JPH08162939A - 半導体集積回路のインターフェース回路 - Google Patents

半導体集積回路のインターフェース回路

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JPH08162939A
JPH08162939A JP6302222A JP30222294A JPH08162939A JP H08162939 A JPH08162939 A JP H08162939A JP 6302222 A JP6302222 A JP 6302222A JP 30222294 A JP30222294 A JP 30222294A JP H08162939 A JPH08162939 A JP H08162939A
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mos transistor
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宏 茂原
Yasunori Tanaka
康規 田中
Junya Masumi
純也 増見
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    • HELECTRICITY
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    • H02H9/04Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage
    • H02H9/045Emergency protective circuit arrangements for limiting excess current or voltage without disconnection responsive to excess voltage adapted to a particular application and not provided for elsewhere
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Abstract

(57)【要約】 【目的】外部端子に印加されるサージ電圧から内部保護
を図ることができると共に内部電源電圧よりも高い信号
電圧が外部端子に印加された場合でも保護回路が破壊さ
れることがない半導体集積回路のインターフェース回路
を提供することを目的とする。 【構成】入力端子11にはNMOS12のソース・ドレイン
間の電流通路の一端が接続され、そのゲートにはVCCが
供給されている。NMOS12の電流通路の他端はPMO
S16とNMOS17とからなる保護回路13を介して内部回
路の入力段のPMOS14及びNMOS15の共通ゲートに
接続されている。上記保護回路13内のPMOS16のソー
ス及びゲートはVCCに接続され、ドレインはPMOS14
及びNMOS15の共通ゲートに接続され、NMOS17の
ソース及びゲートはVSSに接続され、ドレインはPMO
S14及びNMOS15の共通ゲートに接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はMOS型半導体集積回
路に係り、ESD保護対策が図られた入力回路、出力回
路及び入出力回路等のインターフェース回路に関する。
【0002】
【従来の技術】MOS型半導体集積回路では、外部端子
にサージ電圧が印加された時にMOSトランジスタのゲ
ート酸化膜の破壊(ESD:静電破壊)を防止する目的
で保護回路が設けられる。
【0003】図60は従来の入力保護回路の一例を示す
ものであり、MOS型半導体集積回路の入力端子81には
保護回路82を介して入力回路83が接続されている。入力
回路83はMOSトランジスタ84を含んでいる。保護回路
82は、電源電圧VCCと入力端子81との間にソース・ドレ
イン間が挿入されたPチャネルのMOSトランジスタ
(以下、PMOSと略称する)85と、基準電源電圧VSS
と入力端子81との間にソース・ドレイン間が挿入された
NチャネルのMOSトランジスタ(以下、NMOSと略
称する)86と、入力端子81と入力回路83との間に接続さ
れた抵抗87とから構成されている。なお、通常、PMO
Sのバックゲートはそのソース側、つまり電源電圧VCC
に接続され、NMOSのバックゲートはそのソース側、
つまり基準電源電圧VSSに接続されている。
【0004】このような構成の回路において、入力端子
81に通常の信号電圧値を遥かに越える正極性のサージ電
圧が印加されたときは、PMOS85のバックゲートとソ
ースとの間に寄生的に存在しているPNダイオードを介
してサージ電圧が電源電圧VCC側に逃がされ、入力回路
83内のMOSトランジスタ84のゲート酸化膜破壊が防止
される。他方、通常の信号電圧のLレベルである0V
(基準電源電圧VSS)よりも低い負極性のサージ電圧が
印加されたときは、NMOS86のバックゲートとソース
との間に寄生的に存在しているPN接合を介してサージ
電圧が基準電源電圧VSS側に逃がされ、入力回路83内の
MOSトランジスタ84のゲート酸化膜破壊が防止され
る。なお、保護回路82内の抵抗87は、入力端子81にサー
ジ電圧が印加されたときにその電圧が直ちに入力回路83
内のMOSトランジスタ84のゲートに加わらないように
するため、MOSトランジスタ84のゲート容量とでCR
型のローパス・フィルタ回路を構成する目的で設けられ
ている。
【0005】図61は従来の入力保護回路の他の例を示
している。この例は、上記図60の保護回路82内のPM
OS85の代わりにNMOS88を用いるようにしたもので
ある。この場合、入力端子81に正極性のサージ電圧が印
加されたときは、NMOS88のソース、ドレイン及びバ
ックゲートで構成されるNPN型の寄生バイポーラトラ
ンジスタによるトランジスタ動作によりサージ電圧が電
源電圧VCC側に逃がされる。なお、負極性のサージ電圧
が印加されたときは図60の場合と同様である。
【0006】一方、半導体デバイスの微細加工技術の進
歩に従って、MOSトランジスタの耐圧も低下してきて
いる。この耐圧低下に伴い、5V電源系のデバイスに適
用されるプロセスに対し、3.3V電源系のデバイスに
適用されるプロセスが登場している。そして、3.3V
電源系プロセスで製造されたデバイスのゲートとドレイ
ンとの間、ゲートとソースとの間には5V電源系の電圧
を印加することはできない。そこで、5V電源系のデバ
イスと3.3V電源系のデバイスとを混在させて用いる
場合、5V電源系の回路と3.3V電源系の回路との間
の信号の授受を行うためのインターフェース回路が提案
されている。
【0007】図62は、3.3V電源系プロセスを用い
て構成され、5V電源系の信号が入力可能な入力回路
(インターフェース回路)の一例を示している。この回
路は「D.T.Wong,et al.,"An 11-ns 8K×18 CMOS Static
RAM with 0.5 μm Device",Fi.15,IEEE J. Solid-stat
e circuits,vol.23,no.5, October 1988 」に記載され
ているものである。入力端子91に印加される5V電源系
の信号は、NMOS92のソース・ドレイン間を介してP
MOS93及びNMOS94の共通ゲートに供給される。上
記NMOS92のゲートには3.3V系の電源電圧VCCが
供給されている。また、上記電源電圧VCCと上記PMO
S93のソースとの間にはPMOS95のソース・ドレイン
間の電流通路が接続され、このPMOS95のゲートは入
力端子91に接続されている。上記PMOS93とNMOS
94のドレインは互いに接続され、この共通ドレインの信
号が集積回路内部に供給されるようになっている。ま
た、上記NMOS94のソースは基準電源電圧VSSに接続
されている。
【0008】このような構成の回路において、入力端子
91に5Vの信号が印加されたとき、NMOS92のゲート
には3.3Vの電源電圧VCCが供給されているのでその
しきい値電圧をVTNとすると、このNMOS92のソー
ス、ドレインのうちPMOS93とNMOS94の共通ゲー
ト側に接続されたノードaの電圧はVCC−VTN以上には
ならない。従って、NMOS92のゲートとソース、ドレ
インとの間には5Vの電圧は加わらず、さらにPMOS
93とNMOS94それぞれのゲートとソース、ドレインと
の間にも5Vの電圧は加わらない。このため、全てのM
OSトランジスタのゲート酸化膜破壊は起こらない。な
お、ゲートが入力端子91に接続されたPMOS95は、何
等かの原因によって上記ノードaの電圧が中間レベルと
なり、PMOS93とNMOS94が同時にオン状態にな
り、電源電圧VCCとVSSとの間に大きな値の貫通電流が
流れることを防止するために設けられている。すなわ
ち、PMOS93をオフさせなければならないのは入力信
号が5Vのときであり、このときPMOS95がオフ状態
になるので、上記の貫通電流は発生しなくなる。
【0009】図63は図62とは異なる入力回路の例を
示している。この回路は図62中のPMOS95を省略し
たたものであり、基本的な動作は図62と同様である。
【0010】図64は、3.3V電源系プロセスを用い
て構成された出力回路の一例を示している。この回路は
「M.Ueda,et al.,"A 3.3V ASIC for Mixed Voltage App
lications with Shut Wown Mode",Fig.1,IEEE 1993 CIC
C,25.5.1」に記載されているものである。この回路は
3.3V電源系の信号INPUT を出力イネーブル信号ENAB
LEに基づいて出力端子 101から出力するための回路であ
り、出力端子 101からHレベルの信号を出力する際には
信号INPUT と信号ENABLEに基づいて出力段のPMOS 1
02がオン状態にされ、Lレベルの信号を出力する際には
出力段のNMOS103がオン状態にされる。そして、こ
の出力回路では、出力端子 101に5V電源系の信号が印
加されてもゲート酸化膜破壊が起こらないようにするた
めに、出力端子 101とNMOS 103のドレインとの間に
NMOS 104のソース・ドレイン間からなる電流通路が
接続されている。このNMOS 104のゲートは3.3V
系の電源電圧VCCに接続されている。そして、この図6
4の出力回路から、出力端子101をLレベルに設定する
ための回路の要部を抜き出して示したのが図65の回路
である。
【0011】上記図65の回路において、信号ENABLEが
Hレベルにされているディセーブル状態のときに、出力
端子 101に5Vの電圧が印加された場合、NMOS 104
のゲートには3.3Vの電源電圧VCCが供給されている
ので、そのしきい値電圧をVTNとすると、このNMOS
104のソース、ドレインのうちNMOS 103のドレイン
側に接続されたノードbの電圧はVCC−VTN以上にはな
らない。従って、NMOS 103のゲートとドレインとの
間には5Vの電圧は加わらず、ゲート酸化膜破壊を防止
することができる。
【0012】ところで、上記図62、図63、図64等
のインターフェース回路においてもESDに対する何等
かの保護回路が必要になるが、上記図60、図61に示
したような従来の手法は使えない。以下にその理由を説
明する。
【0013】図66は上記図62の入力回路に図60の
保護回路を使用した場合の例を示し、同様に図67は上
記図62の入力回路に図61の保護回路を使用した場合
の例を示している。なお、図66及び図67において、
図60、図61、図62とそれぞれ対応する箇所には同
じ符号を付してその説明は省略する。
【0014】いま、図66の回路において、入力端子91
に5Vの電圧を印加したとき、PMOS85のドレインと
バックゲートとの間に寄生的に存在するPNダイオード
が順バイアスとなり、5V電源系からこのPNダイオー
ドを介して3.3V電源系へ大きな電流が流れる。そし
て、この大電流は場合によってはデバイス破壊を引き起
こす。さらに、入力端子91に5Vの電圧を印加したと
き、NMOS86ではゲートとドレインとの間にこの5V
の電圧が印加されることになるので、ゲート酸化膜破壊
を引き起こす。
