JPH08167611A - 外部接続用端子の配列方法及びその配列装置 - Google Patents

外部接続用端子の配列方法及びその配列装置

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JPH08167611A
JPH08167611A JP31156494A JP31156494A JPH08167611A JP H08167611 A JPH08167611 A JP H08167611A JP 31156494 A JP31156494 A JP 31156494A JP 31156494 A JP31156494 A JP 31156494A JP H08167611 A JPH08167611 A JP H08167611A
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suction
plate
guide
connection terminal
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JP31156494A
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Masakuni Tokida
政邦 常田
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Shinko Electric Industries Co Ltd
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Shinko Electric Industries Co Ltd
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/4809Loop shape
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着板に穿設された吸着孔の一の開孔口に、
確実に一個の外部接続用端子を吸着することができ、信
頼性を向上し得る外部接続用端子の配列装置を提供す
る。 【構成】 回路基板に設けられた外部接続用端子搭載用
パッドの各々に対応するように、外部接続用端子として
のはんだボールを配列する外部接続用端子の配列装置に
おいて、該回路基板に形成された各外部接続用端子搭載
用パッドと対応する位置に、はんだボールよりも小径の
吸着孔12が複数個穿設された吸着板14と、吸着板1
4と分離可能に設けられ、各吸着孔12と対応する位置
に、1個のはんだボールのみが通過可能のガイド孔52
が穿設されたガイド板56と、各吸着孔12に対応する
ガイド孔56の各々に、はんだボールを挿入する挿入手
段と、吸着板14とガイド板56とが組み合わされた際
に、吸着孔12の各々を減圧状態とする減圧手段とを具
備することを特徴とする

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は外部接続用端子の配列方
法及びその配列装置に関し、更に詳細には回路基板に設
けられた外部接続用端子搭載用パッドの各々に対応する
ように、外部接続用端子を配列する外部接続用端子の配
列方法及びその配列装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、半導体装置には、実装用配線との
接続用端子として、図6に示す様に、回路基板102の
一面に設けられた、外部接続用端子搭載用パッドとして
のはんだボール搭載用パッド108、108・・・に、
外部接続用端子として球状のはんだボール110、11
0・・・が配設された半導体装置100が注目されつつ
ある。尚、はんだボール搭載用パッド108、108・
・・は、搭載された半導体チップ104とワイヤボンデ
ィングされて電気的に連結された導体パターン106、
106の端部に形成されている。ところで、かかる半導
体装置100の回路基板102に形成された、はんだボ
ール搭載用パッド108、108・・・の各々に、はん
だボール110、110・・・を工業的に搭載する手段
としては、米国特許第5284287号明細書におい
て、図7に示す外部接続用端子の配列装置が提案されて
いる。この配列装置は、回路基板の各はんだボール搭載
用パッドと対応する位置に、はんだボールよりも小径の
吸着孔112、112・・が穿設された吸着板114
と、はんだボール110を吸着孔112の開孔口に吸着
するとき、吸着孔112内を減圧状態とする減圧装置等
