JPH08164985A - ガラス乾板の包装容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ガラス乾板に不良品が発生せず、しかもこの乾
板の取扱が容易な写真プレート等のガラス乾板の包装容
器を提供する 【構成】ガラス乾板の包装容器であって、外形がガラス
乾板２６と同形状で且つ各辺が該乾板２６との間に所定
隙間を保てる大きさの内部形状を有する箱体２０及びそ
の蓋Ａ，Ｂ，Ｃと、ガラス乾板２６の使用範囲でない端
部の少なくとも２辺において上下のガラス乾板２６に挟
まれて乾板同士が接触しないように配置されるスペーサ
ー２８と、前述の各辺の隙間に所定の空間を有して配置
され、ガラス乾板２６を箱体２０内の定位置で保持し、
且つスペーサー２８の脱落を防ぐパッド部材２２とを備
え、スペーサーが箱体２０の内側壁にまで両端を伸ばし
ており、パット部材２２がスペーサー２８の両端部を支
えてガラス乾板２６の使用範囲内への移動を防止する位
置に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスク用写真プ
レート等のガラス乾板の包装体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣや超ＬＳＩの生産において、レチク
ルマスクやマスターマスク等を用いてパターンをウェハ
ー上に転写する技術では、これらのフォトマスクに用い
られる写真プレートは解像度の高いことが要求され、例
えば、ガラス基板上に極微粒子で均一な粒径分布である
ハロゲン化銀粒子からなる乳剤を塗布した写真プレート
が用いられていた。そして、このような写真プレートの
移動に関しては当然ながら厳密な遮光性と、ガラスを破
損せず且つ感光層同志を接触させない機能が求められ、
そのための包装体が用意される。

【０００３】従来、このような写真ブレートを包装する
には、第５図及び第６図に示すような包装体が用いられ
ていた。この包装体は、上部が開口した浅い箱体１内
に、コ字形スペーサー２を介して写真プレート３が収納
され、その上部が蓋体４で閉塞されているものである。
コ字形スペーサー２は断面「コ」字形に形成されてお
り、その中央に形成された溝５に写真プレート３の両側
端部が嵌合して固定されている。そして、コ字形スペー
サー２が装着されれた写真プレート３と装着されていな
い写真プレート３が交互に積層されて箱体１内に収納さ
れる。また、スペーサーとしては第７図に示すようなＴ
字形スペーサー６も従来用いられていた。このＴ字形ス
ペーサー６は、断面「Ｔ」字形に形成されており、その
中央の区分片７を写真プレート３間に挿入し、区分片７
の厚さだけ隔てて写真プレート３を順次積層するもので
ある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の写
真プレートの包装体では、写真プレートの乳剤面にスペ
ーサーが接触して傷が付いたり、またスペーサーにより
削り取られた乳剤粉が付着したりした。このように写真
プレートに乳剤粉等のゴミが付着すると、フォトマスク
のパターン上に写しこまれ、製作されるＩＣに回路の断
線、配線の短絡等を起こした不良品が発生する原因とな
っていた。

【０００５】更に、ガラス１枚づつあるいは１枚置きに
着脱しなければならず包装及び取り外し操作が煩雑で膜
面を指先で触れる可能性がありまた自動包装を行う場合
はスペーサーの向き揃え機構が必要となる。なお、この
ような包装体は通常３枚以上の多数枚入れに使用され
る。また、Ｔ字形のスペーサーではスペーサーの位置が
ずれやすく、ずれた場合にはガラス同志が接触し欠陥の
原因となる。更に機械詰めの場合、部品の位置決めや姿
勢の事前揃えが必要となり適性が低い、等の問題があ
る。

【０００６】更に他のタイプとしては、ガラスの厚さよ
り若干広目の間隔をもった波板を持った構造の容器ない
し内ケースによって、波形状を利用してガラスを支える
タイプがある。このタイプは確実のように見えるが、出
し入れの際にはガラスを斜めにする等の動作が必要で、
膜面接触の可能性があり、確実性を期す場合は一枚置き
に装填する場合もある。

