Ｑスイッチの
パルスレーザ光が出力されるようになっている。高周波
電気信号の波形のスロープにより、前記高周波電気信号
の振幅が徐々に０になるように制御され、前記高周波電
気信号がゆっくりとしきい値を通過することになり、温
度等の環境条件によりしきい値が変化した場合でも、Ｑ
スイッチのＯＮ、ＯＦＦ制御を正確に行なうことがで
き、目的通りにレーザ光の制御を行なうことができ、飽
和エネルギによるレーザ光のピークを押える効果を得る
ことができるものである。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１乃至図４を参照
して説明する。

【００２６】図１は本発明に係る固体レーザ加工装置の
Ｑスイッチドライバに適用される変調信号発振器の一実
施例を示したもので、この変調信号発振器１７は、所定
の周波数制御電圧が印加されてこの周波数制御電圧に応
じた周波数の波形を形成するＶ−Ｆコンバータ２０と、
このＶ−Ｆコンバータ２０から出力されるパルス波形の
幅を一定の幅に揃える、例えば、１ショットマルチバイ
ブレータ等からなる波形整形回路２１とを有している。

【００２７】さらに、本実施例においては、前記波形整
形回路２１の出力側には、スロープ制御電圧に応じたパ
ルス波形を抵抗を介して入力するオペアンプ２６が接続
されており、このオペアンプ２６と、このオペアンプ２
６に並列に接続された抵抗２５，２７およびコンデンサ
２８とから構成される積分回路２９により前記波形整形
回路２１からの出力パルス波形にスロープを形成するよ
うになされている。また、前記オペアンプ２６の出力側
には、オペアンプ３０と２つの抵抗３１，３２とからな
る増幅器３３が接続されている。さらに、この増幅器３
３の出力側には、ダイオード３４を介してトランジスタ
３５が接続されており、このトランジスタ３５により、
前記波形整形回路２１から出力されるパルス波形のタイ
ミングをベースに入力し、このタイミングに基づいて、
前記出力パルス波形の前半部分のみを図示しない変調器
に出力させるとともに、出力パルス波形の後半部分を変
調器側に出力させないように動作するようになってい
る。

【００２８】次に、本実施例の作用について説明する。

【００２９】本実施例においては、図２（ａ），（ｂ）
に示すように、前記周波数制御電圧に応じてＶ−Ｆコン
バータ２０により、所定の周波数の方形波形を形成して
出力し、波形整形回路２１により、図２（ｃ）に示すよ
うに、Ｖ−Ｆコンバータ２０から出力されるパルス波形
の幅を一定の幅に揃える。次に、図２（ａ）に示すスロ
ープ制御電圧に応じてオペアンプ２６および積分回路２
９により、図２（ｄ）に示すように、方形波形の前後に
スロープを形成して台形あるいは三角形のパルス波形に
整形する。このパルス波形のスロープ形状は、前記スロ
ープ制御電圧が低くなるにつれて緩やな傾斜に形成され
るようになっている。そして、スロープが形成されたパ
ルス波形は、図２（ｅ）に示すように、トランジスタ３
５によりその後半部分が除去されて変調器に出力される
ようになっている。

【００３０】そして、Ｑスイッチドライバの図示しない
高周波発振器により発振される高周波は、前記変調信号
発振器１７から発振される前半部分にスロープが形成さ
れたパルス波形に基づいて、変調器により所定波形の高
周波電気信号に変調される。その後、この高周波電気信
号は、図示しない電力増幅器により増幅されて図示しな
いＱスイッチに供給され、前記高周波電気信号の振幅
が、所定のしきい値以下になった場合に、前記Ｑスイッ
チがＯＮとなるように制御され、前記Ｑスイッチを通過
してレーザ光を発振させるようになっている。

【００３１】この場合に、本実施例においては、図３に
示すように、変調信号発振器１７によりスロープが形成
されたパルス波形に基づいて、高周波発振器から発振さ
れる高周波をスロープが形成された高周波電気信号に整
形するようにしているので、この高周波電気信号の波形
のスロープにより、前記高周波電気信号の振幅が徐々に
０になるように制御され、前記高周波電気信号がゆっく
りとしきい値を通過することになる。

【００３２】したがって、本実施例においては、前記高
周波発振器から発振される高周波をスロープが形成され
た高周波電気信号に整形し、この高周波電気信号の波形
のスロープにより、前記高周波電気信号がゆっくりとし
きい値を通過するようにしているので、温度等の環境条
件によりしきい値が変化した場合でも、ＱスイッチのＯ
Ｎ、ＯＦＦ制御を正確に行なうことができ、目的通りに
レーザ光の制御を行なうことができ、飽和エネルギによ
るレーザ光のピークを押える効果を得ることができる。

【００３３】また、図４は本発明の他の実施例を示した
もので、本実施例においては、変調信号発振器１７は、
あらかじめ前半にスロープが形成された複数の波形デー
タがデジタルデータとして記憶された波形データメモリ
３６を有しており、この波形データメモリ３６には、ク
ロックジェネレータ３７からの出力信号に基づいて前記
波形データメモリ３６の対応する波形データのアドレス
を指定するアドレスカウンタ３８が接続されている。ま
た、この波形データメモリ３６には、前記波形データメ
モリ３６から出力されるデジタルの波形データをアナロ
グデータに変換するＤ／Ａ変換器３９が接続されてお
り、このＤ／Ａ変換器３９には、増幅回路４０を介して
変調器に出力されるようになされている。