の減圧手段とを具備するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】かかるはんだボール配
列装置によれば、吸着板114に形成された吸着孔11
2内を減圧状態とし、図7に示す収納容器116に収納
されているはんだボール110を、図8に示す様に、各
吸着孔112の開孔口に1個づつ吸着した後、回路基板
102に形成された各はんだボール搭載用パッド108
上で吸着孔112の各々の減圧状態を破ることによっ
て、所定のはんだボール搭載用パッド108に1個のは
んだボール110を搭載することができる。しかし、図
7及び図8に示すボール配列装置では、収納容器116
内のはんだボール110を吸着する際に、一の吸着孔1
12の開孔口に複数個のはんだボール110が同時に吸
着されることがあり、信頼性に欠けることが判明した。
そこで、本発明の目的は、吸着板に穿設された吸着孔の
一の開孔口に、確実に1個の外部接続用端子を吸着する
ことができる、信頼性を向上し得る外部接続用端子の配
列方法及びその配列装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は、前記目的を
達成すべく検討した結果、吸着板の各吸着孔の開孔口
に、1個のはんだボールのみが通過可能のガイド孔が対
応するように、吸着板とガイド孔が穿設されたガイド板
とを組み合わせることによって、各吸着孔の開孔口に1
個のはんだボールのみを接近させることができ、確実に
各吸着孔の開孔口に1個のはんだボールを吸着できるこ
とを見出し、本発明に到達した。
【0005】すなわち、本発明は、回路基板に設けられ
た外部接続用端子搭載用パッドの各々に対応するよう
に、球状の外部接続用端子を配列する際に、該回路基板
の各外部接続用端子搭載用パッドと対応する位置に、外
部接続用端子よりも小径の吸着孔が複数個穿設された吸
着板と、前記吸着板と分離可能に設けられ、吸着板に形
成された吸着孔の各々と対応する位置に、1個の外部接
続用端子のみが通過可能な径のガイド孔が穿設されたガ
イド板とを、前記ガイド孔と吸着孔との各々が対応する
ように組み合わせ、次いで前記吸着板の各吸着孔を減圧
手段によって減圧状態とし、各ガイド孔内に挿入された
外部接続用端子を各吸着孔の開孔口に吸着することを特
徴とする外部接続用端子の配列方法にある。
【0006】また、本発明は、回路基板に設けられた外
部接続用端子搭載用パッドの各々に対応するように、球
状の外部接続用端子を配列する外部接続用端子の配列装
置において、該回路基板の各外部接続用端子搭載用パッ
ドと対応する位置に、外部接続用端子よりも小径の吸着
孔が複数個穿設された吸着板と、前記吸着板と分離可能
に設けられ、吸着板に形成された吸着孔の各々と対応す
る位置に、1個の外部接続用端子のみが通過可能な径の
ガイド孔が穿設されたガイド板と、前記吸着孔の各々に
対応するたガイド孔の各々に、外部接続用端子を挿入す
る挿入手段と、前記吸着板とガイド板とが組み合わされ
た際に、吸着板に設けられた吸着孔の各々を減圧状態と
する減圧手段とを具備することを特徴とする外部接続用
端子の配列装置にある。
【0007】かかる構成を有する本発明において、ガイ
ド板に対して接離方向に可動可能に設けられた可動板に
よって底面が形成された凹部内に多量の外部接続用端子
を収納し、次いで前記凹部の体積が縮小する方向に前記
可動板を移動してガイド板に多数の外部接続用端子を同
時に押し付け、前記ガイド板の各ガイド孔内に外部接続
用端子を挿入することによって、外部接続用端子を各ガ
イド孔に容易に挿入することができる。この際に、凹部
からオーバーフローした外部接続用端子を、前記ガイド
孔の形成領域外に設けられた収納部に収納することによ
って、凹部内に充分な量の外部接続用端子を充填するこ
とができる。かかる収納部の一部として、ガイド孔の形
成領域の周縁近傍にオーバーフロー穴を穿設することに
より、充分な収納部の体積を確保できる。
【0008】また、外部接続用端子を各ガイド孔内に挿
入する際に、凹部底面を形成する可動板を数回移動させ
て凹部の体積を数回変動させることにより、更に確実に
各ガイド孔内に外部接続用端子を挿入できる。ここで、
凹部の体積が拡大されたとき、収納部に収納された外部
接続用端子が凹部内に還り易いように、外部接続用端子
を収納する凹部の開口縁を、凹部の内側方向に傾斜する
テーパ面に形成することが好ましい。更に、凹部の底面
を形成する可動板の側面に、内壁面が摺接してガイド板
と共に上下動する凹部側壁を形成する筒状体を、付勢部
材によってガイド板方向に付勢することによって、ガイ
