JP3199836B2 - 波長変換レーザ装置 - Google Patents
波長変換レーザ装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレ−ザ光の波長を非線
形結晶によって高調波に変換する波長変換レーザ装置に
関する。
形結晶によって高調波に変換する波長変換レーザ装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、非線形結晶を用いてレ−ザ光の
波長を変換する波長変換レーザ装置は、図５に示すよう
に構成されていた。すなわち、同図中１はレ−ザ発振器
である。このレ−ザ発振器１は高反射ミラ−２と出力ミ
ラ−３とを離間対向して配置した光共振器４を有する。
この光共振器４内にはロッド状の固体レ−ザ媒質５が軸
線を上記光共振器４の光軸に一致させて配置されてい
る。この固体レ−ザ媒質５の側方には励起手段である、
励起ランプ６が平行に配置されている。さらに、光共振
器４内には上記固体レ−ザ媒質５と出力ミラ−３との間
にモ−ドロッキングを起こさせるためのモ−ドロッカ７
が配置されている。モ−ドロッカ７としては音響光学素
子や過飽和色素などが用いられている。
波長を変換する波長変換レーザ装置は、図５に示すよう
に構成されていた。すなわち、同図中１はレ−ザ発振器
である。このレ−ザ発振器１は高反射ミラ−２と出力ミ
ラ−３とを離間対向して配置した光共振器４を有する。
この光共振器４内にはロッド状の固体レ−ザ媒質５が軸
線を上記光共振器４の光軸に一致させて配置されてい
る。この固体レ−ザ媒質５の側方には励起手段である、
励起ランプ６が平行に配置されている。さらに、光共振
器４内には上記固体レ−ザ媒質５と出力ミラ−３との間
にモ−ドロッキングを起こさせるためのモ−ドロッカ７
が配置されている。モ−ドロッカ７としては音響光学素
子や過飽和色素などが用いられている。
【０００３】上記固体レ−ザ媒質５を励起ランプ６で励
起することで上記出力ミラ−３からはレ−ザ光Ｐを出力
させることができる。ここで、光共振器長をＬ、光の速
さをＣとしたとき、周波数ｆは、ｆ＝Ｃ／２Ｌ、パルス
幅は固体レ−ザ媒質５の利得幅Δνの逆数（Δν-1）程
度の短パルス列のレ−ザ出力が得られる。
起することで上記出力ミラ−３からはレ−ザ光Ｐを出力
させることができる。ここで、光共振器長をＬ、光の速
さをＣとしたとき、周波数ｆは、ｆ＝Ｃ／２Ｌ、パルス
幅は固体レ−ザ媒質５の利得幅Δνの逆数（Δν-1）程
度の短パルス列のレ−ザ出力が得られる。
【０００４】上記出力ミラ−３から出力された基本波長
のレ−ザ光Ｐは、出力変調器８を通り、第１のビ−ムス
プリッタ９で一部が分割される。第１のビ−ムスプリッ
タ９を透過したレ−ザ光Ｓは集光レンズ１１で集束され
てＳＨＧなどの非線形結晶１２に入射する。この非線形
結晶１２は光共振器４から出力される基本波長のレ−ザ
光Ｓを、波長が２分の１の高調波に変換する。上記非線
形結晶１２から出射するレ−ザ光Ｓには高調波に基本波
が含まれているから、そのレ−ザ光Ｓは第２のビ−ムス
プリッタ１３で反射する高調波と、透過する基本波とに
分離される。
のレ−ザ光Ｐは、出力変調器８を通り、第１のビ−ムス
プリッタ９で一部が分割される。第１のビ−ムスプリッ
タ９を透過したレ−ザ光Ｓは集光レンズ１１で集束され
てＳＨＧなどの非線形結晶１２に入射する。この非線形
結晶１２は光共振器４から出力される基本波長のレ−ザ
光Ｓを、波長が２分の１の高調波に変換する。上記非線
形結晶１２から出射するレ−ザ光Ｓには高調波に基本波
が含まれているから、そのレ−ザ光Ｓは第２のビ−ムス
プリッタ１３で反射する高調波と、透過する基本波とに
分離される。
【０００５】上記第１のビ−ムスプリッタ９で分離され
たレ−ザ光Ｓの一部は光検出器１４で強度が検出され
る。その検出信号は上記出力変調器８に入力される。そ
れによって、レ−ザ光Ｓの強度が制御されて非線形結晶
１２に入射するレ−ザ光Ｓの強度を一定に保つようにな
っている。つまり、レ−ザ出力は種々の要因によって不
安定となるが、その出力を上記光検出器１４で検出し、
