JPH0814941A - 静電駆動振動式センサ回路 - Google Patents
静電駆動振動式センサ回路Info
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- JPH0814941A JPH0814941A JP15195494A JP15195494A JPH0814941A JP H0814941 A JPH0814941 A JP H0814941A JP 15195494 A JP15195494 A JP 15195494A JP 15195494 A JP15195494 A JP 15195494A JP H0814941 A JPH0814941 A JP H0814941A
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- sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】励振交流電圧の振幅を制御することなくセンサ
の出力信号の振幅制御が行える回路構成の簡単な静電駆
動振動式センサ回路を実現することにある。 【構成】振動子とベースの間に印加される電圧の大きさ
に応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変位させ
る静電駆動振動式センサと、励振ループが励振可能なよ
うに静電駆動振動式センサの出力信号の位相を補正して
静電駆動振動式センサに帰還する位相補正ブロックと、
静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定になるよ
うに静電駆動振動式センサの出力信号を整流して静電駆
動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、とで構成
されたことを特徴とするもの。
の出力信号の振幅制御が行える回路構成の簡単な静電駆
動振動式センサ回路を実現することにある。 【構成】振動子とベースの間に印加される電圧の大きさ
に応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変位させ
る静電駆動振動式センサと、励振ループが励振可能なよ
うに静電駆動振動式センサの出力信号の位相を補正して
静電駆動振動式センサに帰還する位相補正ブロックと、
静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定になるよ
うに静電駆動振動式センサの出力信号を整流して静電駆
動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、とで構成
されたことを特徴とするもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は静電駆動振動式センサ回
路に関し、詳しくは、その励振回路の改善に関するもの
である。
路に関し、詳しくは、その励振回路の改善に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図５は静電駆動振動式センサ（以下セン
サという）の概念図である。図において、１は振動子で
あり、ベース２に対して振動可能にばね３で支持されて
いる。４は振動子１とベース２間に直流バイアス電圧Ｖ
Bを印加する直流電源、５は振動子１とベース２間に励
振交流電圧ｖiを印加する交流電源であり、これら直流
電源４と交流電源５は振動子１とベース２間に直列接続
されている。
サという）の概念図である。図において、１は振動子で
あり、ベース２に対して振動可能にばね３で支持されて
いる。４は振動子１とベース２間に直流バイアス電圧Ｖ
Bを印加する直流電源、５は振動子１とベース２間に励
振交流電圧ｖiを印加する交流電源であり、これら直流
電源４と交流電源５は振動子１とベース２間に直列接続
されている。
【０００３】このようなセンサとしては、例えば振動ゲ
ート形素子（Resonant Gate Trnsistor，以下ＲＧＴと
いう)がある。これは、半導体集積回路技術を用いてＦ
ＥＴのゲート電極を振動子として形成したものであり、
これに関する基礎的な文献としては、例えばIEEE TRANS
ACTIONS ON ELECTRON DEVICES,VOL.ED-14,NO.3,MARCH 1
967の117頁から132頁の「The Resonant Gate Trnsisto
r」が知られている。
