JPH08178169A - 管又は容器用のガラス質石英製接続部材およびその製造法 - Google Patents

管又は容器用のガラス質石英製接続部材およびその製造法

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JPH08178169A
JPH08178169A JP7265788A JP26578895A JPH08178169A JP H08178169 A JPH08178169 A JP H08178169A JP 7265788 A JP7265788 A JP 7265788A JP 26578895 A JP26578895 A JP 26578895A JP H08178169 A JPH08178169 A JP H08178169A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 廃材料を最小限にし、且つフランジを製造す
るための切断及び研削工程が省略可能な、管又は容器用
のガラス質石英製接続部材およびその製造法を提供す
る。 【解決手段】 透明石英ガラス製の環状フランジを有す
る接続部材であって、該フランジが少なくとも一つの帯
状又は棒状石英ガラス部片から形成されており、該部片
は管の末端又は容器の開口部の外周囲及び/又は内周囲
に巻かれ、そしてその外表面及び/又は内表面と溶接さ
れており、その際該石英ガラス部片は閉鎖した環を形成
している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、透明石英ガラス製
の環状フランジを有するガラス質石英からなる管又は容
器の接続部材に関する。さらに、本発明は、透明石英ガ
ラス製の環状フランジを有するガラス状石英からなる管
又は容器の接続部材の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の透明石英ガラス製の環状フラン
ジを有するガラス質石英からなる管又は容器の接続部材
は、例えば、Heraeus Quartzschmelze GmbH の製品情報
誌“Heraeus-Quartz, Quartz Glass Products for Epit
axy”(PHL-B50 E, E 3C9.89/N Ku) から公知である。こ
のような容器または管は、特に高度のクリーン室及び環
境を作らねばならないときにしばしば使用される。例え
ば、ガラス質石英から製造されたエピタクシベルジャー
と呼ばれる容器中で、高温及び管理された雰囲気下に、
電子部材が取り扱われる。このようなエピタクシベルジ
ャーは、対応する供給部及び接続部と気密的に接続させ
るために、典型的にはその開口部に、一般的な接続フラ
ンジを有する。このようなベルジャーは典型的には環状
の断面を有しているが、例えばその末端に接続フランジ
を有した、その断面が正方形又は長方形のエピタクシ管
も使用される。このようなフランジは、通常透明な石英
ガラス板から切り抜かれ、管の末端およびエピクタシベ
ルの開口部へ溶接される。容器または管は透明又は不透
明の石英ガラス製であることができ、該容器又は管のあ
る部分は、これら2つの材料の一方又は他方で造られて
いることができる。上記フランジは、板を切断し、つい
で該フランジの外径に対応する外周、並びに内部くりぬ
き部を研磨しなければならないが、板の残部は再使用不
可能な廃品であるため、比較的多量の材料を使用するこ
ととなる。さらに、切断および研削工程においては、高
価で且つ使用寿命の短いダイヤモンド先端のこ刃及び研
削盤を必要とする。また、フランジを切り出したとき
に、ある量のスクラップが生ずることは避けられない。
切断工程の問題は管の末端が溶接される板の内部開口部
の形成にある。なぜならば、切断する板はベルジャーの
湾曲に沿って移動しなければならず、板を切断線に沿っ
て移動することが難しいからである。管のフランジのた
めに湾曲を形成しなければならない場合は、板を切断す
ることは通常不適当であり、従ってドリルまたは研削に
より板の開口部が形成される。
【0003】開口部の末端に不透明の石英ガラス製のフ
ランジを有する石英ガラス管又はベルジャーは、実公平
1−43164号公報により公知であり、十分なシール
を達成させるために、不透明石英ガラスの軸方向面が透
明石英ガラスの付加板で覆われている。不透明石英ガラ
スフランジに加えて、この透明石英ガラスの付加フラン
ジ部は、フランジを板から切り出し、ついで不透明石英
ガラスフランジと接続させるための余分な工程を必要す
