JPH08178861A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH08178861A JPH08178861A JP31955194A JP31955194A JPH08178861A JP H08178861 A JPH08178861 A JP H08178861A JP 31955194 A JP31955194 A JP 31955194A JP 31955194 A JP31955194 A JP 31955194A JP H08178861 A JPH08178861 A JP H08178861A
- Authority
- JP
- Japan
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- calibration
- inspection
- inspection head
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サンプル板と検査ヘッドとの間隔および角度
調整が簡単でしかも高精度に行えるようにする。 【構成】 軌道に沿って走行する台車９に検査ヘッド５
を搭載し、台車９により検査ヘッド５を移動してオンラ
イン検査位置とオフライン校正位置とにセットする表面
検査装置において、台車９に可動支持機構１０を介して
取り付けられ、校正用のサンプル板４を装着するための
校正台６と、可動支持機構１０を駆動して校正台６を測
定位置と退避位置とにセットする第１の駆動機構１１
と、可動支持機構１０と校正台６との間に介在し、測定
位置にセットされた校正台６を変位させて検査ヘッド５
に対する間隔および角度を変化させる変位機構と、この
変位機構を駆動する第２の駆動機構１２と１３を設け
た。
調整が簡単でしかも高精度に行えるようにする。 【構成】 軌道に沿って走行する台車９に検査ヘッド５
を搭載し、台車９により検査ヘッド５を移動してオンラ
イン検査位置とオフライン校正位置とにセットする表面
検査装置において、台車９に可動支持機構１０を介して
取り付けられ、校正用のサンプル板４を装着するための
校正台６と、可動支持機構１０を駆動して校正台６を測
定位置と退避位置とにセットする第１の駆動機構１１
と、可動支持機構１０と校正台６との間に介在し、測定
位置にセットされた校正台６を変位させて検査ヘッド５
に対する間隔および角度を変化させる変位機構と、この
変位機構を駆動する第２の駆動機構１２と１３を設け
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、鉄・アルミニウム・
紙・フィルム等の長尺シート物の製造プラントにおいて
シート物の表面欠陥を連続的に光電的に検査する表面検
査装置に関する。
紙・フィルム等の長尺シート物の製造プラントにおいて
シート物の表面欠陥を連続的に光電的に検査する表面検
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】表面検査装置の原理的構成を図４に示し
ている。検査対象物である長尺シート物２が連続的に矢
印方向に送給される。このシート物２の片面に非接触状
態で対向するようにスキャナ１とレシーバ３が配設され
る。スキャナ１からは発せられるレーザ光がシート物２
の幅方向に走査され、シート物２の表面での反射回折光
がレシーバ３によって受光される。レシーバ３からはシ
ート物２の表面の走査ラインに沿った部位の反射レベル
に相当する電気信号が得られ、この信号から表面欠陥の
有無を弁別する。
ている。検査対象物である長尺シート物２が連続的に矢
印方向に送給される。このシート物２の片面に非接触状
態で対向するようにスキャナ１とレシーバ３が配設され
る。スキャナ１からは発せられるレーザ光がシート物２
の幅方向に走査され、シート物２の表面での反射回折光
がレシーバ３によって受光される。レシーバ３からはシ
ート物２の表面の走査ラインに沿った部位の反射レベル
に相当する電気信号が得られ、この信号から表面欠陥の
有無を弁別する。
【０００３】このスキャナ１とレシーバ３を一体化した
ものが検査ヘッドであり、この検査ヘッドの投光光学系
および受光光学系を含む光学機器の精度を定期的に検定
する必要がある。つまり前記シート物に代って、既知の
欠陥を意図的に作ってあるサンプル板を検査対象として
測定を行い、検査ヘッドの特性をチェックする。この検
