JPH08160479A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
- Publication number
- JPH08160479A JPH08160479A JP30593294A JP30593294A JPH08160479A JP H08160479 A JPH08160479 A JP H08160479A JP 30593294 A JP30593294 A JP 30593294A JP 30593294 A JP30593294 A JP 30593294A JP H08160479 A JPH08160479 A JP H08160479A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light beam
- fundamental wave
- laser
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＳＨＧレーザの出力をＡＰＣ制御するための
モニタ光に、励起光の漏れ光および第２高調波が混入す
るのを抑止して、ＡＰＣ制御を高精度に行なう。 【構成】 励起用ＬＤ11から射出されたレーザ光の照射
を受けて、固体ＳＨＧレーザ共振器12からは、第２高調
波（ＳＨ光）ＬSHと励起レーザ光の漏れ光Ｌ0および基
本波の漏れ光ＬB とからなる光Ｌが出力され、ダイクロ
イックミラー15により、主として基本波の漏れ光ＬB は
反射され、励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSH
は透過する。一部の励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳ
Ｈ光ＬSHは基本波の漏れ光ＬB とともに、ダイクロイッ
クミラー15で反射されるため、この反射光Ｌ2 をフィル
タ16に通すことによって基本波の漏れ光ＬB だけを光検
出器17で検出し，これに基づいてＡＰＣ制御を行う。
モニタ光に、励起光の漏れ光および第２高調波が混入す
るのを抑止して、ＡＰＣ制御を高精度に行なう。 【構成】 励起用ＬＤ11から射出されたレーザ光の照射
を受けて、固体ＳＨＧレーザ共振器12からは、第２高調
波（ＳＨ光）ＬSHと励起レーザ光の漏れ光Ｌ0および基
本波の漏れ光ＬB とからなる光Ｌが出力され、ダイクロ
イックミラー15により、主として基本波の漏れ光ＬB は
反射され、励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSH
は透過する。一部の励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳ
Ｈ光ＬSHは基本波の漏れ光ＬB とともに、ダイクロイッ
クミラー15で反射されるため、この反射光Ｌ2 をフィル
タ16に通すことによって基本波の漏れ光ＬB だけを光検
出器17で検出し，これに基づいてＡＰＣ制御を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ装置に関し、詳細
には、ＳＨＧレーザ共振器から出力される第２高調波の
出力を一定に制御するレーザ装置に関するものである。
には、ＳＨＧレーザ共振器から出力される第２高調波の
出力を一定に制御するレーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、固体レーザや半導体レーザ
は記録媒体への情報の記録や読取りのための走査光とし
て広く用いられている。レーザ光をこのように記録や読
取りの走査に供する場合、記録媒体への記録密度を高め
る目的等のために、レーザ光としては、より短波長のも
のが望まれている。しかし、短波長のレーザ光を連続的
に直接発振させることは難しいため、通常は、所望の波
長の２倍の波長のレーザ光（基本波）を発振させるレー
ザ媒質を使用し、このレーザ媒質から出力されたレーザ
光を、ＬＢＯ等の波長変換素子により、波長が１／２倍
となるように波長変換し、その波長変換により得られた
第２高調波（ＳＨ光）をレーザ共振器（ＳＨＧレーザ共
振器）から出力させて記録や読取り等の目的に使用して
いる。
は記録媒体への情報の記録や読取りのための走査光とし
て広く用いられている。レーザ光をこのように記録や読
取りの走査に供する場合、記録媒体への記録密度を高め
る目的等のために、レーザ光としては、より短波長のも
のが望まれている。しかし、短波長のレーザ光を連続的
に直接発振させることは難しいため、通常は、所望の波
長の２倍の波長のレーザ光（基本波）を発振させるレー
ザ媒質を使用し、このレーザ媒質から出力されたレーザ
