JPH08138457A - シールド付き細径絶縁チューブおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 生産性が向上し、中心導体の無駄をなくし、
シールドの変形やばらけのないシールド付き細径絶縁チ
ューブおよび製造方法を提供すること。 【構成】 プラスチックからなる細径の絶縁チューブ２
と、この細径絶縁チューブ２の外周に配設した補強材層
３と、この補強材層３の外周に形成したシールド層４
と、このシールド層４の外周に形成したジャケット層５
とから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シールド付き細径絶縁
チューブに関し、特に高周波プローブピンなどの絶縁お
よび特性インピーダンス整合の図れる、シールド付き細
径絶縁チューブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、半導体ウエハ検査装置（ウエハプ
ローバ）においては、使用周波数が高くなってきている
とともに、半導体素子の高集積化に伴って多数のプロー
ブピンを備えるようになってきている。その結果、密集
しているプローブピン間のクロストークや、テスタ側と
プローブピンとのインピーダンス不整合が問題となって
きたので、プローブピンの同軸ケーブル化が図られてい
る。

【０００３】従来、このようなプローブピンの同軸ケー
ブル化については、プローブピンの材質や形状が特殊で
あることから、プローブピンを中心導体として直接同軸
ケーブル化すること、あるいは特殊材質の中心導体を使
用して同軸ケーブルを作り、その後でこの中心導体を特
殊形状に成形加工することは極めて困難であった。その
ためあらかじめ同軸ケーブルを作り、その後にこの同軸
ケーブルの中心導体を引き抜き、中心導体を引き抜いた
跡の孔に、特殊形状に加工したプローブピンを挿入する
ことにより対応していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たプローブピンの同軸ケーブル化の工程は、同軸ケーブ
ルの切断、端末のストリップ、中心導体の引き抜き、規
定長さにするための再切断、プローブピンの挿入と多工
程にわたり、なおかつ同軸ケーブルが細いということも
あって、生産性が著しく低下する原因となっており、ま
た、引き抜かれた中心導体は廃棄されるので材料の無駄
も生じていた。

【０００５】また、配線の高密度化に伴い、このプロー
ブピンの同軸ケーブル化は、より細く、より柔軟さが求
められてきている。配線の高密度化ということで、それ
ぞれの端末処理が非常に込み入ってきており、その作業
性ということが重要になってきている。一般に同軸ケー
ブルの端末処理は、保護被覆、シールド、誘電体などを
段階的に必要な長さだけストリップするが、この際むき
だしになったシールド層は、変形したり、ばらけたりし
易いのでコネクタや基板などへのハンダ付け時に形状修
正しなければならないなど厄介な問題があった。

【０００６】この発明は、上記した従来のプローブピン
の同軸ケーブル化における欠点を解消するためになされ
たもので、その目的は、生産性が向上し、中心導体の無
駄をなくし、シールドの変形やばらけのないシールド付
き細径絶縁チューブを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、プラスチックからなる細径の絶縁チュー
ブと、この細径絶縁チューブの外周に配設した補強材層
と、この補強材層の外周に形成したシールド層と、この
シールド層の外周に形成したジャケット層とからなるこ
とを特徴とする。

【０００８】また、請求項２に記載のシールド付き細径
絶縁チューブは、請求項１に記載のシールド付き細径絶
縁チューブにおいて、前記細径絶縁チューブがふっ素樹
脂であることを特徴とする。

【０００９】また、請求項３に記載のシールド付き細径
絶縁チューブは、請求項１または２に記載のシールド付
き細径絶縁チューブにおいて、前記シールド層を、複数
本の金属素線を螺旋状に横巻きして構成することを特徴
とする。

【００１０】また、請求項４に記載のシールド付き細径
絶縁チューブは、請求項１ないし３のいずれかに記載の
シールド付き細径絶縁チューブにおいて、前記シールド
層が、接着剤層を介して前記補強材層に固着しているこ
とを特徴とする。

【００１１】また、請求項５に記載のシールド付き細径
絶縁チューブの製造方法は、プラスチックからなる細径
の絶縁チューブを作成する工程と、この細径の絶縁チュ
ーブの外周に、接着剤層を有する補強材を該接着剤層が
外側にくるように配設する工程と、この補強材の接着剤
層上にシールド層を形成する工程と、このシールド層の
外周にジャケット層を形成する工程とを備えたことを特
徴とするものである。

