JPH08155790A - 熱変化による誤差を補正する切削装置 - Google Patents
熱変化による誤差を補正する切削装置Info
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- JPH08155790A JPH08155790A JP33018394A JP33018394A JPH08155790A JP H08155790 A JPH08155790 A JP H08155790A JP 33018394 A JP33018394 A JP 33018394A JP 33018394 A JP33018394 A JP 33018394A JP H08155790 A JPH08155790 A JP H08155790A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 6
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 定温水コントローラを用いることなく、スピ
ンドルユニット等の熱変形を補正出来るようにした、熱
変化による誤差を補正する切削装置を提供する。 【構成】 ダイシング装置等の切削装置において、温度
変化に起因して伸縮する部材に温度センサを装着し、こ
の部材の単位温度当たりの伸縮量のデータをＣＰＵに記
録しておき、前記温度センサからの情報と前記データと
に基づいて温度変化に起因する部材の伸縮誤差を補正す
る。
ンドルユニット等の熱変形を補正出来るようにした、熱
変化による誤差を補正する切削装置を提供する。 【構成】 ダイシング装置等の切削装置において、温度
変化に起因して伸縮する部材に温度センサを装着し、こ
の部材の単位温度当たりの伸縮量のデータをＣＰＵに記
録しておき、前記温度センサからの情報と前記データと
に基づいて温度変化に起因する部材の伸縮誤差を補正す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱変化による誤差を補
正する切削装置に関する。
正する切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイシング装置等の切削装置にお
いては、図３に示すように上下動するカセット載置領域
Ａに複数枚のウェーハＷ（粘着テープＮを介してフレー
ムＦに固定）を収容したカセットＣを載置し、搬出入手
段ＢでカセットＣ内のウェーハＷを待機領域Ｄに搬出す
ると共に、旋回アームを有する搬送手段Ｅでチャックテ
ーブルＴに搬送する。次いで、ウェーハＷはチャックテ
ーブルＴに吸引保持された状態でアライメント手段Ｇま
で移動され、アライメントの後に回転ブレードを有する
切削手段Ｈで切削される。前記切削手段Ｈは、図１に示
すようにスピンドルユニット１を有し、そのスピンドル
２の先端に回転ブレード３が装着され、スピンドルユニ
ット１の基部はボールスクリュー４ａを有するＺ軸駆動
機構４により回転ブレード３のＺ軸移動量つまり切り込
み量を制御している。
いては、図３に示すように上下動するカセット載置領域
Ａに複数枚のウェーハＷ（粘着テープＮを介してフレー
ムＦに固定）を収容したカセットＣを載置し、搬出入手
段ＢでカセットＣ内のウェーハＷを待機領域Ｄに搬出す
ると共に、旋回アームを有する搬送手段Ｅでチャックテ
ーブルＴに搬送する。次いで、ウェーハＷはチャックテ
ーブルＴに吸引保持された状態でアライメント手段Ｇま
で移動され、アライメントの後に回転ブレードを有する
切削手段Ｈで切削される。前記切削手段Ｈは、図１に示
すようにスピンドルユニット１を有し、そのスピンドル
２の先端に回転ブレード３が装着され、スピンドルユニ
ット１の基部はボールスクリュー４ａを有するＺ軸駆動
機構４により回転ブレード３のＺ軸移動量つまり切り込
み量を制御している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記回転ブレード３は
切削時に高速回転するため、スピンドルユニット１やそ
の周辺部が熱によって変形することがあり、スピンドル
ユニット１のＺ軸移動をＺ軸リニアスケール５で計測し
て回転ブレード３のＺ軸移動を正確に制御するにも拘ら
ず、回転ブレード３の実際のＺ軸移動との間に誤差が生
じて精密切削に悪影響を及ぼすことがある。このような
