JPH08171830A - 真空バルブ用接点材料の製造方法 - Google Patents
真空バルブ用接点材料の製造方法Info
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- JPH08171830A JPH08171830A JP6312982A JP31298294A JPH08171830A JP H08171830 A JPH08171830 A JP H08171830A JP 6312982 A JP6312982 A JP 6312982A JP 31298294 A JP31298294 A JP 31298294A JP H08171830 A JPH08171830 A JP H08171830A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐電圧特性及び遮断性能に優れた接点材料を
提供できる真空バルブ用接点材料の製造方法を得る。 【構成】 遮断室1に接離可能に設けられた固定電極
7、可動電極8のそれぞれの接点13a,13bについて、
その材料は少なくとも2種以上の耐弧成分を含有する混
合成分を焼結し、導電成分溶液中で焼結した混合成分を
拡散させるようにして製造する。
提供できる真空バルブ用接点材料の製造方法を得る。 【構成】 遮断室1に接離可能に設けられた固定電極
7、可動電極8のそれぞれの接点13a,13bについて、
その材料は少なくとも2種以上の耐弧成分を含有する混
合成分を焼結し、導電成分溶液中で焼結した混合成分を
拡散させるようにして製造する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、真空バルブ用接点材料
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】真空バルブ用接点材料に要求される特性
としては、耐溶着・耐電圧・遮断に対する各性能で示さ
れる基本三要件と、この他に温度上昇・接触抵抗が低く
安定していることが重要な要件となっている。しかしな
がら、これらの要件のなかには相反するものがある関係
上、単一の金属種によって全ての要件を満足させること
は不可能である。このため、実用化されている多くの接
点材料においては、不足する性能を相互に補えるような
2種以上の元素を組合せ、大電流用または高電圧用等の
ように特定の用途に合った接点材料の開発が行われ、そ
れなりに優れた特性を有するものが開発されているが、
更に強まる高耐圧化・大電流遮断化の要求を充分満足す
る真空バルブ用接点材料は未だ得られていないのが実状
である。
としては、耐溶着・耐電圧・遮断に対する各性能で示さ
れる基本三要件と、この他に温度上昇・接触抵抗が低く
安定していることが重要な要件となっている。しかしな
がら、これらの要件のなかには相反するものがある関係
上、単一の金属種によって全ての要件を満足させること
は不可能である。このため、実用化されている多くの接
点材料においては、不足する性能を相互に補えるような
2種以上の元素を組合せ、大電流用または高電圧用等の
ように特定の用途に合った接点材料の開発が行われ、そ
れなりに優れた特性を有するものが開発されているが、
更に強まる高耐圧化・大電流遮断化の要求を充分満足す
る真空バルブ用接点材料は未だ得られていないのが実状
である。
【0003】そこで、近年においては、耐電圧特性に優
れた耐弧成分と遮断性能に優れた耐弧成分とを組合せた
接点材料が一部利用されてきている。例えば、特開昭59
-81816や特開昭59-91617には、遮断性能に優れ高耐電圧
化も図れるCu−Cr接点材料にTaやNbを所定量含
有させたものが開示されている。
れた耐弧成分と遮断性能に優れた耐弧成分とを組合せた
接点材料が一部利用されてきている。例えば、特開昭59
-81816や特開昭59-91617には、遮断性能に優れ高耐電圧
化も図れるCu−Cr接点材料にTaやNbを所定量含
有させたものが開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た真空バルブ用接点材料において、導電成分とその他の
耐弧成分とを単に混合焼結した固相焼結法によって製造
されたものでは、充分満足できる接点材料(両特性が向
上し安定したもの)が得られるとは言い難い。
た真空バルブ用接点材料において、導電成分とその他の
耐弧成分とを単に混合焼結した固相焼結法によって製造
されたものでは、充分満足できる接点材料(両特性が向
上し安定したもの)が得られるとは言い難い。
【0005】一方、耐電圧特性及び遮断性能を改善する
手段、特に耐電圧特性を改良する製法が例えば特開昭63
-150822 に開示されているが、要求に耐え得るものとは
必ずしも言えない。本発明の目的は、遮断性能に優れ安
定した高耐電圧特性を有する接点材料を得る真空バルブ
用接点材料の製造方法を提供することにある。
手段、特に耐電圧特性を改良する製法が例えば特開昭63
-150822 に開示されているが、要求に耐え得るものとは
必ずしも言えない。本発明の目的は、遮断性能に優れ安
定した高耐電圧特性を有する接点材料を得る真空バルブ
用接点材料の製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、少なくとも2種以上の耐弧成分を含有する
混合成分を焼結し、導電成分溶液中で焼結した混合成分
を拡散させるようにした真空バルブ用接点材料の製造方
法である。
に本発明は、少なくとも2種以上の耐弧成分を含有する
混合成分を焼結し、導電成分溶液中で焼結した混合成分
を拡散させるようにした真空バルブ用接点材料の製造方
法である。
【0007】
【作用】本発明者らが、金属学的または電気現象的に耐
電圧に優れた耐弧成分と遮断性能に優れた耐弧成分を含
有した接点材料が、予想以上の性能を発揮しない原因を
調査したところ、その主原因は金属組織に依存するとこ
ろが大きかった。即ち、遮断性能に関して言えば、その
特性を決定するものは、耐弧成分そのものばかりではな
い。耐弧成分の粒径が細かく、また耐弧成分が成分的に
も均質に分布している方が良好な遮断特性を示した。一
方、耐電圧特性においても、接点組織が均一な方が安定
した特性を得られる傾向があった。
電圧に優れた耐弧成分と遮断性能に優れた耐弧成分を含
有した接点材料が、予想以上の性能を発揮しない原因を
調査したところ、その主原因は金属組織に依存するとこ
ろが大きかった。即ち、遮断性能に関して言えば、その
特性を決定するものは、耐弧成分そのものばかりではな
い。耐弧成分の粒径が細かく、また耐弧成分が成分的に
も均質に分布している方が良好な遮断特性を示した。一
方、耐電圧特性においても、接点組織が均一な方が安定
した特性を得られる傾向があった。
【0008】従って、複数の耐弧成分を均一に分散させ
ることが重要であることが判明し、その方法として拡散
を用いることが考えられるが、例えば、1450Kといった
普通の焼結温度にて複数の耐弧成分同士を拡散させるこ
とは困難である。仮に拡散されたとしても、極限られた
領域である。更に拡散を進める方法として、より高温で
の焼結が考えられるが、製造面から現実的なものではな
い。
ることが重要であることが判明し、その方法として拡散
を用いることが考えられるが、例えば、1450Kといった
普通の焼結温度にて複数の耐弧成分同士を拡散させるこ
とは困難である。仮に拡散されたとしても、極限られた
領域である。更に拡散を進める方法として、より高温で
の焼結が考えられるが、製造面から現実的なものではな
い。
【0009】そこで、本発明者らは、液相を介して拡散
させることを見出した。耐弧成分を液相状態にするのは
困難であるが、接点構成成分である導電成分を液相にす
るのは比較的容易である。これらの導電成分には多少な
りとも耐弧成分を固溶でき、それによって耐弧成分同士
を拡散させることが可能になる。これらの拡散効果によ
って、耐弧成分を微細化させることもできる。その結
果、前述したような遮断性能・耐電圧特性以上の特性向