ド板と吸着板とを組み合わせる際の衝撃を付勢部材によ
って吸収することができる。この様な本発明に係る外部
接続用端子の配列装置を構成する吸着板において、吸着
板に穿設された各吸着孔の開孔口に対応し、前記開孔口
の口径よりも大径の穴が穿設されたスライド板を、吸着
板に沿ってスライド可能に設けることによって、吸着板
の各吸着孔と吸着された外部接続用端子とを分離する際
に、分離を確実とすることができる。尚、本発明におい
て使用する外部接続用端子としては、球状のはんだボー
ルを好適に使用できる。
【0009】
【作用】本発明によれば、吸着板に穿設された吸着孔の
一の開孔口に、1個の外部接続用端子のみが通過可能の
ガイド孔を位置合わせして組み合わせることによって、
吸着孔の開孔口にガイド孔を通過した1個の外部接続用
端子のみを接近させることができる。このため、減圧状
態となった吸着孔の開孔口に1個の外部接続用端子を確
実に吸着させることができる。その結果、回路基板に形
成された各外部接続用端子搭載用パッドと対応する位置
に、外部接続用端子よりも小径に穿設された吸着孔が開
孔された吸着板を使用することによって、回路基板に設
けられた外部接続用端子搭載用パッドの各々に対応する
ように、外部接続用端子を容易に配列できる。
【0010】
【実施例】本発明を実施例によって更に詳細に説明す
る。図1は、本発明に係る外部接続用端子の配列装置の
一実施例を示す断面図であって、上側部10と下側部5
0とに分割されている。上側部10には、回路基板(図
示せず)に形成された各外部接続用端子搭載用パッドと
対応する位置に、外部接続用端子として採用する球状の
はんだボールよりも小径の吸着孔12、12・・が穿設
された吸着板14と、吸着板14の裏面側に設けられ、
吸着板14を担持する担持体16と、吸着板14の表面
側に設けられたガイド部材18、18と、ガイド部材1
8、18に立設されたガイドピン20、20とから構成
されている。この担持体16には、吸着孔12、12・
・・の一方の開孔口に臨むように、減圧室24が形成さ
れている。この減圧室24は、外部に設けられた減圧発
生装置(図示せず)と孔22を介して連結され、減圧可
能に設けられている。尚、本実施例においては、外部接
続用端子としてはんだボールを採用するが、銅等の金属
から成る金属ボールの表面にはんだめっき等の接続用の
外装処理を施した端子であってもよい。
【0011】かかる上側部10と組み合わされる下側部
50には、吸着板14に形成された各吸着孔12と対応
する位置に、1個のはんだボールのみが通過可能のガイ
ド孔52、52・・・と、上側部10のガイドピン2
0、20が挿通される位置決め孔54、54とが穿設さ
れた樹脂製のガイド板56が、ケーシング58内に遊嵌
されている。このガイド板56のガイド孔52、52・
・・が穿設された部分は、吸着板14の吸着孔12、1
2・・が穿設された部分と密着し易いように、凸状部に
形成されている。
【0012】かかるガイド板56の下方には、付勢部材
であるバネ60によりガイド板56の方向に付勢された
筒状部62と、筒状部62の内側面に摺接しつつ上下動
可能に設けられ、付勢部材であるバネ64によりガイド
板56の方向に付勢された断面形状がT字状の可動板6
6とによって、はんだボールを収納する凹部58が形成
される。このため、凹部58の底面を形成する可動板6
6は、その位置によって凹部58の体積を変更すること
ができる。本実施例においては、筒状部62によってガ
イド板56を支承すると共に、図2に示す様に、ケーシ
ング58に設けられたストッパ74、74によってガイ
ド板56の高さを規制している。更に、かかるガイド板
56の下面と筒状部62の上端面との間の間隙と、ガイ
ド板56のガイド孔52が形成された領域の近傍に穿設
された複数個のオーバーフロー穴70とによって、可動
板66を上方に移動して凹部58の体積を縮小したと
き、凹部58からオーバーフローするはんだボールを一
旦収納する収納部68が形成されている。
【0013】また、この筒状部62の上端面は、テーパ
状に形成されているため、可動板66が下方に移動して
凹部58の体積が拡大されたとき、収納部68に収納さ
れていたはんだボールを凹部58内にスムーズに戻すこ
とができる。更に、ガイド板56に穿設されたオーバー
フロー穴70の数個には、図2に示す様に、オーバーフ
ロー穴70の周縁からガイド板56の外方に向かって浅
いスリット部72、72・・が形成されている。このス
リット部72、72・・は、凹部58の体積を変更する
可動板66の移動をスムーズに行うべく、収納部68及