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術に基づ
く本発明の課題は、廃材料を最小限にし、且つフランジ
部を製造するための切断及び研削工程が回避された、接
続部材およびその製造法を開発することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、フラン
ジが少なくとも一つの帯状又は棒状の石英ガラス部片か
ら形成されており、該部片は管の末端又は容器の開口部
の外周囲及び/又は内周囲に巻かれ、そしてその外表面
及び/又は内表面と溶接されており、その際該石英ガラ
ス部片は閉鎖した環を形成していることを特徴とする接
続部材により、解決される。
【0006】該接続部材の製造法に関しては、その課題
は、透明石英ガラスからなる、所定の長さの帯状又は棒
状石英ガラス部片を用意し、この全長を可塑化するまで
加熱し、管、容器または管スリーブの外表面及び/又は
内表面に巻き付けて接続部を形成し、ついでこれを溶接
することにより解決される。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明によるフランジを製造する
には、製造すべきフランジの断面寸法に対応する帯状又
は棒状石英ガラス部片を造ることのみが必要である。つ
いで、該部片を管又は容器の外周囲又は内周囲に巻き付
け、加熱して管又は容器に溶接する。この種の帯状又は
棒状石英ガラス部片は、適当な断面形状型を有する引き
抜き技法により石英ガラスから造られ、ついで適当な長
さに切断して、供給される。単一の帯状又は棒状石英ガ
ラス部片を必要な長さに切断するための機械的加工を必
要とするだけである。簡単な切断装置を使用してその切
断を行うことができる。
【0008】大きな半径寸法を有するフランジを造る場
合は、それぞれの管又は容器の外周囲又は内周囲に巻き
付けられた帯状又は棒状石英ガラス部片のコイル状多層
とすることが有利である。この種のコイルは、その部分
に供給される長さに基づいて、1つ又はそれ以上の石英
ガラス部片から造ることができる。この方法は、大きな
半径寸法のフランジを1つ又はそれ以上の標準寸法の帯
状又は棒状石英ガラス部片を用いて製造することもでき
るので、有利である。さらに、帯状又は棒状石英ガラス
部片の多層構造は、比較的薄いものを少し加熱すれば容
易に造ることができるので、有利である。個々の帯状物
を半径に沿って溶接することが好ましい。さらに、軸方
向にあるフランジの外縁部を一緒に融着し、ついで研磨
することにより平坦なシール面を形成することができ
る。
【0009】石英ガラス部片の先端及び末端の接合点に
おいて、ギャップのない、例えば特に継ぎ目のないフラ
ンジを形成するには、石英ガラス部片の両端をくさび形
状にすることにより、石英ガラス部片のくさび状先端部
分がくさび状末端部分と重なる部分を該部片の実際の厚
みと同じ厚みとすることができる。石英ガラス部片の先
端及び末端がくさび形状であることは、その先端と第2
層との重なり部が薄くなるので、複数の巻層を有するフ
ランジには有利である。さらに、くさび状であるx層目
の末端は第1層の先端と共に、他と同じ半径寸法を形成
する。
【0010】本発明のフランジは管又は容器の開口部末
端に設置することが好ましいが、装備品又は他の取付器
具を付けるために、管又は容器壁の中間部に使用するこ
ともできる。帯状又は棒状石英ガラス部片から造られた
フランジは、熱をかけることにより、不透明又は透明石
英ガラス製の管又は容器に結合させることができる。
【0011】板状材料からフランジが予備切断される従
来技術と比較して、帯状又は棒状材料からフランジを形
成し且つ設置することは、加工費の点で、予備的に調製
された板状フランジを溶接する場合に匹敵していること
がわかった。もちろん、本発明による方法は、切断工
程、およびフランジが設置される管又は容器の所定の直
径に対応する、数多くのフランジ及びフランジ部分の調
製が省かれる。本発明によれば、適当な帯状又は棒状材
料、好ましくは連続鋳造形材を必要な断面寸法に調整す
るだけである。
【0012】本発明の他の詳細及び特徴は、添付図面に
基づく下記実施例に説明されている。
【実施例】図1は長さに沿って均一な断面を示す透明石
英ガラスの石英ガラス管(1)を示すものである。フラ
ンジ(2)は、石英ガラス管(1)の1つの表面末端
に、石英ガラス管(1)の前側面(4)と同一平面に帯
状又は棒状石英ガラス部片(3)を巻き付けることによ
り製造される。先端部分(5)がくさび状である(図2