【００１２】

【作用】本発明のシールド付き細径絶縁チューブによれ
ば、通常の同軸ケーブル製造の第１工程である中心導体
に誘電体を被覆するかわりに、初めから中心導体を使用
しないでプラスチックからなる細径の絶縁チューブを作
成したので、高周波プローブピンの同軸ケーブル化に際
して、中心導体を引き抜く工程およびそれに関連する端
末のストリップ、規定長さにするための再切断などの工
程が省略でき、最初からシールド付き細径絶縁チューブ
を規定の長さに切断するだけでプローブピンが挿入でき
ることになる。さらに中心導体を廃棄するという無駄も
なくなる。

【００１３】また、細径絶縁チューブに誘電率の低いふ
っ素樹脂を使用したことにより、ポリエチレンなど他の
もっと誘電率の高いプラスチックを使用したときに比べ
て、細径絶縁チューブの外径を細くすることが可能とな
る。細径絶縁チューブの外周には補強材層を設けてある
ので、機械的強度があまり強くない細いふっ素樹脂チュ
ーブでも、次のシールド工程での引っ張りや圧縮に十分
耐えることができるものとなる。

【００１４】シールドを横巻きシールドにしたことによ
り、編組シールドに比べて薄くかつ柔軟性に富むものと
なる。また、このシールド層は前記補強材層に固着され
ているので、端末処理の際に変形したりばらけたりする
ことがなく、ハンダ付けなどの作業性が良くなり生産性
が向上することとなる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明を、その実施例に基づいて添付
図面を参照しつつ説明するが、もちろんこれらの実施例
に限定されるものではなく、この発明の技術思想内での
変更実施は可能である。図１は、本発明によるシールド
付き細径絶縁チューブ１の一実施例を示す横断面図であ
る。細径絶縁チューブ２の外周に補強材層３、シールド
層４、ジャケット層５が順次設けられている。

【００１６】さらに述べると、このシールド付き細径絶
縁チューブ１は、ＦＥＰ樹脂（テトラフルオロエチレン
とヘキサフルオロプロピレンの共重合樹脂）を押出し成
形により、例えば、内径0.26mm外径0.56mmの細径絶縁チ
ューブ２とし、その外周に厚さ約８μｍのホットメルト
接着剤付きポリエステルテープを、接着剤層が外側にな
るようにして相互に一部が重なり合うように巻回した
後、約170 ℃の炉内を通過させてテープ巻き層を溶融一
体化し外径0.58mmの補強材層３とし、この補強材層３の
外周に外径0.05mmの錫メッキ軟銅線36本を螺旋状に密接
して横巻きしシールド層４を形成し、さらにその外周に
厚さ約22μｍのホットメルト接着剤付きポリエステルテ
ープを、接着剤層が外側になるようにして相互に一部が
重なり合うように巻回した後、約200 ℃の炉内を通過さ
せてテープ巻き層を溶融一体化してジャケット層５を形
成すると同時に、補強材層３をその外側の接着剤層を介
して横巻シールド層４と固着させて、外径0.72mmのシー
ルド付き細径絶縁チューブ１とした。

【００１７】このシールド付き細径絶縁チューブ１は、
片刃カミソリなどの鋭利な刃物で簡単に切断することが
でき、切断されたシールド付き細径絶縁チューブ１に
は、そのままの状態で外径0.20mmのプローブピンをスム
ーズに挿入することができた。また、ジャケット層５を
除去した後でも、シールド層４が補強材層３に固着して
いるので、横巻きシールドが変形したり横巻きシールド
の素線がばらけたりすることもなく、その後の取扱いに
支障がなかった。なお、このときの特性インピーダンス
は50Ωであった。

【００１８】また、ＦＥＰ樹脂の代わりに誘電率が2.3
のポリエチレン樹脂を使用して、特性インピーダンスが
50Ωの同様な構成のシールド付き絶縁チューブを得よう
とすると、絶縁チューブ外径を0.61mmとしなければなら
ず、ジャケット外径は0.77mmとなる。これはＦＥＰ樹脂
のときと比べて外径で７％、断面積では14％大きくなる
ので、シールド付き絶縁チューブをより細くするには、
使用するプラスチックの誘電率は低いほど有効であると
いうことがわかる。

【００１９】上記実施例では、細径絶縁チューブ２の材
料としてＦＥＰ樹脂を使用したが、これに限らずＰＴＦ
Ｅ樹脂、ＰＦＡ樹脂など他の誘電率の低いプラスチッ
ク、あるいはこれらのプラスチックの多孔質体などもも
ちろん使用し得る。また、シールド素線についても錫メ
ッキ軟銅線に限らず、銀メッキなど他の種類のメッキを
したもの、あるいはメッキを施さないもの、軟銅線の代
わりに銅合金線などそれぞれの用途に応じて最適のもの
を使用することが可能である。

【００２０】また、補強材層３やジャケット層５を形成
する方法としては、テープ巻き以外に押出し成形ももち
ろん可能で、材料についてもポリイミド樹脂、ＰＢＴ樹
脂、ＰＥＥＫ樹脂、ＰＥＳ樹脂、ＰＰＳ樹脂、ＰＥＩ樹
脂など機械的強度に優れたプラスチックをテープ状にし
たものを巻き付けたり、あるいは直接押出し成形したり
して形成することができる。

【００２１】補強材層３の接着剤については、上記実施
例のようにテープにあらかじめホットメルトタイプのも
のを塗布しておいてもよいし、あるいは細径絶縁チュー
ブ２の外周に直接押出し成形した補強材層３のまわり
に、公知の方法でホットメルトタイプの接着剤を塗布し
てもよい。

【００２２】また、上記実施例では、プローブピンの外
径を0.20mmとし、特性インピーダンスを50Ωとしたが、
もちろんこれに限定することなく、使用するプローブピ
ンの外径や要求される特性インピーダンスに合わせて、
シールド付き細径絶縁チューブを製造することが可能で
ある。このときプローブピンの外径よりも細径絶縁チュ
ーブの内径を40〜70μｍ程度大きくすることにより、プ
ローブピンの同軸ケーブル化に際して、シールド付き細
径絶縁チューブへのプローブピン挿入がスムーズとな
る。このときのプローブピンの外径と、絶縁チューブの
内径と、使用するプラスチックの誘電率と、細径絶縁チ
ューブおよび補強材層のそれぞれの外径とから、このと
きの実効誘電率が求められ、同軸ケーブル化したときの
特性インピーダンスがどのくらいになるか計算できるこ
とになる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、初めか
ら中心導体を使用していないので、プローブピンの同軸
ケーブル化に際して、工程が簡略化され生産性が上がる
と同時に、廃棄される中心導体がないので材料の無駄が
なくなる。また、細径絶縁チューブには誘電率の低いふ
っ素樹脂を使用し、シールドは横巻きシールドとしたの
で、外径が細くでき柔軟性にも富んだものとなる。さら
に、シールド層は補強材層に固着されているので、端末
処理時にシールドの変形やばらけなどの発生がないの
で、コネクタや基板へのハンダ付けの作業性が良くな
り、生産性が向上するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるシールド付き細径絶縁チューブの
一実施例を示す横断面図。

【符号の説明】

１ シールド付き細径絶縁チューブ ２ 細径絶縁チューブ ３ 補強材層 ４ シールド層 ５ ジャケット層

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プラスチックからなる細径の絶縁チュー
   ブと、この細径絶縁チューブの外周に配設した補強材層
   と、この補強材層の外周に形成したシールド層と、この
   シールド層の外周に形成したジャケット層とからなるこ
   とを特徴とするシールド付き細径絶縁チューブ。
2. 【請求項２】 前記細径絶縁チューブが、ふっ素樹脂か
   らなることを特徴とする請求項１に記載のシールド付き
   細径絶縁チューブ。
3. 【請求項３】 前記シールド層を、複数本の金属素線を
   螺旋状に横巻きして構成することを特徴とする請求項１
   または２に記載のシールド付き細径絶縁チューブ。
4. 【請求項４】 前記シールド層が、接着剤層を介して前
   記補強材層に固着していることを特徴とする請求項１な
   いし３のいずれかに記載のシールド付き細径絶縁チュー
   ブ。
5. 【請求項５】 プラスチックからなる細径の絶縁チュー
   ブを作成する工程と、この細径の絶縁チューブの外周
   に、接着剤層を有する補強材を該接着剤層が外側にくる
   ように配設する工程と、この補強材の接着剤層上にシー
   ルド層を形成する工程と、このシールド層の外周にジャ
   ケット層を形成する工程とを備えたことを特徴とするシ
   ールド付き細径絶縁チューブの製造方法。