光を、ＬＢＯ等の波長変換素子により、波長が１／２倍
となるように波長変換し、その波長変換により得られた
第２高調波（ＳＨ光）をレーザ共振器（ＳＨＧレーザ共
振器）から出力させて記録や読取り等の目的に使用して
いる。
【０００３】ところで記録媒体に記録された画像を読み
取るためにレーザ光を走査する場合、レーザ光は一定の
出力であることが必要である。しかし、レーザ媒体は、
これを励起する励起光の光強度等を一定に維持している
場合にも、発熱等の影響により出力が変動する。このた
め、ＳＨＧレーザ共振器の出力は通常はＡＰＣ制御がな
されて、出力されるレーザ光のパワーが一定になるよう
に保たれている。
取るためにレーザ光を走査する場合、レーザ光は一定の
出力であることが必要である。しかし、レーザ媒体は、
これを励起する励起光の光強度等を一定に維持している
場合にも、発熱等の影響により出力が変動する。このた
め、ＳＨＧレーザ共振器の出力は通常はＡＰＣ制御がな
されて、出力されるレーザ光のパワーが一定になるよう
に保たれている。
【０００４】このＡＰＣ（Automatic Power Control ）
制御は、ＳＨＧレーザ共振器から出力されたＳＨ光の一
部を分割してその光強度を検出し、その検出された光強
度に基づいて、レーザ媒体を励起する励起光の光強度を
変動させるなどして行なうものである。
制御は、ＳＨＧレーザ共振器から出力されたＳＨ光の一
部を分割してその光強度を検出し、その検出された光強
度に基づいて、レーザ媒体を励起する励起光の光強度を
変動させるなどして行なうものである。
【０００５】また、ＳＨＧレーザ共振器からは、使用目
的とするＳＨ光の他に前述の基本波や励起光がわずかに
漏れて射出されることが、本願出願人の研究で明らかと
なり、またこの基本波の光強度の２乗とＳＨ光の光強度
とが比例関係にあることも判明している。そこで、ＳＨ
Ｇレーザ共振器から漏れて射出された基本波をＳＨ光か
ら分離し、この基本波の光強度を検出し、その光強度に
基づいてレーザ媒体を励起する励起光の光強度を変動さ
せてＡＰＣ制御を行なうこともできる。このように基本
波をモニタ光とするＡＰＣ制御では、ＳＨ光を本来の使
用目的以外の目的、すなわちＡＰＣ制御のモニタを目的
として使用する必要がなく、したがってＳＨ光を実質的
に損失することなく本来の目的、例えば画像の読取りに
供することができる、という利点がある。
的とするＳＨ光の他に前述の基本波や励起光がわずかに
漏れて射出されることが、本願出願人の研究で明らかと
なり、またこの基本波の光強度の２乗とＳＨ光の光強度
とが比例関係にあることも判明している。そこで、ＳＨ
Ｇレーザ共振器から漏れて射出された基本波をＳＨ光か
ら分離し、この基本波の光強度を検出し、その光強度に
基づいてレーザ媒体を励起する励起光の光強度を変動さ
せてＡＰＣ制御を行なうこともできる。このように基本
波をモニタ光とするＡＰＣ制御では、ＳＨ光を本来の使
用目的以外の目的、すなわちＡＰＣ制御のモニタを目的
として使用する必要がなく、したがってＳＨ光を実質的
に損失することなく本来の目的、例えば画像の読取りに
供することができる、という利点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この基本波
を例えばダイクロイックミラー等の光分離手段によりＳ
Ｈ光から分離しようとしても、実際にはＳＨ光を 100％
分離することは難しく、またＳＨＧレーザ共振器から出
力されるＳＨ光の強度は、レーザ共振器から漏れて射出
される基本波の強度より２〜３桁大きいオーダであるた
め、ＡＰＣ制御のモニタ光には基本波の強度と同程度の
強度のＳＨ光が含まれてしまう。したがって、ダイクロ
イックミラー等では分離しきれずにモニタ光に混入した
ＳＨ光がＡＰＣ制御のノイズとなり、ＡＰＣ制御を高精
度にするうえで問題となる。
を例えばダイクロイックミラー等の光分離手段によりＳ
Ｈ光から分離しようとしても、実際にはＳＨ光を 100％
分離することは難しく、またＳＨＧレーザ共振器から出
力されるＳＨ光の強度は、レーザ共振器から漏れて射出
される基本波の強度より２〜３桁大きいオーダであるた
め、ＡＰＣ制御のモニタ光には基本波の強度と同程度の
強度のＳＨ光が含まれてしまう。したがって、ダイクロ
イックミラー等では分離しきれずにモニタ光に混入した
ＳＨ光がＡＰＣ制御のノイズとなり、ＡＰＣ制御を高精
度にするうえで問題となる。
【０００７】また、レーザ媒質としてＹＬＦ等を使用し
た場合には、励起光もＳＨ光と同程度の強度でＳＨＧレ
ーザ共振器から漏れて射出されるため、この励起光の漏
れ光もＳＨ光と同様に、ＡＰＣ制御のノイズとなる。