ート形素子（Resonant Gate Trnsistor，以下ＲＧＴと
いう)がある。これは、半導体集積回路技術を用いてＦ
ＥＴのゲート電極を振動子として形成したものであり、
これに関する基礎的な文献としては、例えばIEEE TRANS
ACTIONS ON ELECTRON DEVICES,VOL.ED-14,NO.3,MARCH 1
967の117頁から132頁の「The Resonant Gate Trnsisto
r」が知られている。
【０００４】図６は従来の図５のセンサの励振回路のブ
ロック図である。センサ６には直流バイアス電圧ＶBと
励振交流電圧ｖiが加算されて印加され、振動子とベー
スの間にはこれらの電圧の大きさに応じた静電吸引力が
発生する。センサ６の振動子はベースの方向に静電吸引
力の大きさに応じて変位し、この振動子の変位量に応じ
た出力信号として例えば電圧ｖoが出力される。この出
力電圧ｖoは整流回路７に加えられて整流されるととも
に、位相補正回路８に加えられてその位相が所望の値に
補正された交流電圧ｖ1として出力される。整流回路７
の整流出力はエラーアンプとして機能する演算増幅器９
の反転入力端子に加えられている。この演算増幅器９の
非反転入力端子には出力振幅を設定するための設定電圧
ＶAが加えられていて、演算増幅器９の出力信号は利得
制御回路１０に利得制御信号として加えられている。位
相補正回路８の出力電圧ｖ1は利得制御回路１０に加え
られている。この利得制御回路１０は演算増幅器９から
加えられる利得制御信号に従って位相補正回路８の出力
電圧ｖ1の振幅を所定の値に制御し、その出力を励振交
流電圧ｖiとしてセンサ６に帰還する。
ロック図である。センサ６には直流バイアス電圧ＶBと
励振交流電圧ｖiが加算されて印加され、振動子とベー
スの間にはこれらの電圧の大きさに応じた静電吸引力が
発生する。センサ６の振動子はベースの方向に静電吸引
力の大きさに応じて変位し、この振動子の変位量に応じ
た出力信号として例えば電圧ｖoが出力される。この出
力電圧ｖoは整流回路７に加えられて整流されるととも
に、位相補正回路８に加えられてその位相が所望の値に
補正された交流電圧ｖ1として出力される。整流回路７
の整流出力はエラーアンプとして機能する演算増幅器９
の反転入力端子に加えられている。この演算増幅器９の
非反転入力端子には出力振幅を設定するための設定電圧
ＶAが加えられていて、演算増幅器９の出力信号は利得
制御回路１０に利得制御信号として加えられている。位
相補正回路８の出力電圧ｖ1は利得制御回路１０に加え
られている。この利得制御回路１０は演算増幅器９から
加えられる利得制御信号に従って位相補正回路８の出力
電圧ｖ1の振幅を所定の値に制御し、その出力を励振交
流電圧ｖiとしてセンサ６に帰還する。
【０００５】このように構成することにより、センサ６
は所定の比較的小さな励振振幅に制御された状態で自励
発振を行う。ここで、センサ６の励振振幅が大きくなら
ないように制限しているのは、センサ６の出力信号の周
波数の変化率が励振振幅の大きさに応じて非線形的に大
きく変化することを防止するためである。すなわち、セ
ンサ６の出力信号の周波数の変化率は、図７に示すよう
に、励振振幅の大きさに応じて非線形的に大きく変化す
ることが知られている。図７において、曲線Ａは振動子
の取付け構造などの機械的要因に支配されるハードスプ
リング効果に起因するものであって励振振幅が大きくな
るのに従って周波数の変化率が非線形的にプラスの方向
に変化することを示し、曲線Ｂは静電吸引力によって支
配されるソフトスプリング効果に起因するものであって
励振振幅が大きくなるのに従って周波数の変化率が非線
形的にマイナスの方向に変化することを示している。
は所定の比較的小さな励振振幅に制御された状態で自励
発振を行う。ここで、センサ６の励振振幅が大きくなら
ないように制限しているのは、センサ６の出力信号の周
波数の変化率が励振振幅の大きさに応じて非線形的に大
きく変化することを防止するためである。すなわち、セ
ンサ６の出力信号の周波数の変化率は、図７に示すよう
に、励振振幅の大きさに応じて非線形的に大きく変化す
ることが知られている。図７において、曲線Ａは振動子
の取付け構造などの機械的要因に支配されるハードスプ
リング効果に起因するものであって励振振幅が大きくな
るのに従って周波数の変化率が非線形的にプラスの方向
に変化することを示し、曲線Ｂは静電吸引力によって支
配されるソフトスプリング効果に起因するものであって