【０００７】また、近年では自然環境に配慮した製品作
りは必須のものであり、例えば、プラスチックの押し出
し成形品や複数材質の混在したものなどでは、リサイク
ルの面で多くの場合不利となっており、紙製が主流であ
るが、このようなこともあって、上述したような構成で
紙製のものが利用されている。

【０００８】本発明は以上の問題点を解消し、ガラス乾
板の不良品発生を防止し、しかもこの乾板の取扱が容易
であり、分解、再利用をも容易とする写真プレート等の
ガラス乾板の包装容器を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、ガ
ラス乾板を包む包装容器であって、外形がガラス乾板と
同形状で且つ各辺が該乾板との間に所定隙間を保てる大
きさの内部形状を有する箱体及びその蓋と、ガラス乾板
の使用範囲でない端部の少なくとも２辺において上下の
ガラス乾板に挟まれて乾板同士が接触しないように配置
されるスペーサーと、前述の各辺の隙間に所定の空間を
有して配置され、ガラス乾板を箱体内の定位置で保持
し、且つスペーサーの脱落を防ぐパッド部材とを備え、
スペーサーが箱体の内側壁にまで両端を伸ばしており、
パッド部材がスペーサーの両端部を支えてガラス乾板の
使用範囲内への移動を防止する位置に配置されている構
成によって達成される。

【００１０】この包装容器では、箱体内底部には前記ガ
ラス乾板と同形状及び少なくともスペーサー位置までは
覆う大きさのクッション材が配置されていることが好適
である。また、ガラス乾板の角部位置にはパッド部材及
び箱体との間に空間が設けられている構成とすることが
できる。この箱体角部を挟んで配置されるパッド部材が
箱体内の角部且つ底部で接続されている構成とすること
もできる。更に、スペーサーに交差する方向で箱体外周
を巻く固定バンドを配置することもできる。箱体及びそ
の蓋とパッド部材とは無塵紙により作成され且つ糊によ
り接着される構成とすることができる。

【００１１】

【作用】本発明の上記構成によれば、ガラス乾板は箱体
の中でパッド部材によって確実に定位置に支持され、ま
た、ガラス乾板と箱体との隙間の且つパッド部材間の空
間が形成されることにより、作業者の指等の挿入がし易
くなり、出し入れ時の失敗を少なくすることができる。
また、ガラス乾板の使用されない画面範囲に配置される
スペーサーについては、その中程と端部とで挟まれるよ
うにパッド部材が配置されるので、ガラス乾板とは無関
係に位置決めされ、ガラス乾板の間から外れることもな
く、また、ガラス乾板の使用画面範囲の中に入ってしま
うことも無い。

【００１２】箱体内底部のクッション材については、上
記の構成ではスペーサーを使用することが可能である
が、ガラス乾板の撓みを考慮するとガラス乾板全体を覆
うものでクッション性のあるものが良く、特に、発泡体
であるところの、ポリエチレンフォーム、ポリウレタン
フォーム等が使用されることが好ましい。例えば、
（株）ジェイ・エス・アールの製品で「ミラーマット」
などが好適である。

【００１３】ガラス乾板の角部位置では、特に、紙製の
ものと擦れるとチリ等が発生する可能性があり、このた
めには上記のように、この部分に空間を設けるようなパ
ッド部材配置とすることが好適である。なお、パッド部
材の固定については箱体及びパッド部材が紙製の場合は
糊を使用することが可能であるが、例えば、プラスチッ
クを使用する場合には、箱体角部を挟んで配置されるパ
ッド部材をこの箱体内の角部の空間部分底部で接続し、
ガラス乾板が収納されることによって、パッド部材の位
置決めが行われる。また、接着しないことで、且つ、材
質の異なるものを容易に分離可能とすることでリサイク
ル性の向上が図れる。ところで、両材質が紙の場合、こ
の紙質としては無塵紙を利用することが好ましい。この
ように主たる材質を最もリサイクル性の進んだ紙とする
ことで、更にリサイクル性の向上が図れる。