その検出信号を出力変調器８にフィ−ドバックすること
で、出力の安定化を計っている。
たレ−ザ光Ｓの一部は光検出器１４で強度が検出され
る。その検出信号は上記出力変調器８に入力される。そ
れによって、レ−ザ光Ｓの強度が制御されて非線形結晶
１２に入射するレ−ザ光Ｓの強度を一定に保つようにな
っている。つまり、レ−ザ出力は種々の要因によって不
安定となるが、その出力を上記光検出器１４で検出し、
その検出信号を出力変調器８にフィ−ドバックすること
で、出力の安定化を計っている。
【０００６】このように出力の安定化を計る場合、高速
な応答性が望まれるので、出力変調器８としては一般的
に音響光学素子が用いられる。しかしながら、その応答
性はせいぜい１００ｋＨｚ程度である。光共振器長が２
ｍ程度のレ−ザモ−ドロック周波数は、ｆ＝Ｃ／２Ｌ＝
（３×１０8 ）／（２×２）＝７５ＭＨｚとなる。した
がって、その周波数は音響光学素子の応答性に比べて大
きすぎるから、パルスごとの出力の安定化を計ることが
できない。
な応答性が望まれるので、出力変調器８としては一般的
に音響光学素子が用いられる。しかしながら、その応答
性はせいぜい１００ｋＨｚ程度である。光共振器長が２
ｍ程度のレ−ザモ−ドロック周波数は、ｆ＝Ｃ／２Ｌ＝
（３×１０8 ）／（２×２）＝７５ＭＨｚとなる。した
がって、その周波数は音響光学素子の応答性に比べて大
きすぎるから、パルスごとの出力の安定化を計ることが
できない。
【０００７】しかも、非線形結晶１２としてＳＨＧを用
いた場合、その出力は、非線形結晶１２に入射するレ−
ザ光Ｓの強度の二乗にほぼ比例するので、たとえばレ−
ザ光Ｓの出力の安定性が図６（ａ）に示すように±１０
％であれば、上記非線形結晶１２から出力される高調波
の強度は図６（ｂ）に示すように±２０％程度に拡大さ
れてしまう。したがって、レ−ザ光Ｓのパルスごとの強
度を安定化させる必要がある用途の場合には使用できな
いということがある。
いた場合、その出力は、非線形結晶１２に入射するレ−
ザ光Ｓの強度の二乗にほぼ比例するので、たとえばレ−
ザ光Ｓの出力の安定性が図６（ａ）に示すように±１０
％であれば、上記非線形結晶１２から出力される高調波
の強度は図６（ｂ）に示すように±２０％程度に拡大さ
れてしまう。したがって、レ−ザ光Ｓのパルスごとの強
度を安定化させる必要がある用途の場合には使用できな
いということがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、波長を高
調波に変換するために用いられる、非線形結晶からの出
力は、そこに入射するレ−ザ光の強度の二乗に比例する
ため、レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光の強度がわ
ずかでも変動すると、上記非線形結晶から出力される高
調波の強度変動が大きくなるということがあった。
調波に変換するために用いられる、非線形結晶からの出
力は、そこに入射するレ−ザ光の強度の二乗に比例する
ため、レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光の強度がわ
ずかでも変動すると、上記非線形結晶から出力される高
調波の強度変動が大きくなるということがあった。
【０００９】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、レ−ザ発振器から出力さ
れるレ−ザ光の強度が変動しても、非線形結晶から出力
される高調波の強度を安定化できるようにした波長変換
レーザ装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、レ−ザ発振器から出力さ
れるレ−ザ光の強度が変動しても、非線形結晶から出力
される高調波の強度を安定化できるようにした波長変換
レーザ装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、光共振器およびこの光共振器内に設けら
れたレ−ザ媒質からなるレ−ザ発振器と、このレ−ザ発
振器から出力されたレ−ザ光の波長を高調波に変換する
非線形結晶と、この非線形結晶と上記レ−ザ発振器との
