JPH0814940A - 静電駆動振動式センサ回路 - Google Patents
静電駆動振動式センサ回路Info
- Publication number
- JPH0814940A JPH0814940A JP14445494A JP14445494A JPH0814940A JP H0814940 A JPH0814940 A JP H0814940A JP 14445494 A JP14445494 A JP 14445494A JP 14445494 A JP14445494 A JP 14445494A JP H0814940 A JPH0814940 A JP H0814940A
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- Japan
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- vibrator
- current
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Abstract
(57)【要約】
【目的】振動子のたわみ量の小さい領域で自励振が可能
で、振動子の共振周波数が回路の影響を受けにくい静電
駆動振動式センサ回路を実現することにある。 【構成】静電駆動振動式センサの交流出力信号を帰還す
る帰還ループを有する静電駆動振動式センサ回路におい
て、帰還ループに分周回路を設けたことを特徴とするも
の。
で、振動子の共振周波数が回路の影響を受けにくい静電
駆動振動式センサ回路を実現することにある。 【構成】静電駆動振動式センサの交流出力信号を帰還す
る帰還ループを有する静電駆動振動式センサ回路におい
て、帰還ループに分周回路を設けたことを特徴とするも
の。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は静電駆動振動式センサ回
路に関し、詳しくは、その励振の改善に関するものであ
る。
路に関し、詳しくは、その励振の改善に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は静電駆動振動式センサ（以下セン
サという）の概念図である。図において、１は振動子で
あって、ベース２に対して振動可能にばね３で支持され
ている。４は振動子１とベース２間に直流バイアス電圧
ＶBを印加する直流電源、５は振動子１とベース２間に
励振交流電圧ｖiを印加する交流電源であり、これら直
流電源４と交流電源５は振動子１とベース２間に直列接
続されている。
サという）の概念図である。図において、１は振動子で
あって、ベース２に対して振動可能にばね３で支持され
ている。４は振動子１とベース２間に直流バイアス電圧
ＶBを印加する直流電源、５は振動子１とベース２間に
励振交流電圧ｖiを印加する交流電源であり、これら直
流電源４と交流電源５は振動子１とベース２間に直列接
続されている。
【０００３】このようなセンサとしては、例えば振動ゲ
ート形素子（Resonant Gate Trnsistor，以下ＲＧＴと
いう)がある。これは、半導体集積回路技術を用いてＦ
ＥＴのゲート電極を振動子として形成したものであり、
これに関する基礎的な文献としては、例えばIEEE TRANS
ACTIONS ON ELECTRON DEVICES,VOL.ED-14,NO.3,MARCH 1
967の117頁から132頁の「The Resonant Gate Trnsisto
r」が知られている。
ート形素子（Resonant Gate Trnsistor，以下ＲＧＴと
いう)がある。これは、半導体集積回路技術を用いてＦ
ＥＴのゲート電極を振動子として形成したものであり、
これに関する基礎的な文献としては、例えばIEEE TRANS
ACTIONS ON ELECTRON DEVICES,VOL.ED-14,NO.3,MARCH 1
967の117頁から132頁の「The Resonant Gate Trnsisto
r」が知られている。
【０００４】図５は図４のセンサの励振回路のブロック
図である。振動子１とベース２の間には両者間に印加さ