上を達成することができる。
させることを見出した。耐弧成分を液相状態にするのは
困難であるが、接点構成成分である導電成分を液相にす
るのは比較的容易である。これらの導電成分には多少な
りとも耐弧成分を固溶でき、それによって耐弧成分同士
を拡散させることが可能になる。これらの拡散効果によ
って、耐弧成分を微細化させることもできる。その結
果、前述したような遮断性能・耐電圧特性以上の特性向
上を達成することができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を具体的実施態様に
基づいて説明する。まず、本発明の真空バルブ用接点材
料の製造方法を説明するために、その接点材料が適用さ
れた真空バルブの構成について説明する。
基づいて説明する。まず、本発明の真空バルブ用接点材
料の製造方法を説明するために、その接点材料が適用さ
れた真空バルブの構成について説明する。
【0011】図1は、本発明の真空バルブ用接点材料の
製造方法を説明するための真空バルブの断面図である。
同図において、1は遮断室を示し、この遮断室1は、絶
縁材料によりほぼ円筒状に形成された絶縁容器2と、こ
の両端に断止金具3a,3bを介して設けた金属性の蓋
体4a,4bとで真空気密に構成されている。しかし
て、上記遮断室1内には、導電棒5,6の対向する端部
に取り付けられた一対の電極7,8が配設され、上部の
電極7を固定電極、下部の電極8を可動電極としてい
る。また、この可動電極8の導電棒6にはベローズ9が
取り付けられ、遮断室1内を真空気密に保持しながら電
極8の軸方向の移動を可能にし、ベローズ9上部には金
属性のアークシールド10が設けられ、ベローズ9がアー
ク蒸気で覆われることを防止している。11は上記電極
7,8を覆うようにして遮断室1内に設けられた金属性
のアークシールドで、絶縁容器2がアーク蒸気で覆われ
ることを防止している。さらに、電極8は、図2に拡大
して示すように導電棒6にロウ付け部12によって固定さ
れるか、かしめによって圧着接続されている。接点13a
は、電極8にロウ付け14で固着されている。なお、図1
における13bは固定側接点である。
製造方法を説明するための真空バルブの断面図である。
同図において、1は遮断室を示し、この遮断室1は、絶
縁材料によりほぼ円筒状に形成された絶縁容器2と、こ
の両端に断止金具3a,3bを介して設けた金属性の蓋
体4a,4bとで真空気密に構成されている。しかし
て、上記遮断室1内には、導電棒5,6の対向する端部
に取り付けられた一対の電極7,8が配設され、上部の
電極7を固定電極、下部の電極8を可動電極としてい
る。また、この可動電極8の導電棒6にはベローズ9が
取り付けられ、遮断室1内を真空気密に保持しながら電
極8の軸方向の移動を可能にし、ベローズ9上部には金
属性のアークシールド10が設けられ、ベローズ9がアー
ク蒸気で覆われることを防止している。11は上記電極
7,8を覆うようにして遮断室1内に設けられた金属性
のアークシールドで、絶縁容器2がアーク蒸気で覆われ
ることを防止している。さらに、電極8は、図2に拡大
して示すように導電棒6にロウ付け部12によって固定さ
れるか、かしめによって圧着接続されている。接点13a
は、電極8にロウ付け14で固着されている。なお、図1
における13bは固定側接点である。
【0012】本発明に係わる接点材料は、上記したよう
な接点13a,13bの双方または何れか一方を構成するの
に適したものである。次に、各接点の評価方法を述べ
る。
な接点13a,13bの双方または何れか一方を構成するの
に適したものである。次に、各接点の評価方法を述べ
る。
【0013】(1) 耐電圧特性 各接点合金についてバフ研磨により鏡面仕上げをした平
版電極と針電極にて、両電極間を 0.5mm一定とし、10−
4Pa のオーダーの真空雰囲気において徐々に電圧を上
昇してスパークを発生した時の電圧値を測定し、静耐圧
値を求めた。表1に示す測定データは50回の繰り返しテ
ストを行った時の値であり、後述比較例の平均値を 1.0
とし、バラツキを含んだ相対的な値で示した。
版電極と針電極にて、両電極間を 0.5mm一定とし、10−
4Pa のオーダーの真空雰囲気において徐々に電圧を上
昇してスパークを発生した時の電圧値を測定し、静耐圧
値を求めた。表1に示す測定データは50回の繰り返しテ
ストを行った時の値であり、後述比較例の平均値を 1.0
とし、バラツキを含んだ相対的な値で示した。
【0014】(2) 遮断性能 各接点合金について、φ45mmに加工した一対の接点を前
述真空バルブに組み込んだ後、遮断電流を徐々に増加さ
せる形で遮断試験を実施した。表1、表2に示す測定デ
ータは、後述比較例に対する相対値で示した。
述真空バルブに組み込んだ後、遮断電流を徐々に増加さ
せる形で遮断試験を実施した。表1、表2に示す測定デ
ータは、後述比較例に対する相対値で示した。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】次に、上記評価方法による測定結果につい
て詳細に検討する。 (比較例1、実施例1)平均粒径 100μmのCr粉末と
平均粒径7μmのW粉末と平均粒径45μmのCu粉末を
混合した粉末を8Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10
−3Paのオーダーの真空雰囲気にと1273K×1Hr. の条
件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後に同一条件で焼
結し、表1に示す30Cr−20W−Cuの組成を有する接
点を得た。接点内部をEPMA付きの電子顕微鏡にて観
察したところ、CrとWの明確な拡散相は観察されなか
った。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定した
ところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき値が大きかった
(比較例1)。
て詳細に検討する。 (比較例1、実施例1)平均粒径 100μmのCr粉末と
平均粒径7μmのW粉末と平均粒径45μmのCu粉末を
混合した粉末を8Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10
−3Paのオーダーの真空雰囲気にと1273K×1Hr. の条
件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後に同一条件で焼
結し、表1に示す30Cr−20W−Cuの組成を有する接
点を得た。接点内部をEPMA付きの電子顕微鏡にて観
察したところ、CrとWの明確な拡散相は観察されなか
った。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定した
ところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき値が大きかった
(比較例1)。
【0018】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸し
て、Cu中での拡散を行い、30Cr−20W−Cuの組成
を有する接点を得た。接点内部をEPMA付きの電子顕
微鏡にて観察したところ、CrとWは相互に拡散してお
り、CrとWから構成される耐弧粒子が微細に観察され
た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、比較例1に対する相対値で 1.1−1.3 であり、ば
らつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性が向上してい
た。また、遮断特性も、比較例1に対して 1.2倍の値を
示した(実施例1)。
μmのW粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸し
て、Cu中での拡散を行い、30Cr−20W−Cuの組成
