JPH08157202A

JPH08157202A - オゾン発生器

Info

Publication number: JPH08157202A
Application number: JP32392394A
Authority: JP
Inventors: Naotoshi Morita; 直年森田; Yukio Wakita; 幸雄脇田
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 1994-11-30
Filing date: 1994-11-30
Publication date: 1996-06-18
Anticipated expiration: 2019-07-21
Also published as: JP3544018B2

Abstract

(57)【要約】【目的】金属ダストを発生することなく、高い効率で
オゾンを発生し得ると共に、製品間のオゾン発生効率に
偏差の少ないオゾン発生器を提供する【構成】裏面に金属電極１９、２０が配設された一対
のファインセラミックからなる第１、第２放電板１２、
１６を対向させ、該第１、第２放電板１２、１６の表面
粗度をＲａで０．２μｍ以下にした。金属電極１９、２
０がファインセラミックからなる第１、第２放電板１
２、１６を介在させて対向しているので、金属ダストを
発生することがなくなる。また、第１、第２放電板の表
面粗度を０．２μｍ以下に形成してあるため、オゾン発
生効率が高くなると共にオゾン発生器相互間の効率の偏
差が少なくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、オゾン発生器に関し、
特に、食品加工、半導体のマクスク除去、液晶の表面有
機物除去等の産業用に用いる大容量のオゾン発生器に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、産業用のオゾン発生器としては、
無声放電を発生させてオゾンを生成する図７に示すよう
な円筒形の物が多く用いられている。このオゾン発生器
は、円筒状に形成されたガラス管９２の裏面にアルミ蒸
着からなる金属電極９４を配置し、この金属電極９４
と、ガラス管９２と同心状に形成されたステンレス管９
６との間に電圧を印加することにより、該ガラス管９２
とステンレス管９６との間の空間ギャップに無声放電を
発生させてオゾンを生成するもので、該空間ギャップ間
の一方から酸素を導入し、他方からオゾンを取り出して
いた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の円筒形のオゾン発生器では、ステンレス管９６を用
いるため発生したオゾン中に金属ダストが含まれてい
た。このため、係る従来のオゾン発生器は、金属ダスト
等の不純物を嫌う用途、例えば半導体のマクスク除去等
には用いることができなかった。また、誘電体としてガ
ラスを用いるため、絶縁耐圧が低くオゾンの発生効率が
低かった。

【０００４】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、金属ダ
ストを発生することなく高い効率でオゾンを発生し得る
オゾン発生器を提供することにある。

【０００５】また本発明は、上述した課題を解決するた
めになされたものであり、その目的とするところは、高
い効率でオゾンを発生し得ると共に、製品間のオゾン発
生効率に偏差の少ないオゾン発生器を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に記載された無声放電方式のオゾン発生器
においては、裏面に金属電極１９、２０が配設された一
対のファインセラミックからなる放電体１２、１６を対
向させて形成し、無声放電が発生する部分のファインセ
ラミックの表面粗度をＲａで０．２μｍ以下に形成した
ことを特徴とする。

【０００７】また、請求項２に記載の態様においては、
前記放電体１２、１６が板状部材から成り、スペーサ１
５を介在させ対向させていることを特徴とする。更に、
請求項３に記載の態様においては、前記放電体の裏面の
金属電極１９、２０に放熱フィン２２、２４を取り付け
たことを特徴とする。

【０００８】また更に、請求項４に記載の態様において
は、板状部材から成る前記放電体１２、１６の一方に酸
素導入孔２６とオゾン導出孔２８とが穿設され、該オゾ
ン発生器１０が、酸素導入孔５６とオゾン導出孔５８と
を有し耐オゾン性部材から成る取り付け装置５０に、前
記オゾン発生器側の酸素導入孔２６及びオゾン導出孔２
８と該取り付け装置５０側の酸素導入孔５６及びオゾン
導出孔５８とが連通するように取り付けられていること
を特徴とする。更に、請求項５に記載の態様において
は、前記放電体１２、１６裏面の金属電極１９、２０の
少なくとも周縁部分１９ｂが、ファインセラミックに埋
設されていることを特徴とする。