間に設けられ上記レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光
の強度に応じて焦点距離が変化し上記非線形結晶に入射
するレ−ザ光のビ−ム径を変える自己集束素子とを具備
したことを特徴とする。
にこの発明は、光共振器およびこの光共振器内に設けら
れたレ−ザ媒質からなるレ−ザ発振器と、このレ−ザ発
振器から出力されたレ−ザ光の波長を高調波に変換する
非線形結晶と、この非線形結晶と上記レ−ザ発振器との
間に設けられ上記レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光
の強度に応じて焦点距離が変化し上記非線形結晶に入射
するレ−ザ光のビ−ム径を変える自己集束素子とを具備
したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】上記構成によれば、レ−ザ発振器から出力され
るレ−ザ光の強度の変動に応じて非線形結晶に入射する
レ−ザ光の強度を変えることができるから、上記非線形
結晶から出射される高調波の強度を安定化することがで
きる。
るレ−ザ光の強度の変動に応じて非線形結晶に入射する
レ−ザ光の強度を変えることができるから、上記非線形
結晶から出射される高調波の強度を安定化することがで
きる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１乃至図３を
参照して説明する。なお、図５に示す構成と同一部分に
は同一記号を付して説明を省略する。
参照して説明する。なお、図５に示す構成と同一部分に
は同一記号を付して説明を省略する。
【００１３】すなわち、この発明の実施例においては、
レ−ザ発振器１から出力され、出力変調器８、第１のビ
−ムスプリッタ９および光検出器１４によって強度がフ
ィ−ドバック制御されたレ−ザ光Ｓは自己集束素子２２
に入射する。つまり、自己集束素子２２は上記レ−ザ発
振器１と非線形結晶１２との間に配置されている。
レ−ザ発振器１から出力され、出力変調器８、第１のビ
−ムスプリッタ９および光検出器１４によって強度がフ
ィ−ドバック制御されたレ−ザ光Ｓは自己集束素子２２
に入射する。つまり、自己集束素子２２は上記レ−ザ発
振器１と非線形結晶１２との間に配置されている。
【００１４】上記自己集束素子２２は、ここに入射する
レ−ザ光Ｓの強度に応じてこのレ−ザ光Ｓを集束する焦
点距離を変化させる性質を有する。つまり、自己集束素
子２２に入射するレ−ザ光Ｓの強度が図２（ａ）にＰ1
で示すように強い場合の焦点距離がＦ1 であるとする
と、図２（ｂ）にＰ2 で示すようにレ−ザ光Ｓの強度が
低下したときには、レ−ザ光Ｓを集束する上記自己集束
素子２２の焦点距離は上記Ｆ1 よりも長い距離Ｆ2 とな
る。そして、上記非線形結晶１２は、上記焦点Ｆ1 より
も遠い位置で、上記焦点Ｆ2 上に中心をほぼ一致させて
配置されている。このような自己集束の性質を備えた物
質としては、ＣＳ2 液が知られている。したがって、上
記自己集束素子２２としては、容器中に上記ＣＳ2 液を
充満させたものを用いればよい。なお、自己集束素子２
２がレ−ザ光Ｓを集束する焦点位置は、ＣＳ2 液が収容
される容器の厚さやその配置位置によって変えることが
できる。
レ−ザ光Ｓの強度に応じてこのレ−ザ光Ｓを集束する焦
点距離を変化させる性質を有する。つまり、自己集束素
子２２に入射するレ−ザ光Ｓの強度が図２（ａ）にＰ1
で示すように強い場合の焦点距離がＦ1 であるとする
と、図２（ｂ）にＰ2 で示すようにレ−ザ光Ｓの強度が
低下したときには、レ−ザ光Ｓを集束する上記自己集束
素子２２の焦点距離は上記Ｆ1 よりも長い距離Ｆ2 とな
る。そして、上記非線形結晶１２は、上記焦点Ｆ1 より
も遠い位置で、上記焦点Ｆ2 上に中心をほぼ一致させて
配置されている。このような自己集束の性質を備えた物
質としては、ＣＳ2 液が知られている。したがって、上
記自己集束素子２２としては、容器中に上記ＣＳ2 液を
充満させたものを用いればよい。なお、自己集束素子２
２がレ−ザ光Ｓを集束する焦点位置は、ＣＳ2 液が収容