び凹部58等への空気の出入を容易にするためのもので
ある。かかる本実施例においては、ガイド板56をバネ
60により上方に付勢されている筒状部62によって支
承するため、上側部10と下側部50とを組み合わせる
際に、ガイド板56に加えられる衝撃を容易に吸収する
ことができ、可動板66もバネ64によって上方に付勢
されているため、凹部58に多量のはんだボールが収納
されても所定の凹部体積を保持できる。
【0014】図1に示す上側部10と、凹部58に多量
のはんだボールが充填された下側部50とは、図3に示
す様に、一体に組み合わされて使用される。ガイド板5
6と吸着板14とを組み合わせる際には、、上側部10
のガイドピン20、20を、下側部50のガイド板56
に穿設された位置決め孔54、54に挿通し、ガイド孔
52と吸着孔12との各々を対応させる。次いで、可動
板66を人手或いは機械的な手段(具体的には、モー
タ、シリンダ、アクチュエータ等)によって上方に移動
して凹部58の体積を縮小すると、凹部58に収納され
ているはんだボールの多数は、ガイド板56にガイド孔
52、52・・・が形成されている部分に押し付けられ
て各ガイド孔52にはんだボールが挿入される。この際
に、ガイド孔52の開孔口にはんだボールがブロック状
となり、はんだボールが挿入されないガイド孔52が発
生することがあるため、可動板66を数回上下動させて
ブロック状のはんだボールを分散させることが好まし
い。この様に、可動板66を上下動させたとき、凹部5
8及び収納部68の空気は、オーバーフロー穴70の周
縁に形成されたスリット部72を介して、容易に出入す
ることができ、可動板66の上下動をスムーズに行うこ
とができる。一方、凹部58の体積が縮小して凹部58
からオーバーフローしたはんだボールは、オーバーフロ
ー穴70を含む収納部68に一旦収納される。尚、本実
施例においては、上側部10と下側部50とを組み合わ
せた後、可動板66を上方に移動して各ガイド孔52に
はんだボールを挿入しているが、先ず可動板66を上方
に移動して各ガイド孔52にはんだボールを挿入した
後、上側部10と下側部50とを組み合わせてもよい。
【0015】その後、ガイド板56のガイド孔52の各
々に、はんだボールが挿入されている状態を保持し、外
部に設けられている減圧発生装置(図示せず)と孔22
を介して連結されている減圧室24を、減圧発生装置を
駆動して減圧状態とすると共に、各吸着孔12を減圧状
態とする。この様に、吸着孔12を減圧状態とすること
によって、ガイド孔52に挿入されていた1個のはんだ
ボールを吸着孔12の開孔口に確実に吸着できる。更
に、吸着孔12を減圧状態とした状態を保持して上側部
10と下側部50を分離し、上側部10の各吸着孔12
と回路基板の各はんだボール搭載用パッドとが対応する
ように、上側部10を回路基板上に移動させた後、吸着
孔12の減圧状態を破ることによって、各はんだボール
搭載用パッド上に1個のはんだボールを搭載することが
できる。ところで、可動板66を上方へ持ち上げる力を
解除すると、バネ64の付勢力と可動板66及びはんだ
ボールの重さとが釣り合う位置まで可動板66が降下す
るため、凹部58の体積が図3の場合よりも拡張され、
収納部68に一旦収納されていたはんだボールは、凹部
58内に戻る。この際に、筒状部62の上端面が、テー
パ状に形成されているため、収納部68に収納されてい
たはんだボールは凹部58内にスムーズに戻ることがで
きる。
【0016】図3に示す状態において、各ガイド孔54
には、図4(a)に示すように、各ガイド孔52にはん
だボールが挿入される。このガイド孔52は、1個のは
んだボールのみが通過可能の径に形成されているため、
複数個のはんだボール76がガイド孔52内に挿入され
たとしても、一列状態で配列される。かかるガイド孔5
4が穿設されたガイド板56の厚さは、ガイド孔52内
にはんだボール76が一個挿入される程度の厚さでもよ
いが、図4(a)に示すように、ガイド孔52内に複数
個のはんだボール76が一列状態で配列される厚さとす
ることが、凹部58からオーバーフローするはんだボー
ルの量を可及的に少なくでき好ましい。ここで、図4
(a)に示す吸着孔12の開孔口は、吸着したはんだボ
ールの損傷やはんだボール76が吸着孔12に食い付く
ことを防止すると共に、吸着孔12の吸着面積を増加し
て吸着力を増加すべく、はんだボールの一部形状に倣っ
て形成されている。かかる吸着孔12の開孔口の最大径
をはんだボールの径と略同径としてもよい。この様に、
ガイド孔54に挿入されたはんだボール76のうち、吸