【０００９】

【作用効果】上記のように構成されたオゾン発生器で
は、請求項１の態様において、金属電極１９、２０がフ
ァインセラミックからなる放電体１２、１６を介在させ
て対向しているので、金属ダストを発生することがなく
なる。また、放電体１２、１６にファインセラミックを
利用しているため、絶縁耐圧が高く効率良くオゾンを発
生することができる。また、ファインセラミックの表面
粗度をＲａで０．２μｍ以下に形成してあるため、オゾ
ン発生効率が高くなると共にオゾン発生器相互間の効率
の偏差が少なくなる。

【００１０】上記のように構成されたオゾン発生器で
は、請求項２の態様において、放電体１２、１６が板状
部材から成るため、ラッピング研磨により容易に表面粗
度を０．２μｍ以下に形成することができる。

【００１１】上記のように構成されたオゾン発生器で
は、請求項３の態様において、放電体１２、１６の裏面
の金属電極１９、２０に放熱フィン２２、２４が取り付
けられ、該金属電極１９、２０が低温に保たれるため、
発生したオゾンが熱により酸素に還元されることがなく
なり、効率良くオゾンを発生することができる。

【００１２】上記のように構成されたオゾン発生器で
は、請求項４の態様において、オゾン発生器１０が、取
り付け装置５０に該オゾン発生器側の酸素導入孔２６及
びオゾン導出孔２８と該取り付け装置５０側の酸素導入
孔５６及びオゾン導出孔５８とが連通するように取り付
けられている。このため、該取り付け装置５０の孔の径
を接続させる外部装置の径と適合するように設定するこ
とにより、どの様な径の外部装置とも容易に接続するこ
とができる。

【００１３】上記のように構成されたオゾン発生器で
は、請求項５の態様において、オゾン発生器の外側に配
置される放電体１２、１６裏面の金属電極１９、２０の
周縁部分１９ｂが、ファインセラミックに埋設されてい
るため、オゾン発生器外部において該金属電極１９、２
０の端部と放電体１２、１６との間で放電が生じオゾン
が発生することを防ぐことができる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明を具体化した実施例を図を参照
して説明する。図１は、本発明の第１実施例に係るオゾ
ン発生器の組み立てを示している。オゾン発生器は、裏
面にタングステンの金属電極１９が配置されたアルミナ
から成る板状の第１放電板１２と、スペーサ１５と、裏
面にタングステンの金属電極２０が配置されたアルミナ
から成る板状の第２放電板１６とから構成され、該金属
電極１９の上面及び金属電極２０の下面にはアルミニュ
ームから成る放熱フィン（ヒートシンク）２２、２４が
半田により取り付けられている。

【００１５】この第１放電板１２は、２枚のグリーンシ
ート１３、１４を焼成して成り、上方のグリーンシート
１３には開口部１３ａが設けられている。第１放電板１
２には、外部電極との接続用の端子２１が取り付けられ
ている。他方、第２放電板１６は、２枚のグリーンシー
ト１７、１８を焼成して成り、下方のグリーンシート１
８には、開口部（図示せず）が設けられている。この第
２放電板１６には、外部から酸素を取り入れるための酸
素導入孔２６と、外部へオゾンを導き出すためのオゾン
導出孔２８とが設けられている。この第１放電板１２と
第２放電板１６との間に介在するスペーサ１５は、中心
に開口部１５ａが形成されて空間ギャップを作り出す。
スペーサ１５は、可撓性を有すると共に耐オゾン性の高
いフッ素ゴムから成り、該第１放電板１２と第２放電板
１６とに密着して開口部１５ａによって形成される空間
ギャップからオゾンが漏出する事を防ぐ。