【００１４】箱体としては十分に強度を与えて作成し、
しかも、遮光のために三重箱とすることで更に強度が付
くのであるが、この箱体に対して歪める力が無理に掛か
る状態となってしまう場合など、この歪みによって箱体
とガラス乾板との形状に歪みができ、予期せぬ隙間が発
生し、スペーサーが外れてしまうことも稀に発生する。
このようなことに対応するために、スペーサーに交差す
る方向で箱体外周を巻く固定バンドを配置することが好
ましい。

【００１５】なお、各部材の材質としては、前述のよう
に、箱体、蓋、パッド部材に関しては紙（特に、無塵
紙）を使用することが好ましいが、分離された固体とし
て使用されるスペーサーについては強度、耐摩擦性及び
弾性等の必要性から、ポリスチレン、ポリプロピレン等
の熱可塑性樹脂が好ましい。また、クッション材につい
ては、弾力性の要請から上述の用にポリウレタン等の発
泡材を使用することが好ましい。ここで、パッド部材に
ついて、プラスチックを利用する場合、スペーサーに使
用する材質と同様にポリスチレン、ポリプロピレン等の
熱可塑性樹脂がリサイクル性の面からも好ましい。

【００１６】また、箱体の形状としては、勿論ガラス乾
板に対応させるのであるが、例えば長方形の場合であれ
ば、スペーサーの配置はサポート性の要請から長辺側が
好ましい。

【００１７】

【実施例】以下、本発明に係わるガラス乾板を包む包装
容器の実施例を、図１から図４を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明に係わる包装容器でガラス乾板を収
納していない状態の概略を示す斜視図、図２は本発明の
包装容器のガラス乾板を収納している状態の箱体を開口
側から見た正面図、図３は図２のＸ−Ｘ’断面図、図４
は箱体に固定バンドを巻いた状態を示す斜視図である。

【００１８】図１に示すように、箱体２０内には複数の
パッド２２が所定の間隔で、この実施例の場合各辺に２
個づつ備えられている。箱体２０は十分な強度を持たし
たボール箱となっており、パッド２２は無塵紙によって
形成されて糊付けによって箱体２０に取り付けられ、後
に述べるガラス乾板２６を支えることができる程度の強
度を与えられている。そして、例えば角部の拡大図にお
いて一つのパッド２２ａの配置として、各辺の中央部に
おいては人の指が入る程度の間隔をもって配置され、角
部においては、その角２０ａを挟んで隣接するパッド２
２ｂに対して辺に平行方向で、後に述べるスペーサー２
８が挿入されて保持される溝２５の間隔だけ空けて配置
される。

【００１９】この箱体２０はその内部でスペーサー２８
によって接触しないように仕切られたガラス乾板２６を
収容した後、先ず、蓋Ａが矢印Ｌに沿って被せられ、次
に、蓋Ｂが矢印Ｍの方向から被せられ、最後に蓋Ｃが矢
印Ｌに沿って被せられ、三重蓋となって完全な遮光が達
成される。

【００２０】次に、箱体２０内部のガラス乾板２６の収
容状態としては、図２、図３から分かるように、先ず、
箱体２０内底部にクッション材３２が敷かれ、その上に
乳剤面を上にしてガラス乾板２６が載置される。このガ
ラス乾板２６は各パッド２２によって決められた定位置
に保持される。そして、このガラス乾板２６の端部上面
にスペーサー２８が乗せられる。このスペーサー２８は
前述した溝２５に嵌まり込み、パッド２２によってその
位置を支持され、更に、その位置はガラス乾板２６の縁
部で有効画面外であり、スペーサー２８が当接すること
によってもガラス乾板２６の使用画面に影響を与えるこ
とはない。

【００２１】図１の拡大部分を利用してスペーサー２８
の支持状態を説明すると、パッド２２ａによるガラス乾
板２６の位置保持と同時に、ガラス乾板２６に挟まれて
いる部分のスペーサー２８はこのガラス乾板２６の間か
ら脱落することを防止される。そして、スペーサー２８
の端部はパッド２２ｂによって押さえられることによ
り、ガラス乾板２６の有効画面方向にスペーサー２８が
移動することはない。このようにしてスペーサー２８は
パッド２２のみによって支持される。ところで、この実
施例で使用しているガラス乾板２６の大きさは約４００
ｍｍ四方のもので、有効画面外の縁部として約５ｍｍ程
度を利用している。また、クッション材３２はガラス乾
板２６の撓みに対しても有効で最も好ましいものである
が、この代用として、スペーサー２８を利用してもよ
い。