【0015】また、図67の回路では、入力端子91に5
Vの電圧を印加したとき、NMOS88ではゲートとドレ
インとの間に5Vが印加されることになるので、ゲート
酸化膜破壊を引き起こす。同様にNMOS86でもゲート
とドレインとの間に5Vが印加され、ゲート酸化膜破壊
を引き起こす。
【0016】次に出力回路の場合を説明する。図68は
前記図64の出力回路に前記図60の保護回路を使用し
た場合であり、図69は前記図64の出力回路に前記図
61の保護回路を使用した場合である。また、図68、
図69の出力回路から出力端子 101をLレベルに設定す
るための回路の要部をそれぞれ抜き出して示したのが図
70、図71である。
【0017】図70、図71の回路でも、図66、図6
7の入力回路の場合と同様の理由で、出力端子 101に5
Vが印加されることによって保護回路内のMOSトラン
ジスタそのものにゲート酸化膜破壊が起こる。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】このように従来、外部
端子に印加されるサージ電圧に対して内部保護が図られ
た集積回路のインターフェース回路では、内部電源電圧
よりも高い信号電圧が外部端子に印加された際に保護回
路そのものに大きな電流が流れたり、ゲート酸化膜破壊
が起こり、保護回路が破壊されるという欠点があった。
【0019】この発明は上記のような事情を考慮してな
されたものであり、その目的は、外部端子に印加される
サージ電圧から内部保護を図ることができると共に内部
電源電圧よりも高い信号電圧が外部端子に印加された場
合でも保護回路が破壊されることがない半導体集積回路
のインターフェース回路を提供することである。
【0020】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明の半導体
集積回路のインターフェース回路は、外部端子と、ソー
ス・ドレイン間の電流通路の一端が上記外部端子に接続
され、ゲートが内部電源電圧に接続された電圧緩和用の
Nチャネルの第1のMOSトランジスタと、上記第1の
MOSトランジスタの電流通路の他端に接続されたサー
ジ電圧保護回路とを具備したことを特徴とする。
【0021】この発明は請求項1のインターフェース回
路において、前記サージ電圧保護回路が、ソース及びゲ
ートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが前記第
1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続された
Pチャネルの第2のMOSトランジスタと、ソース及び
ゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前記第1
のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続されたN
チャネルの第3のMOSトランジスタとから構成されて
いることを特徴とする。
【0022】この発明は請求項1のインターフェース回
路において、前記サージ電圧保護回路が、ドレインが前
記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源電圧に接
続され、ソースが前記第1のMOSトランジスタの電流
通路の他端に接続されたNチャネルの第2のMOSトラ
ンジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に接続さ
れ、ドレインが前記第1のMOSトランジスタの電流通
路の他端に接続された第2のNチャネルの第3のMOS
トランジスタとから構成されていることを特徴とする。
【0023】この発明は請求項1のインターフェース回
路において、前記外部端子が信号入力端子であることを
特徴とする。
【0024】この発明は請求項1のインターフェース回
路において、前記外部端子が信号出力端子であることを
特徴とする。
【0025】この発明は請求項1のインターフェース回
路において、前記外部端子が信号入出力兼用端子である
ことを特徴とする。
【0026】請求項7の発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路は、外部端子と、ソース・ドレイン間の
電流通路の一端が上記外部端子に接続され、ゲートに内
部電源電圧が供給される電圧緩和用のNチャネルの第1
のMOSトランジスタと、ソース・ドレイン間の電流通
路が上記第1のMOSトランジスタの電流通路の他端と
基準電源電圧との間に接続されたサージ電圧保護用のN
チャネルの第2のMOSトランジスタと、ソース・ドレ
イン間の電流通路が上記内部電源電圧と上記外部端子の
間に接続され、ゲートが上記第1のMOSトランジスタ
の電流通路の他端に接続されたサージ電圧保護用のNチ
ャネルの第3のMOSトランジスタとを具備したことを
特徴とする。
【0027】請求項8の発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路は、外部端子と、ソース・ドレイン間の
電流通路の一端が上記外部端子に接続され、ゲートに内
部電源電圧が供給される電圧緩和用のNチャネルの第1
のMOSトランジスタと、上記第1のMOSトランジス
タの電流通路の他端と内部回路との間に接続されたサー
ジ電圧保護回路とを具備したことを特徴とする。
【0028】この発明は請求項8のインターフェース回
路において、前記サージ電圧保護回路が、ソース及びゲ
ートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが前記第
1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続された
Pチャネルの第2のMOSトランジスタと、ソース及び
ゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前記第1
のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続されたN
チャネルの第3のMOSトランジスタとから構成されて
いることを特徴とする。
【0029】この発明は請求項8のインターフェース回
路において、前記サージ電圧保護回路が、ドレインが前
記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源電圧に接
続され、ソースが前記第1のMOSトランジスタの電流
通路の他端に接続されたNチャネルの第2のMOSトラ
ンジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に接続さ
れ、ドレインが前記第1のMOSトランジスタの電流通
路の他端に接続されたNチャネルの第3のMOSトラン
ジスタとから構成されていることを特徴とする。
【0030】この発明は請求項8のインターフェース回
路において、前記外部端子が信号入力端子であることを
特徴とする。
【0031】この発明は請求項8のインターフェース回
路において、前記外部端子が信号出力端子であることを
特徴とする。
【0032】この発明は請求項8のインターフェース回
路において、前記外部端子が信号入出力兼用端子である
ことを特徴とする。
【0033】請求項14の発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路は、外部端子と、ソース・ドレイン間
の電流通路の一端が上記外部端子に接続され、電流通路
の他端が内部回路に接続され、ゲートに内部電源電圧が
供給される電圧緩和用のNチャネルの第1のMOSトラ
ンジスタと、ソース・ドレイン間の電流通路の一端が上
記外部端子に接続され、ゲートに内部電源電圧が供給さ
れる電圧緩和用のNチャネルの第2のMOSトランジス
タと、上記第2のMOSトランジスタの他端に接続され
たサージ電圧保護回路とを具備したことを特徴とする。
【0034】この発明は請求項14のインターフェース
回路において、前記サージ電圧保護回路が、ソース及び
ゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが前記
第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続され
たPチャネルの第3のMOSトランジスタと、ソース及
びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前記第
2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続された
Nチャネルの第4のMOSトランジスタとから構成され
ていることを特徴とする。
【0035】この発明は請求項14のインターフェース
回路において、前記サージ電圧保護回路が、ドレインが
前記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源電圧に
接続され、ソースが前記第2のMOSトランジスタの電
流通路の他端に接続されたNチャネルの第3のMOSト
ランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に接続
され、ドレインが前記第2のMOSトランジスタの電流
通路の他端に接続されたNチャネルの第4のMOSトラ
ンジスタとから構成されていることを特徴とする。
【0036】この発明は請求項14のインターフェース
回路において、前記外部端子が信号入力端子であること
を特徴とする。
【0037】この発明は請求項14のインターフェース
回路において、前記外部端子が信号出力端子であること
を特徴とする。
【0038】この発明は請求項14のインターフェース
回路において、前記外部端子が信号入出力兼用端子であ
ることを特徴とする。
【0039】請求項20の発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路は、信号入力端子と、ソース・ドレイ
ン間の電流通路の一端が上記信号入力端子に接続され、
ゲートが内部電源電圧に接続された電圧緩和用のNチャ
ネルの第1のMOSトランジスタと、上記第1のMOS
トランジスタの電流通路の他端と内部回路との間に接続
された第1のサージ電圧保護回路と、ソース・ドレイン
間の電流通路の一端が上記信号入力端子に接続され、ゲ
ートが内部電源電圧に接続された電圧緩和用のNチャネ
ルの第2のMOSトランジスタと、上記第2のMOSト
ランジスタの電流通路の他端に接続された第2のサージ
電圧保護回路とを具備したことを特徴とする。
【0040】この発明は請求項20のインターフェース
回路において、前記第1のサージ電圧保護回路が、ソー
ス及びゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレイン
が前記第1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接
続されたPチャネルの第3のMOSトランジスタと、ソ
ース及びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが
前記第1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続
されたNチャネルの第4のMOSトランジスタとから構
成され、かつ前記第2のサージ電圧保護回路が、ソース
及びゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが
前記第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続
されたPチャネルの第5のMOSトランジスタと、ソー
ス及びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前
記第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続さ
れたNチャネルの第6のMOSトランジスタとから構成
されていることを特徴とする。
【0041】この発明は請求項20のインターフェース
回路において、前記第1のサージ電圧保護回路が、ドレ