【００１６】次に、第１実施例のオゾン発生器の製造方
法について述べる。先ず、第１放電板１２の製造方法に
ついて説明する。アルミナ粉末にＭｇＯ２％（重量比、
以下同じ）、ＣａＯ２％、ＳｉＯ₂４％を混合してボー
ルミルで５０〜８０時間、湿式粉砕した後に脱水乾燥す
る。この粉末にメタクリル酸イソブチルエステル３％、
ブチルエステル３％、ニトロセルロース１％、ジオクチ
ルフタレート０．５％を加え、更に、溶剤としてトリク
ロールエチレン、ｎ−ブタノールを加えてボールミルで
混合して流動性のあるスラリーとする。これを減圧脱泡
後に平板状に流し出して徐冷し、溶剤を発散させ厚さ
０．８mmのアルミナグリーンシート１３、１４を形成す
る。そして、金属電極１９を形成するためにタングステ
ン粉末をスラリー状にしてメタライズインクを形成す
る。このタングステンメタライズインクを下側のアルミ
ナグリーンシート１４に面状にスクリーン印刷する。そ
して、図２に示すように、タングステンメタライズイン
ク１９の周縁部１９ｂを埋設させる大きさに、上側のア
ルミナグリーンシート１３の中央部を打ち抜いて開口部
１３ａを形成し（即ち、開口部１３ａをタングステンメ
タライズインク１９よりも小さく形成する）、上記アル
ミナグリーンシート１４の上に該アルミナグリーンシー
ト１３を熱圧着する。この熱圧着したアルミナグリーン
シート１３、１４の一方の端部に金属電極からの接続用
の端子２１を形成するためのスルーホール３０を穿設
し、該スルーホール３０内に、端子用のメタライズイン
クを充填し、このように積層したアルミナグリーンシー
ト１３、１４を１４００°Ｃ〜１６００°Ｃの非酸素雰
囲気下で同時焼成する。この同時焼成により形成された
第１放電板１２の放電面（下面側）は、表面粗度がＲａ
で０．４〜０．５μｍになっている。

【００１７】この同時焼成により形成された第１放電板
１２の放電面（下面側）をラッピング研磨により表面粗
度をＲａで０．２μｍ以下にする。ここでは、加工機械
として片面研磨機を用い、該片面研磨機のディスク側に
複数の第１放電板１２を取り付ける。このディスクと対
向する側に、２〜３μｍのダイヤモンドを研磨剤として
用いる研磨部材を配置し、該ディスク側に取り付けられ
た第１放電板１２を該研磨部材に圧力１kg／cm²で押し
当て、ディスクを１時間回転させることにより該第１放
電板１２のラッピング研磨を行う。

【００１８】この表面研磨の完了した第１放電板１２の
タングステンメタライズインク１９側にニッケルメッキ
を施し、半田にて放熱フィン２２を直接取り付ける。な
お、同様にして第２放電板１６を、２枚の積層されたア
ルミナグリーンシート１７、１８に酸素導入孔２６を形
成するためのスルーホールと、また、オゾン導出孔２８
を形成するためのスルーホールとを穿設した後に、同時
焼成により形成する。そして、放電面（上面側）をラッ
ピング研磨により表面粗度を０．２μｍ以下にし、放熱
フィン２４を取り付ける。即ち、この実施例では、第
１、第２放電板１２、１６の裏面の金属電極１９、２０
に放熱フィン２２、２４が取り付けられ、該金属電極１
９、２０が低温に保たれるため、発生したオゾンが熱に
より酸素に還元されることがなくなり、効率良くオゾン
を発生することができる。

【００１９】このオゾン発生器１０を取り付けための取
り付け装置５０について、該取り付け装置５０の断面を
示す図３を参照して説明する。取り付け装置５０は、耐
オゾン性の高いテフロンから形成され、略矩形状から成
り中央部に開口部５４ａが形成された周縁部５４と、こ
の周縁部５４の上部に載置される蓋体５２とから成り、
該周縁部５４の開口部５４ａにオゾン発生器１０を保持
するように構成されている。該周縁部５４には、オゾン
発生器１０の周縁部を嵌入するための段部５４ｂが形成
されている。オゾン発生器１０の酸素導入孔２６の下方
位置には、凹部６０が形成され、該凹部６０の略中央位
置には上方を指向する凸部５６ｂが形成され、この凸部
５６ｂの中央には上記オゾン発生器１０の酸素導入孔２
６と連通させるための酸素導入孔５６が形成されてい
る。この酸素導入孔５６の下方には、図示しない外部部
材からのテフロンパイプを嵌入するためのテーパ孔６２
が形成されている。該凹部６０と凸部５６ｂとの間に
は、オゾン発生器１０と接してオゾンの漏出を防ぐため
の０リング６６が配置されている。他方、オゾン発生器
１０のオゾン導出孔２８の下方位置には、凹部６１が形
成され、該凹部６１の略中央位置には上方を指向する凸
部５８ｂが形成され、この凸部５８ｂの中央には上記オ
ゾン発生器１０のオゾン導出孔２８と連通させるための
オゾン導出孔５８が形成されている。このオゾン導出孔
５８の下方には、図示しない外部部材からのテフロンパ
イプを嵌入するためのテーパ孔６４が形成されている。