熱変形を防止するために、例えばスピンドルユニット１
のハウジング１ａに通水路（図略）を設け、この通水路
に冷却水を通してスピンドルユニット１を一定の温度に
保持するようにしているが、冷却水の温度を制御するた
めの定温水コントローラが必要となる。そこで、本発明
は定温水コントローラを用いることなくスピンドルユニ
ット等の熱変形を補正出来るようにした、熱変化による
誤差を補正する切削装置を提供することを課題とする。
切削時に高速回転するため、スピンドルユニット１やそ
の周辺部が熱によって変形することがあり、スピンドル
ユニット１のＺ軸移動をＺ軸リニアスケール５で計測し
て回転ブレード３のＺ軸移動を正確に制御するにも拘ら
ず、回転ブレード３の実際のＺ軸移動との間に誤差が生
じて精密切削に悪影響を及ぼすことがある。このような
熱変形を防止するために、例えばスピンドルユニット１
のハウジング１ａに通水路（図略）を設け、この通水路
に冷却水を通してスピンドルユニット１を一定の温度に
保持するようにしているが、冷却水の温度を制御するた
めの定温水コントローラが必要となる。そこで、本発明
は定温水コントローラを用いることなくスピンドルユニ
ット等の熱変形を補正出来るようにした、熱変化による
誤差を補正する切削装置を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、温度変化に起因して
伸縮する部材に温度センサを装着し、この部材の単位温
度当たりの伸縮量のデータをＣＰＵに記録しておき、前
記温度センサからの情報と前記データとに基づいて温度
変化に起因する部材の伸縮誤差を補正するようにした、
熱変化による誤差を補正する切削装置を要旨とする。
するための手段として、本発明は、温度変化に起因して
伸縮する部材に温度センサを装着し、この部材の単位温
度当たりの伸縮量のデータをＣＰＵに記録しておき、前
記温度センサからの情報と前記データとに基づいて温度
変化に起因する部材の伸縮誤差を補正するようにした、
熱変化による誤差を補正する切削装置を要旨とする。
【０００５】
【作 用】伸縮部材に装着した温度センサで温度を検出
し、この検出信号をＣＰＵに入力し、予め実測して記憶
させたその伸縮部材の単位温度当たりの伸縮量のデータ
との比較に基づいて温度変化に起因する伸縮部材の伸縮
誤差を正確に補正することが出来る。これにより、冷却
水の温度の如何に拘らず温度センサで部材の温度を検出
して制御するようにしたので、定温水コントローラが不
要になる。
し、この検出信号をＣＰＵに入力し、予め実測して記憶
させたその伸縮部材の単位温度当たりの伸縮量のデータ
との比較に基づいて温度変化に起因する伸縮部材の伸縮
誤差を正確に補正することが出来る。これにより、冷却
水の温度の如何に拘らず温度センサで部材の温度を検出
して制御するようにしたので、定温水コントローラが不
要になる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す添付図面に基づ
いて（従来と同一部材は同一符号で）詳説する。図１に
おいて、６は前記Ｚ軸駆動機構４を取り付けた基台であ
り、この基台はベッド７の上に装着されたＹ軸駆動機構
８のボールスクリュー８ａによってＹ軸方向つまり回転
ブレード３の割り出し方向に移動出来るようにしてあ
る。
いて（従来と同一部材は同一符号で）詳説する。図１に
おいて、６は前記Ｚ軸駆動機構４を取り付けた基台であ
り、この基台はベッド７の上に装着されたＹ軸駆動機構
８のボールスクリュー８ａによってＹ軸方向つまり回転
ブレード３の割り出し方向に移動出来るようにしてあ
る。
【０００７】９はベッド７側に設けられたＹ軸リニアス
ケールであり、前記基台６のＹ軸移動量を計測出来るよ
うにしてある。１０は前記チャックテーブルＴを保持す
る移動テーブルであり、前記ベッド７上に装着されたＸ
軸駆動機構１１によりガイドレール１２に沿ってＸ軸方
向（紙面に垂直方向）つまり切削方向に移動される。
ケールであり、前記基台６のＹ軸移動量を計測出来るよ
うにしてある。１０は前記チャックテーブルＴを保持す
る移動テーブルであり、前記ベッド７上に装着されたＸ
軸駆動機構１１によりガイドレール１２に沿ってＸ軸方
向（紙面に垂直方向）つまり切削方向に移動される。
【０００８】１３は温度センサであり、温度変化による