参照)帯状又は棒状石英ガラス部片(3)は第1バーナ
ー(6)及び第2バーナー(7)による加熱により溶接
される。この方法において、部片(3)は第1バーナー
(6)により曲げやすくなるまで加熱され、石英ガラス
管(1)がその軸で回転しながら、管の外周囲に沿って
巻き付けられる。同時に、管の表面およびその面に対面
している帯状石英ガラス部片(3)の下面が第2バーナ
ー(7)により加熱され、互いに結合されるべき両面が
溶融される。ついで、帯状物は石英ガラス管上に軽く圧
着され、溶接される。フランジが図1及び図2における
1層の帯状石英ガラス部片によって示されるような厚さ
が要求される場合は、該部片の末端をくさび状に削り、
その結果として、くさび状の先端部分及び末端部分が一
緒になって、所望のフランジ厚さ、即ち末端部分以外の
石英ガラス部片(3)と同じ厚さが形成される。
【0013】帯状石英ガラス部片は連続鋳造により調製
され、所定の長さで供給することができる。薄い帯状石
英ガラス部片から大きな半径寸法のフランジを製造する
には、図1及び図2に示した方法で数層を重ね合わせる
ことにより、図3に示したような複層のフランジが製造
される。この場合、帯状石英ガラス部片(3)の先端部
分はくさび状であるべきであり、その結果末端部分にお
ける重合層(8)は重なりが殆どないように維持され
る。全周囲に沿って均一な半径幅を有するフランジを造
るためには、帯状石英ガラス部片(3)の末端部分
(9)もくさび形状とすることにより、先端部分(5)
及び末端部分(9)が一緒になって、半径方向における
石英ガラス部片(3)の半径厚さとなる。
【0014】特に、図1からわかるように、均一な幅の
石英ガラス部片を用意するだけであるから、大きな半径
幅を有するフランジを容易に製造することができる。図
1に示したこの種の幅広の石英ガラス部片は、変形温度
に容易に加熱することができ、ついで石英ガラス管
(1)の外周囲又は内周囲に沿って巻き付けることがで
きる。帯状石英ガラス部片(3)の形成には、1700
〜2100℃の変形温度で十分であり、その断面形状が
本質的に保持されるようにして、石英ガラス部片が石英
ガラス管に容易に巻き付けられる。
【0015】本方法により、帯状又は棒状石英ガラス部
片(3)は、環状の管又は容器の断面形状の内側又は外
側に沿って巻き付けることができるのみならず、他の所
望の断面形状、即ち複雑な断面寸法を有するものにも使
用できる。この種の帯状物は正方形断面の石英管に沿っ
て、即ち角が非常に小さな曲線半径を示す管に沿って巻
き付けることもできる。なお、該曲線半径を形成するた
めに、帯状石英ガラス部片はその領域をよく加熱しなけ
ればならない。
【0016】本明細書に記載のフランジの種々のデザイ
ンを図4〜6に示す。図4は、1つの末端に開口部を有
し、その開口縁の外側にフランジ(2)が設置された容
器、例えばエピタクシベルジャー(10)を示すもので
ある。図4の右側に示されるように、このフランジは、
容器(10)の外周囲に沿って巻き付けられた1つの石
英ガラス部片から形成するか、又は図4の左側の2つの
層(8)で示されるように、2つ以上のコイル状の帯状
又は棒状石英ガラス部片から形成することができる。こ
のようなベルジャーは不透明の管部分(11)から成る
ことができるが、容器(10)の他の部分及びフランジ
(2)自身は透明な石英ガラスで造られる。
【0017】図5は、フランジ(2)が石英ガラス管の
内周囲に内部フランジとして設置されており、管の末端
断面を減少させ、図1による石英ガラス管(1)を示す
ものである。その半径厚さに基づいて、内部フランジは
帯状又は棒状石英ガラス部片の数層(8)から形成する
ことができる。
【0018】図6は中間部(13)に大きな直径及び末
端部に小さな直径を有する凸形状の石英ガラス管(1
2)を示すものである。外部フランジ(2)は末端部
(14)の端、および中間部(13)の外周囲に設置さ
れ、両フランジは同一断面を有する棒状石英ガラス部片
で造られる。この例は、要望に応じて、内側及び/又は
外側に挿入する材料として、引き抜きされた石英ガラス
棒を予め調製して、非常に異なる直径を有するフランジ
を製造することができることを示すものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 末端に帯状石英ガラス部片からなるフランジ
が形成された管の概略図である。
【図2】 図1の破線円IIの切り取り図である。
【図3】 多層の帯状石英ガラス部片から形成されたフ