た場合には、励起光もＳＨ光と同程度の強度でＳＨＧレ
ーザ共振器から漏れて射出されるため、この励起光の漏
れ光もＳＨ光と同様に、ＡＰＣ制御のノイズとなる。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みなされたものであ
って、ＡＰＣ制御のモニタ光に励起光の漏れ光およびＳ
Ｈ光が混入するのを抑止して高精度なＡＰＣ制御を行な
うことを可能にしたレーザ装置を提供すること目的とす
るものである。
って、ＡＰＣ制御のモニタ光に励起光の漏れ光およびＳ
Ｈ光が混入するのを抑止して高精度なＡＰＣ制御を行な
うことを可能にしたレーザ装置を提供すること目的とす
るものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ装置は、
励起光源から射出されたレーザ光等の励起光を照射され
て基本波を出力するレーザ媒質とレーザ媒質より出力さ
れた基本波を第２高調波（ＳＨ光）に変換する波長変換
素子とからなるＳＨＧレーザ共振器と、ＳＨＧレーザ共
振器から出力されたＳＨ光とＳＨＧレーザ共振器から漏
れて射出された励起光の漏れ光および基本波とからなる
ＳＨＧレーザ共振器からの出力光のうち、主として基本
波を分離するダイクロイックミラー等の光分離手段と、
光分離手段により分離された、主として基本波を含む分
離光について、光分離手段により分離しきれなかったＳ
Ｈ光および励起光の漏れ光をそれぞれ基本波に対して相
対的に減衰させるフィルタ等の減衰手段と、減衰手段に
より、ＳＨ光および励起光の漏れ光が減衰された後の分
離光の光強度を検出し、この検出された光強度に基づい
てＳＨＧレーザ共振器から出力されるＳＨ光の光強度を
制御するＡＰＣ装置等の制御手段とを備えてなることを
特徴とするものである。
励起光源から射出されたレーザ光等の励起光を照射され
て基本波を出力するレーザ媒質とレーザ媒質より出力さ
れた基本波を第２高調波（ＳＨ光）に変換する波長変換
素子とからなるＳＨＧレーザ共振器と、ＳＨＧレーザ共
振器から出力されたＳＨ光とＳＨＧレーザ共振器から漏
れて射出された励起光の漏れ光および基本波とからなる
ＳＨＧレーザ共振器からの出力光のうち、主として基本
波を分離するダイクロイックミラー等の光分離手段と、
光分離手段により分離された、主として基本波を含む分
離光について、光分離手段により分離しきれなかったＳ
Ｈ光および励起光の漏れ光をそれぞれ基本波に対して相
対的に減衰させるフィルタ等の減衰手段と、減衰手段に
より、ＳＨ光および励起光の漏れ光が減衰された後の分
離光の光強度を検出し、この検出された光強度に基づい
てＳＨＧレーザ共振器から出力されるＳＨ光の光強度を
制御するＡＰＣ装置等の制御手段とを備えてなることを
特徴とするものである。
【００１０】ここで上記光分離手段は、本来は基本波を
完全に分離することを目的とするものであるが、現実に
は 100％分離するものが存在しないため、ここにいう
「主として基本波を分離する」とは、基本波を 100％分
離することを目的としつつも、現実にはこの基本波の他
にＳＨ光と励起光の漏れ光が混入してしまうことを意味
する。
完全に分離することを目的とするものであるが、現実に
は 100％分離するものが存在しないため、ここにいう
「主として基本波を分離する」とは、基本波を 100％分
離することを目的としつつも、現実にはこの基本波の他
にＳＨ光と励起光の漏れ光が混入してしまうことを意味
する。
【００１１】なお、上記減衰手段は、ＳＨ光を減衰させ
る第１の減衰手段と励起光の漏れ光を減衰させる第２の
減衰手段との２つから構成されるものであってもよい
し、１つの減衰手段でＳＨ光と励起光の漏れ光との両方
を減衰させるものであってもよい。
る第１の減衰手段と励起光の漏れ光を減衰させる第２の
減衰手段との２つから構成されるものであってもよい
し、１つの減衰手段でＳＨ光と励起光の漏れ光との両方
を減衰させるものであってもよい。
【００１２】
【作用および発明の効果】本発明のレーザ装置によれ
ば、励起光源から射出された励起光はレーザ媒質を照射
し、レーザ媒質は励起されて所定の波長の基本波を出力
する。このレーザ媒質から出力された基本波は波長変換
素子により、その波長が１／２であるＳＨ光に変換され
てレーザ共振器から出力される。またＳＨ光の光強度に
対して２〜３桁オーダの小さい強度の基本波もＳＨＧレ
ーザ共振器から漏れて射出される。レーザ媒質としてＹ
ＬＦ等を使用した場合には、レーザ媒質を励起した励起
光もＳＨ光と同程度の光強度でＳＨＧレーザ共振器から
漏れて射出される。
ば、励起光源から射出された励起光はレーザ媒質を照射
し、レーザ媒質は励起されて所定の波長の基本波を出力