インが前記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源
電圧に接続され、ソースが前記第2のMOSトランジス
タの電流通路の他端に接続されたNチャネルの第3のM
OSトランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧
に接続され、ドレインが前記第1のMOSトランジスタ
の電流通路の他端に接続されたNチャネルの第4のMO
Sトランジスタとから構成され、かつ前記第2のサージ
電圧保護回路が、ソース及びゲートが前記内部電源電圧
に接続され、ドレインが前記第2のMOSトランジスタ
の電流通路の他端に接続されたPチャネルの第5のMO
Sトランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に
接続され、ドレインが前記第2のMOSトランジスタの
電流通路の他端に接続されたNチャネルの第6のMOS
トランジスタとから構成されているていることを特徴と
する。
【0042】この発明は請求項20のインターフェース
回路において、前記外部端子が信号入力端子であること
を特徴とする。
【0043】この発明は請求項20のインターフェース
回路において、前記外部端子が信号出力端子であること
を特徴とする。
【0044】この発明は請求項20のインターフェース
回路において、前記外部端子が信号入出力兼用端子であ
ることを特徴とする。
【0045】
【作用】請求項1の発明の半導体集積回路のインターフ
ェース回路では、外部端子に内部電源電圧によりも高い
電圧が印加されたとき、電圧緩和用のNチャネルの第1
のMOSトランジスタはゲートが内部電源電圧に接続さ
れているので、外部端子とは反対側の電圧は内部電源電
圧からこの第1のMOSトランジスタのしきい値電圧を
引いた値に低下する。また、外部端子にサージ電圧が印
加されたときは第1のMOSトランジスタを経由してサ
ージ電圧保護回路から逃がされる。
【0046】請求項8の発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路では、外部端子に内部電源電圧によりも
高い電圧が印加されたとき、電圧緩和用のNチャネルの
第1のMOSトランジスタはゲートが内部電源電圧に接
続されているので、外部端子とは反対側の電圧は内部電
源電圧からこの第1のMOSトランジスタのしきい値電
圧を引いた値に低下し、この低下した電圧が内部回路に
供給される。また、外部端子にサージ電圧が印加された
ときは第1のMOSトランジスタを経由してサージ電圧
保護回路から逃がされる。
【0047】請求項14の発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路では、外部端子に内部電源電圧よりも
高い電圧が印加されたとき、電圧緩和用のNチャネルの
第1のMOSトランジスタはゲートが内部電源電圧に接
続されているので、外部端子とは反対側の電圧は内部電
源電圧からこの第1のMOSトランジスタのしきい値電
圧を引いた値に低下し、この低下した電圧が内部回路に
供給される。また、外部端子にサージ電圧が印加された
ときは第2のMOSトランジスタを経由してサージ電圧
保護回路から逃がされる。
【0048】請求項20の発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路では、外部端子に内部電源電圧よりも
高い電圧が印加されたとき、電圧緩和用のNチャネルの
第1及び第2のMOSトランジスタはそれそれゲートが
内部電源電圧に接続されているので、外部端子とは反対
側の電圧は内部電源電圧からこの第1及び第2のMOS
トランジスタのしきい値電圧を引いた値に低下し、この
低下した電圧が内部回路に供給される。また、外部端子
にサージ電圧が印加されたときは第1及び第2のMOS
トランジスタを経由して第1及び第2のサージ電圧保護
回路から逃がされる。
【0049】
【実施例】以下図面を参照してこの発明を実施例により
説明する。図1はこの発明の半導体集積回路のインター
フェース回路を、前記図62に示したような、3.3V
電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信号が
入力可能な入力回路に適用した第1の実施例の回路であ
る。入力端子11には電圧緩和用のNMOS12のソース・
ドレイン間の電流通路の一端が接続されている。このN
MOS12のゲートには3.3V系の電源電圧VCCが供給
されている。また、上記NMOS12の電流通路の他端
は、保護回路13を介して内部回路の入力段のPMOS14
及びNMOS15の共通ゲートに接続されている。上記保
護回路13はPMOS16とNMOS17からなり、PMOS
16のソース及びゲートは電源電圧VCCに接続され、ドレ
インは上記PMOS14及びNMOS15の共通ゲートに接
続され、NMOS17のソース及びゲートは基準電源電圧
VSSに接続され、ドレインは上記PMOS14及びNMO
S15の共通ゲートに接続されている。さらに、上記入力
段のPMOS14及びNMOS15のドレインは共通に接続
され、この共通ドレインの信号が集積回路内部に与えら
れるようになっており、NMOS15のソースは基準電源
電圧VSSに接続されている。また、電源電圧VCCと上記
PMOS14のソースとの間にはPMOS18のソース・ド
レイン間の電流通路が接続され、このPMOS18のゲー
トは入力端子11に接続されている。
【0050】すなわち、この実施例回路の特徴は、電圧
緩和用のNMOS12のソース・ドレイン間の電流通路が
入力端子11と保護回路13との間に配置されていることで
ある。なお、今後、図示していないMOSトランジスタ
のバックゲートの接続は、PMOS及びNMOS共それ
ぞれのソースに接続されているものとする。
【0051】このような構成の入力回路において、入力
端子11に5Vの信号が印加されたとき、NMOS12のゲ
ートには3.3Vの電源電圧VCCが供給されているの
で、そのしきい値電圧をVTNとすると、このNMOS12
のソース、ドレインのうち保護回路13側に接続された方
の電圧はVCC−VTN以上にはならない。従って、このN
MOS12のゲートとソース、ドレインとの間には5Vの
電圧は加わらず、さらにPMOS14、16とNMOS15、
17それぞれのゲートとソース、ドレインとの間にも5V
の電圧は加わらない。このため、保護回路13内のものを
含む全てのMOSトランジスタのゲート酸化膜破壊は起
こらない。なお、この場合にも、PMOS14とVCCとの
間にはゲートが入力端子11の信号で制御されるPMOS
18が接続されているので、電源電圧VCCとVSSとの間に
は貫通電流は流れることがない。
【0052】一方、入力端子11にサージ電圧が印加され
た場合、NMOS12及びこのNMOS12のソース、バッ
クゲート及びドレインからなる寄生NPN型のバイポー
ラトランジスタを経由してNMOS12の電流の通路の他
端側に伝わり、さらに保護回路13内でPMOS16のドレ
インとバックゲートとの間に寄生的に存在しているPN
ダイオード又はNMOS17のドレインとバックゲートと
の間に寄生的に存在しているPNダイオードを介してサ
ージ電圧が電源電圧VCC又は基準電源電圧VSSに逃がさ
れる。この結果、内部回路をESD破壊から防ぐことが
できる。
【0053】図2及び図3はそれぞれこの発明の半導体
集積回路のインターフェース回路を入力回路に適用した
図1とは異なる第2及び第3の実施例を示す回路であ
る。図2の実施例の入力回路では、図1の実施例回路に
おいて、入力端子11と、NMOS12の電流通路の一端及
びPMOS18のゲートとの共通接続点との間に、前記図
60、図61で設けられているような保護用の抵抗87と
同様の抵抗19を接続するようにしたものである。また、
図3の実施例の入力回路では、上記図2の実施例回路中
の保護用の抵抗19を19Aと19Bの2つに分け、一方の抵
抗19Aは入力端子11とNMOS12との間に接続し、他方
の抵抗19Bは入力端子11とPMOS18のゲートとの間に
接続するようにしたものである。
【0054】上記図2及び図3に示した第2及び第3の
実施例回路では、各抵抗とMOSトランジスタのゲート
容量からなるCR型のローパス・フィルタにより、入力
端子11にサージ電圧が印加されたときにその電圧が直ち
に保護回路13等に加わらないようにすることができ、E
SD破壊に対してより強固とすることができる。
【0055】図4はこの発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて構
成され、5V電源系の信号が入力可能な入力回路に適用
した第4の実施例を示す回路である。この実施例回路が
前記図1のものと異なっている点は、保護回路13内のP
MOS16に替えてNMOS20を設けたところである。こ
のNMOS20のドレインは電源電圧VCCに接続され、ソ
ースはPMOS14及びNMOS15の共通ゲートに接続さ
れ、ゲートは基準電源電圧VSSに接続されている。
【0056】このような構成でなる回路では、入力端子
11に正極性のサージ電圧が印加されたときに、保護回路
13内のNMOS20のソース、バックゲート及びドレイン
から構成されるNPN型の寄生バイポーラトランジスタ
によるトランジスタ動作により、VCCに逃がされること
が図1の場合と異なる。
【0057】図5及び図6はそれぞれこの発明の半導体
集積回路のインターフェース回路を入力回路に適用した
図4とは異なる第5及び第6の実施例を示す回路であ
る。図5の実施例の入力回路では、入力端子11と、NM
OS12の電流通路の一端及びPMOS18のゲートとの共
通接続点との間に、前記図60、図61で設けられてい
るものと同様の保護用の抵抗19を接続するようにしたも
のである。また、図6の実施例の入力回路では、上記図
5の実施例回路中の保護用の抵抗19を19Aと19Bの2つ
に分け、一方の抵抗19Aは入力端子11とNMOS12との
間に接続し、他方の抵抗19Bは入力端子11とPMOS18
のゲートとの間に接続するようにしたものである。
【0058】上記図5及び図6に示した第5及び第6の
実施例回路では、前記同様の理由により、入力端子11に
サージ電圧が印加されたときにその電圧が直ちに保護回
路13等に加わらないようにすることができ、ESD破壊
に対してより強固とすることができる。
【0059】図7はこの発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路を、前記図63に示したような、3.3
V電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信号
が入力可能な入力回路に適用した第7の実施例を示す回
路である。
【0060】すなわち、この実施例回路は、前記図1の
実施例回路に比べて、PMOS18が省略されている点が
異なっている。従って、その実質的な効果は図1の実施
例回路の場合と同様である。
【0061】図8はこの発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路を入力回路に適用した図7とは異なる第
8の実施例を示す回路である。この図8の実施例の入力
回路では、図7の実施例回路において、入力端子11とN
MOS12の電流通路の一端との間に、前記図60、図6
1で設けられているものと同様の保護用の抵抗19を接続
するようにしたものである。この図8の実施例も、前記
図2、図3や図5、図6の実施例の場合と同様の理由に
より、入力端子11にサージ電圧が印加されたときにその
電圧が直ちに保護回路13等に加わらないようにすること
ができ、ESD破壊に対してより強固とすることができ
る。
【0062】図9はこの発明の半導体集積回路のインタ
ーフェース回路を、前記図63に示したような、3.3
V電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信号
が入力可能な入力回路に適用した第9の実施例を示す回
路である。この実施例回路は、前記図4の実施例回路に
比べてPMOS18が省略されている点が異なっている。
従って、その実質的な効果は図4の実施例回路の場合と
同様である。
【0063】図10はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図9とは異なる