【００２２】上記のように最下層のガラス乾板２６とス
ペーサー２８が収容され、その上に順次、ガラス乾板２
６とスペーサー２８が重ねられる。最上層のガラス乾板
２６はその乳剤面を下に向けて載置され、上側クッショ
ン材３０が一番上に乗せられ、蓋が閉められる。なお、
このスペーサー２８の断面形状としては、四角形が一般
的であるが、三角形、円形、楕円形等が使用可能であ
る。ここで、パッド２２によって箱体２０内角部にでき
る空間３５にガラス乾板２６の角が位置するので、この
角と接触するものはなく、従って、擦れ等による塵の発
生を防止することができる。

【００２３】図４は箱体２０を固定バンド４０で巻回し
た場合の斜視図である。この固定バンド４０はスペーサ
ー２８と交差するように巻回され、固定方法としては固
定バンド４０両端部の切り込みをかみ合わせることによ
って固定できる。この固定バンド４０を備えることによ
って、例え箱体２０に歪む力が加わっても、スペーサー
２８が外れるほどの歪みは防止することができる。

【００２４】以上、本実施例は、ＩＣや超ＬＳＩの生産
における、写真プレート用のガラス乾板について述べた
が、これ以外にも液晶基板やクロムブランクス等にもこ
の包装容器の構成は使用できる。また、ガラス乾板の形
状としては正方形を使用しているが、長方形その他の形
状についても応用でき、長方形の場合は、スペーサーを
長手側に設置することが好ましい。

【００２５】更に、無塵紙としては、特開昭６４−５６
４３６号公報に開示されているようなものが使用でき、
例えば、以下のものなどは好適である。 パルプ：ＮＢＫＰ １００％ を長網抄紙機で３６０ｇ／ｍ² に抄紙後、アクリルアマ
イド系樹脂ラテックス５とアクリルケテンダイマー系ラ
テックスの２：１固形分混合比の混合液を作り対パルプ
固形分重量比１０％サイズプレス法で含浸させ平滑度表
６”，表７”に仕上げたもの。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の構成によ
れば、指の入る空間を持つことで、ガラス乾板の出し入
れが非常に容易になり、特にスペーサー支持構成によっ
て、ガラス乾板の不良品発生を防止し、しかもこの乾板
の取扱が容易であり、分解、再利用をも容易とする写真
プレート等のガラス乾板の包装容器を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる包装容器でガラス乾板を収納し
ていない状態の概略を示す斜視図である。