れる電圧ＶB＋ｖiの大きさに応じた静電吸引力ｆが発生
し、電圧は静電吸引力に変換される（電圧／静電吸引力
変換ブロック６）。振動子１はベース２の方向に静電吸
引力ｆの大きさに応じてｘだけ変位し、静電吸引力は振
動子１の変位量に変換される（静電吸引力／振動子変位
変換ブロック７）。この振動子１の変位量ｘは例えば出
力電圧ｖoに変換されて検出される（振動子変位／電圧
変換ブロック８）。この出力電圧ｖoは位相補正利得制
御ブロック９を介して励振交流電圧ｖiとして帰還され
る。
図である。振動子１とベース２の間には両者間に印加さ
れる電圧ＶB＋ｖiの大きさに応じた静電吸引力ｆが発生
し、電圧は静電吸引力に変換される（電圧／静電吸引力
変換ブロック６）。振動子１はベース２の方向に静電吸
引力ｆの大きさに応じてｘだけ変位し、静電吸引力は振
動子１の変位量に変換される（静電吸引力／振動子変位
変換ブロック７）。この振動子１の変位量ｘは例えば出
力電圧ｖoに変換されて検出される（振動子変位／電圧
変換ブロック８）。この出力電圧ｖoは位相補正利得制
御ブロック９を介して励振交流電圧ｖiとして帰還され
る。
【０００５】ここで、静電吸引力ｆと入力電圧ＶB＋ｖi
との間には次式の関係が成立する。 ｆ＝(εS/2d2)(VB+vi)2…(1) ε：電極間の誘電率 Ｓ：電極（振動子）の面積 ｄ：ｆが０のときの電極間距離 ｖi＝vsinωt…(2) とおくと、(1)式は、 ｆ＝(εS/2d2)(VB+vsinωt)2 ＝(εS/2d2){VB 2+2VBvsinωt+v2(1-cos2ωt)/2} ＝(εS/2d2){VB 2+v2/2+2VBvsinωt-v2(cos2ωt)/2}…(3) になる。(3)式において、 VB 2+v2/2の項は直流の静電吸引力を表し、 2VBvsinωtの項は励振交流電圧ｖiに比例した交流の
励振力で信号成分を表し、 v2(cos2ωt)/2の項は励振交流電圧ｖiの周波数に対し
て２倍の周波数の吸引力でノイズとなる項を表してい
る。
との間には次式の関係が成立する。 ｆ＝(εS/2d2)(VB+vi)2…(1) ε：電極間の誘電率 Ｓ：電極（振動子）の面積 ｄ：ｆが０のときの電極間距離 ｖi＝vsinωt…(2) とおくと、(1)式は、 ｆ＝(εS/2d2)(VB+vsinωt)2 ＝(εS/2d2){VB 2+2VBvsinωt+v2(1-cos2ωt)/2} ＝(εS/2d2){VB 2+v2/2+2VBvsinωt-v2(cos2ωt)/2}…(3) になる。(3)式において、 VB 2+v2/2の項は直流の静電吸引力を表し、 2VBvsinωtの項は励振交流電圧ｖiに比例した交流の
励振力で信号成分を表し、 v2(cos2ωt)/2の項は励振交流電圧ｖiの周波数に対し
て２倍の周波数の吸引力でノイズとなる項を表してい
る。
【０００６】従って、上記の項の影響が小さくなるよ
うに、 ＶB>>ｖ…(4) の条件でセンサを励振する。これは、励振力よりも相当
大きい直流の静電吸引力を振動子に印加することにな
る。この(4)式の条件を(3)式に代入すると、 ｆ≒(εS/2d2)(VB 2+2VBvsinωt)…(5) になる。この(5)式において、(4)式の関係から、 |ＶB|>>|2VBvsinωt|…(6) の関係が成立する。
うに、 ＶB>>ｖ…(4) の条件でセンサを励振する。これは、励振力よりも相当
大きい直流の静電吸引力を振動子に印加することにな
る。この(4)式の条件を(3)式に代入すると、 ｆ≒(εS/2d2)(VB 2+2VBvsinωt)…(5) になる。この(5)式において、(4)式の関係から、 |ＶB|>>|2VBvsinωt|…(6) の関係が成立する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、直流の静電吸
引力が大きいと振動子の初期のたわみ量も大きくなり、
直流バイアス電圧ＶBや交流電圧の振幅ｖが振動子の共
振周波数に与える影響も大きくなる。その理由の一つ
に、振動子の剛性の非線形効果が大きいことがある。
引力が大きいと振動子の初期のたわみ量も大きくなり、
直流バイアス電圧ＶBや交流電圧の振幅ｖが振動子の共