する。このレーザ媒質から出力された基本波は波長変換
素子により、その波長が１／２であるＳＨ光に変換され
てレーザ共振器から出力される。またＳＨ光の光強度に
対して２〜３桁オーダの小さい強度の基本波もＳＨＧレ
ーザ共振器から漏れて射出される。レーザ媒質としてＹ
ＬＦ等を使用した場合には、レーザ媒質を励起した励起
光もＳＨ光と同程度の光強度でＳＨＧレーザ共振器から
漏れて射出される。
【００１３】このＳＨＧレーザ共振器から出力されたＳ
Ｈ光とＳＨＧレーザ共振器から漏れて射出された励起光
の漏れ光および基本波とからなるＳＨＧレーザ共振器か
らの出力光は、光分離手段により、基本波の漏れ光と励
起光の漏れ光およびＳＨ光とに分離されるが、励起光の
漏れ光やＳＨ光の光強度が基本波の漏れ光の強度より２
〜３桁のオーダで強いため、光分離手段では分離しきれ
ずに基本波の漏れ光とともに励起光の漏れ光やＳＨ光
が、ＡＰＣ制御等の制御手段用のモニタ光に混入する。
一方、光分離手段により、基本波の漏れ光が除去された
上記出力光、すなわちＳＨ光と励起光の漏れ光とは、記
録等の本来の目的に供されるが、このうちＳＨ光だけを
分離して使用するのがより望ましい。
Ｈ光とＳＨＧレーザ共振器から漏れて射出された励起光
の漏れ光および基本波とからなるＳＨＧレーザ共振器か
らの出力光は、光分離手段により、基本波の漏れ光と励
起光の漏れ光およびＳＨ光とに分離されるが、励起光の
漏れ光やＳＨ光の光強度が基本波の漏れ光の強度より２
〜３桁のオーダで強いため、光分離手段では分離しきれ
ずに基本波の漏れ光とともに励起光の漏れ光やＳＨ光
が、ＡＰＣ制御等の制御手段用のモニタ光に混入する。
一方、光分離手段により、基本波の漏れ光が除去された
上記出力光、すなわちＳＨ光と励起光の漏れ光とは、記
録等の本来の目的に供されるが、このうちＳＨ光だけを
分離して使用するのがより望ましい。
【００１４】光分離手段により出力光から分離されたの
ちの、励起光の漏れ光やＳＨ光が混入した基本波を含む
分離光は、減衰手段に入力され、減衰手段は、励起光の
漏れ光とＳＨ光とを各別に順次、あるいは両方を同時に
減衰させる。この減衰手段は、励起光の漏れ光とＳＨ光
とを減衰させる程度が、基本波を減衰させる程度より大
きいものであればよい。
ちの、励起光の漏れ光やＳＨ光が混入した基本波を含む
分離光は、減衰手段に入力され、減衰手段は、励起光の
漏れ光とＳＨ光とを各別に順次、あるいは両方を同時に
減衰させる。この減衰手段は、励起光の漏れ光とＳＨ光
とを減衰させる程度が、基本波を減衰させる程度より大
きいものであればよい。
【００１５】減衰手段により、励起光の漏れ光とＳＨ光
とが減衰されたことにより、ほぼ基本波だけが、ＡＰＣ
装置等の制御手段のモニタ光として検出され、ＡＰＣ装
置はこの検出した基本波の光強度に基づいて励起光の光
強度を、ＳＨＧレーザ共振器から出力されるＳＨ光の光
強度が一定となるように制御する。
とが減衰されたことにより、ほぼ基本波だけが、ＡＰＣ
装置等の制御手段のモニタ光として検出され、ＡＰＣ装
置はこの検出した基本波の光強度に基づいて励起光の光
強度を、ＳＨＧレーザ共振器から出力されるＳＨ光の光
強度が一定となるように制御する。
【００１６】このように本発明のレーザ装置によれば、
ＡＰＣ制御のモニタ光に励起光の漏れ光およびＳＨ光が
ノイズとして混入するのを抑止しているため、基本波に
基づいてＡＰＣ制御を高精度に行なうことができる。
ＡＰＣ制御のモニタ光に励起光の漏れ光およびＳＨ光が
ノイズとして混入するのを抑止しているため、基本波に
基づいてＡＰＣ制御を高精度に行なうことができる。
【００１７】なお本発明のレーザ装置は、被写体の放射
線画像情報が蓄積記録された蓄積性蛍光体シートに一定
の励起光エネルギを付与する、放射線画像情報読取装置
における励起光源として使用することもできる。
線画像情報が蓄積記録された蓄積性蛍光体シートに一定
の励起光エネルギを付与する、放射線画像情報読取装置
における励起光源として使用することもできる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明のレーザ装置の実施例について
図面を用いて説明する。
図面を用いて説明する。
【００１９】図１は本実施例のレーザ装置の構成を示す
ものである。図示のレーザ装置10は、波長 797ｎｍのレ
ーザ光を出力する励起用ＬＤ11と、励起用ＬＤ11から射
出されたレーザ光の照射を受けて、波長1313ｎｍの基本
波を出力するＹＬＦレーザ媒質13およびレーザ媒質13よ
り出力された基本波を波長 657ｎｍの第２高調波（ＳＨ
光）に変換するＬＢＯ（ＳＨＧ素子）14からなる固体Ｓ