第10の実施例を示す回路である。この図10の実施例
の入力回路では、図9の実施例回路において、入力端子
11とNMOS12の電流通路の一端との間に、前記図6
0、図61で設けられているものと同様の保護用の抵抗
19を接続するようにしたものである。この図10の実施
例も、前記図2、図3や図5、図6の実施例の場合と同
様の理由により、入力端子11にサージ電圧が印加された
ときにその電圧が直ちに保護回路13等に加わらないよう
にすることができ、ESD破壊に対してより強固とする
ことができる。
【0064】図11はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成され、5V電源系の信号が入力可能な入力回路に適
用した第11の実施例を示す回路である。入力端子11に
は電圧緩和用の第1のNMOS12Aのソース・ドレイン
間の電流通路の一端が接続されている。このNMOS12
Aのゲートには3.3V系の電源電圧VCCが供給されて
いる。また、上記NMOS12Aの電流通路の他端は、第
1の保護回路13Aを介して内部回路の入力段のPMOS
14及びNMOS15の共通ゲートに接続されている。上記
第1の保護回路13AはPMOS16AとNMOS17Aから
なり、PMOS16Aのソース及びゲートは電源電圧VCC
に接続され、ドレインは上記PMOS14及びNMOS15
の共通ゲートに接続され、NMOS17Aのソース及びゲ
ートは基準電源電圧VSSに接続され、ドレインは上記P
MOS14及びNMOS15の共通ゲートに接続されてい
る。さらに、上記入力段のPMOS14及びNMOS15の
ドレインは共通に接続され、この共通ドレインの信号が
集積回路内部に与えられるようになっており、NMOS
15のソースは基準電源電圧VSSに接続されている。ま
た、電源電圧VCCと上記PMOS14のソースとの間には
PMOS18のソース・ドレイン間の電流通路が接続さ
れ、このPMOS18のゲートは入力端子11に接続されて
いる。
【0065】また、入力端子11には電圧緩和用の第2の
NMOS12Bのソース・ドレイン間の電流通路の一端が
接続されている。このNMOS12Bのゲートには3.3
V系の電源電圧VCCが供給されている。また、上記NM
OS12Bの電流通路の他端には、第1の保護回路13Aと
同様にPMOS16BとNMOS17Bからなる第2の保護
回路13Bが接続されている。この第2の保護回路13Bに
おいて、PMOS16Bのソース及びゲートは電源電圧V
CCに接続され、ドレインはNMOS12Bの電流通路の他
端に接続され、NMOS17Bのソース及びゲートは基準
電源電圧VSSに接続され、ドレインはNMOS12Bの電
流通路の他端に接続されている。
【0066】すなわち、この実施例回路の特徴は、電圧
緩和用のNMOSとして第1のNMOS12Aと第2のN
MOS12Bが設けられている点と、第1のNMOS12A
のソース・ドレイン間の電流通路が入力端子11と第1の
保護回路13Aとの間に配置されている点と、第2のNM
OS12Bのソース・ドレイン間の電流通路が入力端子11
と第2の保護回路13Bとの間に配置されている点であ
る。
【0067】この実施例回路では、入力端子11に5Vの
信号が印加されたとき、第1、第2のNMOS12A、12
Bの各ゲートには3.3Vの電源電圧VCCが供給されて
いるので、そのしきい値電圧をVTNとすると、このNM
OS12A、12Bのソース、ドレインのうち第1、第2の
保護回路13A、13B側に接続された方の電圧はVCC−V
TN以上にはならない。従って、第1、第2のNMOS12
A、12Bのゲートとソース、ドレインとの間には5Vの
電圧は加わらず、さらにPMOS16A、16B、14とNM
OS17A、17B、15それぞれのゲートとソース、ドレイ
ンとの間にも5Vの電圧は加わらない。このため、第
1、第2の保護回路13A、13B内のものを含む全てのM
OSトランジスタのゲート酸化膜破壊は起こらない。
【0068】一方、入力端子11にサージ電圧が印加され
た場合には、第2のNMOS12Bを経由して、第2の保
護回路13B内でPMOS16Bのドレインとバックゲート
との間に寄生的に存在しているPNダイオード又はNM
OS17Bのドレインとバックゲートとの間に寄生的に存
在しているPNダイオードを介してサージ電圧が電源電
圧VCC又は基準電源電圧VSSに逃がされ、内部回路をE
SD破壊から防ぐことができる。
【0069】なお、この実施例回路の場合、第2の保護
回路13Bによって内部回路をESD破壊から防ぐため、
第1の保護回路13Aは補助的なものである。従って、第
1の保護回路13A内のMOSトランジスタとして第2の
保護回路13B内のものに比べて十分に小さなサイズのも
のを用いることができ、あるいは図14に示す第14の
実施例回路のように第1の保護回路13Aを省略すること
もできる。
【0070】図12及び図13はそれぞれこの発明の半
導体集積回路のインターフェース回路を入力回路に適用
した図11とは異なる第12及び第13の実施例を示す
回路である。図12の実施例の入力回路は、図11の実
施例回路において、入力端子11と、第1、第2のNMO
S12A、12Bそれぞれの電流通路の一端及びPMOS18
のゲートとの共通接続点との間に、前記図60、図61
で設けられているものと同様の保護用の抵抗19を接続す
るようにしたものである。また、図13の実施例の入力
回路では、上記図12の実施例回路中の保護用の抵抗19
を19Aと19Bの2つに分け、一方の抵抗19Aは入力端子
11と第1のNMOS12Aとの間に接続し、他方の抵抗19
Bは入力端子11とPMOS18のゲートとの間に接続する
ようにしたものである。
【0071】この図12、図13の実施例も、前記図
2、図3の実施例の場合と同様の理由により、入力端子
11にサージ電圧が印加されたときにその電圧が直ちに保
護回路13A等に加わらないようにすることができ、ES
D破壊に対してより強固とすることができる。
【0072】さらに、上記第12及び第13の実施例回
路の場合、第11の実施例回路と同様に、第2の保護回
路13Bによって内部回路をESD破壊から防ぐため、第
1の保護回路13Aは補助的なものである。従って、第1
の保護回路13A内のMOSトランジスタとして第2の保
護回路13B内のものに比べて十分に小さなサイズのもの
を用いることができ、あるいは図15に示す第15の実
施例回路、図16に示す第16の実施例回路のようにそ
れぞれ第1の保護回路13Aを省略することもできる。
【0073】図17はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成され、5V電源系の信号が入力可能な入力回路に適
用した第17の実施例を示す回路である。この実施例回
路が前記図11のものと異なっている点は、第1、第2
の保護回路13A、13B内のPMOS16A、16Bに替えて
NMOS20A、20Bを設けたところである。上記一方の
NMOS20Aのドレインは電源電圧VCCに接続され、ソ
ースはPMOS14及びNMOS15の共通ゲートに接続さ
れ、ゲートは基準電源電圧VSSに接続されている。ま
た、他方のNMOS20Bのドレインは電源電圧VCCに接
続され、ソースはNMOS12Bと17Bの接続点に接続さ
れ、ゲートは基準電源電圧VSSに接続されている。
【0074】このような構成でなる回路では、入力端子
11に正極性のサージ電圧が印加されたときに、保護回路
13A、13B内のNMOS20A、20Bのソース、バックゲ
ート及びドレインから構成されるNPN型の寄生バイポ
ーラトランジスタのトランジスタ動作によりVCCに逃が
されることが図11の場合と異なる。
【0075】なお、この実施例回路の場合、第2の保護
回路13Bによって内部回路をESD破壊から防ぐため、
第1の保護回路13Aは補助的なものである。従って、第
1の保護回路13A内のMOSトランジスタとして第2の
保護回路13B内のものに比べて十分に小さなサイズのも
のを用いることができ、あるいは図20に示す第20の
実施例回路のように第1の保護回路13Aを省略すること
もできる。
【0076】図18及び図19はそれぞれこの発明の半
導体集積回路のインターフェース回路を入力回路に適用
した図17とは異なる第18及び第19の実施例を示す
回路である。図18の実施例の入力回路では、入力端子
11と、NMOS12A及び12Bの電流通路の各一端及びP
MOS18のゲートとの共通接続点との間に、前記図6
0、図61で設けられているものと同様の保護用の抵抗
19を接続するようにしたものである。また、図19の実
施例の入力回路では、上記図18の実施例回路中の保護
用の抵抗19を19Aと19Bの2つに分け、一方の抵抗19A
は入力端子11とNMOS12Aとの間に接続し、他方の抵
抗19Bは入力端子11とPMOS18のゲートとの間に接続
するようにしたものである。
【0077】さらに、上記第18及び第19の実施例回
路の場合、第17の実施例回路と同様に、第2の保護回
路13Bによって内部回路をESD破壊から防ぐため、第
1の保護回路13Aは補助的なものである。従って、第1
の保護回路13A内のMOSトランジスタとして第2の保
護回路13B内のものに比べて十分に小さなサイズのもの
を用いることができ、あるいは図21に示す第21の実
施例回路、図22に示す第22の実施例回路のようにそ
れぞれ第1の保護回路13Aを省略することもできる。
【0078】図23はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成され、5V電源系の信号が入力可能な入力回路に適
用した第23の実施例を示す回路である。この実施例回
路が前記図11のものと異なっている点は、PMOS18
を省略した点と、第1の保護回路13A内のPMOS16A
に替えてNMOS20Aを設けた点にある。上記NMOS
20Aのドレインは電源電圧VCCに接続され、ソースはP
MOS14及びNMOS15の共通ゲートに接続され、ゲー
トは基準電源電圧VSSに接続されている。このように第
1の保護回路13Aと第2の保護回路13Bとで内部構成を
変えることもできる。
【0079】なお、この実施例回路の場合、第2の保護
回路13Bによって内部回路をESD破壊から防ぐため、
第1の保護回路13Aは補助的なものである。従って、第
1の保護回路13A内のMOSトランジスタとして第2の
保護回路13B内のものに比べて十分に小さなサイズのも
のを用いることができ、あるいは図25に示す第25の
実施例回路のように第1の保護回路13Aを省略すること
もできる。
【0080】図24はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図23とは異な
る第24の実施例を示す回路である。図24の実施例の
入力回路は、図23の実施例回路において、入力端子11
と、第1、第2のNMOS12A、12Bの電流通路の各一
端との間に、前記図60、図61で設けられているもの
と同様の保護用の抵抗19を接続するようにしたものであ
る。この図24の実施例も、前記図2の実施例の場合と
同様の理由により、入力端子11にサージ電圧が印加され
たときにその電圧が直ちに保護回路13A等に加わらない
ようにすることができ、ESD破壊に対してより強固と
することができる。
【0081】さらに、上記第24の実施例回路の場合、
第23の実施例回路と同様に、第2の保護回路13Bによ
って内部回路をESD破壊から防ぐため、第1の保護回
路13Aは補助的なものである。従って、第1の保護回路
13A内のMOSトランジスタとして第2の保護回路13B
内のものに比べて十分に小さなサイズのものを用いるこ
とができ、あるいは図26に示す第26の実施例回路の
ように第1の保護回路13Aを省略することもできる。
【0082】図27はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した第27の実施例
を示す回路である。この実施例回路が前記図23のもの
と異なっている点は、第2の保護回路13B内のPMOS
16Bに替えてNMOS20Bを設けた点にある。上記NM
OS20Bのドレインは電源電圧VCCに接続され、ソース