測定誤差の影響を受け易い前記基台６におけるＺ軸リニ
アスケール５の付近に取り付けられ、所定時間毎に温度
情報を測定してその検出信号をＣＰＵ（図略）に入力
し、温度メモリＭ2 に記録するようになっている。
測定誤差の影響を受け易い前記基台６におけるＺ軸リニ
アスケール５の付近に取り付けられ、所定時間毎に温度
情報を測定してその検出信号をＣＰＵ（図略）に入力
し、温度メモリＭ2 に記録するようになっている。
【０００９】この温度メモリＭ2 のデータと、直前の温
度が記録されている温度メモリＭ1のデータとを比較
し、Ｍ1 ＝Ｍ2 ならば温度変化はないことから何も補正
されないが、Ｍ1 ＜Ｍ2 ならば（Ｍ2 −Ｍ1 ）×Ｋμｍ
だけスピンドルユニット１をＺ軸方向に下降修正し、Ｍ
1 ＞Ｍ2 ならば（Ｍ1 −Ｍ2 ）×ＫμｍだけＺ軸方向に
上昇修正する。ここで、Ｋの値は例えばＫ＝２．５μｍ
／℃であって、これは温度センサ１３を取り付けた基台
６部分の単位温度当たりの伸縮量であり、予め実測によ
り検出してＣＰＵに記録してある。
度が記録されている温度メモリＭ1のデータとを比較
し、Ｍ1 ＝Ｍ2 ならば温度変化はないことから何も補正
されないが、Ｍ1 ＜Ｍ2 ならば（Ｍ2 −Ｍ1 ）×Ｋμｍ
だけスピンドルユニット１をＺ軸方向に下降修正し、Ｍ
1 ＞Ｍ2 ならば（Ｍ1 −Ｍ2 ）×ＫμｍだけＺ軸方向に
上昇修正する。ここで、Ｋの値は例えばＫ＝２．５μｍ
／℃であって、これは温度センサ１３を取り付けた基台
６部分の単位温度当たりの伸縮量であり、予め実測によ
り検出してＣＰＵに記録してある。
【００１０】スピンドルユニット１のＺ軸方向の補正は
ＣＰＵからの指令信号をドライブコントローラ１４に入
力して遂行され、この信号出力後にＣＰＵでは温度メモ
リＭ1 に記録されているデータがメモリＭ2 記録されて
いるデータと置換される。即ち、最新の温度データに書
き替えられ、このデータが次の温度情報に対する直前の
データとなる。
ＣＰＵからの指令信号をドライブコントローラ１４に入
力して遂行され、この信号出力後にＣＰＵでは温度メモ
リＭ1 に記録されているデータがメモリＭ2 記録されて
いるデータと置換される。即ち、最新の温度データに書
き替えられ、このデータが次の温度情報に対する直前の
データとなる。
【００１１】このようにして、温度センサ１３からの所
定時間毎の温度情報に基づいてスピンドルユニット１の
Ｚ軸方向の移動量補正を行うため、ハウジング１ａを冷
やす冷却水の温度如何に係わらずスピンドルユニット１
のＺ軸制御が正確に行われる。従って、回転ブレード３
の切り込み量が常に正確となり、ウェーハ等の被加工物
の切削を精密に遂行することが出来る。
定時間毎の温度情報に基づいてスピンドルユニット１の
Ｚ軸方向の移動量補正を行うため、ハウジング１ａを冷
やす冷却水の温度如何に係わらずスピンドルユニット１
のＺ軸制御が正確に行われる。従って、回転ブレード３
の切り込み量が常に正確となり、ウェーハ等の被加工物
の切削を精密に遂行することが出来る。
【００１２】図２のフローチャートは本発明の他の実施
例を示すものであり、前記スピンドルユニット１のハウ
ジング１ａの付け根付近の上部と下部に温度センサＳ
1 、Ｓ2 を配設し、これらの温度差に基づくスピンドル
ユニット１の反りを補正するようにしたものである。
例を示すものであり、前記スピンドルユニット１のハウ
ジング１ａの付け根付近の上部と下部に温度センサＳ
1 、Ｓ2 を配設し、これらの温度差に基づくスピンドル
ユニット１の反りを補正するようにしたものである。
【００１３】即ち、温度センサＳ1 、Ｓ2 からの所定時
間の温度情報をＣＰＵ（図略）に入力し、温度センサＳ
1 の温度を温度メモリＭ1 に記録すると共に温度センサ
Ｓ2の温度を温度メモリＭ2 に記録し、Ｍ1 とＭ2 とを
比較してＭ1 ＝Ｍ2 ならば反りが発生していないので何
ら補正されず、Ｍ1 ＞Ｍ2 ならば（Ｍ1 −Ｍ2 ）×Ｋμ
ｍだけＺ軸方向に上昇修正し、Ｍ1 ＜Ｍ2 ならば（Ｍ2
−Ｍ1 ）×ＫμｍだけＺ軸方向に下降修正する。この場
合、Ｋの値は例えばＫ＝６．０μｍ／℃であって、これ
はハウジング１ａの付け根部分の単位温度当たりの伸縮
に基づくブレード３の反り量であり、予め実測により検
出してＣＰＵに記録される。
間の温度情報をＣＰＵ（図略）に入力し、温度センサＳ