【００３４】本実施例においては、前記クロックジェネ
レータ３７からの出力信号に基づいてアドレスカウンタ
３８により、前記波形データメモリ３６の対応する波形
データのアドレスを指定し、この指定された波形データ
をＤ／Ａ変換器３９によりアナログデータに変換し、増
幅回路４０を介して変調器に出力されるようになってい
る。

【００３５】そして、前記実施例と同様に、図示しない
高周波発振器により発振される高周波を、前記変調信号
発振器１７から発振される波形データに基づいて、変調
器により所定波形の高周波電気信号に変調し、この高周
波電気信号をＱスイッチに供給するようになっている。

【００３６】したがって、本実施例においても前記実施
例と同様に、高周波発振器から発振される高周波をスロ
ープが形成された高周波電気信号に整形し、この高周波
電気信号の波形のスロープにより、前記高周波電気信号
がゆっくりとしきい値を通過するようにしているので、
温度等の環境条件によりしきい値が変化した場合でも、
ＱスイッチのＯＮ、ＯＦＦ制御を正確に行なうことがで
き、目的通りにレーザ光の制御を行なうことができ、飽
和エネルギによるレーザ光のピークを押える効果を得る
ことができる。

【００３７】なお、本発明は前記実施例のものに限定さ
れるものではなく、必要に応じて種々変更することが可
能である。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように本発明に係る固体レー
ザ加工装置は、高周波発振器から発振される高周波をス
ロープが形成された高周波電気信号に整形し、この高周
波電気信号の波形のスロープにより、前記高周波電気信
号がゆっくりとしきい値を通過するようにしたので、温
度等の環境条件によりしきい値が変化した場合でも、Ｑ
スイッチのＯＮ、ＯＦＦ制御を正確に行なうことがで
き、目的通りにレーザ光の制御を行なうことができ、飽
和エネルギによるレーザ光のピークを押える効果を得る
ことができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る固体レーザ加工装置のＱスイッチ
ドライバに適用される変調信号発振器の一実施例を示す
回路図

【図２】本発明の変調信号発振器によるパルス波形の形
成状態を示す説明図

【図３】本発明の高周波電気信号とＱスイッチを通過す
るレーザ光との関係を示す説明図

【図４】本発明の他の実施例を示すブロック図

【図５】従来の一般的な固体レーザ加工装置を示す概略
構成図

【図６】従来のＱスイッチを示す概略構成図

【図７】従来のＱスイッチドライバを示すブロック図

【図８】従来の変調信号発振器を示すブロック図

【図９】従来の変調信号発振器によるパルス波形の形成
状態を示す説明図

【図１０】従来の高周波電気信号とＱスイッチを通過す
るレーザ光との関係を示す説明図

【符号の説明】

１７ 変調信号発振器 ２０ Ｖ−Ｆコンバータ ２１ 波形整形回路 ２６ オペアンプ ２９ 積分回路 ３５ トランジスタ ３６ 波形データメモリ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光を受けることにより内部に励起エネル
   ギを蓄積するＹＡＧロッドと、このＹＡＧロッドに励起
   用の光を照射する励起ランプとを有し、前記ＹＡＧロッ
   ドのレーザ光の出射側近傍に、高周波電気信号によりＯ
   Ｎ、ＯＦＦ動作されて前記レーザ光を選択的に出力させ
   るＱスイッチを配置し、このＱスイッチに制御部からの
   制御信号に基づいて所定の波形に形成された高周波電気
   信号を前記Ｑスイッチに供給するＱスイッチドライバを
   接続し、このＱスイッチを通過する光の進行方向に前記
   レーザ光の一部を通過させる出力ミラーを配設するとと
   もに、前記ＹＡＧロッドのレーザ光の出射方向と反対側
   に光を全反射させる全反射ミラーを配設し、前記出力ミ
   ラーを通過するレーザ光をスキャナ部により被加工材の
   表面に走査させて所望の加工を行なう固体レーザ加工装
   置において、前記Ｑスイッチドライバに、前半にスロー
   プが形成されたパルス波形を出力する変調信号発振器を
   設けるとともに、この変調信号発振器からのパルス波形
   に基づいて高周波をスロープが形成された波形の高周波
   電気信号に変調して前記Ｑスイッチに供給させる変調器
   を設けたことを特徴とする固体レーザ加工装置。
2. 【請求項２】 前記変調信号発振器にパルス波形にスロ
   ープを形成する積分回路を設けたことを特徴とする請求
   項１に記載の固体レーザ加工装置。
3. 【請求項３】 前記変調信号発振器にあらかじめ前半に
   スロープが形成された複数の波形データを記憶して所定
   の波形データを前記変調器に出力する波形データメモリ
   を設けたことを特徴とする請求項１に記載の固体レーザ
   加工装置。