される容器の厚さやその配置位置によって変えることが
できる。
【００１５】一方、上記非線形結晶１２から出力される
高調波の強度をＰ2wとすると、この強度Ｐ2wは、固体レ
−ザ媒質５を励起する励起ランプ６から出射される励起
光の強度Ｉw と、レ−ザ発振器１から出力されるレ−ザ
光Ｓの強度Ｐw に対して比例関係にある。つまり、（Ｐ
2w〜Ｉw ・Ｐw ）の関係を有する。したがって、たとえ
ば励起光の強度Ｉw が減少すると、レ−ザ光Ｓの強度Ｐ
w が増大し、高調波の強度Ｐ2wはほぼ一定に保たれる。
高調波の強度をＰ2wとすると、この強度Ｐ2wは、固体レ
−ザ媒質５を励起する励起ランプ６から出射される励起
光の強度Ｉw と、レ−ザ発振器１から出力されるレ−ザ
光Ｓの強度Ｐw に対して比例関係にある。つまり、（Ｐ
2w〜Ｉw ・Ｐw ）の関係を有する。したがって、たとえ
ば励起光の強度Ｉw が減少すると、レ−ザ光Ｓの強度Ｐ
w が増大し、高調波の強度Ｐ2wはほぼ一定に保たれる。
【００１６】つぎに、上記構成の波長変換レーザ装置の
作用について説明する。図２（ａ）に示すように自己集
束素子２２に入射するレ−ザ光Ｓの強度がＰ1 と強い場
合には、この自己集束素子２２の焦点距離はＦ1 とな
る。そのため、自己集束素子２２から出射した基本波長
のレ−ザ光Ｓは非線形結晶１２の手前側で焦点を結んで
から、発散状態で上記非線形結晶１２に入射することに
なる。レ−ザ光Ｓが発散状態で非線形結晶１２に入射す
ると、非線形結晶１２上におけるレ−ザ光Ｓのビ−ム径
が拡大されることになるから、この非線形結晶１２が受
ける単位面積当りのレ−ザ強度が低下することになる。
作用について説明する。図２（ａ）に示すように自己集
束素子２２に入射するレ−ザ光Ｓの強度がＰ1 と強い場
合には、この自己集束素子２２の焦点距離はＦ1 とな
る。そのため、自己集束素子２２から出射した基本波長
のレ−ザ光Ｓは非線形結晶１２の手前側で焦点を結んで
から、発散状態で上記非線形結晶１２に入射することに
なる。レ−ザ光Ｓが発散状態で非線形結晶１２に入射す
ると、非線形結晶１２上におけるレ−ザ光Ｓのビ−ム径
が拡大されることになるから、この非線形結晶１２が受
ける単位面積当りのレ−ザ強度が低下することになる。
【００１７】このように、非線形結晶１２に入射するレ
−ザ光Ｓの単位面積当りの強度が低下すると、この非線
形結晶１２で波長変換されて出力する高調波の強度がＰ
1 よりも低下することになる。このときの高調波の強度
をＰ3 とする。
−ザ光Ｓの単位面積当りの強度が低下すると、この非線
形結晶１２で波長変換されて出力する高調波の強度がＰ
1 よりも低下することになる。このときの高調波の強度
をＰ3 とする。
【００１８】一方、レ−ザ発振器１から出力されるレ−
ザ光Ｓの強度が変動して図２（ｂ）に示すようにＰ2 に
低下した場合には、その強度Ｐ2 のレ−ザ光Ｓが自己集
束素子２２に入射することで、その焦点距離がＦ2 に変
化する。つまり、自己集束素子２２の焦点距離Ｆ2 は図
２（ａ）の場合に比べて長くなるから、集束されたレ−
ザ光Ｓは非線形結晶１２上で焦点を結ぶことになる。そ
れによって、非線形結晶１２に入射するレ−ザ光Ｓのビ
−ム径が図２（ａ）の場合に比べて小さくなるから、こ
の非線形結晶１２が受ける単位面積当りレ−ザ強度が高
くなる。
ザ光Ｓの強度が変動して図２（ｂ）に示すようにＰ2 に
低下した場合には、その強度Ｐ2 のレ−ザ光Ｓが自己集
束素子２２に入射することで、その焦点距離がＦ2 に変
化する。つまり、自己集束素子２２の焦点距離Ｆ2 は図
２（ａ）の場合に比べて長くなるから、集束されたレ−
ザ光Ｓは非線形結晶１２上で焦点を結ぶことになる。そ
れによって、非線形結晶１２に入射するレ−ザ光Ｓのビ
−ム径が図２（ａ）の場合に比べて小さくなるから、こ
の非線形結晶１２が受ける単位面積当りレ−ザ強度が高
くなる。
【００１９】したがって、非線形結晶１２で波長変換さ
れて出力する高調波の強度はＰ2 よりも増大することに
なる。上記自己集束素子２２や非線形結晶１２の配設置
状態を調節すれば、図２（ｂ）において、非線形結晶１