振周波数に与える影響も大きくなる。その理由の一つ
に、振動子の剛性の非線形効果が大きいことがある。
【０００８】一般に、振動子の剛性は非線形効果を持っ
ていて、次式で近似できる。 Ｋ＝ｋ（１＋αＸ2）…(7) Ｋ：振動子の剛性 ｋ：たわみ量０のときの振動子の剛性 α：比例定数 Ｘ：たわみ量 (7)式から、 ｄＫ／ｄＸ＝２ｋαＸ…(8) となり、微小変位による剛性の変化量はたわみ量Ｘに比
例する。
ていて、次式で近似できる。 Ｋ＝ｋ（１＋αＸ2）…(7) Ｋ：振動子の剛性 ｋ：たわみ量０のときの振動子の剛性 α：比例定数 Ｘ：たわみ量 (7)式から、 ｄＫ／ｄＸ＝２ｋαＸ…(8) となり、微小変位による剛性の変化量はたわみ量Ｘに比
例する。
【０００９】従って、直流の静電吸引力が大きいとたわ
み量Ｘが大きくなり、ｄＫ／ｄＸが大きくなる。剛性係
数の変化率が大きいということは共振周波数の変化率も
大きいということになる。他の理由として、静電吸引力
の変化率が大きいこともある。静電吸引力は前述のよう
に、(5)式で表される。
み量Ｘが大きくなり、ｄＫ／ｄＸが大きくなる。剛性係
数の変化率が大きいということは共振周波数の変化率も
大きいということになる。他の理由として、静電吸引力
の変化率が大きいこともある。静電吸引力は前述のよう
に、(5)式で表される。
【００１０】ｆ≒(εS/2d2)(VB 2+2VBvsinωt)…(5) この(5)式からｄｆ／ｄＶBを求めると、 ｄｆ／ｄＶB＝(εS/d2)(VB+vsinωt)…(9) になる。(9)式から明らかなように、ＶBが大きくなると
ＶBの変化による静電吸引力の変化も大きくなる。
ＶBの変化による静電吸引力の変化も大きくなる。
【００１１】すなわち、従来の構成によれば、前述のよ
うに、直流バイアス電圧ＶBが大きいとこの直流バイア
ス電圧ＶBの変化による静電吸引力の変化およびたわみ
量Ｘの変化による剛性の変化が大きくなって、振動子の
共振周波数が回路の影響を受けやすいという欠点があ
る。本発明は、これらの従来の問題点を解決するもので
あって、その目的は、振動子のたわみ量の小さい領域で
自励振が可能で、振動子の共振周波数が回路の影響を受
けにくい静電駆動振動式センサ回路を実現することにあ
る。
うに、直流バイアス電圧ＶBが大きいとこの直流バイア
ス電圧ＶBの変化による静電吸引力の変化およびたわみ
量Ｘの変化による剛性の変化が大きくなって、振動子の
共振周波数が回路の影響を受けやすいという欠点があ
る。本発明は、これらの従来の問題点を解決するもので
あって、その目的は、振動子のたわみ量の小さい領域で
自励振が可能で、振動子の共振周波数が回路の影響を受
けにくい静電駆動振動式センサ回路を実現することにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の静電駆動振動式
センサ回路は、静電駆動振動式センサの交流出力信号を
帰還する帰還ループを有する静電駆動振動式センサ回路
において、帰還ループに分周回路を設けたことを特徴と
する。
センサ回路は、静電駆動振動式センサの交流出力信号を
帰還する帰還ループを有する静電駆動振動式センサ回路
において、帰還ループに分周回路を設けたことを特徴と
する。
【００１３】
【作用】直流バイアス電圧が０Ｖの場合、振動子の変位
の周波数は励振電圧の周波数のｎ倍になる。そこで、振
動子の変位に応じた電圧の周波数を１／ｎに分周して励
振ループの一巡開ループ位相が０°になるように分周信
号の位相を補正し、さらに励振ループの一巡開ループ利
得が１になるように利得を制御して静電駆動振動式セン
サに励振交流電圧として帰還する。
の周波数は励振電圧の周波数のｎ倍になる。そこで、振
動子の変位に応じた電圧の周波数を１／ｎに分周して励
振ループの一巡開ループ位相が０°になるように分周信
号の位相を補正し、さらに励振ループの一巡開ループ利
得が１になるように利得を制御して静電駆動振動式セン
サに励振交流電圧として帰還する。
【００１４】これにより、振動子は直流バイアス電圧が
０Ｖの場合でも自励振でき、振動子を初期たわみ量の小
さい領域で発振させられることから回路の影響の小さい
周波数信号が得られる。