を有する接点を得た。接点内部をEPMA付きの電子顕
微鏡にて観察したところ、CrとWは相互に拡散してお
り、CrとWから構成される耐弧粒子が微細に観察され
た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、比較例1に対する相対値で 1.1−1.3 であり、ば
らつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性が向上してい
た。また、遮断特性も、比較例1に対して 1.2倍の値を
示した(実施例1)。
【0019】(比較例2、実施例2)平均粒径 100μm
のCr粉末と平均粒径50μmのFe粉末と平均粒径45μ
mのCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後
同一条件で焼結し、30Cr−20Fe−Cuの組成を有す
る接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を
測定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大
きかった( 比較例2)。
のCr粉末と平均粒径50μmのFe粉末と平均粒径45μ
mのCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後
同一条件で焼結し、30Cr−20Fe−Cuの組成を有す
る接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を
測定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大
きかった( 比較例2)。
【0020】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径50
μmのFe粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力
で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて12
73K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸し
てCu中での拡散を行い、30Cr−20Fe−Cuの組成
を有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静
耐圧を測定したところ、比較例2に対する相対値で 1.1
−1.3 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特
性が向上していた。また、遮断特性も、比較例2に対し
て 1.2倍の値を示した(実施例2)。
μmのFe粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力
で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて12
73K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸し
てCu中での拡散を行い、30Cr−20Fe−Cuの組成
を有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静
耐圧を測定したところ、比較例2に対する相対値で 1.1
−1.3 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特
性が向上していた。また、遮断特性も、比較例2に対し
て 1.2倍の値を示した(実施例2)。
【0021】(比較例3、実施例3)平均粒径10μmの
Mo粉末と平均粒径50μmのNb粉末と平均粒径45μm
のCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、20Mo−30Nb−Cuの組成を有する
接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測
定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大き
かった( 比較例3)。
Mo粉末と平均粒径50μmのNb粉末と平均粒径45μm
のCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、20Mo−30Nb−Cuの組成を有する
接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測
定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大き
かった( 比較例3)。
【0022】平均粒径10μmのMo粉末と平均粒径50μ
mのNb粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸して
Cu中での拡散を行い、20Mo−30Nb−Cuの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例3に対する相対値で 1.1−
1.3 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例3に対して
1.2倍の値を示した(実施例3)。
mのNb粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸して
Cu中での拡散を行い、20Mo−30Nb−Cuの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例3に対する相対値で 1.1−
1.3 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例3に対して
1.2倍の値を示した(実施例3)。
【0023】(比較例4、実施例4)平均粒径10μmの
Mo粉末と平均粒径50μmのNb粉末と平均粒径 100μ
mのHf粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で焼結
し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、20M
o−20Nb−10Hf−Cuの組成を有する接点を得た。
この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したとこ
ろ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比
較例4)。
Mo粉末と平均粒径50μmのNb粉末と平均粒径 100μ
mのHf粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で焼結
し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、20M
o−20Nb−10Hf−Cuの組成を有する接点を得た。
この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したとこ
ろ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比
較例4)。
【0024】平均粒径10μmのMo粉末と平均粒径50μ
mのNb粉末と平均粒径 100μmのHf粉末を混合した
粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paの
オーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で焼結
し、更に10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K×
0.5Hr.の条件でCuを溶浸してCu中での拡散を行い、
20Mo−20Nb−10Hf−Cuの組成を有する接点を得