励振振幅が大きくなるのに従って周波数の変化率が非線
形的にマイナスの方向に変化することを示している。
【０００６】そこで、これらの不都合を防止して安定し
た測定動作を得るために、センサ６を所定の比較的小さ
な励振振幅に制御された状態で自励発振させている。
た測定動作を得るために、センサ６を所定の比較的小さ
な励振振幅に制御された状態で自励発振させている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の回路では、センサ６の出力信号ｖoの振幅制御をセ
ンサ６に帰還する励振交流電圧ｖiの振幅を制御するこ
とによって行っているので利得制御回路９が必要にな
り、全体としての回路構成が複雑になるという問題があ
る。
来の回路では、センサ６の出力信号ｖoの振幅制御をセ
ンサ６に帰還する励振交流電圧ｖiの振幅を制御するこ
とによって行っているので利得制御回路９が必要にな
り、全体としての回路構成が複雑になるという問題があ
る。
【０００８】本発明は、このような従来の問題点を解決
するものであって、その目的は、励振交流電圧の振幅を
制御することなくセンサの出力信号の振幅制御が行える
回路構成の簡単な静電駆動振動式センサ回路を実現する
ことにある。
するものであって、その目的は、励振交流電圧の振幅を
制御することなくセンサの出力信号の振幅制御が行える
回路構成の簡単な静電駆動振動式センサ回路を実現する
ことにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の静電駆動振動式
センサ回路は、振動子とベースの間に印加される電圧の
大きさに応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変
位させる静電駆動振動式センサと、励振ループが励振可
能なように静電駆動振動式センサの出力信号の位相を補
正して静電駆動振動式センサに帰還する位相補正ブロッ
クと、静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定に
なるように静電駆動振動式センサの出力信号を整流して
静電駆動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、と
で構成されたことを特徴とする。
センサ回路は、振動子とベースの間に印加される電圧の
大きさに応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変
位させる静電駆動振動式センサと、励振ループが励振可
能なように静電駆動振動式センサの出力信号の位相を補
正して静電駆動振動式センサに帰還する位相補正ブロッ
クと、静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定に
なるように静電駆動振動式センサの出力信号を整流して
静電駆動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、と
で構成されたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】静電駆動振動式センサの励振振幅は、整流帰還
ブロックから帰還入力される直流電圧の大きさによって
制御される。これにより、励振交流電圧の振幅を制御す
るための利得制御回路は必要なくなり、装置全体の回路
の簡素化が図れる。
ブロックから帰還入力される直流電圧の大きさによって
制御される。これにより、励振交流電圧の振幅を制御す
るための利得制御回路は必要なくなり、装置全体の回路
の簡素化が図れる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、
図６と共通する部分には同一の符号を付けている。図１
と図６の異なる点は、静電駆動振動式センサ６の直流バ
イアス電圧ＶBを一定の値ではなく整流回路７の整流出
力が設定電圧ＶAと等しくなるように制御するエラーア
ンプとして機能する演算増幅器９を帰還入力しているこ
とと、利得制御回路を省いて位相補正回路８の出力電圧
を励振電圧ｖiとして直接帰還入力していることであ
る。なお、図１では、整流回路７の出力電圧は演算増幅
器９の非反転入力端子に加えられ、出力振幅を設定する
ための設定電圧ＶAは演算増幅器９の反転入力端子に加
えられているが、これらの接続極性は帰還ループの極性
に応じて変更される。