０Ｖの場合でも自励振でき、振動子を初期たわみ量の小
さい領域で発振させられることから回路の影響の小さい
周波数信号が得られる。
【００１５】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、
図５と共通する部分には同一の符号を付けている。図１
と図５の異なる点は、電圧／静電吸引力変換ブロック６
には直流バイアス電圧ＶBを印加する系統を省いている
ことと、振動子変位／電圧変換ブロック８と位相補正利
得制御ブロック９の間に分周ブロック１０を設けている
ことである。
る。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、
図５と共通する部分には同一の符号を付けている。図１
と図５の異なる点は、電圧／静電吸引力変換ブロック６
には直流バイアス電圧ＶBを印加する系統を省いている
ことと、振動子変位／電圧変換ブロック８と位相補正利
得制御ブロック９の間に分周ブロック１０を設けている
ことである。
【００１６】図２は図１の具体例を示す回路図であり、
センサとしてＲＧＴを用いる例を示している。ＲＧＴ１
１は、直流電流Ｉoおよび励振電圧ｖiに対して共振点で
位相が９０°進んだ交流電流ｉoを出力する。演算増幅
器１２はＲＧＴ１１の出力電流Ｉo＋ｉoを電圧Ｖo＋ｖo
に変換する電流／電圧変換回路として機能するものであ
り、反転入力端子にはＲＧＴ１１のドレインが接続さ
れ、非反転入力端子には直流電源ＶDのマイナス端子が
接続され、反転入力端子と出力端子間には抵抗Ｒ1が接
続されている。電流／電圧変換回路１２の出力電圧Ｖo
＋ｖoは１／２分周回路１３に入力され、交流電圧ｖoは
周波数が１／２に分周された交流電圧ｖ1に変換され
る。この交流電圧ｖ1は位相補正回路１４に入力され、
励振ループの一巡開ループ位相が０°になるように位相
が補正された交流電圧ｖ2として出力される。この交流
電圧ｖ2は利得制御回路１５に入力され、励振ループの
一巡開ループ利得が１になるように利得が制御された交
流電圧ｖ3として出力される。この交流電圧ｖ3は、励振
交流電圧として直流成分カットのためのコンデンサＣを
介してＲＧＴ１１のゲートＧに加えられる。ＲＧＴ１１
のゲートＧとコンデンサＣの接続点は抵抗Ｒ2を介して
共通電位点に接続されている。これらコンデンサＣと抵
抗Ｒ2は励振電圧の直流電圧を共通電位にするためのも
のであり、コンデンサＣのインピーダンスをＺCとし抵
抗Ｒ2のインピーダンスをＺRとすると、 ＺC<<ＺR に選定されている。なお、ＲＧＴ１１のソースＳには直
流電源ＶSのプラス端子が接続され、直流電源ＶSのマイ
ナス端子と直流電源ＶDのプラス端子は共通電位点に接
続されている。
センサとしてＲＧＴを用いる例を示している。ＲＧＴ１
１は、直流電流Ｉoおよび励振電圧ｖiに対して共振点で
位相が９０°進んだ交流電流ｉoを出力する。演算増幅
器１２はＲＧＴ１１の出力電流Ｉo＋ｉoを電圧Ｖo＋ｖo
に変換する電流／電圧変換回路として機能するものであ
り、反転入力端子にはＲＧＴ１１のドレインが接続さ
れ、非反転入力端子には直流電源ＶDのマイナス端子が
接続され、反転入力端子と出力端子間には抵抗Ｒ1が接
続されている。電流／電圧変換回路１２の出力電圧Ｖo
＋ｖoは１／２分周回路１３に入力され、交流電圧ｖoは
周波数が１／２に分周された交流電圧ｖ1に変換され
る。この交流電圧ｖ1は位相補正回路１４に入力され、
励振ループの一巡開ループ位相が０°になるように位相
が補正された交流電圧ｖ2として出力される。この交流
電圧ｖ2は利得制御回路１５に入力され、励振ループの
一巡開ループ利得が１になるように利得が制御された交
流電圧ｖ3として出力される。この交流電圧ｖ3は、励振
交流電圧として直流成分カットのためのコンデンサＣを
介してＲＧＴ１１のゲートＧに加えられる。ＲＧＴ１１
のゲートＧとコンデンサＣの接続点は抵抗Ｒ2を介して
共通電位点に接続されている。これらコンデンサＣと抵
抗Ｒ2は励振電圧の直流電圧を共通電位にするためのも
のであり、コンデンサＣのインピーダンスをＺCとし抵
抗Ｒ2のインピーダンスをＺRとすると、 ＺC<<ＺR に選定されている。なお、ＲＧＴ１１のソースＳには直