２から出力される高調波の強度を図２（ａ）のときの強
度Ｐ3 と同じにすることができる。
れて出力する高調波の強度はＰ2 よりも増大することに
なる。上記自己集束素子２２や非線形結晶１２の配設置
状態を調節すれば、図２（ｂ）において、非線形結晶１
２から出力される高調波の強度を図２（ａ）のときの強
度Ｐ3 と同じにすることができる。
【００２０】つまり、レ−ザ発振器１から出力されるレ
−ザ光Ｓの強度が変動しても、自己集束素子２２によっ
て非線形結晶１２に入射するレ−ザ光Ｓの焦点距離が変
えられることで、上記非線形結晶１２から出力される高
調波の強度を一定にすることができる。しかも、自己集
束素子２２は高速で応答するから、周波数が１００ＭＨ
ｚ程度のモ−ドロックレ−ザにも適用することができ
る。
−ザ光Ｓの強度が変動しても、自己集束素子２２によっ
て非線形結晶１２に入射するレ−ザ光Ｓの焦点距離が変
えられることで、上記非線形結晶１２から出力される高
調波の強度を一定にすることができる。しかも、自己集
束素子２２は高速で応答するから、周波数が１００ＭＨ
ｚ程度のモ−ドロックレ−ザにも適用することができ
る。
【００２１】図３（ａ）〜（ｄ）はこの発明と従来の技
術との比較を示す。なお、図中実線はこの発明を示し、
鎖線は従来の技術を示す。同図（ａ）はレ−ザ発振器１
から出力されるレ−ザ光Ｓの強度と、焦点距離との関係
を示し、従来は集光レンズ１１で集束していたので一定
であるが、この発明は自己集束素子２２で集束するた
め、レ−ザ光Ｓの強度が高くなるにしたがい焦点距離が
短くなる。
術との比較を示す。なお、図中実線はこの発明を示し、
鎖線は従来の技術を示す。同図（ａ）はレ−ザ発振器１
から出力されるレ−ザ光Ｓの強度と、焦点距離との関係
を示し、従来は集光レンズ１１で集束していたので一定
であるが、この発明は自己集束素子２２で集束するた
め、レ−ザ光Ｓの強度が高くなるにしたがい焦点距離が
短くなる。
【００２２】同図（ｂ）はレ−ザ発振器１から出力され
るレ−ザ光Ｓの強度と、非線形結晶１２に入射するレ−
ザ光Ｓのビ−ム径との関係を示し、集光レンズ１１で集
束される従来のビ−ム径は一定であるが、自己集束素子
２２を用いたこの発明はレ−ザ光Ｓの強度が増大するに
したがいビ−ム径も大きくなる。
るレ−ザ光Ｓの強度と、非線形結晶１２に入射するレ−
ザ光Ｓのビ−ム径との関係を示し、集光レンズ１１で集
束される従来のビ−ム径は一定であるが、自己集束素子
２２を用いたこの発明はレ−ザ光Ｓの強度が増大するに
したがいビ−ム径も大きくなる。
【００２３】同図（ｃ）はレ−ザ発振器１から出力され
るレ−ザ光Ｓの強度と、非線形結晶１２に入射するレ−
ザ光Ｓの強度、つまり非線形結晶１２の励起強度との関
係を示す。鎖線で示す従来の技術はレ−ザ光Ｓの強度が
増大するにつれて非線形結晶１２を励起する強度も増大
するが、この発明によれば、レ−ザ光Ｓの強度が増大す
ると、非線形結晶１２を励起する強度が低下する。
るレ−ザ光Ｓの強度と、非線形結晶１２に入射するレ−
ザ光Ｓの強度、つまり非線形結晶１２の励起強度との関
係を示す。鎖線で示す従来の技術はレ−ザ光Ｓの強度が
増大するにつれて非線形結晶１２を励起する強度も増大
するが、この発明によれば、レ−ザ光Ｓの強度が増大す
ると、非線形結晶１２を励起する強度が低下する。
【００２４】同図（ｄ）はレ−ザ発振器１から出力され
るレ−ザ光Ｓの強度と、非線形結晶１２から出力される
高調波の強度との関係を示す。従来はレ−ザ光Ｓの強度
が増大するにつれて非線形結晶１２から出力される高調
波の強度も増大するが、この発明によれば、非線形結晶
１２から出力される高調波の強度をほぼ一定にすること
ができる。
るレ−ザ光Ｓの強度と、非線形結晶１２から出力される
高調波の強度との関係を示す。従来はレ−ザ光Ｓの強度
が増大するにつれて非線形結晶１２から出力される高調
波の強度も増大するが、この発明によれば、非線形結晶
１２から出力される高調波の強度をほぼ一定にすること
ができる。
【００２５】図４はこの発明の他の実施例を示す。この
実施例は自己集束素子２２の出射側に補正レンズ３１を
設けるようにしたもので、このような構成によれば、自