る。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、
図６と共通する部分には同一の符号を付けている。図１
と図６の異なる点は、静電駆動振動式センサ６の直流バ
イアス電圧ＶBを一定の値ではなく整流回路７の整流出
力が設定電圧ＶAと等しくなるように制御するエラーア
ンプとして機能する演算増幅器９を帰還入力しているこ
とと、利得制御回路を省いて位相補正回路８の出力電圧
を励振電圧ｖiとして直接帰還入力していることであ
る。なお、図１では、整流回路７の出力電圧は演算増幅
器９の非反転入力端子に加えられ、出力振幅を設定する
ための設定電圧ＶAは演算増幅器９の反転入力端子に加
えられているが、これらの接続極性は帰還ループの極性
に応じて変更される。
【００１２】このように構成することにより、静電駆動
振動式センサ６の励振振幅は、演算増幅器９の出力電圧
が大きくなるのに従って小さくなるように制御されるこ
とになる。図２は図１の具体例を示す回路図であり、静
電駆動振動式センサとしてＲＧＴを用いる例を示してい
る。図において、ＲＧＴのソースＳは電圧＋ＶCCの直流
電源ラインに接続され、ドレインＤは電流電圧変換器と
して機能する演算増幅器１１の反転入力端子に接続さ
れ、ゲートＧは直流電位を固定するための抵抗Ｒ1を介
して直流電源ラインに接続されるとともに直流分をカッ
トするためのコンデンサＣを介して位相補正回路８の出
力端子に接続されている。演算増幅器１１の反転入力端
子と出力端子間には抵抗Ｒ2が接続され、非反転入力端
子には演算増幅器９の出力端子が接続されている。
振動式センサ６の励振振幅は、演算増幅器９の出力電圧
が大きくなるのに従って小さくなるように制御されるこ
とになる。図２は図１の具体例を示す回路図であり、静
電駆動振動式センサとしてＲＧＴを用いる例を示してい
る。図において、ＲＧＴのソースＳは電圧＋ＶCCの直流
電源ラインに接続され、ドレインＤは電流電圧変換器と
して機能する演算増幅器１１の反転入力端子に接続さ
れ、ゲートＧは直流電位を固定するための抵抗Ｒ1を介
して直流電源ラインに接続されるとともに直流分をカッ
トするためのコンデンサＣを介して位相補正回路８の出
力端子に接続されている。演算増幅器１１の反転入力端
子と出力端子間には抵抗Ｒ2が接続され、非反転入力端
子には演算増幅器９の出力端子が接続されている。
【００１３】このように構成された回路の動作を説明す
る。ＲＧＴは、励振電圧ｖiに対して共振点で位相が９
０°進んだ電流ｉoを出力する。演算増幅器１１で形成
される電流電圧変換器は、交流電流ｉoを交流電圧ｖoに
変換して整流回路７および位相補正回路８に出力する。
整流回路７は、交流電圧ｖoを整流して演算増幅器９の
非反転入力端子に出力する。位相補正回路８は、励振ル
ープの一巡開ループ位相が０°になるように交流電圧ｖ
oの位相を補正し、コンデンサＣを介してＲＧＴのゲー
トＧに帰還する。演算増幅器９は、励振ループの一巡開
ループ利得が１になって交流電圧ｖoの振幅が一定にな
るように整流回路７の出力電圧と設定電圧ＶAとの差を
増幅し、直流バイアス電圧として演算増幅器１１の非反
転入力端子に出力する。
る。ＲＧＴは、励振電圧ｖiに対して共振点で位相が９
０°進んだ電流ｉoを出力する。演算増幅器１１で形成
される電流電圧変換器は、交流電流ｉoを交流電圧ｖoに
変換して整流回路７および位相補正回路８に出力する。
整流回路７は、交流電圧ｖoを整流して演算増幅器９の
非反転入力端子に出力する。位相補正回路８は、励振ル
ープの一巡開ループ位相が０°になるように交流電圧ｖ
oの位相を補正し、コンデンサＣを介してＲＧＴのゲー
トＧに帰還する。演算増幅器９は、励振ループの一巡開
ループ利得が１になって交流電圧ｖoの振幅が一定にな
るように整流回路７の出力電圧と設定電圧ＶAとの差を
増幅し、直流バイアス電圧として演算増幅器１１の非反
転入力端子に出力する。
【００１４】ここで、ＲＧＴを図５に置き換えると、ゲ
ートＧ，ソースＳ，ドレインＤの各端子に印加される交
流電圧ｖG，ｖS，ｖDおよび直流電圧ＶG，ＶS，ＶDと励
振電圧ｖiおよび直流バイアス電圧ＶBとの関係は次式で
表される。 ｖi≒ｖG−（ｖS＋ｖD）／２ …(1) ＶB≒ＶG−（ＶS＋ＶD）／２ …(2) また、図４のモデルにおいて、印加電圧（ＶB＋ｖi）と
静電吸引力ｆとの間には、ＶB>>ｖiとすると、 ｆ≒(εS/2d2)(VB 2+2VB・vi) …(3) ε：電極間の誘電率 Ｓ：電極（振動子）の面積 ｄ：静電吸引力が０のときの電極間距離 になる。