た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、比較例4に対する相対値で 1.1−1.2 であり、ば
らつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性が向上してい
た。また、遮断特性も、比較例4に対して 1.1倍の値を
示した(実施例4)。
mのNb粉末と平均粒径 100μmのHf粉末を混合した
粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paの
オーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で焼結
し、更に10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K×
0.5Hr.の条件でCuを溶浸してCu中での拡散を行い、
20Mo−20Nb−10Hf−Cuの組成を有する接点を得
た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、比較例4に対する相対値で 1.1−1.2 であり、ば
らつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性が向上してい
た。また、遮断特性も、比較例4に対して 1.1倍の値を
示した(実施例4)。
【0025】(比較例5、実施例5)平均粒径50μmの
Ta粉末と平均粒径 100μmのV粉末と平均粒径45μm
のCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、30Ta−20V−Cuの組成を有する接
点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定
したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きか
った( 比較例5)。
Ta粉末と平均粒径 100μmのV粉末と平均粒径45μm
のCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、30Ta−20V−Cuの組成を有する接
点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定
したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きか
った( 比較例5)。
【0026】平均粒径50μmのTa粉末と平均粒径 10
0 μmのV粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力
で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて12
73K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸し
てCu中での拡散を行い、30Ta−20V−Cuの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例5に対する相対値で 1.1−
1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例5に対して
1.3倍の値を示した(実施例5)。
0 μmのV粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力
で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて12
73K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて1400K×0.5Hr.の条件でCuを溶浸し
てCu中での拡散を行い、30Ta−20V−Cuの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例5に対する相対値で 1.1−
1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例5に対して
1.3倍の値を示した(実施例5)。
【0027】(比較例6、実施例6)平均粒径50μmの
Nb粉末と平均粒径50μmのZr粉末と平均粒径30μm
のAg粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、30Nb−20Zr−Agの組成を有する
接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測
定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大き
かった( 比較例6)。
Nb粉末と平均粒径50μmのZr粉末と平均粒径30μm
のAg粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、30Nb−20Zr−Agの組成を有する
接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測
定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大き
かった( 比較例6)。
【0028】平均粒径50μmのNb粉末と平均粒径50μ
mのZr粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件でAgを溶浸して
Ag中での拡散を行い、30Nb−20Zr−Agの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例6に対する相対値で 1.0−
1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例6に対して
1.1倍の値を示した(実施例6)。
mのZr粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1273
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件でAgを溶浸して
Ag中での拡散を行い、30Nb−20Zr−Agの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例6に対する相対値で 1.0−
1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例6に対して
1.1倍の値を示した(実施例6)。
【0029】(比較例7、実施例7)平均粒径10μmの
Mo粉末と平均粒径50μmのTi粉末と平均粒径30μm
のAg粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1173K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、30Mo−20Ti−Agの組成を有する
接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測
定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大き
かった( 比較例7)。
Mo粉末と平均粒径50μmのTi粉末と平均粒径30μm
のAg粉末を混合した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成
形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1173K
×1Hr. の条件で焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同
一条件で焼結し、30Mo−20Ti−Agの組成を有する
接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測