1 の温度を温度メモリＭ1 に記録すると共に温度センサ
Ｓ2の温度を温度メモリＭ2 に記録し、Ｍ1 とＭ2 とを
比較してＭ1 ＝Ｍ2 ならば反りが発生していないので何
ら補正されず、Ｍ1 ＞Ｍ2 ならば（Ｍ1 −Ｍ2 ）×Ｋμ
ｍだけＺ軸方向に上昇修正し、Ｍ1 ＜Ｍ2 ならば（Ｍ2
−Ｍ1 ）×ＫμｍだけＺ軸方向に下降修正する。この場
合、Ｋの値は例えばＫ＝６．０μｍ／℃であって、これ
はハウジング１ａの付け根部分の単位温度当たりの伸縮
に基づくブレード３の反り量であり、予め実測により検
出してＣＰＵに記録される。
【００１４】スピンドルユニット１のＺ軸方向の補正は
前記と同様にＣＰＵからの指令信号がドライブコントロ
ーラ１４′に入力して遂行され、この信号出力後にＣＰ
Ｕでは温度メモリＭ1 及び温度メモリＭ2 のデータはそ
れぞれ最新のものに書き替えられる。
前記と同様にＣＰＵからの指令信号がドライブコントロ
ーラ１４′に入力して遂行され、この信号出力後にＣＰ
Ｕでは温度メモリＭ1 及び温度メモリＭ2 のデータはそ
れぞれ最新のものに書き替えられる。
【００１５】このようにして、温度センサＳ1 、Ｓ2 か
らの所定時間毎の温度情報に基づいてスピンドルユニッ
ト１のＺ軸方向の反り補正を行うため、ハウジング１ａ
を冷やす冷却水の温度如何に係わらずスピンドルユニッ
ト１のＺ軸制御が正確に行われる。従って、前記と同様
に回転ブレード３の切り込み量が常に正確となり、ウェ
ーハ等の被加工物の切削を精密に遂行することが出来
る。
らの所定時間毎の温度情報に基づいてスピンドルユニッ
ト１のＺ軸方向の反り補正を行うため、ハウジング１ａ
を冷やす冷却水の温度如何に係わらずスピンドルユニッ
ト１のＺ軸制御が正確に行われる。従って、前記と同様
に回転ブレード３の切り込み量が常に正確となり、ウェ
ーハ等の被加工物の切削を精密に遂行することが出来
る。
【００１６】尚、温度センサを設ける位置は前記実施例
の箇所に限定されず、温度変化に起因して伸縮する部材
に装着し、この部材の単位温度当たりの伸縮量のデータ
をＣＰＵに記録しておき、温度センサからの情報と前記
データとに基づいて温度変化に起因する部材の伸縮誤差
を補正すれば良い。又、前記実施例では回転ブレードの
Ｚ軸方向の制御に関して説明したが、回転ブレードのＹ
軸方向の制御に関しても同じような要領で実施すること
が可能である。
の箇所に限定されず、温度変化に起因して伸縮する部材
に装着し、この部材の単位温度当たりの伸縮量のデータ
をＣＰＵに記録しておき、温度センサからの情報と前記
データとに基づいて温度変化に起因する部材の伸縮誤差
を補正すれば良い。又、前記実施例では回転ブレードの
Ｚ軸方向の制御に関して説明したが、回転ブレードのＹ
軸方向の制御に関しても同じような要領で実施すること
が可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置等の切削装置において、熱変化による伸
縮部材に装着した温度センサで温度を検出し、この検出
信号をＣＰＵに入力すると共に、予め記憶されているそ
の伸縮部材の単位温度当たりの伸縮量のデータとの比較
に基づいて温度変化に起因する伸縮部材の伸縮誤差を補
正するようにしたので、伸縮部材を冷却する冷却水の温
度の如何に拘らず、回転ブレードのＺ軸制御又はＹ軸制
御を正確に行うことが出来ると共に、定温水コントロー
ラが不要になる等の優れた効果を奏する。
ダイシング装置等の切削装置において、熱変化による伸
縮部材に装着した温度センサで温度を検出し、この検出
信号をＣＰＵに入力すると共に、予め記憶されているそ
の伸縮部材の単位温度当たりの伸縮量のデータとの比較
に基づいて温度変化に起因する伸縮部材の伸縮誤差を補
正するようにしたので、伸縮部材を冷却する冷却水の温
度の如何に拘らず、回転ブレードのＺ軸制御又はＹ軸制
御を正確に行うことが出来ると共に、定温水コントロー
ラが不要になる等の優れた効果を奏する。
【図１】 本発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】 本発明の他の実施例を示すフローチャート図
である。
である。
【図３】 切削装置の一例を示す斜視図である。
１…スピンドルユニット １ａ…ハウジング ２…
スピンドル ３…回転ブレード ４…Ｚ軸駆動機構