はNMOS12Bと17Bとの接続点に接続され、ゲートは
基準電源電圧VSSに接続されている。
【0083】この実施例回路の場合も、第2の保護回路
13Bによって内部回路をESD破壊から防ぐため、第1
の保護回路13Aは補助的なものである。従って、第1の
保護回路13A内のMOSトランジスタとして第2の保護
回路13B内のものに比べて十分に小さなサイズのものを
用いることができ、あるいは図29に示す第29の実施
例回路のように第1の保護回路13Aを省略することもで
きる。
【0084】図28はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図27とは異な
る第28の実施例を示す回路である。図28の実施例の
入力回路は、図27の実施例回路において、入力端子11
と、第1のNMOS12Aの電流通路の一端との間に、前
記図60、図61で設けられているものと同様の保護用
の抵抗19を接続するようにしたものである。この図28
の実施例も、前記図2の実施例の場合と同様の理由によ
り、入力端子11にサージ電圧が印加されたときにその電
圧が直ちに保護回路13A等に加わらないようにすること
ができ、ESD破壊に対してより強固とすることができ
る。
【0085】さらに、上記第28の実施例回路の場合、
第27の実施例回路と同様に、第2の保護回路13Bによ
って内部回路をESD破壊から防ぐため、第1の保護回
路13Aは補助的なものである。従って、第1の保護回路
13A内のMOSトランジスタとして第2の保護回路13B
内のものに比べて十分に小さなサイズのものを用いるこ
とができ、あるいは図30に示す第30の実施例回路の
ように第1の保護回路13Aを省略することもできる。
【0086】図31はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図62に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信
号が入力可能な入力回路に適用した第31の実施例の回
路である。入力端子11には電圧緩和用のNMOS12のソ
ース・ドレイン間の電流通路の一端が接続されている。
このNMOS12のゲートには3.3V系の電源電圧VCC
が供給されている。また、上記NMOS12の電流通路の
他端は内部回路の入力段のPMOS14及びNMOS15の
共通ゲートに接続されている。上記入力段のPMOS14
及びNMOS15のドレインは共通に接続され、この共通
ドレインの信号が集積回路内部に与えられるようになっ
ており、NMOS15のソースは基準電源電圧VSSに接続
されている。また、電源電圧VCCと上記PMOS14のソ
ースとの間にはPMOS18のソース・ドレイン間の電流
通路が接続され、このPMOS18のゲートは入力端子11
に接続されている。
【0087】上記NMOS12の電流通路の他端にはNM
OS21のドレインが接続されている。このNMOS21の
ソース及びゲートは基準電源電圧VSSに接続されてい
る。さらに上記入力端子11にはNMOS22のソースが接
続されている。このNMOS22のドレインは電源電圧V
CCに接続され、ゲートは上記NMOS12と21の接続点で
あるノードaに接続されている。
【0088】すなわち、この実施例回路の特徴は、電圧
緩和用のNMOS12のソース・ドレイン間の電流通路が
入力端子11と内部回路の入力段との間に配置されている
点と、電圧緩和用のNMOS12の電流通路の他端とVSS
との間にNMOS21が接続されている点と、入力端子11
とVCCとの間にNMOS22が接続され、このNMOS22
のゲートには電圧緩和用のNMOS12を通過した信号が
供給される点である。
【0089】このような構成の入力回路において、入力
端子11に負極性のサージ電圧か印加された場合には、N
MOS12を経由して、NMOS21のドレインとバックゲ
ートとの間に寄生的に存在しているPNダイオードを介
してサージ電圧が基準電源電圧VSSに逃がされる。
【0090】一方、入力端子11に印加される信号が0V
の基準電源電圧VSSと電源電圧VCCの間にある限り、N
MOS22はオンすることがない。なぜならば、電圧緩和
用のNMOS12のゲートはVCCに固定されているので、
このNMOS12の電流通路の他端とNMOS21、22が接
続されているノードaの電圧Vaは、0≦Va≦VCC−
VTN(VTNはNMOS12のしきい値電圧)である。そし
て、入力端子11に印加される信号の電圧がVCC(Hレベ
ル)のとき、NMOS22に関してはゲート・ソース間電
圧VGS=0Vなので、このNMOS22はオフ状態にな
る。従って、5Vの電圧が内部回路の入力段に加わるこ
とはない。
【0091】また、入力端子11に電源電圧以上の正極性
のサージ電圧が加わった場合、このサージ電圧はNMO
S22及びこのNMOS22のドレイン、バックゲート及び
ソースによるNPN型の寄生バイポーラトランジスタを
経由してVCCに逃がされる。従って、入力端子11にNM
OS22のソースを接続しているにもかかわらず、サージ
電圧が印加された場合でもゲート酸化膜破壊は起こらな
い。
【0092】図32及び図33はそれぞれこの発明の半
導体集積回路のインターフェース回路を入力回路に適用
した図31とは異なる第32及び第33の実施例を示す
回路である。図32の実施例の入力回路では、図31の
実施例回路において、入力端子11とNMOS12の電流通
路の一端との間に、前記図60、図61で設けられてい
るものと同様の保護用の抵抗19を接続するようにしたも
のである。また、図33の実施例の入力回路では、上記
図32の実施例回路中の保護用の抵抗19を19Aと19Bの
2つに分け、一方の抵抗19Aは入力端子11とNMOS12
との間に接続し、他方の抵抗19Bは入力端子11とPMO
S18のゲートとの間に接続するようにしたものである。
【0093】上記図32及び図33に示した第32及び
第33の実施例回路では、入力端子11にサージ電圧が印
加されたときにその電圧が直ちに電圧緩和用のNMOS
12や内部回路に加わらないようにすることができ、ES
D破壊に対してより強固とすることができる。
【0094】図34はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図62に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信
号が入力可能な入力回路に適用した第34の実施例の回
路である。この実施例回路において、入力端子11には電
圧緩和用の第1のNMOS12Aのソース・ドレイン間の
電流通路の一端が接続されている。このNMOS12Aの
ゲートには3.3V系の電源電圧VCCが供給されてい
る。また、上記NMOS12Aの電流通路の他端にはES
D保護用のNMOS21Aのドレインが接続されている。
このNMOS21Aのソース及びゲートは基準電源電圧V
SSに接続されている。また、上記NMOS12Aの電流通
路の他端には内部回路の入力段のPMOS14及びNMO
S15の共通ゲートが接続されている。上記入力段のPM
OS14及びNMOS15のドレインは共通に接続され、こ
の共通ドレインの信号が集積回路内部に与えられるよう
になっており、NMOS15のソースは基準電源電圧VSS
に接続されている。また、電源電圧VCCと上記PMOS
14のソースとの間にはPMOS18のソース・ドレイン間
の電流通路が接続され、このPMOS18のゲートは入力
端子11に接続されている。
【0095】また、入力端子11には電圧緩和用の第2の
NMOS12Bのソース・ドレイン間の電流通路の一端が
接続されている。このNMOS12Bのゲートには3.3
V系の電源電圧VCCが供給されている。また、上記NM
OS12Bの電流通路の他端にはNMOS21Bのドレイン
が接続されている。このNMOS21Bのソース及びゲー
トは基準電源電圧VSSに接続されている。そして、ソー
スが入力端子11に、ドレインがVCCに接続されたNMO
S22のゲートは電圧緩和用の第2のNMOS12Bの電流
通路の他端、すなわち、NMOS12BとNMOS21Bの
接続点に接続さている。
【0096】すなわち、この実施例回路の特徴は、図3
1の実施例回路に対してNMOS12BとNMOS21Bが
追加されている点である。
【0097】この実施例回路では、入力端子11に5Vの
信号が印加されたとき、NMOS12Aのゲートには3.
3Vの電源電圧VCCが供給されているので、そのしきい
値電圧をVTNとすると、このNMOS12Aの電流通路の
他端側の電圧はVCC−VTN以上にはならない。従って、
このNMOS12Aのゲートとソース、ドレインとの間に
は5Vの電圧は加わらず、さらにPMOS14、15それぞ
れのゲートとソース、ドレインとの間にも5Vの電圧は
加わらない。このため、これらMOSトランジスタのゲ
ート酸化膜破壊は起こらない。
【0098】一方、入力端子11にサージ電圧が印加され
た場合には、NMOS12Bを経由して、NMOS21Bも
しくはNMOS22を介してサージ電圧が基準電源電圧V
SS又は電源電圧VCCに逃がされ、これにより内部回路を
ESD破壊から防ぐことができる。
【0099】図35及び図36はそれぞれこの発明の半
導体集積回路のインターフェース回路を入力回路に適用
した図34とは異なる第35及び第36の実施例を示す
回路である。図35の実施例の入力回路では、図34の
実施例回路において、入力端子11とNMOS12A、12B
の電流通路の各一端との間に、前記図60、図61で設
けられているものと同様の保護用の抵抗19を接続するよ
うにしたものである。また、図36の実施例の入力回路
では、上記図35の実施例回路中の保護用の抵抗19を19
Aと19Bの2つに分け、一方の抵抗19Aは入力端子11と
NMOS12Aとの間に接続し、他方の抵抗19Bは入力端
子11とPMOS18のゲートとの間に接続するようにした
ものである。
【0100】上記図35及び図36に示した第35及び
第35の実施例回路では、入力端子11にサージ電圧が印
加されたときにその電圧が直ちに電圧緩和用のNMOS
12Aや内部回路に加わらないようにすることができ、E
SD破壊に対してより強固とすることができる。
【0101】図37はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図63に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信
号が入力可能な入力回路に適用した第37の実施例を示
す回路である。
【0102】すなわち、この実施例回路は、前記図31
の実施例回路に比べて、PMOS18が省略されている点
が異なっている。従って、その実施的な効果は図31の
実施例回路の場合と同様である。
【0103】図38はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図37とは異な
る第38の実施例を示す回路である。この図38の実施
例の入力回路では、図37の実施例回路において、入力
端子11とNMOS12の電流通路の一端でかつ入力端子11
とNMOS22の電流通路の一端との間に、前記図60、
図61で設けられているものと同様の保護用の抵抗19を
接続するようにしたものである。この図38の実施例
も、前記図2、図3や図5、図6の実施例の場合と同様
の理由により、入力端子11にサージ電圧が印加されたと
きにその電圧が直ちに保護回路13等に加わらないように
することができ、ESD破壊に対してより強固とするこ
とができる。
【0104】図39はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図37とは異な
る第39の実施例を示す回路である。この図39の実施
例の入力回路では、図37の実施例回路において、入力
端子11とNMOS12の電流通路の一端とのでかつNMO
S22の電流通路の一端とNMOS12の電流通路の一端と
間に保護用の抵抗19を接続するようにしたものである。
【0105】図40はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図63に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成され、5V電源系の信