己集束素子２２から出射したレ−ザ光Ｓの焦点距離、つ
まり非線形結晶１２に入射するレ−ザ光Ｓのビ−ム径
を、上記補正レンズ３１によって補正することができ
る。
実施例は自己集束素子２２の出射側に補正レンズ３１を
設けるようにしたもので、このような構成によれば、自
己集束素子２２から出射したレ−ザ光Ｓの焦点距離、つ
まり非線形結晶１２に入射するレ−ザ光Ｓのビ−ム径
を、上記補正レンズ３１によって補正することができ
る。
【００２６】なお、この発明は上記各実施例に限定され
るものでなく、たとえばノ−マルパルスやＱスイッチな
どモ−ドロックレ−ザ以外のレ−ザにもこの発明を適用
することができる。また、非線形結晶はＳＨＧ以外の結
晶、たとえば３倍波や４倍波に変換するものであっても
よい。また、自己集束素子を用いて高調波の強度を安定
化させる場合、レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光の
強度を制御する出力変調器はなくてもよい。
るものでなく、たとえばノ−マルパルスやＱスイッチな
どモ−ドロックレ−ザ以外のレ−ザにもこの発明を適用
することができる。また、非線形結晶はＳＨＧ以外の結
晶、たとえば３倍波や４倍波に変換するものであっても
よい。また、自己集束素子を用いて高調波の強度を安定
化させる場合、レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光の
強度を制御する出力変調器はなくてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、レ−ザ発
振器と非線形結晶との間に、レ−ザ発振器から出力され
るレ−ザ光の強度に応じて焦点距離が変化し上記非線形
結晶に入射するレ−ザ光のビ−ム径を変える自己集束素
子を設けるようにした。
振器と非線形結晶との間に、レ−ザ発振器から出力され
るレ−ザ光の強度に応じて焦点距離が変化し上記非線形
結晶に入射するレ−ザ光のビ−ム径を変える自己集束素
子を設けるようにした。
【００２８】そのため、レ−ザ発振器から出力されるレ
−ザ光の強度が変動しても、上記非線形結晶に入射する
レ−ザ光の強度をほぼ一定にできるから、それによって
非線形結晶から出射する高調波の強度を一定に維持する
ことができる。
−ザ光の強度が変動しても、上記非線形結晶に入射する
レ−ザ光の強度をほぼ一定にできるから、それによって
非線形結晶から出射する高調波の強度を一定に維持する
ことができる。
【図１】この発明の一実施例の全体構成図。
【図２】（ａ）は自己集束素子に入射するレ−ザ光の強
度が強い場合の説明図、（ｂ）は同じく強度が弱い場合
の説明図。
度が強い場合の説明図、（ｂ）は同じく強度が弱い場合
の説明図。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は従来とこの発明のレ−ザ発振
器から出力されるレ−ザ光の強度と種々のパラメ−タと
の関係を示す説明図。
器から出力されるレ−ザ光の強度と種々のパラメ−タと
の関係を示す説明図。
【図４】この発明の他の実施例を示す全体構成図。
【図５】従来の全体構成図。
【図６】（ａ）はレ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光
の強度分布図、（ｂ）は従来の非線形結晶から出力され
るレ−ザ光の強度分布図。
の強度分布図、（ｂ）は従来の非線形結晶から出力され
るレ−ザ光の強度分布図。
１…レ−ザ発振器、４…光共振器、５…固体レ−ザ媒
質、１２…非線形結晶、２２…自己集束素子。
質、１２…非線形結晶、２２…自己集束素子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−141631（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−148242（ＪＰ，Ａ) Ｓｏｖｉｅｔ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉ ｃｓ，Ｖｏｌ．８，Ｎｏ．２，ｐｐ. 272−273（1978）Ｙｕ．Ｇ．Ｇｒｉｎ ’，Ｙｕ．Ｎ．Ｋａｒａｍｚｉｎ ａｎ ｄ Ａ．Ｐ．Ｓｕｋｈｏｒｕｋｏｖ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/37 - 1/39 H01S 3/108 - 3/109 ＩＮＳＰＥＣ（ＤＩＡＬＯＧ) ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ) ＷＰＩ（ＤＩＡＬＯＧ)