ＨＧレーザ共振器12と、ＳＨＧレーザ共振器12から出力
されたＳＨ光ＬSHとＳＨＧレーザ共振器12から漏れて射
出された励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 および基本波の漏れ
光ＬB とからなるＳＨＧレーザ共振器12からの出力光Ｌ
のうち、主として基本波の漏れ光ＬB を反射し、それ以
外の励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSHを透過
せしめるダイクロイックミラー15とを備えた構成であ
る。
ものである。図示のレーザ装置10は、波長 797ｎｍのレ
ーザ光を出力する励起用ＬＤ11と、励起用ＬＤ11から射
出されたレーザ光の照射を受けて、波長1313ｎｍの基本
波を出力するＹＬＦレーザ媒質13およびレーザ媒質13よ
り出力された基本波を波長 657ｎｍの第２高調波（ＳＨ
光）に変換するＬＢＯ（ＳＨＧ素子）14からなる固体Ｓ
ＨＧレーザ共振器12と、ＳＨＧレーザ共振器12から出力
されたＳＨ光ＬSHとＳＨＧレーザ共振器12から漏れて射
出された励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 および基本波の漏れ
光ＬB とからなるＳＨＧレーザ共振器12からの出力光Ｌ
のうち、主として基本波の漏れ光ＬB を反射し、それ以
外の励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSHを透過
せしめるダイクロイックミラー15とを備えた構成であ
る。
【００２０】さらにレーザ装置10は、ダイクロイックミ
ラー15で反射された反射光Ｌ2 の光路上に、波長 800ｎ
ｍ以下の光をカットし、かつ波長1100ｎｍ以上の光を90
％以上透過せしめるフィルタ16と、このフィルタ16を透
過した光の強度を検出する光検出器17と、光検出器17に
より検出された光強度に基づいて、レーザ共振器12から
出力されるＳＨ光ＬSHの光強度が一定となるように、励
起用ＬＤ11への供給電流を制御するＡＰＣ制御器18とを
備え、さらに、ダイクロイックミラー15を透過した透過
光Ｌ1 、すなわち励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳＨ
光ＬSHについて、励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 を透過さ
せ、ＳＨ光ＬSHを反射せしめる２枚の平行に対向して配
されたダイクロイックミラー19を備えている。
ラー15で反射された反射光Ｌ2 の光路上に、波長 800ｎ
ｍ以下の光をカットし、かつ波長1100ｎｍ以上の光を90
％以上透過せしめるフィルタ16と、このフィルタ16を透
過した光の強度を検出する光検出器17と、光検出器17に
より検出された光強度に基づいて、レーザ共振器12から
出力されるＳＨ光ＬSHの光強度が一定となるように、励
起用ＬＤ11への供給電流を制御するＡＰＣ制御器18とを
備え、さらに、ダイクロイックミラー15を透過した透過
光Ｌ1 、すなわち励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 およびＳＨ
光ＬSHについて、励起レーザ光の漏れ光Ｌ0 を透過さ
せ、ＳＨ光ＬSHを反射せしめる２枚の平行に対向して配
されたダイクロイックミラー19を備えている。
【００２１】なお、フィルタ16は具体的にはＨＯＹＡ社
製の１ｍｍ厚のタイプ「ＩＲ85」などを使用することが
でき、このフィルタ16によれば、ダイクロイックミラー
15によって反射した反射光Ｌ2 のうちダイクロイックミ
ラー15により基本波の漏れ光ＬB から分離しきれずに基
本波の漏れ光ＬB とともに反射した励起レーザ光の漏れ
光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSHを約１％以下まで減衰させるこ
とができる（図２に示す透過率特性図参照）。また、こ
のフィルタ16によれば、基本波の漏れ光ＬB はほとんど
減衰されずに透過する。
製の１ｍｍ厚のタイプ「ＩＲ85」などを使用することが
でき、このフィルタ16によれば、ダイクロイックミラー
15によって反射した反射光Ｌ2 のうちダイクロイックミ
ラー15により基本波の漏れ光ＬB から分離しきれずに基
本波の漏れ光ＬB とともに反射した励起レーザ光の漏れ
光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSHを約１％以下まで減衰させるこ
とができる（図２に示す透過率特性図参照）。また、こ