【図２】本発明の包装容器のガラス乾板を収納している
状態の箱体を開口側から見た正面図である。

【図３】図２のＸ−Ｘ’断面図である。

【図４】本実施例の箱体に固定バンドを巻いた状態を示
す斜視図である。

【図５】従来のガラス乾板包装容器の断面図である。

【図６】従来のガラス乾板包装容器の正面図である。

【図７】従来のガラス乾板包装容器に使用されるスペー
サーの部分断面図である。

【符号の説明】

１，２０ 箱体 ２２ パッド ２５ 溝 ３，２６ ガラス乾板 ２，２８ スペーサー ２４，３５ 空間 ３０、３２ クッション材 ４０ 固定ベルト

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【手続補正書】

【提出日】平成７年６月７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】従来、このような写真プレートを包装する
には、第５図及び第６図に示すような包装体が用いられ
ていた。この包装体は、上部が開口した浅い箱体１内
に、コ字形スペーサー２を介して写真プレート３が収納
され、その上部が蓋体４で閉塞されているものである。
コ字形スペーサー２は断面「コ」字形に形成されてお
り、その中央に形成された溝５に写真プレート３の両側
端部が嵌合して固定されている。そして、コ字形スペー
サー２が装着されれた写真プレート３と装着されていな
い写真プレート３が交互に積層されて箱体１内に収納さ
れる。また、スペーサーとしては第７図に示すようなＴ
字形スペーサー６も従来用いられていた。このＴ字形ス
ペーサー６は、断面「Ｔ」字形に形成されており、その
中央の区分片７を写真プレート３間に挿入し、区分片７
の厚さだけ隔てて写真プレート３を順次積層するもので
ある。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】なお、各部材の材質としては、前述のよう
に、箱体、蓋、パッド部材に関しては紙（特に、無塵
紙）を使用することが好ましいが、分離された固体とし
て使用されるスペーサーについては強度、耐摩擦性及び
弾性等の必要性から、ポリスチレン、ポリプロピレン等
の熱可塑性樹脂が好ましい。また、クッション材につい
ては、弾力性の要請から上述の用にポリウレタン等の発
泡体を使用することが好ましい。ここで、パッド部材に
ついて、プラスチックを利用する場合、スペーサーに使
用する材質と同様にポリスチレン、ポリプロピレン等の
熱可塑性樹脂がリサイクル性の面からも好ましい。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】この箱体２０はその内部でスペーサー２８
によって接触しないように仕切られたガラス乾板２６を
収容した後、先ず、蓋Ａが矢印Ｌに沿って被せられ、次
に、蓋Ｂが矢印Ｍの方向から被せられ、最後に蓋Ｃが矢
印Ｌに沿って被せられ、三重蓋となって完全な遮光が達
成される。なお、図１の実施例では三重蓋を示している
が、前述のように三重箱としての構成である二重蓋によ
ってもほぼ完全といえる遮光を達成することができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２５】更に、無塵紙としては、特開昭６４−５６
４３６号公報に開示されているようなものが使用でき、
例えば、以下のものなどは好適である。 パルプ：ＮＢＫＰ １００％ を長網抄紙機で３６０ｇ／ｍ² に抄紙後、アクリルアマ
イド系樹脂ラテックス５とアクリルケテンダイマー系ラ
テックスの２：１固形分混合比の混合液を作り対パルプ
固形分重量比１０％サイズプレス法で含浸させ平滑度表
６”，裏７”に仕上げたもの。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】符号の説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【符号の説明】 １，２０ 箱体 ２２ パッド ２５ 溝 ３，２６ ガラス乾板 ２，２８ スペーサー ２４，３５ 空間 ３０、３２ クッション材 ４０ 固定バンド

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス乾板を包む包装容器であって、 外形が前記ガラス乾板と同形状で且つ各辺が該乾板との
   間に所定隙間を保てる大きさの内部形状を有する箱体及
   びその蓋と、 前記ガラス乾板の使用範囲でない端部の少なくとも２辺
   において複数ガラス乾板間に配置されて間隔を維持する
   スペーサーと、 前記各辺の隙間に所定の空間を有して配置され、前記ガ
   ラス乾板を前記箱体内の定位置で保持し、且つ前記スペ
   ーサーの脱落を防ぐパッド部材とを備え、 前記スペーサーが前記箱体の内側壁にまで両端を伸ばし
   ており、前記パッド部材が前記スペーサーの両端部を支
   えて前記ガラス乾板の使用範囲内への移動を防止する位
   置に配置されていることを特徴とするガラス乾板を包む
   包装容器。
2. 【請求項２】 前記箱体内底部には前記ガラス乾板と同
   形状及び少なくともスペーサー位置までは覆う大きさの
   クッション材が配置されていることを特徴とする請求項
   １の包装容器。
3. 【請求項３】 前記ガラス乾板の角部位置には前記パッ
   ド部材及び前記箱体との間に空間が設けられていること
   を特徴とする請求項１の包装容器。
4. 【請求項４】 前記箱体角部を挟んで配置されるパッド
   部材が前記箱体内の角部且つ底部で接続されていること
   を特徴とする請求項３の包装容器。
5. 【請求項５】 前記スペーサーに交差する方向で前記箱
   体外周を巻く固定バンドが配置されることを特徴とする
   請求項１の包装容器。
6. 【請求項６】 前記箱体及びその蓋と前記パッド部材と
   は無塵紙により作成され且つ糊により接着されているこ
   とを特徴とする請求項１の包装容器。