定のことを校正試験と呼んでいる。
ものが検査ヘッドであり、この検査ヘッドの投光光学系
および受光光学系を含む光学機器の精度を定期的に検定
する必要がある。つまり前記シート物に代って、既知の
欠陥を意図的に作ってあるサンプル板を検査対象として
測定を行い、検査ヘッドの特性をチェックする。この検
定のことを校正試験と呼んでいる。
【０００４】具体的な表面検査装置は図５および図６に
示すように構成されており、校正試験は以下のように行
っている。軌道に沿って走行する台車９に検査ヘッド５
を搭載し、この台車９により検査ヘッド５を移動して、
検査対象シート物２に検査ヘッド５を対向させるオンラ
イン検査位置と、検査対象シート物２から検査ヘッド５
をシート物２の幅方向に引き離したオフライン校正位置
とにセットさせることができる。
示すように構成されており、校正試験は以下のように行
っている。軌道に沿って走行する台車９に検査ヘッド５
を搭載し、この台車９により検査ヘッド５を移動して、
検査対象シート物２に検査ヘッド５を対向させるオンラ
イン検査位置と、検査対象シート物２から検査ヘッド５
をシート物２の幅方向に引き離したオフライン校正位置
とにセットさせることができる。
【０００５】オフライン校正位置には台車９とは別個の
校正台６が設置されている。そこに操作員がサンプル板
４を持っていき、校正台６にサンプル板４を取り付け
る。そうすると校正位置にセットした検査ヘッド５がサ
ンプル板４と対向する。検査ヘッド５によりサンプル板
４についての測定を行いながら、検査ヘッド５とサンプ
ル板４の間隔を変化させたり、検査ヘッド５に対するサ
ンプル板４の角度を変化させ、その変化に対する検査ヘ
ッド５の出力変化をチェックし、正常範囲内か否かを判
定する。
校正台６が設置されている。そこに操作員がサンプル板
４を持っていき、校正台６にサンプル板４を取り付け
る。そうすると校正位置にセットした検査ヘッド５がサ
ンプル板４と対向する。検査ヘッド５によりサンプル板
４についての測定を行いながら、検査ヘッド５とサンプ
ル板４の間隔を変化させたり、検査ヘッド５に対するサ
ンプル板４の角度を変化させ、その変化に対する検査ヘ
ッド５の出力変化をチェックし、正常範囲内か否かを判
定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図５および図６に示し
た従来の表面検査装置では、校正台６にセットしたサン
プル板４を変位させて検査ヘッド５に対する間隔および
角度を変えるために、校正台６の可動部に設けたピン７
を抜き差しして調整と固定を繰り返さなければならず、
そのための作業時間が長くなってしまうという問題と、
サンプル板４の検査ヘッド５に対する間隔および角度の
精度を確保するのが難しいという問題があった。また、
検査対象シート物２と同様にサンプル板４をその面方向
に移動させて校正試験を行うのが望ましいが、従来この
試験を行うには搬送機構のついた別の校正装置を使用し
なければならなかった。
た従来の表面検査装置では、校正台６にセットしたサン
プル板４を変位させて検査ヘッド５に対する間隔および
角度を変えるために、校正台６の可動部に設けたピン７
を抜き差しして調整と固定を繰り返さなければならず、
そのための作業時間が長くなってしまうという問題と、
サンプル板４の検査ヘッド５に対する間隔および角度の
精度を確保するのが難しいという問題があった。また、
検査対象シート物２と同様にサンプル板４をその面方向
に移動させて校正試験を行うのが望ましいが、従来この
試験を行うには搬送機構のついた別の校正装置を使用し
なければならなかった。
【０００７】この発明は前述した従来の問題点に鑑みな
されたもので、その目的は、サンプル板と検査ヘッドと
の間隔および角度調整が簡単でしかも高精度に行え、ま
たサンプル板の面方向への搬送も簡単に行えるようにし
た表面検査装置を提供することにある。
されたもので、その目的は、サンプル板と検査ヘッドと
の間隔および角度調整が簡単でしかも高精度に行え、ま
たサンプル板の面方向への搬送も簡単に行えるようにし
た表面検査装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこでこの発明では、軌
道に沿って走行する台車に検査ヘッドを搭載し、この台
車により検査ヘッドを移動して、検査対象物に検査ヘッ
ドを対向させるオンライン検査位置と、検査対象物から
検査ヘッドを引き離したオフライン校正位置とにセット