のフィルタ16によれば、基本波の漏れ光ＬB はほとんど
減衰されずに透過する。
【００２２】次に本実施例のレーザ装置10の作用につい
て説明する。
て説明する。
【００２３】励起用ＬＤ11から波長 797ｎｍの励起レー
ザ光が出力され、レーザ媒質13はこの励起レーザ光を受
けて波長1313ｎｍの基本波を出力する。この出力された
基本波はＳＨＧ素子14により波長 657ｎｍのＳＨ光ＬSH
に波長変換されて、ＳＨＧレーザ共振器12から出力され
る。また、ＳＨＧレーザ共振器12からは、ＳＨ光SHの強
度の２〜３桁オーダの小さい強度の基本波の一部ＬB も
漏れて射出されるとともに、励起レーザ光の漏れ光Ｌ0
もＳＨＧレーザ共振器12から漏れて射出される。
ザ光が出力され、レーザ媒質13はこの励起レーザ光を受
けて波長1313ｎｍの基本波を出力する。この出力された
基本波はＳＨＧ素子14により波長 657ｎｍのＳＨ光ＬSH
に波長変換されて、ＳＨＧレーザ共振器12から出力され
る。また、ＳＨＧレーザ共振器12からは、ＳＨ光SHの強
度の２〜３桁オーダの小さい強度の基本波の一部ＬB も
漏れて射出されるとともに、励起レーザ光の漏れ光Ｌ0
もＳＨＧレーザ共振器12から漏れて射出される。
【００２４】ＳＨＧレーザ共振器12から出力された出力
光Ｌは、その光路上に配されたダイクロイックミラー15
に入射し、その出力光Ｌのうち励起レーザ光の漏れ光Ｌ
0 およびＳＨ光ＬSHはダイクロイックミラー15を透過す
るが、基本波の漏れ光ＬB はダイクロイックミラー15で
反射される。
光Ｌは、その光路上に配されたダイクロイックミラー15
に入射し、その出力光Ｌのうち励起レーザ光の漏れ光Ｌ
0 およびＳＨ光ＬSHはダイクロイックミラー15を透過す
るが、基本波の漏れ光ＬB はダイクロイックミラー15で
反射される。
【００２５】ここで、励起光の漏れ光Ｌ0 やＳＨ光ＬSH
の光強度は基本波の漏れ光ＬB の強度より２〜３桁オー
ダの大きいものであり、またダイクロイックミラー15も
励起光の漏れ光Ｌ0 やＳＨ光ＬSHを完全に透過させるこ
とはできず、通常、入射した分の数％程度は反射される
ことになる。このため、ダイクロイックミラー15で反射
された反射光Ｌ2 には、基本波の漏れ光ＬB のほか、励
起光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSHが混入されており、基本波の
漏れ光ＬB に対して同程度の励起光Ｌ0 およびＳＨ光Ｌ
SHが存在していることになる。
の光強度は基本波の漏れ光ＬB の強度より２〜３桁オー
ダの大きいものであり、またダイクロイックミラー15も
励起光の漏れ光Ｌ0 やＳＨ光ＬSHを完全に透過させるこ
とはできず、通常、入射した分の数％程度は反射される
ことになる。このため、ダイクロイックミラー15で反射
された反射光Ｌ2 には、基本波の漏れ光ＬB のほか、励
起光Ｌ0 およびＳＨ光ＬSHが混入されており、基本波の
漏れ光ＬB に対して同程度の励起光Ｌ0 およびＳＨ光Ｌ
SHが存在していることになる。
【００２６】一方、ダイクロイックミラー15を透過した
透過光Ｌ1 には、ＳＨ光ＬSHと励起光の漏れ光Ｌ0 とが
含まれており、このうちＳＨ光ＬSHは、その光路上に配
された２枚のダイクロイックミラー19を順次反射して外
部に出力されるが、励起光の漏れ光Ｌ0 はダイクロイッ
クミラー19に入射する都度ダイクロイックミラー19を透
過するため、２枚のダイクロイックミラー19を多重反射
することによりＳＨ光ＬSHに対して２〜３桁程度その光
強度が減衰される。したがって実質的に、ＳＨ光ＬSHだ
けが外部に出力されることとなる。
透過光Ｌ1 には、ＳＨ光ＬSHと励起光の漏れ光Ｌ0 とが
含まれており、このうちＳＨ光ＬSHは、その光路上に配
された２枚のダイクロイックミラー19を順次反射して外
部に出力されるが、励起光の漏れ光Ｌ0 はダイクロイッ
クミラー19に入射する都度ダイクロイックミラー19を透
過するため、２枚のダイクロイックミラー19を多重反射
することによりＳＨ光ＬSHに対して２〜３桁程度その光
強度が減衰される。したがって実質的に、ＳＨ光ＬSHだ
けが外部に出力されることとなる。
【００２７】ダイクロイックミラー15で反射された反射
光Ｌ2 は、その光路上に配されたフィルタ16に入射し、
このフィルタ16により、波長 800ｎｍ以下の光、すなわ
ち波長 797ｎｍの励起光の漏れ光Ｌ0 および波長 657ｎ
ｍのＳＨ光ＬSHはほぼ完全にカット（約１％以下まで減
衰）され、一方、波長1313ｎｍの基本波の漏れ光ＬBは9
0％以上透過する。
光Ｌ2 は、その光路上に配されたフィルタ16に入射し、