ランジを有する管の断面図である。
【図4】 開口部末端に外部フランジを有する容器の断
面図である。
【図5】 末端に内部フランジを有する石英ガラス管の
断面図である。
【図6】 末端部及び中間部にフランジを有する石英ガ
ラス管の断面図である。
【符号の説明】
1 管 2 フランジ 3 帯状又は棒状石英ガラス部片 5 先端部分 6、7 バーナー 9 末端部分 10 容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ポウル・エー・ブライデンバッハ ドイツ連邦共和国、63486 ブルッフケー ベル、トーマス−マン−シュトラーセ 34 (72)発明者 ハインツ・ヘルツォーク ドイツ連邦共和国、63701 カルルスタイ ン、イン・デン・バウムスチュッケン 4 (72)発明者 ヘルムート・レーバー ドイツ連邦共和国、63454 ハナウ、ファ ルケンリング 8 (72)発明者 ユルゲン・ペットカー ドイツ連邦共和国、63486 ブルッフケー ベル、ハインリンッヒ−フォン−ブレンタ ーノ−シュトラーセ 15

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明石英ガラス製の環状フランジを有す
    る、管又は容器用のガラス質石英製接続部材において、
    該フランジ(2)が少なくとも一つの帯状又は棒状石英
    ガラス部片(3)から形成されており、該部片は管
    (1)の末端又は容器(10)の開口部の外周囲及び/
    又は内周囲に巻かれ、そしてその外表面及び/又は内表
    面と溶接されており、その際該石英ガラス部片は閉鎖し
    た環を形成していることを特徴とする接続部材。
  2. 【請求項2】 フランジが一つ以上の石英ガラス部片
    (3)のコイル状多層からなる請求項1記載の接続部
    材。
  3. 【請求項3】 石英ガラス部片(3)がその末端の領域
    でくさび状に形成されている請求項1又は2記載の接続
    部材。
  4. 【請求項4】 石英ガラス部片(3)の重なった先端部
    分(5)及び末端部分(9)がくさび状に形成されてお
    り、そのためこれらの部分が共に、くさび状でない石英
    ガラス部片(3)に沿った他の部分と同じ厚さである請
    求項1〜3のいずれかに記載の接続部材。
  5. 【請求項5】 コイル状多層が、順々に溶接された複数
    の単層石英ガラス部片(3)からなる請求項2〜4のい
    ずれかに記載の接続部材。
  6. 【請求項6】 巻き付けられた石英ガラス部片(3)が
    管(1)の末端又は容器(10)の開口部と同一平面に
    ある請求項1〜5のいずれかに記載の接続部材。
  7. 【請求項7】 石英ガラス部片(3)が連続した鋳造物
    である請求項1〜6のいずれかに記載の接続部材。
  8. 【請求項8】 透明又は不透明石英ガラス製の管、容器
    または管スリーブ用の透明石英ガラス製環状フランジを
    製造する方法において、透明石英ガラスからなる、所定
    の長さの帯状又は棒状石英ガラス部片を用意し、この全
    長を可塑化するまで加熱し、管、容器または管スリーブ
    の外表面及び/又は内表面に巻き付けて接続部を形成
    し、ついでこれを溶接することを特徴とする方法。
  9. 【請求項9】 石英ガラス部片の加熱及び溶接が、その
    ための装置を前進させることにより行われ、該部片が
    管、容器または管スリーブ外表面及び/又は内表面に取
    り付けられる請求項8記載の方法。
  10. 【請求項10】 末端がくさび状に先細りした石英ガラ
    ス部片を使用する請求項8または9記載の方法。
  11. 【請求項11】 複数の石英ガラス部片を順々に巻き付
    け、そして溶接する請求項8〜10のいずれかに記載の
    方法。
  12. 【請求項12】 石英ガラス部片が、管の末端、容器の
    開口部又は管スリーブの末端と同一平面となるように巻
    き付けられる請求項8〜11のいずれかに記載の方法。
  13. 【請求項13】 石英ガラス部片が1700〜2100
    ℃の範囲の温度に加熱され、可塑化される請求項8〜1
    2のいずれかに記載の方法。
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DE4436646.9 1994-10-14
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