号が入力可能な入力回路に適用した第40の実施例を示
す回路である。
【0106】すなわち、この実施例回路は、前記図34
の実施例回路に比べて、PMOS18が省略されている点
が異なっている。従って、その実質的な効果は図34の
実施例回路の場合と同様である。
【0107】図41はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図40とは異な
る第41の実施例を示す回路である。この図41の実施
例の入力回路では、図40の実施例回路において、入力
端子11とNMOS12A、12Bの電流通路の各一端との間
に、前記図60、図61で設けられているものと同様の
保護用の抵抗19を接続するようにしたものである。この
図41の実施例も、前記図2、図3や図5、図6の実施
例の場合と同様の理由により、入力端子11にサージ電圧
が印加されたときにその電圧が直ちに保護回路13等に加
わらないようにすることができ、ESD破壊に対してよ
り強固とすることができる。
【0108】図42はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を入力回路に適用した図40とは異な
る第42の実施例を示す回路である。この図42の実施
例の入力回路では、上記図41の実施例回路中の保護用
の抵抗19を19Aと19Bの2つに分け、一方の抵抗19Aは
入力端子11とNMOS12Aとの間に接続し、他方の抵抗
19BはNMOS12Bの電流通路の他端とNMOS22のゲ
ートとの間に接続するようにしたものである。
【0109】図43はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図64に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成された出力回路に適用
した第43の実施例の回路である。この図43に示した
出力回路は基本的には、3.3V電源系の入力信号INPU
T と出力イネーブル信号ENABLEとが供給されるNAND
ゲート31の出力に応じて出力段のPMOS32のゲート制
御を行うことにより、出力端子33からHレベル3.3V
(VCC)の信号電圧を出力し、他方、入力信号INPUT と
出力イネーブル信号ENABLEとが供給されるNORゲート
34の出力に応じて出力段のNMOS35のゲート制御を行
うことにより、出力端子33からLレベル0V(VSS)の
信号電圧を出力するようにしたものである。
【0110】そして、上記出力端子33には電圧緩和用の
NMOS36のソース・ドレイン間の電流通路の一端が接
続されており、このNMOS36の電流通路の他端は保護
回路37を介して上記NMOS35のドレインに接続されて
いる。上記NMOS36のゲートはVCCに接続されてい
る。上記保護回路37はPMOS38とNMOS39とから構
成されており、PMOS38のソース及びゲートはVCCに
接続され、ドレインはNMOS36と35の接続点に接続さ
れ、さらにNMOS39のソース及びゲートはVSSに接続
され、ドレインはNMOS36と35の接続点に接続されて
いる。
【0111】このような構成でなる出力回路において、
出力端子33は図示しないバスラインに接続される。従っ
て、このバスラインに接続された他の出力回路から5V
の電圧が出力される可能性があり、そのとき出力端子33
にはこの5Vの電圧が印加される。このとき、NMOS
36のゲートには3.3Vの電源電圧VCCが供給されてい
るので、そのしきい値電圧をVTNとすると、このNMO
S36のソース、ドレインのうち保護回路37側に接続され
た方の電圧はVCC−VTN以上にはならない。従って、こ
のNMOS36のゲートとソース、ドレインとの間には5
Vの電圧は加わらず、さらにNMOS35のゲートとソー
ス、ドレインとの間にも5Vの電圧は加わらない。この
ため、保護回路37内のものを含む全てのMOSトランジ
スタのゲート酸化膜破壊は起こらない。
【0112】一方、出力端子33にサージ電圧が印加され
た場合、NMOS36を経由して、保護回路37内でPMO
S38のドレインとバックゲートとの間に寄生的に存在し
ているPNダイオード又はNMOS39のドレインとバッ
クゲートとの間に寄生的に存在しているPNダイオード
を介してサージ電圧が電源電圧VCC又は基準電源電圧V
SSに逃がされ、内部回路をESD破壊から防ぐことがで
きる。
【0113】なお、上記以外のMOSトランジスタは出
力端子33をHレベルもしくはLレベルに設定する以外の
目的で補足的に設けられているものであるが、簡単にそ
の機能を説明すると、例えば、MOSトランジスタ40、
41、42、43は、出力端子33にVCC以上の電圧、例えば5
Vが印加された場合に回路が破壊されることを防ぐため
に設けられたものである。すなわち、いま、この出力回
路がトライステード状態にあるとする。このときNAN
Dゲート31はHレベルを出力している。出力端子33がV
CC以上にバイアスされた場合、PMOS43はオフ状態に
なり、MOSトランジスタ32、41、42、43の共通バック
ゲートはVCCから分離される。そして、この共通バック
ゲートは、PMOS32、42のドレインとバックゲートと
の間のPN接合を通じて、出力端子33の5VよりもVF
(PN接合の順方向降下電圧)だけ低い電圧まで引き上
げられて安定する。これで、通常の場合に起こる共通バ
ックゲートへのリークは押さえられる。一方、出力端子
33の5Vの電圧はPMOS42を介してPMOS32のゲー
トへ伝達される。このため、出力端子33がVCCよりも高
い電圧にバイアスされてもPMOS32はオンすることは
なく、VCCへのリークも生じない。またこのとき、PM
OS41はそのゲートが出力端子33と同じ5Vにされ、完
全にオフしており、NMOS40はそのゲートがVCCにさ
れているので、PMOS32のゲートに伝えられたVCC以
上の電圧がNANDゲート31の出力端子に現れることは
ない。以上が出力端子33にVCC以上の電圧が印加された
ときのMOSトランジスタ40、41、42、43の働きであ
る。
【0114】次に出力端子33がLレベルに変化したとき
の動作を説明する。PMOS43のゲート電圧が下がるこ
とによってこのPMOS43がオンし、MOSトランジス
タ32、41、42、43の共通バックゲートはVCCレベルにバ
イアスされる。なお、PMOS41は、出力端子33がVCC
よりも十分に低い電圧であり、NANDゲート31がHレ
ベルを出力しているときに、このNANDゲート31が出
力するHレベルをPMOS32のゲートに電圧低下を伴わ
ずに伝達する機能を持つ。
【0115】上記MOSトランジスタ44〜54はスイッチ
ング時の電源ノイズを低減するために設けられている。
いま、出力端子33がLレベル、すなわち入力信号INPUT
がLであるとする。このとき、NMOS47、48、54はオ
ンしており、NMOS35と36との接続点はLレベルであ
る。NMOS50は入力信号がLレベルなのでオフしてお
り、PMOS45のドレインはHレベルであり、PMOS
44はオフしている。この状態から入力信号がHレベルに
変化した場合を考える。PMOS47はオフ状態になり、
NMOS50がオンする。これで、VCCからMOSトラン
ジスタ45、46、50、51を通じて上記NMOS35と36との
接続点までの電流パスができる。このとき、PMOS45
のドレイン(PMOS44のゲート)は初期のVCCからレ
ベルが低下し、その結果、PMOS44がオンする。NM
OS49は元々オンしているため、PMOS44及びNMO
S49を通じてVCCからNANDゲート31の出力端子に向
かって電流が流れる。入力信号はHレベルに変化してい
るので、本来、NANDゲート31はLレベルを出力しよ
うとするが、VCCに通じているMOSトランジスタ44、
49のために、NANDゲート31の出力信号はゆっくりと
Lレベルになる。この結果、最終段のPMOS32がゆっ
くりとオンすることになり、電源ノイズの発生が低減さ
れる。この後は、出力端子33の電圧がゆっくりと上がる
につれてNMOS35と36との接続点の電圧が順次上が
り、その結果、PMOS45のドレインの電圧も順次上が
ることで、PMOS44がオフし、NANDゲート31の出
力信号が完全なHレベルになって安定する。また、出力
端子33がHレベルのときに、入力信号がLレベルに変化
するスイッチング時の場合も、同様に電源ノイズの発生
が低減される。そして、この図43の出力回路から、出
力端子33をLレベルに設定するための回路の要部を抜き
出して示したのが図47の回路である。
【0116】図44はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図64に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成された出力回路に適用
した第44の実施例の回路である。この図44の実施例
回路は、上記図43の実施例回路において、保護回路37
内のPOS38に替えてゲートがVSSに接続されたNMO
S55を用いるようにしたものである。この実施例回路の
場合、出力端子33に正極性のサージ電圧が印加されたと
き、保護回路37ではNMOS55の寄生バイポーラトラン
ジスタによるトランジスタ動作によりサージ電圧がVCC
に逃がされる。なお、負極性のサージ電圧が印加された
場合は図43と同様である。そして、この図44の出力
回路から、出力端子33をLレベルに設定するための回路
の要部を抜き出して示したのが図48の回路である。
【0117】図45はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図64に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成された出力回路に適用
した第45の実施例の回路である。この図45の実施例
回路は、上記図43の実施例回路において、保護回路37
内のNMOS38に替えて、ソース・ドレイン間の電流通
路がVCCと出力端子33との間に接続され、ゲートが前記
NMOS36と35の接続点に接続されたNMOS56を用い
るようにしたものである。上記NMOS56は、前記図3
1を用いて説明した入力回路におけるNMOS22に対応
しており、出力端子33に正極性のサージ電圧が印加され
たときに、NMOS36を通過しないで出力端子33から直
接、このNMOS56を介してサージ電圧をVCCに逃がす
ことができる。そして、この図45の出力回路から、出
力端子33をLレベルに設定するための回路の要部を抜き
出して示したのが図49の回路である。
【0118】図46はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、前記図64に示したような、3.
3V電源系プロセスを用いて構成された出力回路に適用
した第46の実施例の回路である。この実施例回路にお
いて、出力端子33には電圧緩和用の第1のNMOS36A
のソース・ドレイン間の電流通路の一端が接続されてい
る。このNMOS36Aのゲートには3.3V系の電源電
圧VCCが供給されている。また、上記NMOS36Aの電
流通路の他端にはESD保護用のNMOS39Aのドレイ
ンが接続されている。このNMOS39のソース及びゲー
トは基準電源電圧VSSに接続されている。また、上記N
MOS36Aの電流通路の他端には出力段のNMOS35の
ドレインが接続されている。
【0119】また、出力端子36には電圧緩和用の第2の
NMOS36Bのソース・ドレイン間の電流通路の一端が
接続されている。このNMOS36Bのゲートには3.3
V系の電源電圧VCCが供給されている。また、上記NM
OS36Bの電流通路の他端は上記NMOS39のドレイン
に接続されている。そして、ゲートがNMOS36Aと35
の接続点に接続されたNMOS56のソース・ドレイン間
の電流通路がVCCと出力端子33との間に接続されてい
る。
【0120】すなわち、この実施例回路の特徴は、図4
5の実施例回路に対して電圧緩和用の第2のNMOS36
Bが追加されている点である。
【0121】この実施例回路では、出力端子33に5Vの
信号が印加されたとき、NMOS36Aのゲートには3.