このフィルタ16により、波長 800ｎｍ以下の光、すなわ
ち波長 797ｎｍの励起光の漏れ光Ｌ0 および波長 657ｎ
ｍのＳＨ光ＬSHはほぼ完全にカット（約１％以下まで減
衰）され、一方、波長1313ｎｍの基本波の漏れ光ＬBは9
0％以上透過する。
【００２８】フィルタ16を透過した基本波の漏れ光ＬB
は光検出器17により、その光強度が検出され、光検出器
17により検出された光強度に基づいて、ＡＰＣ制御器18
は、レーザ共振器12から出力されるＳＨ光ＬSHの光強度
が一定となるように、励起用ＬＤ11への供給電流を制御
する。
は光検出器17により、その光強度が検出され、光検出器
17により検出された光強度に基づいて、ＡＰＣ制御器18
は、レーザ共振器12から出力されるＳＨ光ＬSHの光強度
が一定となるように、励起用ＬＤ11への供給電流を制御
する。
【００２９】このように、本実施例のレーザ装置10によ
れば、ＡＰＣ制御のためのモニタ光に励起光の漏れ光お
よびＳＨ光が混入するのを抑止し、これらのノイズを除
去した基本波だけに基づいてＡＰＣ制御を行うことがで
きるため、画像読取や記録等のためのＳＨ光の光強度を
高精度に制御することができる。
れば、ＡＰＣ制御のためのモニタ光に励起光の漏れ光お
よびＳＨ光が混入するのを抑止し、これらのノイズを除
去した基本波だけに基づいてＡＰＣ制御を行うことがで
きるため、画像読取や記録等のためのＳＨ光の光強度を
高精度に制御することができる。
【図１】本発明のレーザ装置の実施例を示す構成図
【図２】フィルタの透過率特性を示すグラフ
10 レーザ装置 11 励起用ＬＤ 12 固体ＳＨＧレーザ共振器 13 レーザ媒質 14 ＳＨＧ素子 15，19 ダイクロイックミラー 16 フィルタ 17 光検出器 18 ＡＰＣ制御器 ＬSH ＳＨ光（第２高調波） Ｌ0 励起レーザ光の漏れ光 ＬB 基本波の漏れ光 Ｌ ＳＨＧレーザ共振器12からの出力光 Ｌ1 ダイクロイックミラーの透過光 Ｌ2 ダイクロイックミラーの反射光
Claims (1)
- 【請求項１】 励起光源から射出された励起光を照射さ
れて基本波を出力するレーザ媒質と該レーザ媒質より出
力された前記基本波を第２高調波に変換する波長変換素
子とからなるＳＨＧレーザ共振器と、 該ＳＨＧレーザ共振器から出力された前記第２高調波と
該ＳＨＧレーザ共振器から漏れて射出された前記励起光
の漏れ光および基本波とからなる該ＳＨＧレーザ共振器
からの出力光のうち、主として前記基本波を分離する光
分離手段と、 該分離された主として前記基本波を含む分離光につい
て、前記光分離手段により分離しきれなかった第２高調
波および前記励起光の漏れ光をそれぞれ前記基本波に対
して相対的に減衰させる減衰手段と、 該減衰手段により、前記第２高調波および前記励起光の
漏れ光が減衰された後の分離光の光強度を検出し、この
検出された光強度に基づいて前記ＳＨＧレーザ共振器か
ら出力される第２高調波の光強度を制御する制御手段と
を備えてなることを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30593294A JPH08160479A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30593294A JPH08160479A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160479A true JPH08160479A (ja) | 1996-06-21 |
Family
ID=17951037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30593294A Withdrawn JPH08160479A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08160479A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003046173A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置、波長変換素子、レーザ発振器、波長変換装置およびレーザ加工方法 |
| WO2017094917A1 (en) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Wavelength Separating Element For Use In a Nonlinear Frequency Conversion Device |
-
1994