ートＧ，ソースＳ，ドレインＤの各端子に印加される交
流電圧ｖG，ｖS，ｖDおよび直流電圧ＶG，ＶS，ＶDと励
振電圧ｖiおよび直流バイアス電圧ＶBとの関係は次式で
表される。 ｖi≒ｖG−（ｖS＋ｖD）／２ …(1) ＶB≒ＶG−（ＶS＋ＶD）／２ …(2) また、図４のモデルにおいて、印加電圧（ＶB＋ｖi）と
静電吸引力ｆとの間には、ＶB>>ｖiとすると、 ｆ≒(εS/2d2)(VB 2+2VB・vi) …(3) ε：電極間の誘電率 Ｓ：電極（振動子）の面積 ｄ：静電吸引力が０のときの電極間距離 になる。
【００１５】この(3)式において、右辺の第１項(VB 2)は
直流分になる項を示し、第２項(2VB・vi)は励振力にな
る項を示している。すなわち、励振力は励振電圧ｖiと
直流バイアス電圧ＶBの積に比例することになる。そこ
で、本発明では、従来の励振電圧ｖiの振幅を制御する
代わりに直流バイアス電圧ＶBの振幅を制御している。
直流分になる項を示し、第２項(2VB・vi)は励振力にな
る項を示している。すなわち、励振力は励振電圧ｖiと
直流バイアス電圧ＶBの積に比例することになる。そこ
で、本発明では、従来の励振電圧ｖiの振幅を制御する
代わりに直流バイアス電圧ＶBの振幅を制御している。
【００１６】図３は図１の他の具体例図である。図２と
の相違点は、ＲＧＴのドレインＤにバッファアンプとし
て機能する演算増幅器１２を接続していることと、演算
増幅器９の出力電圧Ｖ1をインダクタＬを介してＲＧＴ
のドレインＤに帰還していることである。このような構
成において、インダクタＬは、ＲＧＴから出力される交
流電流ｉ oをこの交流電流ｉoに対して９０°位相の進ん
だ交流電圧ｖoに変換するように機能する。演算増幅器
１２はこのようにして変換された交流電圧ｖoを整流回
路７に入力するのにあたってバッファアンプとして機能
する。
の相違点は、ＲＧＴのドレインＤにバッファアンプとし
て機能する演算増幅器１２を接続していることと、演算
増幅器９の出力電圧Ｖ1をインダクタＬを介してＲＧＴ
のドレインＤに帰還していることである。このような構
成において、インダクタＬは、ＲＧＴから出力される交
流電流ｉ oをこの交流電流ｉoに対して９０°位相の進ん
だ交流電圧ｖoに変換するように機能する。演算増幅器
１２はこのようにして変換された交流電圧ｖoを整流回
路７に入力するのにあたってバッファアンプとして機能
する。
【００１７】図３の回路は図４のような「ｉo→ｖo→ｆ
→ｘ→ｉo」よりなる発振ループを形成する。そして、
このループにおける利得関係は、共振角振動数をωと
し、インダクタンスをＬとし、ＲＧＴのコンダクタンス
をｇmとすると、変数ｉo→ｖoの間の利得はωＬにな
り、変数ｖo→ｆ→ｘ→ｉoの間の利得はｇmになって、
一巡利得はωＬｇmになる。また、位相関係は、変数ｉo
→ｖoでは＋９０°、変数ｖo→ｆでは−１８０°、変数
ｆ→ｘでは−９０°（共振点）、変数ｖｘ→ｉoでは−
１８０°になり、一巡位相は−３６０°（０°）にな
る。
→ｘ→ｉo」よりなる発振ループを形成する。そして、
このループにおける利得関係は、共振角振動数をωと
し、インダクタンスをＬとし、ＲＧＴのコンダクタンス
をｇmとすると、変数ｉo→ｖoの間の利得はωＬにな
り、変数ｖo→ｆ→ｘ→ｉoの間の利得はｇmになって、
一巡利得はωＬｇmになる。また、位相関係は、変数ｉo
→ｖoでは＋９０°、変数ｖo→ｆでは−１８０°、変数
ｆ→ｘでは−９０°（共振点）、変数ｖｘ→ｉoでは−
１８０°になり、一巡位相は−３６０°（０°）にな
る。
【００１８】従って、図３の回路では、 ωＬｇm＝１ …(4) の条件を満たすことによって発振条件を満足することに
なり、自励発振が可能になる。すなわち、図３の回路に
よれば、ＲＧＴのドレイン電圧ＶDを変えることで(4)式
の条件を満たすとともに、振幅制御も行える。
なり、自励発振が可能になる。すなわち、図３の回路に
よれば、ＲＧＴのドレイン電圧ＶDを変えることで(4)式
の条件を満たすとともに、振幅制御も行える。
【００１９】さらに、図３の回路によれば、励振電圧入
力端子と出力電圧端子を共通化できるので、センサ回路
をケースに収納してハーメチックシールされた端子を介
して外部と接続する場合にケース側の端子の数を減らす
ことができ、小型化にも有利である。なお、上記実施例
ではセンサとしてＲＧＴを用いる例を説明したが、他の
振動式のセンサにも適用できる。