流電源ＶSのプラス端子が接続され、直流電源ＶSのマイ
ナス端子と直流電源ＶDのプラス端子は共通電位点に接
続されている。
【００１７】このように構成された回路の動作を説明す
る。図２の回路において、図４の直流電源４から出力さ
れるバイアス電圧ＶBに相当する電圧は、次式で近似で
きる。 ＶB≒ＶG−（ＶS＋ＶD）／２…(10) ＶG：ゲート電圧 ＶS：ソース電圧 ＶD：ドレイン電圧 図２の回路では、ＶGはほぼ０Ｖであり、ＶSとＶDは互
いに逆極性ではあるが電圧は等しいので、ＶBはほぼ０
Ｖになる。
る。図２の回路において、図４の直流電源４から出力さ
れるバイアス電圧ＶBに相当する電圧は、次式で近似で
きる。 ＶB≒ＶG−（ＶS＋ＶD）／２…(10) ＶG：ゲート電圧 ＶS：ソース電圧 ＶD：ドレイン電圧 図２の回路では、ＶGはほぼ０Ｖであり、ＶSとＶDは互
いに逆極性ではあるが電圧は等しいので、ＶBはほぼ０
Ｖになる。
【００１８】直流バイアス電圧ＶBがほぼ０Ｖのときの
励振交流電圧ｖiと静電吸引力ｆの関係は、(3)式から、 ｆ＝(εS/4d2)(v2-v2cos2ωt)…(11) ｖi＝vsinωt…(2) になる。
励振交流電圧ｖiと静電吸引力ｆの関係は、(3)式から、 ｆ＝(εS/4d2)(v2-v2cos2ωt)…(11) ｖi＝vsinωt…(2) になる。
【００１９】図３は図２の各部の波形図である。(a)に
示す励振交流電圧ｖiの角振動数はωである。(b)は静電
吸引力ｆに基づく励振力であり、角振動数は２ωにな
る。(c)は振動子の変位ｘであり、共振点における振動
子の変位の位相は励振力に対して９０°遅れている。
(d)はＲＧＴ１１の出力電流Ｉo＋ｉoであり、交流電流
ｉoの位相は振動子の変位に対して１８０°反転してい
る。(e)は電流／電圧変換回路１２の出力電圧Ｖo＋ｖo
である。(f)は１／２分周回路１３から直流分がカット
されて出力される交流電圧ｖ1であり、交流電圧ｖoの周
波数が１／２に分周されている。(g)は位相補正回路１
４から位相が補正されて出力される交流電圧ｖ2であ
り、交流電圧ｖ1の位相を１８０°反転した例を示して
いる。ここで、交流電圧ｖ2と励振交流電圧ｖiの位相は
一致している。従って、(h)に示す利得制御回路１５か
ら出力される交流電圧ｖ3の振幅が励振交流電圧ｖiの振
幅と等しくなる（｜ｖi｜＝｜ｖ3｜）ように利得制御回
路１５の利得を制御することにより、ＲＧＴ１１の発振
条件を満たすことになり、ＲＧＴ１１は直流バイアス電
圧ＶBが０Ｖでも自励振することになる。
示す励振交流電圧ｖiの角振動数はωである。(b)は静電
吸引力ｆに基づく励振力であり、角振動数は２ωにな
る。(c)は振動子の変位ｘであり、共振点における振動
子の変位の位相は励振力に対して９０°遅れている。
(d)はＲＧＴ１１の出力電流Ｉo＋ｉoであり、交流電流
ｉoの位相は振動子の変位に対して１８０°反転してい
る。(e)は電流／電圧変換回路１２の出力電圧Ｖo＋ｖo
である。(f)は１／２分周回路１３から直流分がカット
されて出力される交流電圧ｖ1であり、交流電圧ｖoの周
波数が１／２に分周されている。(g)は位相補正回路１
４から位相が補正されて出力される交流電圧ｖ2であ
り、交流電圧ｖ1の位相を１８０°反転した例を示して
いる。ここで、交流電圧ｖ2と励振交流電圧ｖiの位相は
一致している。従って、(h)に示す利得制御回路１５か
ら出力される交流電圧ｖ3の振幅が励振交流電圧ｖiの振
幅と等しくなる（｜ｖi｜＝｜ｖ3｜）ように利得制御回
路１５の利得を制御することにより、ＲＧＴ１１の発振
条件を満たすことになり、ＲＧＴ１１は直流バイアス電
圧ＶBが０Ｖでも自励振することになる。
【００２０】なお、この場合でもＲＧＴ１１には直流の
静電吸引力が作用するが、その大きさは交流励振力の振
幅と同じであって従来の回路方式に比べて相当小さくな
り、回路の影響を小さくした状態で振動子を励振でき
る。また、上記実施例ではセンサとしてＲＧＴを用いる
例を説明したが、他の振動式のセンサにも適用できる。
その場合には、センサの種類に応じて位相補正値や分周
率などを適宜変えることによって、直流バイアス電圧Ｖ