着孔12の開孔口に最も近いものが、吸着孔12が減圧
状態となったとき、図4(b)に示す様に、吸着孔12
の開孔口に吸着される。複数個のはんだボール76がガ
イド孔54に一列に配列された場合でも、最上位に在る
はんだボール76のみが吸着され、その他のはんだボー
ル76は吸着されることなく凹部58に落下する。
【0017】つまり、吸着孔12の開孔口と吸着された
はんだボール76との間に隙間が形成され、ガイド孔5
4から吸着孔12への空気流が発生しても、ガイド孔5
4が1個のはんだボールのみを通過し得る径であるた
め、ガイド孔54内の他のはんだボール76は、形成さ
れた間隙方向に移動できないからである。次いで、図4
(c)に示す様に、吸着孔12の減圧状態を維持して吸
着板14とガイド板56とを分離することによって、吸
着孔12の開孔口に1個のはんだボールを吸着した状態
で所定位置に移動することができる。尚、吸着孔12の
全孔にはんだボールが吸着されたか否かは、減圧系の減
圧程度を確認することによって容易に判断することがで
きる。このため、所定の減圧度に到達せず、一部の吸着
孔にはんだボールが吸着せず空気が洩れている場合に
は、減圧発生装置を停止して吸着孔12の減圧状態を破
り可動板66の上下動を再度行う。
【0018】本実施例においては、上側部10の吸着板
14に吸着されたはんだボール76の吸着状態を解消
し、はんだボール76を回路基板のはんだボール搭載用
パッドの各々に搭載する際に、吸着板14の吸着孔12
の減圧状態を破ることによって容易に行うことができる
が、吸着孔12の開孔口とはんだボール76とが強く嵌
合した場合、吸着孔12の減圧状態を破っても開孔口と
はんだボール76との嵌合状態が維持されることがあ
る。この様な場合には、図5に示す様に、吸着板12に
穿設された各吸着孔12の開孔口に対応し、開孔口径よ
りも大径の穴が穿設されたスライド板78を、吸着板1
4に沿ってスライド可能に設けることによって、物理的
に嵌合状態の解消を図ることができ、確実にはんだボー
ル76を回路基板のはんだボール搭載用パッドの各々に
搭載することができる。以上、述べてきた本実施例のは
んだボールの配列装置は、はんだボール搭載用パッドが
設けられた回路基板、具体的には半導体装置用パッケー
ジに使用される単層又は多層のプリント回路基板、セラ
ミック回路基板、金属板に絶縁層を介して回路パターン
が形成されたメタルコア回路基板等の回路基板、或いは
半導体素子(IC)として用いられるシリコン等の回路
基板の電極用端子として、はんだボールを搭載する際に
使用できる。
【0019】
【発明の効果】本発明によれば、簡易な装置ではんだボ
ール等の外部接続用端子を所定の配列に容易に且つ確実
に配列することができる。このため、回路基板の外部接
続用端子搭載用パッドに、1個の外部接続用端子を容易
に且つ確実に搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る外部接続用端子の配列装置の一実
施例を示す断面図である。
【図2】図1に示す下側部50の平面図である。
【図3】図1に示す上側部10と下側部50とを組み合
わせた状態を説明する断面図である。
【図4】図1〜図3に示すはんだボールの配列装置にお
いて、はんだボールが吸着される状態を説明するための
説明図である。
【図5】他の実施例を説明するための部分断面図であ
る。
【図6】はんだボール搭載用パッドが形成された回路基
板を有する装置の一例を示す断面図である。
【図7】従来のはんだボールの配列装置の一例を説明す
る説明図である。
【図8】従来のはんだボールの配列装置の使用方法を説
明する説明図である。
【符号の説明】
10 上側部 12 吸着孔 14 吸着板 50 下側部 52 ガイド孔 56 ガイド板 58 凹部 66 可動板

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回路基板に設けられた外部接続用端子搭
    載用パッドの各々に対応するように、球状の外部接続用
    端子を配列する際に、 該回路基板の各外部接続用端子搭載用パッドと対応する
    位置に、外部接続用端子よりも小径の吸着孔が複数個穿
    設された吸着板と、 前記吸着板と分離可能に設けられ、吸着板に形成された
    吸着孔の各々と対応する位置に、1個の外部接続用端子
    のみが通過可能な径のガイド孔が穿設されたガイド板と
    を、前記ガイド孔と吸着孔との各々が対応するように組
    み合わせ、 次いで、前記吸着板の各吸着孔を減圧手段によって減圧