させる表面検査装置において、前記台車に可動支持機構
を介して取り付けられ、校正用のサンプル板を装着する
ための校正台と、前記可動支持機構を駆動して前記校正
台を前記検査ヘッドの正面に対向させる測定位置と前記
検査ヘッドの正面から退避させた退避位置とにセットす
る第１の駆動機構と、前記可動支持機構と前記校正台と
の間に介在し、前記測定位置にセットされた前記校正台
を変位させて前記検査ヘッドに対する間隔および角度を
変化させる変位機構と、この変位機構を駆動する第２の
駆動機構とを設けた。また、前記の校正台に装着した前
記サンプル板を校正台の表面に沿って移動させる搬送機
構を付設した。
道に沿って走行する台車に検査ヘッドを搭載し、この台
車により検査ヘッドを移動して、検査対象物に検査ヘッ
ドを対向させるオンライン検査位置と、検査対象物から
検査ヘッドを引き離したオフライン校正位置とにセット
させる表面検査装置において、前記台車に可動支持機構
を介して取り付けられ、校正用のサンプル板を装着する
ための校正台と、前記可動支持機構を駆動して前記校正
台を前記検査ヘッドの正面に対向させる測定位置と前記
検査ヘッドの正面から退避させた退避位置とにセットす
る第１の駆動機構と、前記可動支持機構と前記校正台と
の間に介在し、前記測定位置にセットされた前記校正台
を変位させて前記検査ヘッドに対する間隔および角度を
変化させる変位機構と、この変位機構を駆動する第２の
駆動機構とを設けた。また、前記の校正台に装着した前
記サンプル板を校正台の表面に沿って移動させる搬送機
構を付設した。
【０００９】
【作用】検査ヘッドが台車に搭載されているだけでな
く、前記の可動支持機構と変位機構を介して校正台も台
車に搭載されている。したがって、従来のように台車と
まったく別個に校正台を設けたものに比べて、検査ヘッ
ドと校正台との位置関係の精度は充分に高くなる。
く、前記の可動支持機構と変位機構を介して校正台も台
車に搭載されている。したがって、従来のように台車と
まったく別個に校正台を設けたものに比べて、検査ヘッ
ドと校正台との位置関係の精度は充分に高くなる。
【００１０】校正試験を行うには、まず台車をオフライ
ン校正位置に移動し、つぎに第１の駆動機構で校正台を
測定位置に移動し、その校正台にサンプル板をセット
し、第２の駆動機構でサンプル板を変位させながら測定
を行う。必要に応じて搬送機構を動作させ、サンプル板
を面方向に搬送しながら測定を行う。
ン校正位置に移動し、つぎに第１の駆動機構で校正台を
測定位置に移動し、その校正台にサンプル板をセット
し、第２の駆動機構でサンプル板を変位させながら測定
を行う。必要に応じて搬送機構を動作させ、サンプル板
を面方向に搬送しながら測定を行う。
【００１１】
【実施例】この発明の一実施例の概略構成を図１乃至図
３に示している。軌道に沿って走行する台車９に検査ヘ
ッド５が搭載されている点は従来と同じであり、従来の
構成を示す図５のように、台車９が移動してオンライン
検査位置とオフライン構成位置とをとる。この発明の特
徴の１つは、台車９に回転アーム１０を介して校正台６
が取り付けられている点である。
３に示している。軌道に沿って走行する台車９に検査ヘ
ッド５が搭載されている点は従来と同じであり、従来の
構成を示す図５のように、台車９が移動してオンライン
検査位置とオフライン構成位置とをとる。この発明の特
徴の１つは、台車９に回転アーム１０を介して校正台６
が取り付けられている点である。
【００１２】回転アーム１０の基部は検査ヘッド５のケ
ーシングの側面に回動自在に取り付けられており、この
部分にアーム１０を矢印ａのように往復回動させるアー
ム駆動モータ１１が設けられている。この回転アーム１
０の先端部に校正台６が装着されている。通常は回転ア
ーム１０は左回転した退避位置にあり、このとき校正台
６は検査ヘッド５の上方に位置し、ヘッド正面（図６の
右側面）から大きく離れている。この状態で台車９がオ
ンライン検査位置に移動すると、ヘッド正面に検査対象
シート物２が対向する（図５参照）。
ーシングの側面に回動自在に取り付けられており、この
部分にアーム１０を矢印ａのように往復回動させるアー
ム駆動モータ１１が設けられている。この回転アーム１
０の先端部に校正台６が装着されている。通常は回転ア
ーム１０は左回転した退避位置にあり、このとき校正台
６は検査ヘッド５の上方に位置し、ヘッド正面（図６の
右側面）から大きく離れている。この状態で台車９がオ