力端子と出力電圧端子を共通化できるので、センサ回路
をケースに収納してハーメチックシールされた端子を介
して外部と接続する場合にケース側の端子の数を減らす
ことができ、小型化にも有利である。なお、上記実施例
ではセンサとしてＲＧＴを用いる例を説明したが、他の
振動式のセンサにも適用できる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
静電駆動振動式センサの振幅制御を直流バイアス電圧の
制御で行っているので、従来の回路では必要とされてい
た交流の利得制御回路が不用になり、全体回路の構成を
簡素化できる。
静電駆動振動式センサの振幅制御を直流バイアス電圧の
制御で行っているので、従来の回路では必要とされてい
た交流の利得制御回路が不用になり、全体回路の構成を
簡素化できる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の具体例を示す回路図である。
【図３】図１の他の具体例を示す回路図である。
【図４】図３の発振ループの説明図である。
【図５】静電駆動振動式センサの概念図である。
【図６】従来のセンサ回路の一例を示すブロック図であ
る。
る。
【図７】静電駆動振動式センサの励振振幅と周波数の変
化率の特性例図である。
化率の特性例図である。
６ 静電駆動振動式センサ ７ 整流回路 ８ 位相補正回路 ９ 演算増幅器（エラーアンプ）
Claims (1)
- 【請求項１】振動子とベースの間に印加される電圧の大
きさに応じて発生する静電吸引力に従って振動子を変位
させる静電駆動振動式センサと、 励振ループが励振可能なように静電駆動振動式センサの
出力信号の位相を補正して静電駆動振動式センサに帰還
する位相補正ブロックと、 静電駆動振動式センサの出力信号の振幅が一定になるよ
うに静電駆動振動式センサの出力信号を整流して静電駆
動振動式センサに帰還する整流帰還ブロック、とで構成
されたことを特徴とする静電駆動振動式センサ回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15195494A JPH0814941A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 静電駆動振動式センサ回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15195494A JPH0814941A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 静電駆動振動式センサ回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814941A true JPH0814941A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15529845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15195494A Pending JPH0814941A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 静電駆動振動式センサ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814941A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006170620A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Denso Corp | ジャイロセンサ |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15195494A patent/JPH0814941A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006170620A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Denso Corp | ジャイロセンサ |
| JP4534741B2 (ja) * | 2004-12-10 | 2010-09-01 | 株式会社デンソー | ジャイロセンサ |
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