    状態とし、各ガイド孔内に挿入された外部接続用端子を
    各吸着孔の開孔口に吸着することを特徴とする外部接続
    用端子の配列方法。
  2. 【請求項2】 ガイド板に対して接離方向に可動可能に
    設けられた可動板によって底面が形成された凹部内に多
    量の外部接続用端子を収納し、 次いで、前記凹部の体積が縮小する方向に前記可動板を
    移動してガイド板に多数の外部接続用端子を同時に押し
    付け、前記ガイド板の各ガイド孔内に外部接続用端子を
    挿入する請求項1記載の外部接続用端子の配列方法。
  3. 【請求項3】 多量の外部接続用端子を収納する凹部の
    体積を縮小した際に、前記凹部からオーバーフローした
    外部接続用端子を、前記ガイド孔の形成領域外に設けら
    れた収納部に収納する請求項2記載の外部接続用端子の
    配列方法。
  4. 【請求項4】 外部接続用端子を各ガイド孔内に挿入す
    る際に、可動板を数回移動させることによって、凹部の
    体積を数回変動させる請求項2又は請求項3記載の外部
    接続用端子の配列方法。
  5. 【請求項5】 外部接続用端子がはんだボールである請
    求項1〜4のいずれか一項記載の外部接続用端子の配列
    方法。
  6. 【請求項6】 回路基板に設けられた外部接続用端子搭
    載用パッドの各々に対応するように、球状の外部接続用
    端子を配列する外部接続用端子の配列装置において、 該回路基板の各外部接続用端子搭載用パッドと対応する
    位置に、外部接続用端子よりも小径の吸着孔が複数個穿
    設された吸着板と、 前記吸着板と分離可能に設けられ、吸着板に形成された
    吸着孔の各々と対応する位置に、1個の外部接続用端子
    のみが通過可能な径のガイド孔が穿設されたガイド板
    と、 前記吸着孔の各々に対応する各ガイド孔に、外部接続用
    端子を挿入する挿入手段と、 前記吸着板とガイド板とが組み合わされた際に、吸着板
    に設けられた吸着孔の各々を減圧状態とする減圧手段と
    を具備することを特徴とする外部接続用端子の配列装
    置。
  7. 【請求項7】 ガイド板に穿設されたガイド孔の各々
    に、外部接続用端子を挿入する挿入手段が、各ガイド孔
    の開口孔に対して接離方向に移動可能に設けられている
    可動板と、 前記可動板によって底面が形成され、多量の外部接続用
    端子が収納される凹部とから構成されている請求項6記
    載の外部接続用端子の配列装置。
  8. 【請求項8】 凹部の体積を縮小する方向に可動板を移
    動させた際に、凹部からオーバーフローした外部接続用
    端子を収納する収納部が設けられている請求項6又は請
    求項7記載の外部接続用端子の配列装置。
  9. 【請求項9】 凹部からオーバーフローした外部接続用
    端子を収納する収納部の一部として、前記ガイド孔の形
    成領域の周縁近傍にオーバーフロー穴が穿設されている
    請求項8記載の外部接続用端子の配列装置。
  10. 【請求項10】 外部接続用端子を収納する凹部の開口
    縁が、凹部の内側方向に傾斜するテーパ面に形成されて
    いる請求項7〜9のいずれか一項記載の外部接続用端子
    の配列装置。
  11. 【請求項11】 凹部の底面を形成する可動板の側面
    に、内壁面が摺接してガイド板と共に上下動する凹部側
    壁を形成する筒状体が、付勢部材によってガイド板方向
    に付勢されている請求項7〜10のいずれか一項記載の
    外部接続用端子の配列装置。
  12. 【請求項12】 吸着板に穿設された各吸着孔の開孔口
    に対応し、前記開孔口の径よりも大径の穴が穿設された
    スライド板が、吸着板に沿ってスライド可能に設けられ
    ている請求項6〜11のいずれか一項記載の外部接続用
    端子の配列装置。
  13. 【請求項13】 外部接続用端子がはんだボールである
    請求項6〜12のいずれか一項記載の外部接続用端子の
    配列装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6176008B1 (en) 1997-12-24 2001-01-23 Nec Corporation Jig for mounting fine metal balls

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