ンライン検査位置に移動すると、ヘッド正面に検査対象
シート物２が対向する（図５参照）。
【００１３】台車９をオフライン校正位置に移動し、ア
ーム駆動モータ１１により回転アーム１０を右回転させ
て測定位置にセットすると、アーム先端の校正台６が検
査ヘッド５の正面に対向する。この状態で校正試験を行
う。
ーム駆動モータ１１により回転アーム１０を右回転させ
て測定位置にセットすると、アーム先端の校正台６が検
査ヘッド５の正面に対向する。この状態で校正試験を行
う。
【００１４】校正台６はアーム先端に固定的に取り付け
られているのではなく、モータ１２により駆動されるネ
ジ送り機構によりアーム１０の長手方向（矢印ｂ）に変
位自在に取り付けられているとともに、モータ１３によ
り駆動される回動機構により矢印ｃ方向に回動自在に取
り付けられている。測定位置にある校正台６にサンプル
板４をセットし、このサンプル板４を検査ヘッド５に対
向させる。その状態でモータ１２により前記ネジ送り機
構を適宜に駆動すると検査ヘッド５に対するサンプル板
４の間隔が変化する。またモータ１３により前記回動機
構を適宜に駆動すると、検査ヘッド５に対するサンプル
板４の角度が変化する。
られているのではなく、モータ１２により駆動されるネ
ジ送り機構によりアーム１０の長手方向（矢印ｂ）に変
位自在に取り付けられているとともに、モータ１３によ
り駆動される回動機構により矢印ｃ方向に回動自在に取
り付けられている。測定位置にある校正台６にサンプル
板４をセットし、このサンプル板４を検査ヘッド５に対
向させる。その状態でモータ１２により前記ネジ送り機
構を適宜に駆動すると検査ヘッド５に対するサンプル板
４の間隔が変化する。またモータ１３により前記回動機
構を適宜に駆動すると、検査ヘッド５に対するサンプル
板４の角度が変化する。
【００１５】また、校正台６におけるサンプル板４の取
付面にはベルトコンベア１４およびガイドローラ１５か
らなる搬送機構が付設されている。ここにサンプル板４
をセットしてベルトコンベア１４を駆動すると、サンプ
ル板４をその面方向に上下に移動させることができ、移
動させながら校正試験を行える。
付面にはベルトコンベア１４およびガイドローラ１５か
らなる搬送機構が付設されている。ここにサンプル板４
をセットしてベルトコンベア１４を駆動すると、サンプ
ル板４をその面方向に上下に移動させることができ、移
動させながら校正試験を行える。
【００１６】
【発明の効果】この発明によれば、検査ヘッドとともに
校正台も台車に搭載し、この校正台を可動支持機構によ
り測定位置と退避位置とに移動できるように構成したの
で、検査ヘッドと校正台との位置関係がきわめて高精度
になり、したがってサンプル板を用いた校正試験を高精
度に行うことができる。また可動支持機構の作動と、校
正試験時の校正台の距離および角度調整用の変位機構の
作動をモータ等で行うようにしたので、校正試験時に係
員が行わなければならない操作がほとんど自動化され、
試験時間を短縮できる。さらに、校正台にベルトコンベ
アのような搬送機構を設けてサンプル板を面方向に移動
させながら校正試験を行えるように構成すれば、試験の
能率がさらに向上する。
校正台も台車に搭載し、この校正台を可動支持機構によ
り測定位置と退避位置とに移動できるように構成したの
で、検査ヘッドと校正台との位置関係がきわめて高精度
になり、したがってサンプル板を用いた校正試験を高精
度に行うことができる。また可動支持機構の作動と、校
正試験時の校正台の距離および角度調整用の変位機構の
作動をモータ等で行うようにしたので、校正試験時に係
員が行わなければならない操作がほとんど自動化され、
試験時間を短縮できる。さらに、校正台にベルトコンベ
アのような搬送機構を設けてサンプル板を面方向に移動
させながら校正試験を行えるように構成すれば、試験の
能率がさらに向上する。
【図１】この発明の一実施例による校正装置を備えた表
面検査装置の正面図である。
面検査装置の正面図である。
【図２】同上実施例装置の要部抽出図である。
【図３】同上実施例装置における校正台の詳細図であ
る。
る。
【図４】表面検査装置の原理的構成を示す概略図であ
る。
る。
【図５】従来の表面検査装置の平面図である。
【図６】同上従来装置における校正試験状態の正面図で
ある。
ある。
１…スキャナ、２…検査対象シート物、３…レシーバ、
４…サンプル板、５…検査ヘッド、６…校正台、７…ピ