４ａ…ボールスクリュー ５…Ｚ軸リニアスケー
ル ６…基台 ７…ベッド ８…Ｙ軸駆動機構
８ａ…ボールスクリュー ９…Ｙ軸リニアスケール
１０…移動テーブル １１…Ｘ軸駆動機構 １
２…ガイドレール １３…温度センサ １４…ドラ
イブコントローラ
スピンドル ３…回転ブレード ４…Ｚ軸駆動機構
４ａ…ボールスクリュー ５…Ｚ軸リニアスケー
ル ６…基台 ７…ベッド ８…Ｙ軸駆動機構
８ａ…ボールスクリュー ９…Ｙ軸リニアスケール
１０…移動テーブル １１…Ｘ軸駆動機構 １
２…ガイドレール １３…温度センサ １４…ドラ
イブコントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 温度変化に起因して伸縮する部材に温度
センサを装着し、この部材の単位温度当たりの伸縮量の
データをＣＰＵに記録しておき、前記温度センサからの
情報と前記データとに基づいて温度変化に起因する部材
の伸縮誤差を補正するようにした、熱変化による誤差を
補正する切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33018394A JPH08155790A (ja) | 1994-12-06 | 1994-12-06 | 熱変化による誤差を補正する切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33018394A JPH08155790A (ja) | 1994-12-06 | 1994-12-06 | 熱変化による誤差を補正する切削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08155790A true JPH08155790A (ja) | 1996-06-18 |
Family
ID=18229761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33018394A Pending JPH08155790A (ja) | 1994-12-06 | 1994-12-06 | 熱変化による誤差を補正する切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08155790A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006272538A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | 工作機械及び工作機械の変位補正方法 |
| JP2018075652A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| CN114571284A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-06-03 | 江西佳时特精密机械有限责任公司 | 一种精密机床电主轴热伸长误差测试及主动控制方法 |
-
1994
- 1994-12-06 JP JP33018394A patent/JPH08155790A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006272538A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | 工作機械及び工作機械の変位補正方法 |
| JP2018075652A (ja) * | 2016-11-08 | 2018-05-17 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| CN114571284A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-06-03 | 江西佳时特精密机械有限责任公司 | 一种精密机床电主轴热伸长误差测试及主动控制方法 |
| CN114571284B (zh) * | 2022-04-28 | 2023-12-22 | 江西佳时特精密机械有限责任公司 | 一种精密机床电主轴热伸长误差测试及主动控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040120 |