Claims (1)
- 【請求項１】 光共振器およびこの光共振器内に設けら
れたレ−ザ媒質からなるレ−ザ発振器と、このレ−ザ発
振器から出力されたレ−ザ光の波長を高調波に変換する
非線形結晶と、この非線形結晶と上記レ−ザ発振器との
間に設けられ上記レ−ザ発振器から出力されるレ−ザ光
の強度に応じて焦点距離が変化し上記非線形結晶に入射
するレ−ザ光のビ−ム径を変える自己集束素子とを具備
したことを特徴とする波長変換レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12467692A JP3199836B2 (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 波長変換レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12467692A JP3199836B2 (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 波長変換レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05323394A JPH05323394A (ja) | 1993-12-07 |
| JP3199836B2 true JP3199836B2 (ja) | 2001-08-20 |
Family
ID=14891313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12467692A Expired - Fee Related JP3199836B2 (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 波長変換レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3199836B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001352120A (ja) | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置とその制御方法およびそれを用いたレーザ加工方法とレーザ加工機 |
| US9841655B2 (en) * | 2015-07-01 | 2017-12-12 | Kla-Tencor Corporation | Power scalable nonlinear optical wavelength converter |
| KR102173445B1 (ko) * | 2019-06-07 | 2020-11-03 | 포항공과대학교 산학협력단 | 빔 파워 생성 및 안정화 시스템 |
-
1992
- 1992-05-18 JP JP12467692A patent/JP3199836B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Ｓｏｖｉｅｔ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，Ｖｏｌ．８，Ｎｏ．２，ｐｐ．２７２−２７３（１９７８）Ｙｕ．Ｇ．Ｇｒｉｎ’，Ｙｕ．Ｎ．Ｋａｒａｍｚｉｎ ａｎｄ Ａ．Ｐ．Ｓｕｋｈｏｒｕｋｏｖ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05323394A (ja) | 1993-12-07 |
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