3Vの電源電圧VCCが供給されているので、そのしきい
値電圧をVTNとすると、このNMOS36Aの電流通路の
他端側の電圧はVCC−VTN以上にはならない。従って、
このNMOS36Aのゲートとソース、ドレインとの間に
は5Vの電圧は加わらず、さらにNMOS35のゲートと
ソース、ドレインとの間にも5Vの電圧は加わらない。
このため、これらMOSトランジスタのゲート酸化膜破
壊は起こらない。
【0122】一方、出力端子33にサージ電圧が印加され
た場合には、NMOS36Bを経由して、NMOS39もし
くは56を介してサージ電圧が基準電源電圧VSS又は電源
電圧VCCに逃がされ、これにより内部回路をESD破壊
から防ぐことができる。そして、この図46の出力回路
から、出力端子33をLレベルに設定するための回路の要
部を抜き出して示したのが図50の回路である。
【0123】図51は上記図45及び図49に示した実
施例回路とは異なる第47の実施例の回路である。この
実施例回路は、NMOS56のゲートをNMOS36と35の
接続点に直接に接続する代わりに、前記図60、図61
で設けられているものと同様の保護用の抵抗19を介して
接続するように構成を変えたものである。
【0124】図52は上記図45及び図49に示した実
施例回路とは異なる第48の実施例の回路である。この
実施例回路は、上記電圧緩和用の第1、第2のNMOS
36A、36Bを設けると共に、NMOS36Aと35の接続点
にESD保護用のNMOS39Aを接続し、NMOS36B
にESD保護用のNMOS39BとNMOS56を接続する
ようにしたものである。
【0125】この実施例の場合、出力端子33にサージ電
圧が印加されたとき、電圧緩和用の第2のNMOS36B
を経由し、NMOS39B又はNMOS56を介してVSS又
はVCCにサージ電圧が逃がされるので、電圧緩和用の第
1のNMOS36Aに接続されたNMOS36Aは補助的な
ものである。
【0126】図53はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成された入出力回路に適用した第49の実施例の回路
である。この実施例回路では入出力端子61が設けられて
おり、この入出力端子61を出力端子として使用する際に
入出力端子61からHレベルもしくはLレベルの信号を出
力するために前記図43ないし図46に示すように出力
段にPMOS32とNMOS35が設けられるものである
が、ここでは入出力端子61をLレベルに設定するための
回路の要部を抜き出して示している。すなわち、入出力
端子61には電圧緩和用のNMOS36のソース・ドレイン
間の電流通路の一端が接続されており、このNMOS36
の電流通路の他端は保護回路62を介して出力段のNMO
S35のドレインに接続されている。上記NMOS36のゲ
ートはVCCに接続されている。また、上記NMOS36の
電流通路の他端には上記保護回路62を介して入力段のP
MOS63及びNMOS64の共通ゲートが接続されてい
る。上記PMOS63及びNMOS64のドレインは共通に
接続され、この共通ドレインの信号が集積回路内部に与
えられるようになっている。また、上記NMOS64のソ
ースはVSSに接続され、PMOS63のソースとVCCとの
間には、前記図1等で示したものと同様の貫通電流防止
用のPMOS65のソース・ドレイン間の電流通路が接続
されている。また、このPMOS65のゲートは入出力端
子61に接続されている。
【0127】上記保護回路62はPMOS66とNMOS68
とから構成されており、PMOS66のソース及びゲート
はVCCに接続され、ドレインはNMOS36と35の接続点
に接続され、さらにNMOS67のソース及びゲートはV
SSに接続され、ドレインはNMOS36と35の接続点に接
続されている。
【0128】このような構成の入出力回路において、入
出力端子61に5Vの電圧が印加されたときは、前記のよ
うにNMOS36によって3Vの電源電圧VCCからそのし
きい値電圧VTNだけ低下した電圧がNMOS36と35の接
続点に現れるので、出力段及び入力段の各トランジスタ
のゲート酸化膜破壊は起こらない。
【0129】また、入出力端子61にサージ電圧が印加さ
れたときは、NMOS36を経由して保護回路62内でPM
OS66又はNMOS67を介してVCC又はVSSに逃がさ
れ、ESD破壊が防止される。
【0130】図54はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成された入出力回路に適用した第50の実施例の回路
である。この実施例回路が上記図53の実施例回路と異
なる点は、NMOS36の電流通路の他端と入力段のPM
OS63及びNMOS64の共通ゲートとの間に前記図3内
の抵抗19Aと同様の機能を持つ抵抗68Aを接続すると共
に、入出力端子61と入力段のPMOS65のゲートとの間
に前記図3内の抵抗19Bと同様の機能を持つ抵抗68Bを
接続するようにしたものである。
【0131】図55はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成された入出力回路に適用した第51の実施例の回路
である。この実施例回路が上記図53の実施例回路と異
なる点は、保護回路62内の前記PMOS66に替えてNM
OS69を用いるようにしたものである。このNMOS69
のドレインはVCCに、ゲートはVSSにそれぞれ接続さ
れ、ソースは前記NMOS36と35の接続点に接続されて
いる。
【0132】この実施例では、入出力端子61に正極性の
サージ電圧が印加されたとき、保護回路62内ではNMO
S69のソース、バックゲート及びドレインからなるNP
N型の寄生バイポーラトランジスタによるトランジスタ
動作により、サージ電圧がVCCに逃がされる点が図53
の実施例回路の場合と異なる。
【0133】図56はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成された入出力回路に適用した第52の実施例の回路
である。この実施例回路は、上記図55の実施例回路に
対し、前記図54のような抵抗68A、68Bを付加したも
のである。
【0134】図57はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成された入出力回路に適用した第53の実施例の回路
である。この実施例回路は、上記図55の実施例回路の
保護回路62内のPMOS66を設ける代わりに、前記図4
5及び図49の実施例のNMOS56と同様の機能を持つ
NMOS70を設けるようにしたものである。
【0135】図58はこの発明の半導体集積回路のイン
ターフェース回路を、3.3V電源系プロセスを用いて
構成された入出力回路に適用した第54の実施例の回路
である。この実施例回路は、上記図57の実施例回路に
対し、前記図54のような抵抗68A、68Bを付加したも
のである。
【0136】ところで、上記各実施例において、電圧緩
和用のNMOS12、36等と、保護回路内でVSS側に接続
されたNMOS17、21、39、67等とは集積回路内で互い
に近接した位置に配置されることが、本発明の効果をよ
り確実にする上で好ましい。また同様の理由で、電圧緩
和用のNMOS12、36等と、保護回路内でVCC側に接続
されたPMOS16、38、66、NMOS20、55、69等とは
集積回路内で互いに近接した位置に配置されることが好
ましい。何故ならば、電圧緩和用のNMOSがトランジ
スタ動作してサージ電圧を保護回路側に伝えるとき、保
護回路内のNMOSもトランジスタ動作してサージ電圧
をVCC側あるいはVSS側へ逃がし易くなるからである。
【0137】また、上記各実施例において、図59の
(a)に示すようにゲートが電源電圧VCCに接続されて
いるMOSトランジスタについては、図59の(b)に
示すようにゲートと電源電圧VCCとの間にゲート保護用
の抵抗Rを接続するように変形することが、本発明の効
果をより確実にする上で好ましい。すなわち、電源に混
入したサージがゲートに印加される際に、この抵抗Rと
ゲート容量とからなるCR型のローパス・フィルタ効果
が期待できるからである。
【0138】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
外部端子に印加されるサージ電圧から内部保護を図るこ
とができると共に内部電源電圧よりも高い信号電圧が外
部端子に印加された場合でも保護回路が破壊されること
がない半導体集積回路のインターフェース回路が提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した第1の実施例の回路図。
【図2】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した図1とは異なる第2実施例を
示す回路図。
【図3】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した図1とは異なる第3実施例を
示す回路図。
【図4】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した第4の実施例を示す回路図。
【図5】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した図4とは異なる第5の実施例
を示す回路図。
【図6】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した図4とは異なる第6の実施例
を示す回路図。
【図7】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した第7の実施例を示す回路図。
【図8】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した図7とは異なる第8の実施例
を示す回路図。
【図9】この発明の半導体集積回路のインターフェース
回路を入力回路に適用した第9の実施例を示す回路図。
【図10】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図9とは異なる第10の実
施例を示す回路図。
【図11】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第11の実施例を示す回路
図。
【図12】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図11とは異なる第12の
実施例を示す回路図。
【図13】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図11とは異なる第13の
実施例を示す回路図。
【図14】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図11とは異なる第14の
実施例を示す回路図。
【図15】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図11とは異なる第15の
実施例を示す回路図。
【図16】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図11とは異なる第16の
実施例を示す回路図。
【図17】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第17の実施例を示す回路
図。
【図18】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図17とは異なる第18の
実施例を示す回路図。
【図19】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図17とは異なる第19の
実施例を示す回路図。
【図20】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図17とは異なる第20の
実施例を示す回路図。
【図21】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図17とは異なる第21の
実施例を示す回路図。
【図22】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図17とは異なる第22の
実施例を示す回路図。
【図23】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第23の実施例を示す回路
図。
【図24】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図23とは異なる第24の
実施例を示す回路図。
【図25】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図23とは異なる第25の
実施例を示す回路図。
【図26】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図23とは異なる第26の
実施例を示す回路図。
【図27】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第27の実施例を示す回路
図。
【図28】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図27とは異なる第28の
実施例を示す回路図。
【図29】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第29の実施例を示す回路
図。
【図30】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第30の実施例を示す回路
図。
【図31】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第31の実施例の回路図。
【図32】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図31とは異なる第32の
実施例を示す回路図。
【図33】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図31とは異なる第33の
実施例を示す回路図。
【図34】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第34の実施例の回路図。
【図35】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図34とは異なる第35の
実施例を示す回路図。
【図36】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図34とは異なる第36の
実施例を示す回路図。
【図37】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第37の実施例を示す回路
図。
【図38】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図37とは異なる第38の
実施例を示す回路図。
【図39】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図37とは異なる第39の
実施例を示す回路図。
【図40】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した第40の実施例を示す回路
図。
【図41】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図40とは異なる第41の
実施例を示す回路図。
【図42】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入力回路に適用した図40とは異なる第42の
実施例を示す回路図。
【図43】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を出力回路に適用した第43の実施例の回路図。
【図44】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を出力回路に適用した第44の実施例の回路図。
【図45】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を出力回路に適用した第45の実施例の回路図。