【００２０】この第１実施例では、テーパ孔６２、６４
の口径の異なる複数の取り付け装置５０を用意すること
により、同一形状のオゾン発生器１０を種々の外部装置
へ接続することができる。また、オゾン発生器１０と取
り付け装置５０との酸素導入孔２６及び酸素導入孔５６
の間、並びに、オゾン導出孔２８及びオゾン導出孔５８
との間に０リング６６、６６を介在させてあるため、こ
れらの接続部分から有害な高濃度オゾンが漏出すること
を防止できる。

【００２１】次に、本発明のオゾン発生器１０の動作試
験の結果について図４のグラフを参照して説明する。こ
のグラフにおいて、縦軸はオゾン濃度（ｐｐｍ）を、横
軸は放電面の表面粗度（Ｒａ μｍ）を示している。こ
こでは、オゾン発生の条件として、純酸素（９９．９
％）を２Ｌ／min でオゾン発生器１０へ導入し、３５Ｗ
の電力を投入し、サンプルとして１０個のオゾン発生器
を用いて実験を行った。上述した第１放電板１２及び第
１放電板１６に表面研磨を行わなかったオゾン発生器
（表面粗度Ｒａ０．５μｍ）は、平均オゾン濃度が
６，０００ｐｐｍでサンプル間の偏差（ばらつき）が±
２５％あった。また、表面粗度Ｒａ０．４μｍのオゾ
ン発生器は、平均オゾン濃度が７，５００ｐｐｍでサン
プル間の偏差が±１２．５％あった。表面粗度Ｒａ
０．３μｍのオゾン発生器は、平均オゾン濃度が８，５
００ｐｐｍでサンプル間の偏差が±１１％あった。そし
て、上述した手法で第１放電板１２及び第２放電板１６
とに表面研磨を行なったオゾン発生器１０（表面粗度Ｒ
ａ０．２μｍ）は、平均オゾン濃度が９，５００ｐｐ
ｍでサンプル間の偏差が±５％あり、オゾン発生器（表
面粗度Ｒａ０．１μｍ）は、平均オゾン濃度が９，７
００ｐｐｍでサンプル間の偏差が±５％あった。即ち、
オゾンの発生効率及びサンプル間の偏差において、表面
粗度Ｒａ０．２μｍのものは、０．３μｍのものに対
して臨界的な効果を達成し得た。なお、前述した表面研
磨を行わないオゾン発生器（表面粗度Ｒａ０．５μ
ｍ）では、オゾン発生効率が低いと共に偏差が大きく、
製品の一つ一つについて性能試験を行う必要があり、特
に、大量のオゾンを発生させるために上述したオゾン発
生器を複数並列に配置して使用する場合には、オゾン発
性効率の近似したものを集める必要があった。これに対
して上述した本実施例のオゾン発生器では、表面研磨を
行うことにより偏差が小さくなり性能試験を行うことが
不要になると共に、複数並列に配置して使用することが
容易になる。

【００２２】なお、上記試験おいて、表面粗度Ｒａ
０．１μｍのオゾン発生器は、上述した表面粗度Ｒａ
０．２μｍを達成するためにラッピングを行った製品の
内の測定器で表面粗度を測定した結果、表面粗度が０．
１μｍになった物を１０個抽出して試験を行った。従っ
て、この表面粗度０．１μｍの１０個のサンプルの中に
は、表面粗度０．０５μｍ〜０．１５μｍのものが含ま
れており、これらのオゾン発生器を表面粗度Ｒａ０．
１μｍとして測定を行った結果、上述したように平均オ
ゾン濃度が９，７００ｐｐｍでサンプル間の偏差が±５
％であった。この点から判断して、表面粗度を０．１μ
ｍ以下にしても、上記０．１μｍ時の値で飽和している
ものと考えられる。