定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大き
かった( 比較例7)。
【0030】平均粒径10μmのMo粉末と平均粒径50μ
mのTi粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1173
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件でAgを溶浸して
Ag中での拡散を行い、30Mo−20Ti−Agの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例7に対する相対値で 1.0−
1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例7に対して
1.1倍の値を示した(実施例7)。
mのTi粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1173
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件でAgを溶浸して
Ag中での拡散を行い、30Mo−20Ti−Agの組成を
有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて静耐
圧を測定したところ、比較例7に対する相対値で 1.0−
1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性
が向上していた。また、遮断特性も、比較例7に対して
1.1倍の値を示した(実施例7)。
【0031】(比較例8、実施例8)平均粒径10μmの
Mo粉末と平均粒径7μmのW粉末と平均粒径 100μm
のY粉末と平均粒径30μmのAg粉末を混合した粉末を
8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオーダ
ーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結し、更
に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、20Mo−20
W−10Y−Agの組成を有する接点を得た。この接点
を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、相対値
で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比較例8)。
Mo粉末と平均粒径7μmのW粉末と平均粒径 100μm
のY粉末と平均粒径30μmのAg粉末を混合した粉末を
8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオーダ
ーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結し、更
に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、20Mo−20
W−10Y−Agの組成を有する接点を得た。この接点
を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、相対値
で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比較例8)。
【0032】平均粒径10μmのMo粉末と平均粒径7μ
mのW粉末と平均粒径 100μmのV粉末を混合した粉末
を2Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオー
ダーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結し、
更に10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300K×0.5H
r.の条件でAgを溶浸してAg中での拡散を行い、20M
o−20W−10Y−Agの組成を有する接点を得た。この
接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、比
較例8に対する相対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅
も小さく、全体的に耐電圧特性が向上していた。また、
遮断特性も、比較例8に対して 1.1倍の値を示した(実
施例8)。
mのW粉末と平均粒径 100μmのV粉末を混合した粉末
を2Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオー
ダーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結し、
更に10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300K×0.5H
r.の条件でAgを溶浸してAg中での拡散を行い、20M
o−20W−10Y−Agの組成を有する接点を得た。この
接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、比
較例8に対する相対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅
も小さく、全体的に耐電圧特性が向上していた。また、
遮断特性も、比較例8に対して 1.1倍の値を示した(実
施例8)。
【0033】(比較例9、実施例9)平均粒径10μmの
Co粉末と平均粒径10μmのNi粉末と平均粒径50μm
のTi粉末と平均粒径30μmのAg粉末を混合した粉末
を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオー
ダーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結し、
更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、20Co−
20Ni−10Ti−Agの組成を有する接点を得た。この
接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、相
対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比較例
9)。
Co粉末と平均粒径10μmのNi粉末と平均粒径50μm
のTi粉末と平均粒径30μmのAg粉末を混合した粉末
を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオー
ダーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結し、
更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、20Co−
20Ni−10Ti−Agの組成を有する接点を得た。この
接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、相
対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比較例
9)。
【0034】平均粒径10μmのCo粉末と平均粒径10μ
mのNi粉末と平均粒径50μmのTi粉末を混合した粉
末を2Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結
し、更に10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300K×
0.5Hr.の条件でAgを溶浸してAg中での拡散を行い、
20Co−20Ni−10Ti−Agの組成を有する接点を得
た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、比較例9に対する相対値で 1.0−1.2 であり、ば
らつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性が向上してい
た。また、遮断特性も、比較例9に対して 1.1倍の値を
示した(実施例9)。
mのNi粉末と平均粒径50μmのTi粉末を混合した粉
末を2Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1173K×1Hr. の条件で焼結
し、更に10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300K×
0.5Hr.の条件でAgを溶浸してAg中での拡散を行い、
20Co−20Ni−10Ti−Agの組成を有する接点を得
た。この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、比較例9に対する相対値で 1.0−1.2 であり、ば
らつき幅も小さく、全体的に耐電圧特性が向上してい
た。また、遮断特性も、比較例9に対して 1.1倍の値を
示した(実施例9)。
【0035】(比較例10、実施例10)平均粒径 100μm
のCr粉末と平均粒径 100μmのV粉末と平均粒径30μ
mのAg粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1000K×1Hr. の条件で焼結
し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、30C
r−20V−10Ag−Cuの組成を有する接点を得た。こ
の接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、
相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比較例
10)。
のCr粉末と平均粒径 100μmのV粉末と平均粒径30μ
mのAg粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1000K×1Hr. の条件で焼結
し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、30C
r−20V−10Ag−Cuの組成を有する接点を得た。こ
の接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、
相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比較例
10)。
【0036】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径 1
00μmのV粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力
で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて11
73K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件で20Ag−Cu
を溶浸し、CuAg中での拡散を行い、30Cr−20V−
10Ag−Cuの組成を有する接点を得た。この接点を、
前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、比較例10に
対する相対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅も小さ
く、全体的に耐電圧特性が向上していた。また、遮断特
性も、比較例10に対して 1.1倍の値を示した(実施例1
0)。
00μmのV粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力
で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて11
73K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件で20Ag−Cu
を溶浸し、CuAg中での拡散を行い、30Cr−20V−
10Ag−Cuの組成を有する接点を得た。この接点を、
前述試験方法にて静耐圧を測定したところ、比較例10に
対する相対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅も小さ
く、全体的に耐電圧特性が向上していた。また、遮断特
性も、比較例10に対して 1.1倍の値を示した(実施例1
0)。
【0037】(比較例11、実施例11)平均粒径 100μm
のCr粉末と平均粒径7μmのW粉末と平均粒径 100μ
mのBi粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で焼結
し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、30C
r−20W− 0.5Bi−Cuの組成を有する接点を得た。
この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したとこ
ろ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比
較例11)。
のCr粉末と平均粒径7μmのW粉末と平均粒径 100μ
mのBi粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で焼結
し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、30C
r−20W− 0.5Bi−Cuの組成を有する接点を得た。
この接点を、前述試験方法にて静耐圧を測定したとこ
ろ、相対値で 0.8−1.2 とばらつき幅が大きかった( 比
較例11)。
【0038】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件で1Bi−Cuを
溶浸し、Cu中での拡散を行い、30Cr−20W− 0.5B
i−Cuの組成を有する接点を得た。この接点を、前述
試験方法にて静耐圧を測定したところ、比較例11に対す
る相対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全
体的に耐電圧特性が向上していた。また、遮断特性も、
比較例11に対して 1.2倍の値を示した(実施例11)。
μmのW粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件で1Bi−Cuを
溶浸し、Cu中での拡散を行い、30Cr−20W− 0.5B
i−Cuの組成を有する接点を得た。この接点を、前述
試験方法にて静耐圧を測定したところ、比較例11に対す
る相対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全
体的に耐電圧特性が向上していた。また、遮断特性も、
比較例11に対して 1.2倍の値を示した(実施例11)。
【0039】(比較例12、実施例12)平均粒径 100μm
のCr粉末と平均粒径7μmのW粉末と平均粒径 100μ
mのBi粉末と平均粒径 100μmのTe粉末と平均粒径
100μmのSb粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合
した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3
Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で
焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、
30Cr−20W− 0.5Bi− 0.3Te− 0.2Sb−Cuの
組成を有する接点を得た。この接点を、前述試験方法に
て静耐圧を測定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばら
つき幅が大きかった( 比較例12)。
のCr粉末と平均粒径7μmのW粉末と平均粒径 100μ
mのBi粉末と平均粒径 100μmのTe粉末と平均粒径
100μmのSb粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合
した粉末を8Tom/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3
Paのオーダーの真空雰囲気にて1273K×1Hr. の条件で
焼結し、更に8Ton/cm2 にて成形後同一条件で焼結し、
30Cr−20W− 0.5Bi− 0.3Te− 0.2Sb−Cuの
組成を有する接点を得た。この接点を、前述試験方法に
て静耐圧を測定したところ、相対値で 0.8−1.2 とばら
つき幅が大きかった( 比較例12)。
【0040】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件で 1.0Bi− 0.6
Te− 0.4Sb−Cuを溶浸し、Cu中での拡散を行
い、30Cr−20W− 0.5Bi− 0.3Te− 0.2Sb−10
Cuの組成を有する接点を得た。この接点を、前述試験
方法にて静耐圧を測定したところ、比較例12に対する相
対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的
に耐電圧特性が向上していた。また、遮断特性も、比較
例12に対して 1.2倍の値を示した(実施例12)。
μmのW粉末を混合した粉末を2Ton/cm2 の成形圧力で
成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1300
K×1Hr. の条件で焼結し、更に10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて1300K×0.5Hr.の条件で 1.0Bi− 0.6
Te− 0.4Sb−Cuを溶浸し、Cu中での拡散を行
い、30Cr−20W− 0.5Bi− 0.3Te− 0.2Sb−10
Cuの組成を有する接点を得た。この接点を、前述試験
方法にて静耐圧を測定したところ、比較例12に対する相
対値で 1.0−1.2 であり、ばらつき幅も小さく、全体的
に耐電圧特性が向上していた。また、遮断特性も、比較
例12に対して 1.2倍の値を示した(実施例12)。
【0041】(比較例13、実施例13〜16、比較例14)平
均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7μmのW粉末と
平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2
の成形圧力で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰
囲気にて1400K×0.5Hr.の条件で焼結し、Cu液相中で
の拡散を行い、表2に示す10Cr−5W−Cu組成を有
する接点を得た。前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、相対値で 0.9−1.1 であった。( 比較例13)。
均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7μmのW粉末と
平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉末を8Tom/cm2
の成形圧力で成形した後、10−3Paのオーダーの真空雰
囲気にて1400K×0.5Hr.の条件で焼結し、Cu液相中で
の拡散を行い、表2に示す10Cr−5W−Cu組成を有
する接点を得た。前述試験方法にて静耐圧を測定したと
ころ、相対値で 0.9−1.1 であった。( 比較例13)。
【0042】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1400K× 0.5Hr. の条件で焼結
し、Cu液相中での拡散を行い、15Cr−10W−Cu組
成を有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて
静耐圧を測定したところ、比較例13に対する相対値で
1.0−1.2 であり、遮断性能も、比較例13に対して 1.3
倍であり、良好な特性を示した(実施例13)。
μmのW粉末と平均粒径45μmのCu粉末を混合した粉
末を8Ton/cm2 の成形圧力で成形した後、10−3Paのオ
ーダーの真空雰囲気にて1400K× 0.5Hr. の条件で焼結
し、Cu液相中での拡散を行い、15Cr−10W−Cu組
成を有する接点を得た。この接点を、前述試験方法にて
静耐圧を測定したところ、比較例13に対する相対値で
1.0−1.2 であり、遮断性能も、比較例13に対して 1.3
倍であり、良好な特性を示した(実施例13)。
【0043】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末を混合した粉末をカーボン坩堝に充填し、
10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K×1Hr. の
条件で焼結した。更に、10−3Paのオーダーの真空雰囲
気にて、1400K×1Hr. の条件でCuを溶浸し、Cu液
相中での拡散を行い、30Cr−10W−Cu組成を有する
接点を得た。前述試験方法にて静耐圧を測定したとこ
ろ、比較例13に対する相対値で 1.0−1.2 であり、遮断
性能も比較例13の 1.2倍あり、良好な特性を示した(比
較例14)。
μmのW粉末を混合した粉末をカーボン坩堝に充填し、
10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K×1Hr. の
条件で焼結した。更に、10−3Paのオーダーの真空雰囲
気にて、1400K×1Hr. の条件でCuを溶浸し、Cu液
相中での拡散を行い、30Cr−10W−Cu組成を有する
接点を得た。前述試験方法にて静耐圧を測定したとこ
ろ、比較例13に対する相対値で 1.0−1.2 であり、遮断
性能も比較例13の 1.2倍あり、良好な特性を示した(比
較例14)。
【0044】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末を混合した粉末を 3.5Ton/cm2 の成形圧力
で成形し、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K
×1Hr. の条件で焼結した。更に、10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて、1400K×0.5Hr. の条件でCuを溶
浸し、Cu液相中での拡散を行い、40Cr−20W−C
u、55Cr−30W−Cu組成を有する接点を得た。前述
試験方法にて静耐圧を測定したところ、いずれも比較例
13に対する相対値で 1.0−1.2 であり、遮断性能も比較
例13の 1.2倍あり、良好な特性を示した(比較例15、1
6)。
μmのW粉末を混合した粉末を 3.5Ton/cm2 の成形圧力
で成形し、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K
×1Hr. の条件で焼結した。更に、10−3Paのオーダー
の真空雰囲気にて、1400K×0.5Hr. の条件でCuを溶
浸し、Cu液相中での拡散を行い、40Cr−20W−C
u、55Cr−30W−Cu組成を有する接点を得た。前述
試験方法にて静耐圧を測定したところ、いずれも比較例
13に対する相対値で 1.0−1.2 であり、遮断性能も比較
例13の 1.2倍あり、良好な特性を示した(比較例15、1
6)。
【0045】平均粒径 100μmのCr粉末と平均粒径7
μmのW粉末を混合した粉末を8Ton/cm2 の成形圧力で
成形し、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K×