【図46】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を出力回路に適用した第46の実施例の回路図。
【図47】図43の出力回路の要部を抜き出して示す回
路図。
【図48】図44の出力回路の要部を抜き出して示す回
路図。
【図49】図45の出力回路の要部を抜き出して示す回
路図。
【図50】図46の出力回路の要部を抜き出して示す回
路図。
【図51】図45及び図49に示した実施例回路とは異
なる第47の実施例の回路図。
【図52】図45及び図49に示した実施例回路とは異
なる第48の実施例の回路図。
【図53】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入出力回路に適用した第49の実施例の回路
図。
【図54】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入出力回路に適用した第50の実施例の回路
図。
【図55】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入出力回路に適用した第51の実施例の回路
図。
【図56】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入出力回路に適用した第52の実施例の回路
図。
【図57】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入出力回路に適用した第53の実施例の回路
図。
【図58】この発明の半導体集積回路のインターフェー
ス回路を入出力回路に適用した第54の実施例の回路
図。
【図59】上記各実施例の変形例の回路図。
【図60】従来の入力保護回路の一例を示す回路図。
【図61】従来の入力保護回路の他の例を示す回路図。
【図62】従来の入力回路の一例を示す回路図。
【図63】図62とは異なる従来の入力回路の例を示す
回路図。
【図64】従来の出力回路の一例を示す回路図。
【図65】図64の出力回路から要部を抜き出して示す
図。
【図66】図62の入力回路に図60の保護回路を使用
した場合の例を示す図。
【図67】図62の入力回路に図61の保護回路を使用
した場合の例を示す図。
【図68】図64の出力回路に前記図60の保護回路を
使用した場合の例を示す図。
【図69】図64の出力回路に前記図61の保護回路を
使用した場合の例を示す図。
【図70】図68の出力回路から要部を抜き出して示す
図。
【図71】図69の出力回路から要部を抜き出して示す
図。
【符号の説明】
11…入力端子、12,36…電圧緩和用のNMOS、13,3
7,62…保護回路、14,63…入力段のPMOS、15,1
8,64,65…入力段のNMOS、16,32,38,66…PM
OS、17,20,22,35,39,55,56,67,69,70…NM
OS、19,19A,19B,68A,68B…抵抗、33…出力端
子、61…入出力端子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/092 (72)発明者 増見 純也 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地1 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部端子と、ソース・ドレイン間の電流
    通路の一端が上記外部端子に接続され、ゲートが内部電
    源電圧に接続された電圧緩和用のNチャネルの第1のM
    OSトランジスタと、上記第1のMOSトランジスタの
    電流通路の他端に接続されたサージ電圧保護回路とを具
    備したことを特徴とする半導体集積回路のインターフェ
    ース回路。
  2. 【請求項2】 前記サージ電圧保護回路が、ソース及び
    ゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが前記
    第1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続され
    たPチャネルの第2のMOSトランジスタと、ソース及
    びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前記第
    1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続された
    Nチャネルの第3のMOSトランジスタとから構成され
    ている請求項1に記載の半導体集積回路のインターフェ
    ース回路。
  3. 【請求項3】 前記サージ電圧保護回路が、ドレインが
    前記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源電圧に
    接続され、ソースが前記第1のMOSトランジスタの電
    流通路の他端に接続されたNチャネルの第2のMOSト
    ランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に接続
    され、ドレインが前記第1のMOSトランジスタの電流
    通路の他端に接続された第2のNチャネルの第3のMO
    Sトランジスタとから構成されている請求項1に記載の
    半導体集積回路のインターフェース回路。
  4. 【請求項4】 前記外部端子が信号入力端子であること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のインタ
    ーフェース回路。
  5. 【請求項5】 前記外部端子が信号出力端子であること
    を特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のインタ
    ーフェース回路。
  6. 【請求項6】 前記外部端子が信号入出力兼用端子であ
    ることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路の
    インターフェース回路。
  7. 【請求項7】 外部端子と、ソース・ドレイン間の電流
    通路の一端が上記外部端子に接続され、ゲートに内部電
    源電圧が供給される電圧緩和用のNチャネルの第1のM
    OSトランジスタと、ソース・ドレイン間の電流通路が
    上記第1のMOSトランジスタの電流通路の他端と基準
    電源電圧との間に接続されたサージ電圧保護用のNチャ
    ネルの第2のMOSトランジスタと、ソース・ドレイン
    間の電流通路が上記内部電源電圧と上記外部端子の間に
    接続され、ゲートが上記第1のMOSトランジスタの電
    流通路の他端に接続されたサージ電圧保護用のNチャネ
    ルの第3のMOSトランジスタとを具備したことを特徴
    とする半導体集積回路のインターフェース回路。
  8. 【請求項8】 外部端子と、ソース・ドレイン間の電流
    通路の一端が上記外部端子に接続され、ゲートに内部電
    源電圧が供給される電圧緩和用のNチャネルの第1のM
    OSトランジスタと、上記第1のMOSトランジスタの
    電流通路の他端と内部回路との間に接続されたサージ電
    圧保護回路とを具備したことを特徴とする半導体集積回
    路のインターフェース回路。
  9. 【請求項9】 前記サージ電圧保護回路が、ソース及び
    ゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが前記
    第1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続され
    たPチャネルの第2のMOSトランジスタと、ソース及
    びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前記第
    1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続された
    Nチャネルの第3のMOSトランジスタとから構成され
    ている請求項8に記載の半導体集積回路のインターフェ
    ース回路。
  10. 【請求項10】 前記サージ電圧保護回路が、ドレイン
    が前記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源電圧
    に接続され、ソースが前記第1のMOSトランジスタの
    電流通路の他端に接続されたNチャネルの第2のMOS
    トランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に接
    続され、ドレインが前記第1のMOSトランジスタの電
    流通路の他端に接続されたNチャネルの第3のMOSト
    ランジスタとから構成されている請求項8に記載の半導
    体集積回路のインターフェース回路。
  11. 【請求項11】 前記外部端子が信号入力端子であるこ
    とを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路のイン
    ターフェース回路。
  12. 【請求項12】 前記外部端子が信号出力端子であるこ
    とを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路のイン
    ターフェース回路。
  13. 【請求項13】 前記外部端子が信号入出力兼用端子で
    あることを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路
    のインターフェース回路。
  14. 【請求項14】 外部端子と、ソース・ドレイン間の電
    流通路の一端が上記外部端子に接続され、電流通路の他
    端が内部回路に接続され、ゲートに内部電源電圧が供給
    される電圧緩和用のNチャネルの第1のMOSトランジ
    スタと、ソース・ドレイン間の電流通路の一端が上記外
    部端子に接続され、ゲートに内部電源電圧が供給される
    電圧緩和用のNチャネルの第2のMOSトランジスタ
    と、上記第2のMOSトランジスタの他端に接続された
    サージ電圧保護回路とを具備したことを特徴とする半導
    体集積回路のインターフェース回路。
  15. 【請求項15】 前記サージ電圧保護回路が、ソース及
    びゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレインが前
    記第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続さ
    れたPチャネルの第3のMOSトランジスタと、ソース
    及びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが前記
    第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続され
    たNチャネルの第4のMOSトランジスタとから構成さ
    れている請求項14に記載の半導体集積回路のインター
    フェース回路。
  16. 【請求項16】 前記サージ電圧保護回路が、ドレイン
    が前記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電源電圧
    に接続され、ソースが前記第2のMOSトランジスタの
    電流通路の他端に接続されたNチャネルの第3のMOS
    トランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧に接
    続され、ドレインが前記第2のMOSトランジスタの電
    流通路の他端に接続されたNチャネルの第4のMOSト
    ランジスタとから構成されている請求項14に記載の半
    導体集積回路のインターフェース回路。
  17. 【請求項17】 前記外部端子が信号入力端子であるこ
    とを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のイ
    ンターフェース回路。
  18. 【請求項18】 前記外部端子が信号出力端子であるこ
    とを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のイ
    ンターフェース回路。
  19. 【請求項19】 前記外部端子が信号入出力兼用端子で
    あることを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回
    路のインターフェース回路。
  20. 【請求項20】 信号入力端子と、ソース・ドレイン間
    の電流通路の一端が上記信号入力端子に接続され、ゲー
    トが内部電源電圧に接続された電圧緩和用のNチャネル
    の第1のMOSトランジスタと、上記第1のMOSトラ
    ンジスタの電流通路の他端と内部回路との間に接続され
    た第1のサージ電圧保護回路と、ソース・ドレイン間の
    電流通路の一端が上記信号入力端子に接続され、ゲート
    が内部電源電圧に接続された電圧緩和用のNチャネルの
    第2のMOSトランジスタと、上記第2のMOSトラン
    ジスタの電流通路の他端に接続された第2のサージ電圧
    保護回路とを具備したことを特徴とする半導体集積回路
    のインターフェース回路。
  21. 【請求項21】 前記第1のサージ電圧保護回路が、ソ
    ース及びゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレイ
    ンが前記第1のMOSトランジスタの電流通路の他端に
    接続されたPチャネルの第3のMOSトランジスタと、
    ソース及びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレイン
    が前記第1のMOSトランジスタの電流通路の他端に接
    続されたNチャネルの第4のMOSトランジスタとから
    構成され、かつ前記第2のサージ電圧保護回路が、ソー
    ス及びゲートが前記内部電源電圧に接続され、ドレイン
    が前記第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接
    続されたPチャネルの第5のMOSトランジスタと、ソ
    ース及びゲートが基準電源電圧に接続され、ドレインが
    前記第2のMOSトランジスタの電流通路の他端に接続
    されたNチャネルの第6のMOSトランジスタとから構
    成されている請求項20に記載の半導体集積回路のイン
    ターフェース回路。
  22. 【請求項22】 前記第1のサージ電圧保護回路が、ド
    レインが前記内部電源電圧に接続され、ゲートが基準電
    源電圧に接続され、ソースが前記第2のMOSトランジ
    スタの電流通路の他端に接続されたNチャネルの第3の
    MOSトランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電
    圧に接続され、ドレインが前記第1のMOSトランジス
    タの電流通路の他端に接続されたNチャネルの第4のM
    OSトランジスタとから構成され、かつ前記第2のサー
    ジ電圧保護回路が、ソース及びゲートが前記内部電源電
    圧に接続され、ドレインが前記第2のMOSトランジス
    タの電流通路の他端に接続されたPチャネルの第5のM
    OSトランジスタと、ソース及びゲートが基準電源電圧
    に接続され、ドレインが前記第2のMOSトランジスタ
    の電流通路の他端に接続されたNチャネルの第6のMO
    Sトランジスタとから構成されている請求項20に記載
    の半導体集積回路のインターフェース回路。
  23. 【請求項23】 前記外部端子が信号入力端子であるこ
    とを特徴とする請求項20に記載の半導体集積回路のイ
    ンターフェース回路。
  24. 【請求項24】 前記外部端子が信号出力端子であるこ
    とを特徴とする請求項20に記載の半導体集積回路のイ
    ンターフェース回路。
  25. 【請求項25】 前記外部端子が信号入出力兼用端子で
    あることを特徴とする請求項20に記載の半導体集積回
    路のインターフェース回路。
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