【００２３】また、この実施例では、図２に示すよう
に、タングステンメタライズインク１９の周縁部１９ｂ
を埋設させる大きさに、上側のアルミナグリーンシート
１３の開口部１３ａを形成し、下側のアルミナグリーン
シート１４に取り付け同時焼成を行っている。即ち、第
１放電体１２の裏面の金属電極１９の周縁部分１９ｂを
ファインセラミックに埋設させている。このように構成
しているのは、図６に示すように、金属電極１９の周縁
部分１９ｂと開口部１３ａとが離れていると、特に金属
電極１９の４つの隅部１９ｃ、１９ｃ、１９ｃ、１９ｃ
において開口部１３ａとの間で電界密度が高くなり沿面
放電が生じ、オゾンを発生することになるからである。
金属電極１９は、オゾン発生器の外側に配置されている
ためオゾンを発生することは望ましくない。この理由か
ら、金属電極１９の周縁部分１９ｂをファインセラミッ
クに埋設することによりオゾンの発生を防いでいる。な
お、第２放電板１６側も同様にして金属電極の周縁部分
を埋設してオゾンの発生を防いでいる。

【００２４】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。上述した第１実施例においては、第１放電板１２と
第２放電板１６とがアルミナから形成されたが、この第
２実施例においてはムライトから形成される。ここで、
オゾン発生器の構成は、第１実施例と同様であるため、
図１を参照して第２実施例のオゾン発生器の製造方法を
説明する。

【００２５】まず、平均粒径１．７μｍのアルミナ１１
５ｇと、平均粒径２．４μｍのシリカ１１５ｇと、平均
粒径０．４μｍの炭酸マグネシウム２０ｇとを良く混合
し、１４００°Ｃにて加熱溶融させる。加熱溶融して得
られたガラスフリットを、湿式粉砕してガラス粉を形成
する。次に、平均粒径２．４μｍの電融ムライト７５０
ｇと該ガラス粉とを、分解媒体としてトルエンを用いて
２４時間ボールミル中で混合し、続いてグリーンシート
成型用のバインダーとしてジブチルフタレートとポリビ
ニルブチラールとを加え更に２４時間混合する。そし
て、得られた混合物を真空脱泡後、ドクターブレード方
により厚さ１．２ｍｍのグリーンシート１３、１４を作
成する。

【００２６】次に、下側のグリーンシート１４の上面に
公知のスクリーン印刷法にて金属電極１９をタングステ
ンペーストを用いて印刷し、その上に第１実施例と同様
に開口部１３ａを形成したグリーンシート１３を載置す
る。そして、全体を熱圧着し、１４００°Ｃ〜１６００
°Ｃの非酸化雰囲気中で焼成し、第１放電板１２を形成
する。その後、第１実施例と同様にして第１放電板１２
の放電面（下面側）をラッピング研磨により表面粗度を
０．２μｍ以下にする。同様にして第２放電板１６を形
成する。

【００２７】このようにして製造されたオゾン発生器の
第１、第２放電板１２、１６を形成するムライトセラミ
ックは、好適な組成範囲において比誘電率が６．３〜
７．０程度の低誘電率となる。ちなみに第１実施例のア
ルミナＡｌ₂Ｏ₃からなるセラミックの比誘電率は９〜
１０である。なお、ムライトセラミックは、アルミナセ
ラミックに対して機械的強度が低いため、第１、第２放
電板１２、１６を第１実施例と比較して厚く構成する必
要があり、また、大型のオゾン発生器は作り難いという
課題がある。

【００２８】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。上述した第１実施例においては、第１放電板１２と
第２放電板１６とをアルミナから形成したが、この第２
実施例においては、シリコンナイトライドにより形成す
る。ここで、オゾン発生器の構成は、第１実施例と同様
であるため、図１を参照して第３実施例のオゾン発生器
の製造方法を説明する。

【００２９】まず、公知の材料からシリコンナイトライ
ド用の厚さ０．８ｍｍのグリーンシート１３、１４を作
成する。そして、グリーンシート１３の中央に開口部１
３ａを打ち抜き、グリーンシート１３とグリーンシート
１４とを熱圧着し、１４００°Ｃ〜１６００°Ｃの非酸
化雰囲気中で焼成する。その後、該開口部１３ａに、白
金からなる金属電極１９を取り付け第１放電板１２を形
成する。その後、第１実施例と同様にして第１放電板１
２の放電面（下面側）をラッピング研磨により表面粗度
を０．２μｍ以下にする。同様にして第２放電板１６を
形成する。