Bが０Ｖでも自励振させることができる。
静電吸引力が作用するが、その大きさは交流励振力の振
幅と同じであって従来の回路方式に比べて相当小さくな
り、回路の影響を小さくした状態で振動子を励振でき
る。また、上記実施例ではセンサとしてＲＧＴを用いる
例を説明したが、他の振動式のセンサにも適用できる。
その場合には、センサの種類に応じて位相補正値や分周
率などを適宜変えることによって、直流バイアス電圧Ｖ
Bが０Ｖでも自励振させることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
直流バイアス電圧が０Ｖでも振動子を自励振させること
ができるので、振動子のたわみ量の小さい領域で自励振
させることができ、振動子の共振周波数が回路の影響を
受けにくい静電駆動振動式センサ回路を実現することが
できる。
直流バイアス電圧が０Ｖでも振動子を自励振させること
ができるので、振動子のたわみ量の小さい領域で自励振
させることができ、振動子の共振周波数が回路の影響を
受けにくい静電駆動振動式センサ回路を実現することが
できる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の具体例を示す回路図である。
【図３】図２の動作を説明する各部の波形図である。
【図４】静電駆動振動式センサの概念図である。
【図５】図４の励振回路の一例を示すブロック図であ
る。
る。
１１ センサ（ＲＧＴ） １２ 電流／電圧変換回路 １３ 分周回路 １４ 位相補正回路 １５ 利得制御回路
Claims (1)
- 【請求項１】静電駆動振動式センサの交流出力信号を帰
還する帰還ループを有する静電駆動振動式センサ回路に
おいて、 帰還ループに分周回路を設けたことを特徴とする静電駆
動振動式センサ回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14445494A JPH0814940A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | 静電駆動振動式センサ回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14445494A JPH0814940A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | 静電駆動振動式センサ回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814940A true JPH0814940A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15362631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14445494A Pending JPH0814940A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | 静電駆動振動式センサ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0814940A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1299427C (zh) * | 2003-09-19 | 2007-02-07 | 清华大学 | 用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法 |
-
1994
- 1994-06-27 JP JP14445494A patent/JPH0814940A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1299427C (zh) * | 2003-09-19 | 2007-02-07 | 清华大学 | 用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法 |
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