1Hr. の条件で焼結した。更に、10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて、1400K× 0.5Hr. の条件でCuを溶浸
し、Cu液相中での拡散を行い、40Cr−35W−Cu組
成を有する接点を得た。前述試験方法にて静耐圧を測定
したところ、比較例13に対する相対値で 1.0−1.2 であ
った。しかし、遮断試験を実施したところ、著しい溶着
が発生してしまった(比較例14)。
μmのW粉末を混合した粉末を8Ton/cm2 の成形圧力で
成形し、10−3Paのオーダーの真空雰囲気にて1400K×
1Hr. の条件で焼結した。更に、10−3Paのオーダーの
真空雰囲気にて、1400K× 0.5Hr. の条件でCuを溶浸
し、Cu液相中での拡散を行い、40Cr−35W−Cu組
成を有する接点を得た。前述試験方法にて静耐圧を測定
したところ、比較例13に対する相対値で 1.0−1.2 であ
った。しかし、遮断試験を実施したところ、著しい溶着
が発生してしまった(比較例14)。
【0046】以上のように、複数の耐弧成分を導電成分
の溶液を介して相互拡散させることによって、拡散のな
い接点材料よりも安定した耐電圧特性を得られると共
に、良好な遮断性能を得られる。なお、耐弧成分の組合
せ方は本実施例に述べたものに留まらないのは明白であ
る。
の溶液を介して相互拡散させることによって、拡散のな
い接点材料よりも安定した耐電圧特性を得られると共
に、良好な遮断性能を得られる。なお、耐弧成分の組合
せ方は本実施例に述べたものに留まらないのは明白であ
る。
【0047】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、少なくと
も2種以上の耐弧成分を含有する混合成分を焼結し、導
電成分溶液中で焼結した混合成分を拡散させるようにし
たので、耐電圧特性及び遮断特性に優れた接点材料が得
られる真空バルブ用接点材料の製造方法を提供すること
ができる。
も2種以上の耐弧成分を含有する混合成分を焼結し、導
電成分溶液中で焼結した混合成分を拡散させるようにし
たので、耐電圧特性及び遮断特性に優れた接点材料が得
られる真空バルブ用接点材料の製造方法を提供すること
ができる。
【図1】本発明の真空バルブ用接点材料の製造方法を説
明するための真空バルブの断面図。
明するための真空バルブの断面図。
【図2】[図1]の要部拡大断面図。
7…固定電極、8…可動電極、13a…可動側接点、13b
…固定側接点。
…固定側接点。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 草野 貴史 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内
Claims (5)
- 【請求項1】 少なくとも2種以上の耐弧成分を混合す
る工程と、この混合された混合成分を焼結する工程と、
導電成分溶液中で前記焼結した耐弧成分を拡散させる工
程とを有する真空バルブ用接点材料の製造方法。 - 【請求項2】 前記焼結する工程は、前記導電成分の融
点以上で行うことを特徴とする請求項1記載の真空バル
ブ用接点材料の製造方法。 - 【請求項3】 前記混合成分は、導電成分と複数の耐弧
成分から成ることを特徴とする請求項1または請求項2
のいずれかに記載の真空バルブ用接点材料の製造方法。 - 【請求項4】 導電成分は15−80体積%のAg及び
Cuのうちの少なくとも1種であり、残部がY,Ti,
Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,W,Fe,
Co及びNiのうちの少なくとも2種を含有する耐弧成
分であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれ
かに記載の真空バルブ用接点材料の製造方法。 - 【請求項5】 前記導電成分に対して1体積%以下のB
i,Te及びSbのうちの少なくとも1種から成る溶着
防止成分を含有させたことを特徴とする請求項4記載の
真空バルブ用接点材料の製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6312982A JPH08171830A (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 真空バルブ用接点材料の製造方法 |
DE69520762T DE69520762T2 (de) | 1994-02-21 | 1995-02-21 | Kontaktmaterial für Vakuumschalter und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN95103240A CN1040892C (zh) | 1994-02-21 | 1995-02-21 | 真空管用的触点材料及其制备方法 |
EP95301078A EP0668599B1 (en) | 1994-02-21 | 1995-02-21 | Contact material for vacuum valve and method of manufacturing the same |
US08/391,224 US5698008A (en) | 1994-02-21 | 1995-02-21 | Contact material for vacuum valve and method of manufacturing the same |
KR1019950003328A KR0170052B1 (ko) | 1994-02-21 | 1995-02-21 | 진공밸브 접점재료 및 그의 제조방법 |
TW084101595A TW320728B (ja) | 1994-02-21 | 1995-02-21 | |
US08/909,875 US5882448A (en) | 1994-02-21 | 1997-08-12 | Contact material for vacuum valve and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6312982A JPH08171830A (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | 真空バルブ用接点材料の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08171830A true JPH08171830A (ja) | 1996-07-02 |
Family
ID=18035820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6312982A Pending JPH08171830A (ja) | 1994-02-21 | 1994-12-16 | 真空バルブ用接点材料の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08171830A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006032036A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Toshiba Corp | 真空バルブ用接点材料 |
-
1994
- 1994-12-16 JP JP6312982A patent/JPH08171830A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006032036A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Toshiba Corp | 真空バルブ用接点材料 |
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