【００３０】この第３実施例は、第１、第２放電板１
２、１６がシリコンナイトライドから形成されるため、
第１実施例のアルミナと同程度の強度を有するが、第１
実施例のようにタングステンペーストから金属電極１９
を、グリーンシート１３及びグリーンシート１４を焼成
する際に同時焼成することができない。このため、第３
実施例では上述したように放電板を焼成により形成した
後に、金属電極を取り付ける必要がある。

【００３１】次に、本発明の第４実施例について図５を
参照して説明する。上述した第１実施例においては、第
１放電板１２と第２放電板１６とが平板状に形成された
が、この第４実施例では、第１放電体７０と第２放電体
７２とがアルミナから成るファインセラミックにより円
筒状に形成されている。この第１放電体７０の裏面（内
周側）にはアルミ蒸着により金属電極７４が形成され、
同様に、第２放電体７２の裏面（外周側）にはアルミ蒸
着により金属電極７６が形成されている。そして、金属
電極７６の外側には、３分割により構成された放熱フィ
ン７８、７８、７８が取り付けられている。この第１放
電体７０の放電面（外周側）と第２放電体７２の放電面
（内周側）とは、表面粗度が０．２μｍに研磨されてい
る。

【００３２】この第４実施例の構成を用いれば、図７を
参照して前述した従来の構成よりも効率良くオゾンを発
生させ得るものと考えられる。この第４実施例は、第１
放電体７０の放電面と第２放電体７２の放電面との研磨
が第１実施例と比較して困難である反面、大型のオゾン
発生器を構成し易い利点がある。また、アルミナではな
く、ムライト、シリコンナイトライドでも容易に構成す
ることができる。なお、上述した第４実施例では、第１
放電体７０の放電面（外周側）と第２放電体７２の放電
面（内周側）とに研磨を加えたが、相対的に研磨の困難
な第２放電体７２の放電面（内周側）には研磨を加える
ことなく用いることも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るオゾン発生器の製造
工程を示す斜視図である。

【図２】図１に示すオゾン発生器の放電板の平面図であ
る。

【図３】第１実施例に係るオゾン発生器が取り付け装置
に保持された状態を示す断面図である。

【図４】表面粗度対オゾン発生効率のグラフである。

【図５】第４実施例のオゾン発生器の断面図である。

【図６】沿面放電の発生を示すための放電板の平面図で
ある。

【図７】従来技術に係るオゾン発生器の断面図である。

【符号の説明】

１０オゾン発生器１２第１放電板１５スペーサ１６第２放電板１９金属電極２０金属電極２２放熱フィン２４放熱フィン２６酸素導入孔２８オゾン導出孔５０取り付け装置

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【手続補正書】

【提出日】平成７年１月２３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】裏面に金属電極が配設された一対のファ
インセラミックからなる放電体を対向させて形成する無
声放電方式のオゾン発生器において、ファインセラミッ
クの放電面の表面粗度をＲａで０．２μｍ以下に形成し
たことを特徴とするオゾン発生器。
【請求項２】前記放電体が板状部材から成り、スペー
サを介在させ対向させていることを特徴とする請求項１
のオゾン発生器。
【請求項３】前記放電体の裏面の金属電極に放熱フィ
ンを取り付けたことを特徴とする請求項１又は２のオゾ
ン発生器。
【請求項４】板状部材から成る前記放電体の一方に酸
素導入孔とオゾン導出孔とが穿設され、該オゾン発生器
が、酸素導入孔とオゾン導出孔とを有し耐オゾン性部材
から成る取り付け装置に、前記オゾン発生器側の酸素導
入孔及びオゾン導出孔と該取り付け装置側の酸素導入孔
及びオゾン導出孔とが連通するように、取り付けられて
いることを特徴とする請求項２又は３のオゾン発生器。
【請求項５】前記放電体裏面の金属電極の少なくとも
周縁部分が、ファインセラミックに埋設されていること
を特徴とする請求項２乃至４のオゾン発生器。