ン、９…台車、１０…回転アーム（可動支持機構）、１
１…アーム駆動モータ（第１の駆動機構）、１２…距離
変更用モータ（第２の駆動機構）、１３…角度変更用モ
ータ（第２の駆動機構）、１４…ベルトコンベア（搬送
機構）、１５…ガイドローラ。
４…サンプル板、５…検査ヘッド、６…校正台、７…ピ
ン、９…台車、１０…回転アーム（可動支持機構）、１
１…アーム駆動モータ（第１の駆動機構）、１２…距離
変更用モータ（第２の駆動機構）、１３…角度変更用モ
ータ（第２の駆動機構）、１４…ベルトコンベア（搬送
機構）、１５…ガイドローラ。
Claims (2)
- 【請求項１】 軌道に沿って走行する台車に検査ヘッド
を搭載し、この台車により検査ヘッドを移動して、検査
対象物に検査ヘッドを対向させるオンライン検査位置
と、検査対象物から検査ヘッドを引き離したオフライン
校正位置とにセットさせる表面検査装置において、前記
台車に可動支持機構を介して取り付けられ、校正用のサ
ンプル板を装着するための校正台と、前記可動支持機構
を駆動して前記校正台を前記検査ヘッドの正面に対向さ
せる測定位置と前記検査ヘッドの正面から退避させた退
避位置とにセットする第１の駆動機構と、前記可動支持
機構と前記校正台との間に介在し、前記測定位置にセッ
トされた前記校正台を変位させて前記検査ヘッドに対す
る間隔および角度を変化させる変位機構と、この変位機
構を駆動する第２の駆動機構とを備えたことを特徴とす
る表面検査装置。 - 【請求項２】 前記校正台は、これに装着した前記サン
プル板を校正台の表面に沿って移動させる搬送機構を備
えていることを特徴とする請求項１に記載の表面検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31955194A JP3150552B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31955194A JP3150552B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178861A true JPH08178861A (ja) | 1996-07-12 |
| JP3150552B2 JP3150552B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=18111526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31955194A Expired - Fee Related JP3150552B2 (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3150552B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013205378A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Nisshin Steel Co Ltd | オフライン調整装置 |
| CN111487251A (zh) * | 2020-04-27 | 2020-08-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种aoi成像组件系统及其使用方法 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP31955194A patent/JP3150552B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013205378A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Nisshin Steel Co Ltd | オフライン調整装置 |
| CN111487251A (zh) * | 2020-04-27 | 2020-08-04 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种aoi成像组件系统及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3150552B2 (ja) | 2001-03-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |