JPH08137553A - サーボモータの速度制御装置 - Google Patents
サーボモータの速度制御装置Info
- Publication number
- JPH08137553A JPH08137553A JP6279496A JP27949694A JPH08137553A JP H08137553 A JPH08137553 A JP H08137553A JP 6279496 A JP6279496 A JP 6279496A JP 27949694 A JP27949694 A JP 27949694A JP H08137553 A JPH08137553 A JP H08137553A
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- JP
- Japan
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- speed
- servo motor
- rotating speed
- roll
- rotation
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- Pending
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Velocity Or Acceleration (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で高い送り精度を得ることができ
るサーボモータの速度制御装置を提供すること。 【構成】 ロータリエンコーダ11は、印刷機1の基準
回転軸1aの回転速度を検出し、回転速度に比例した周
波数のパルス信号を発生する。置数器16には、基準回
転軸1aの回転速度に対する送り出しロール3の回転速
度の比すなわち速度比が設定され、MPU12は、置数
器16に設定された速度比に基づいて間引き率を演算
し、間引き率を指示する指令信号をレートマルチカウン
タ17に出力する。レートマルチカウンタ17は、MP
U12からの指令信号に従った間引き率で、パルス発生
器11からのパルス信号を間引き、間引き後のパルス信
号をドライバ15に出力する。ドライバ15は、間引き
後のパルス信号を指令値とし、この指令値と、ロータリ
エンコーダ14からの回転速度信号とに基づいて、サー
ボモータ7を駆動する。
るサーボモータの速度制御装置を提供すること。 【構成】 ロータリエンコーダ11は、印刷機1の基準
回転軸1aの回転速度を検出し、回転速度に比例した周
波数のパルス信号を発生する。置数器16には、基準回
転軸1aの回転速度に対する送り出しロール3の回転速
度の比すなわち速度比が設定され、MPU12は、置数
器16に設定された速度比に基づいて間引き率を演算
し、間引き率を指示する指令信号をレートマルチカウン
タ17に出力する。レートマルチカウンタ17は、MP
U12からの指令信号に従った間引き率で、パルス発生
器11からのパルス信号を間引き、間引き後のパルス信
号をドライバ15に出力する。ドライバ15は、間引き
後のパルス信号を指令値とし、この指令値と、ロータリ
エンコーダ14からの回転速度信号とに基づいて、サー
ボモータ7を駆動する。
Description
【産業上の利用分野】本発明は、サーボモータの比例同
期式速度制御装置、詳しくは、シート材に印刷を行う印
刷機に対してシート材を一定寸法で送り出すとともに、
印刷後のシート材を巻き取る際の一定寸法のシート材の
送り出し・巻き取り制御軸に使用するサーボモータの速
度制御を行う装置、又は、基準回転軸の変化にも制御軸
を追従させなければならないような装置、例えば、経編
機等の経糸送り出し装置などに利用し、高精度な送り装
置に使用するサーボモータの速度制御装置に関する。
期式速度制御装置、詳しくは、シート材に印刷を行う印
刷機に対してシート材を一定寸法で送り出すとともに、
印刷後のシート材を巻き取る際の一定寸法のシート材の
送り出し・巻き取り制御軸に使用するサーボモータの速
度制御を行う装置、又は、基準回転軸の変化にも制御軸
を追従させなければならないような装置、例えば、経編
機等の経糸送り出し装置などに利用し、高精度な送り装
置に使用するサーボモータの速度制御装置に関する。
【従来の技術】従来、上記のような印刷機のシート材送
り出し・巻き取り装置は、図3に示すように構成され
る。図3において、1は印刷機、2はシート材を表す。
シート材2は送り出しロール3から送り出されて印刷機
1で印刷され、巻き取りロール4によって巻き取られ
る。送り出しロール3と巻き取りロール4との間のシー
ト材2の経路には、インフィードロール5、及び、印刷
機1の速度に合わせるためにテンションコントローラ1
6,17を設け、その後に、アウトフィードロール6な
どが配設されている。送り出しロール3、巻き取りロー
ル4、インフィードロール5、アウトフィードロール6
等は、それぞれサーボモータ7,8,9,10により回
転される。各種ロール3,4,5,6のサーボモータ
7,8,9,10の速度は、テンションコントローラ1
6,17からの張力信号に基づいて速度制御装置により
制御される。例えば、送り出しロール3のサーボモータ
7の速度制御装置は、図3に示すように、印刷機1の回
転軸(基準回転軸)1aの回転速度を検出し、回転速度
に比例した周波数のパルス信号を発生するロータリエン
コーダ(パルス発生器)11を備える。また、後述する
ような演算処理を実行するマイクロプロセッサユニット
(MPU)12と、MPU12からのデジタル信号をア
ナログ電圧信号又はアナログ電流信号に変換するD/A
コンバータ13を備える。また、D/Aコンバータ13
からのアナログ電圧信号又はアナログ電流信号を指令値
とし、この指令値と、送り出しロール3の回転速度を検
出するロータリエンコーダ14からの回転速度信号とに
基づいて、サーボモータ7を駆動するドライバ15を備
える。MPU12には、基準回転軸1aに対する送り出
しロール3の回転速度の比すなわち回転比(速度比)が
設定データとして予め記憶されており、MPU12は、
パルス発生器11からのパルス信号により基準回転軸1
aの回転速度を算出し、この回転速度と上記回転比デー
タとロータリエンコーダ14の回転速度信号とテンショ
ンコントローラ16,17からの張力信号とから、送り
出しロール3の設定回転速度を算出し、この設定回転速
度を表すデジタル信号をD/Aコンバータ13に出力す
る。このデジタル信号は、D/Aコンバータ13により
アナログ電圧信号又はアナログ電流信号に変換されてド
ライバ15に指令値として入力される。
り出し・巻き取り装置は、図3に示すように構成され
る。図3において、1は印刷機、2はシート材を表す。
シート材2は送り出しロール3から送り出されて印刷機
1で印刷され、巻き取りロール4によって巻き取られ
る。送り出しロール3と巻き取りロール4との間のシー
ト材2の経路には、インフィードロール5、及び、印刷
機1の速度に合わせるためにテンションコントローラ1
6,17を設け、その後に、アウトフィードロール6な
どが配設されている。送り出しロール3、巻き取りロー
ル4、インフィードロール5、アウトフィードロール6
等は、それぞれサーボモータ7,8,9,10により回
転される。各種ロール3,4,5,6のサーボモータ
7,8,9,10の速度は、テンションコントローラ1
6,17からの張力信号に基づいて速度制御装置により
制御される。例えば、送り出しロール3のサーボモータ
7の速度制御装置は、図3に示すように、印刷機1の回
転軸(基準回転軸)1aの回転速度を検出し、回転速度
に比例した周波数のパルス信号を発生するロータリエン
コーダ(パルス発生器)11を備える。また、後述する
ような演算処理を実行するマイクロプロセッサユニット
(MPU)12と、MPU12からのデジタル信号をア
ナログ電圧信号又はアナログ電流信号に変換するD/A
コンバータ13を備える。また、D/Aコンバータ13
からのアナログ電圧信号又はアナログ電流信号を指令値
とし、この指令値と、送り出しロール3の回転速度を検
出するロータリエンコーダ14からの回転速度信号とに
基づいて、サーボモータ7を駆動するドライバ15を備
える。MPU12には、基準回転軸1aに対する送り出
しロール3の回転速度の比すなわち回転比(速度比)が
設定データとして予め記憶されており、MPU12は、
パルス発生器11からのパルス信号により基準回転軸1
aの回転速度を算出し、この回転速度と上記回転比デー
タとロータリエンコーダ14の回転速度信号とテンショ
ンコントローラ16,17からの張力信号とから、送り
出しロール3の設定回転速度を算出し、この設定回転速
度を表すデジタル信号をD/Aコンバータ13に出力す
る。このデジタル信号は、D/Aコンバータ13により
アナログ電圧信号又はアナログ電流信号に変換されてド
ライバ15に指令値として入力される。
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の速
度制御装置によると、複雑な構成のテンションコントロ
ーラ16,17を使用しているとともに、上述したよう
にアナログ電圧又はアナログ電流を指令値としているた
め、A/Dコンバータ18によるA/D変換ロスが発生
し、微小な変化量の応答性が悪かったり、低速回転域に
おいて不感帶レベルが発生し、広範囲な制御が困難であ
り、付帯装置もあり高価になっていた。また、ロータリ
エンコーダ14の速度信号をMPU12にフィードバッ
クしているため、送り出しロール3に、設定回転速度と
検出回転速度との不一致に基づくハンチングを生じやす
いという問題がある。さらに、MPU12において、一
定時間内のパルス数に基づいて基準回転軸1aの回転速
度を算出していることから、基準回転軸1aの回転速度
を算出するために一定時間を要し、このため、基準回転
軸1aの回転速度が変動したときに、この変動に送り出
しロール3やインフィードロール5が十分に追従できな
くなり、追従性に劣るという問題がある。このようなこ
とから、従来の速度制御装置では、高い送り精度を得る
ことがむずかしかった。本発明は、上記のようなシート
材送り出し・巻き取り装置における送り出しロールのサ
ーボモータの速度制御装置のみに限定されるものではな
いが、上記問題点を解決し、簡単な構成で高い送り精度
を得ることができるサーボモータの速度制御装置を提供
することを目的とする。
度制御装置によると、複雑な構成のテンションコントロ
ーラ16,17を使用しているとともに、上述したよう
にアナログ電圧又はアナログ電流を指令値としているた
め、A/Dコンバータ18によるA/D変換ロスが発生
し、微小な変化量の応答性が悪かったり、低速回転域に
おいて不感帶レベルが発生し、広範囲な制御が困難であ
り、付帯装置もあり高価になっていた。また、ロータリ
エンコーダ14の速度信号をMPU12にフィードバッ
クしているため、送り出しロール3に、設定回転速度と
検出回転速度との不一致に基づくハンチングを生じやす
いという問題がある。さらに、MPU12において、一
定時間内のパルス数に基づいて基準回転軸1aの回転速
度を算出していることから、基準回転軸1aの回転速度
を算出するために一定時間を要し、このため、基準回転
軸1aの回転速度が変動したときに、この変動に送り出
しロール3やインフィードロール5が十分に追従できな
くなり、追従性に劣るという問題がある。このようなこ
とから、従来の速度制御装置では、高い送り精度を得る
ことがむずかしかった。本発明は、上記のようなシート
材送り出し・巻き取り装置における送り出しロールのサ
ーボモータの速度制御装置のみに限定されるものではな
いが、上記問題点を解決し、簡単な構成で高い送り精度
を得ることができるサーボモータの速度制御装置を提供
することを目的とする。
【課題を解決するための手段】本発明に係るサーボモー
タの速度制御装置は、基準回転軸の回転速度に比例した
周波数のパルス信号を発生するパルス発生器と、前記基
準回転軸の回転速度に対する制御軸用サーボモータの速
度比を設定する各軸別の速度設定器と、前記速度設定器
により設定された速度比に従って、前記パルス発生器か
らのパルス信号を処理し、処理後のパルス信号により前
記サーボモータの速度を制御する演算回路と、を備える
ことを特徴とするサーボモータの速度制御装置を採用す
る。
タの速度制御装置は、基準回転軸の回転速度に比例した
周波数のパルス信号を発生するパルス発生器と、前記基
準回転軸の回転速度に対する制御軸用サーボモータの速
度比を設定する各軸別の速度設定器と、前記速度設定器
により設定された速度比に従って、前記パルス発生器か
らのパルス信号を処理し、処理後のパルス信号により前
記サーボモータの速度を制御する演算回路と、を備える
ことを特徴とするサーボモータの速度制御装置を採用す
る。
【発明の作用効果】本発明に係るサーボモータの速度制
御装置は、アナログ電圧又はアナログ電流を指令値とせ
ず、パルス発生器からのパルス信号を速度設定器で設定
されたデジタル値を比例演算した後のパルス信号を指令
値としているため、低速回転域での回転むらを防止する
ことができる。また、従来装置のようなフィードバック
制御を行わず、オープンループ制御を採用しているた
め、ハンチングが生じない。また、基準回転軸の回転速
度を演算したり、A/D変換していないため、ロスタイ
ムが無く、追従性の低下を招くことがない。従って、基
準回転軸の回転変動に対する速度制御の追従性が向上
し、ひいては、制御軸を駆動するサーボモータの動作の
安定性及び高精度な送りを確保できる。従って、本発明
によると、簡単な構成で高い送り精度を得ることができ
る。
御装置は、アナログ電圧又はアナログ電流を指令値とせ
ず、パルス発生器からのパルス信号を速度設定器で設定
されたデジタル値を比例演算した後のパルス信号を指令
値としているため、低速回転域での回転むらを防止する
ことができる。また、従来装置のようなフィードバック
制御を行わず、オープンループ制御を採用しているた
め、ハンチングが生じない。また、基準回転軸の回転速
度を演算したり、A/D変換していないため、ロスタイ
ムが無く、追従性の低下を招くことがない。従って、基
準回転軸の回転変動に対する速度制御の追従性が向上
し、ひいては、制御軸を駆動するサーボモータの動作の
安定性及び高精度な送りを確保できる。従って、本発明
によると、簡単な構成で高い送り精度を得ることができ
る。
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は、本発明の適用例である印刷機のシート
材送り出し・巻き取り装置の構成を示している。図1に
おいて、1は印刷機、2はシート材を表す。シート材2
は送り出しロール3から送り出されて印刷機1で印刷さ
れ、巻き取りロール4によって巻き取られる。送り出し
ロール3と巻き取りロール4との間のシート材2の経路
には、インフィードロール5、アウトフィードロール6
などが配設されている。送り出しロール3、巻き取りロ
ール4、インフィードロール5、アウトフィードロール
6等は、それぞれサーボモータ7,8,9,10により
回転される。各種ロール3,4,5,6のサーボモータ
7,8,9,10の速度は、速度制御装置により制御さ
れる。例えば、送り出しロール3のサーボモータ7の速
度制御装置は、図1に示すように、印刷機1の回転軸
(基準回転軸)1aの回転速度を検出し、回転速度に比
例した周波数のパルス信号を発生するロータリエンコー
ダ(パルス発生器)11を備える。また、基準回転軸1
aの回転速度に対する送り出しロール3の回転速度の比
すなわち回転比(速度比)が設定される置数器16と、
置数器16に設定された速度比に基づいて間引き率を演
算し、間引き率を指示する指令信号をレートマルチカウ
ンタ17に出力するマイクロプロセッサユニット(MP
U)12を備える。また、MPU12からの指令信号に
従った間引き率で、パルス発生器11からのパルス信号
を間引き、間引き後のパルス信号をドライバ15に出力
するレートマルチカウンタ17を備える。また、レート
マルチカウンタ17からの間引き後のパルス信号を指令
値とし、この指令値と、送り出しロール3の回転速度を
検出するロータリエンコーダ14からの回転速度信号と
に基づいて、サーボモータ7を駆動するドライバ15を
備える。レートマルチカウンタ17は、上述のように、
パルス発生器11からのパルス信号を、MPU12から
の間引き率の指令信号に従って間引く。例えば、図2図
示(a) に示すパルス信号に対して、間引き率が9/10
である場合には、間引き後のパルス信号は、図2図示(b
1)のようになる。また、間引き率が8/10、7/1
0、6/10、5/10の場合には、それぞれ図2図示
(b2)、(b3)、(b4)、(b5)のようになる。なお、レートマ
ルチカウンタ17は、パルス発生器11の1回転当たり
のパルス数や、速度比等に応じて決定された複数の段数
からなり、間引き率は、例えば、1/10000〜99
99/10000に設定することができる。なお、置数
器16及びMPU12が、本発明にいう速度設定器に対
応する。以上の説明から明らかなように、本実施例に係
るサーボモータの速度制御装置として、位置決め機能を
用い、位置の微分をすることによる速度制御を行うた
め、アナログ電圧又はアナログ電流を指令値とせず、パ
ルス発生器11からのパルス信号を置数器16で設定さ
れた間引き率で間引いた後のパルス信号を指令値として
いるため、低速回転域での回転むらを防止することがで
きる。また、従来装置のようなフィードバック制御を行
わず、オープンループ制御を採用しているため、ハンチ
ングが生じない。また、従来のような閉ループ制御にお
いてもフィードバック量を軽減でき、本案のような制御
を行うことにより、上記の機能を維持することもでき
る。また、基準回転軸1aの回転速度を演算していない
ため、演算に要する時間に起因する追従性の低下を招く
ことがなく、従って、基準回転軸1aの回転変動に対す
る送り出しロール3の追従性が向上する。従って、本実
施例によると、簡単な構成で高い送り精度を得ることが
できる。なお、上記実施例では、送り出しロール3のサ
ーボモータ7の速度を制御する装置を説明したが、本発
明は、巻き取りロール4、フィードロール5,6等の各
サーボモータ8,9,10等の速度を制御する装置につ
いても同様の構成をとることができ、また、基準回転軸
1aの回転を基準として、複数のサーボモータ7,8,
9,10等の速度を同時に制御する構成をとることもで
きる。また、本発明は、上述した印刷機のシート材送り
出し・巻き取り装置のみに適用されるものではなく、そ
のほか、経編機等の経糸送り出し装置など、高い送り精
度が要求される装置に適用可能である。
明する。図1は、本発明の適用例である印刷機のシート
材送り出し・巻き取り装置の構成を示している。図1に
おいて、1は印刷機、2はシート材を表す。シート材2
は送り出しロール3から送り出されて印刷機1で印刷さ
れ、巻き取りロール4によって巻き取られる。送り出し
ロール3と巻き取りロール4との間のシート材2の経路
には、インフィードロール5、アウトフィードロール6
などが配設されている。送り出しロール3、巻き取りロ
ール4、インフィードロール5、アウトフィードロール
6等は、それぞれサーボモータ7,8,9,10により
回転される。各種ロール3,4,5,6のサーボモータ
7,8,9,10の速度は、速度制御装置により制御さ
れる。例えば、送り出しロール3のサーボモータ7の速
度制御装置は、図1に示すように、印刷機1の回転軸
(基準回転軸)1aの回転速度を検出し、回転速度に比
例した周波数のパルス信号を発生するロータリエンコー
ダ(パルス発生器)11を備える。また、基準回転軸1
aの回転速度に対する送り出しロール3の回転速度の比
すなわち回転比(速度比)が設定される置数器16と、
置数器16に設定された速度比に基づいて間引き率を演
算し、間引き率を指示する指令信号をレートマルチカウ
ンタ17に出力するマイクロプロセッサユニット(MP
U)12を備える。また、MPU12からの指令信号に
従った間引き率で、パルス発生器11からのパルス信号
を間引き、間引き後のパルス信号をドライバ15に出力
するレートマルチカウンタ17を備える。また、レート
マルチカウンタ17からの間引き後のパルス信号を指令
値とし、この指令値と、送り出しロール3の回転速度を
検出するロータリエンコーダ14からの回転速度信号と
に基づいて、サーボモータ7を駆動するドライバ15を
備える。レートマルチカウンタ17は、上述のように、
パルス発生器11からのパルス信号を、MPU12から
の間引き率の指令信号に従って間引く。例えば、図2図
示(a) に示すパルス信号に対して、間引き率が9/10
である場合には、間引き後のパルス信号は、図2図示(b
1)のようになる。また、間引き率が8/10、7/1
0、6/10、5/10の場合には、それぞれ図2図示
(b2)、(b3)、(b4)、(b5)のようになる。なお、レートマ
ルチカウンタ17は、パルス発生器11の1回転当たり
のパルス数や、速度比等に応じて決定された複数の段数
からなり、間引き率は、例えば、1/10000〜99
99/10000に設定することができる。なお、置数
器16及びMPU12が、本発明にいう速度設定器に対
応する。以上の説明から明らかなように、本実施例に係
るサーボモータの速度制御装置として、位置決め機能を
用い、位置の微分をすることによる速度制御を行うた
め、アナログ電圧又はアナログ電流を指令値とせず、パ
ルス発生器11からのパルス信号を置数器16で設定さ
れた間引き率で間引いた後のパルス信号を指令値として
いるため、低速回転域での回転むらを防止することがで
きる。また、従来装置のようなフィードバック制御を行
わず、オープンループ制御を採用しているため、ハンチ
ングが生じない。また、従来のような閉ループ制御にお
いてもフィードバック量を軽減でき、本案のような制御
を行うことにより、上記の機能を維持することもでき
る。また、基準回転軸1aの回転速度を演算していない
ため、演算に要する時間に起因する追従性の低下を招く
ことがなく、従って、基準回転軸1aの回転変動に対す
る送り出しロール3の追従性が向上する。従って、本実
施例によると、簡単な構成で高い送り精度を得ることが
できる。なお、上記実施例では、送り出しロール3のサ
ーボモータ7の速度を制御する装置を説明したが、本発
明は、巻き取りロール4、フィードロール5,6等の各
サーボモータ8,9,10等の速度を制御する装置につ
いても同様の構成をとることができ、また、基準回転軸
1aの回転を基準として、複数のサーボモータ7,8,
9,10等の速度を同時に制御する構成をとることもで
きる。また、本発明は、上述した印刷機のシート材送り
出し・巻き取り装置のみに適用されるものではなく、そ
のほか、経編機等の経糸送り出し装置など、高い送り精
度が要求される装置に適用可能である。
【図1】一実施例に係るサーボモータの速度制御装置が
使用された印刷機のシート材送り出し・巻き取り装置の
概略構成図
使用された印刷機のシート材送り出し・巻き取り装置の
概略構成図
【図2】レートマルチカウンタの動作を説明するための
タイミングチャート
タイミングチャート
【図3】従来の速度制御装置が使用された印刷機のシー
ト材送り出し・巻き取り装置の概略構成図
ト材送り出し・巻き取り装置の概略構成図
1 印刷機 1a 基準回転軸 2 シート材 3 送り出しロール 4 巻き取りロール 5,6 フィードロール 7,8,9,10 サーボモータ 11 パルス発生器 12 MPU(速度設定器) 16 置数器(速度設定器) 17 レートマルチカウンタ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G05D 3/12 306 S H02P 5/00 P
Claims (1)
- 【請求項1】 基準回転軸の回転速度に比例した周波数
のパルス信号を発生するパルス発生器と、 前記基準回転軸の回転速度に対する制御軸用サーボモー
タの速度比を設定する各軸別の速度設定器と、 前記速度設定器により設定された速度比に従って、前記
パルス発生器からのパルス信号を処理し、処理後のパル
ス信号により前記サーボモータの速度を制御する演算回
路と、 を備えることを特徴とするサーボモータの速度制御装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6279496A JPH08137553A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | サーボモータの速度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6279496A JPH08137553A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | サーボモータの速度制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08137553A true JPH08137553A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17611863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6279496A Pending JPH08137553A (ja) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | サーボモータの速度制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08137553A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109019089A (zh) * | 2018-07-24 | 2018-12-18 | 重庆安卡自动化工程有限公司 | 用于瓦楞纸箱印刷机械的辊道伺服控制系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58127598A (ja) * | 1982-01-19 | 1983-07-29 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | 可変速電動機群の速度設定装置 |
JPS59147545A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-23 | Nf Kairo Sekkei Block:Kk | 同期信号発生装置 |
JPS62250897A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-31 | Fujita:Kk | 巻取装置における巻取速度制御装置 |
JPH02133092A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-22 | Toshiba Corp | 塗布機制御装置 |
-
1994
- 1994-11-14 JP JP6279496A patent/JPH08137553A/ja active Pending
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