- 1994-12-09 JP JP30593294A patent/JPH08160479A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003046173A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置、波長変換素子、レーザ発振器、波長変換装置およびレーザ加工方法 |
| WO2017094917A1 (en) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Wavelength Separating Element For Use In a Nonlinear Frequency Conversion Device |
| US9927679B2 (en) | 2015-12-03 | 2018-03-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Wavelength separating element for use in a nonlinear frequency conversion device |
| CN108604039A (zh) * | 2015-12-03 | 2018-09-28 | 夏普株式会社 | 用于非线性频率转换装置的波长分离元件 |
| JP2018538565A (ja) * | 2015-12-03 | 2018-12-27 | シャープ株式会社 | 非線形周波数変換デバイスにおける使用のための波長分離素子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0514758B1 (en) | Laser light generator | |
| JPS6338654B2 (ja) | ||
| US5331650A (en) | Light source device and optical pickup using light source device | |
| US5420876A (en) | Gadolinium vanadate laser | |
| JPH08160479A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH02254777A (ja) | 半導体レーザ励起型固体レーザ装置 | |
| JP2005039093A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH07128695A (ja) | 光波長変換装置 | |
| JPH08160478A (ja) | レーザ装置 | |
| US5381433A (en) | 1.94 μm laser apparatus, system and method using a thulium-doped yttrium-lithium-fluoride laser crystal pumped with a diode laser | |
| JPH05183220A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| US5461240A (en) | Radiation image read-out apparatus | |
| JPH06283798A (ja) | ファイバレーザ及び光ファイバ増幅器 | |
| JPH07249233A (ja) | 光ピックアップ | |
| US5821552A (en) | Radiation image information read apparatus | |
| JPH07140350A (ja) | 光伝送器 | |
| JP2002062555A (ja) | レーザ光発生装置 | |
| JP3199836B2 (ja) | 波長変換レーザ装置 | |
| JPH04158588A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JP2001100263A (ja) | 波長変換レーザー装置 | |
| JPH03209783A (ja) | 固体レーザ装置の共振器 | |
| JPH07193303A (ja) | アレキサンドライトレーザ再生増幅方法及びその装置 | |
| JP4260306B2 (ja) | 固体レーザ装置および固体レーザ装置の制御方法 | |
| JPH065953A (ja) | 固体レ−ザ装置 | |
| JPH08102564A (ja) | 波長変換レーザ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |