JPH0812362A - 片面成膜処理ガラスの切断方法 - Google Patents
片面成膜処理ガラスの切断方法Info
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- JPH0812362A JPH0812362A JP13861194A JP13861194A JPH0812362A JP H0812362 A JPH0812362 A JP H0812362A JP 13861194 A JP13861194 A JP 13861194A JP 13861194 A JP13861194 A JP 13861194A JP H0812362 A JPH0812362 A JP H0812362A
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- glass substrate
- forming
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- glass
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/07—Cutting armoured, multi-layered, coated or laminated, glass products
- C03B33/074—Glass products comprising an outer layer or surface coating of non-glass material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 片面成膜ガラス基板１１を成膜面１１ａに傷
つきを生じることなく、安定的に切断する。 【構成】 ガラス基板１１の成膜面１１ａ側を下方に
し、かつガラス基板１１のうち、ガラス不要部１１ｂの
成膜面１１ａのみをスペーサ１２を介して治具テーブル
１０上に支持固定し、成膜面１１ａのない方の面（上方
側の面）に、上方からチップ刃１４にてスクライブして
クラック１５を形成し、その後このクラック５を成長さ
せる方向の荷重をガラス基板１１に加えて、ガラス基板
１１を分断する。
つきを生じることなく、安定的に切断する。 【構成】 ガラス基板１１の成膜面１１ａ側を下方に
し、かつガラス基板１１のうち、ガラス不要部１１ｂの
成膜面１１ａのみをスペーサ１２を介して治具テーブル
１０上に支持固定し、成膜面１１ａのない方の面（上方
側の面）に、上方からチップ刃１４にてスクライブして
クラック１５を形成し、その後このクラック５を成長さ
せる方向の荷重をガラス基板１１に加えて、ガラス基板
１１を分断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子のガラス
基板等に用いられる片面成膜処理ガラスの切断方法に関
する。
基板等に用いられる片面成膜処理ガラスの切断方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラスの切断にあたっては、まず
図５に示すスクライブ工程を行う。すなわち、治具テー
ブル５上にガラス基板３を載置するとともに、このガラ
ス基板３を負圧供給通路４からの負圧によりテーブル５
を上に密着固定し、この状態でガラス基板３の切断箇所
の片表面に、超硬合金チップまたはダイヤモンドチップ
を用いた円盤形状のチップ刃１にて線状の傷をつけて、
ガラス基板３にクラック２を形成する。このクラック形
成工程は一般にスクライブ工程と称されている。
図５に示すスクライブ工程を行う。すなわち、治具テー
ブル５上にガラス基板３を載置するとともに、このガラ
ス基板３を負圧供給通路４からの負圧によりテーブル５
を上に密着固定し、この状態でガラス基板３の切断箇所
の片表面に、超硬合金チップまたはダイヤモンドチップ
を用いた円盤形状のチップ刃１にて線状の傷をつけて、
ガラス基板３にクラック２を形成する。このクラック形
成工程は一般にスクライブ工程と称されている。
【０００３】次に、図６（ａ）または（ｂ）に示すよう
に、上記クラック２を成長させる方向の力をガラス基板
３に加えて、ガラス基板３を分断する分断工程を行う。
なお、図６（ｂ）において、６はクッション材、７はガ
ラス基板３のクラック２部分に荷重を加える荷重印加部
材（スキージ）である。
に、上記クラック２を成長させる方向の力をガラス基板
３に加えて、ガラス基板３を分断する分断工程を行う。
なお、図６（ｂ）において、６はクッション材、７はガ
ラス基板３のクラック２部分に荷重を加える荷重印加部
材（スキージ）である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラス基板
３の片表面のみに成膜面を形成する成膜処理を施してい
る場合には、成膜面側よりスクライブしないと、成膜面
がテーブル５に接して膜面が傷ついてしまう。従って、
成膜面側よりスクライブすることになるが、成膜面側よ
りのスクライブは膜の状態（膜厚さ、硬度等）の影響が
大きいので、一定のスクライブ条件では、種々な仕様の
ガラス基板３に安定的にクラック２を入れることができ
ず、ガラス基板３をうまく切断できないという問題があ
った。
３の片表面のみに成膜面を形成する成膜処理を施してい
る場合には、成膜面側よりスクライブしないと、成膜面
がテーブル５に接して膜面が傷ついてしまう。従って、
成膜面側よりスクライブすることになるが、成膜面側よ
りのスクライブは膜の状態（膜厚さ、硬度等）の影響が
大きいので、一定のスクライブ条件では、種々な仕様の
ガラス基板３に安定的にクラック２を入れることができ
ず、ガラス基板３をうまく切断できないという問題があ
った。
【０００５】本発明は上記点に鑑みてなされたもので、
片面成膜処理ガラスの切断にあたって、成膜面に傷をつ
けることなく、ガラスの成膜面のない表面にスクライブ
して、安定的にクラックを入れ、ガラスを良好に切断で
きるようにすることを目的とする。
片面成膜処理ガラスの切断にあたって、成膜面に傷をつ
けることなく、ガラスの成膜面のない表面にスクライブ
して、安定的にクラックを入れ、ガラスを良好に切断で
きるようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、以下の技術的手段を採用する。請求項１記載
の発明では、片面成膜ガラス基板の切断部位にクラック
を形成するスクライブ工程と、前記クラックを成長させ
る方向の荷重を前記ガラス基板に加えて、前記ガラス基
板を分断する分断工程とからなる片面成膜処理ガラスの
切断方法であって、前記スクライブ工程の実施にあたっ
ては、前記片面成膜ガラス基板を、その片面の成膜面が
下方に、成膜面のない方の面が上方に向くようにして、
治具テーブルの上方に配置するとともに、前記片面成膜
ガラス基板のうち、分断後不要となるガラス不要部のみ
をスペーサを介して前記治具テーブル上に支持、固定
し、その後前記片面成膜ガラス基板の上方から、スクラ
イブ刃手段により片面成膜ガラス基板の切断部位にクラ
ックを形成し、しかるのち前記分断工程を実施すること
を特徴としている。
するため、以下の技術的手段を採用する。請求項１記載
の発明では、片面成膜ガラス基板の切断部位にクラック
を形成するスクライブ工程と、前記クラックを成長させ
る方向の荷重を前記ガラス基板に加えて、前記ガラス基
板を分断する分断工程とからなる片面成膜処理ガラスの
切断方法であって、前記スクライブ工程の実施にあたっ
ては、前記片面成膜ガラス基板を、その片面の成膜面が
下方に、成膜面のない方の面が上方に向くようにして、
治具テーブルの上方に配置するとともに、前記片面成膜
ガラス基板のうち、分断後不要となるガラス不要部のみ
をスペーサを介して前記治具テーブル上に支持、固定
し、その後前記片面成膜ガラス基板の上方から、スクラ
イブ刃手段により片面成膜ガラス基板の切断部位にクラ
ックを形成し、しかるのち前記分断工程を実施すること
を特徴としている。
【０００７】請求項２記載の発明では、片面成膜ガラス
基板の切断部位にクラックを形成するスクライブ工程
と、前記クラックを成長させる方向の荷重を前記ガラス
基板に加えて、前記ガラス基板を分断する分断工程とか
らなる片面成膜処理ガラスの切断方法であって、前記ス
クライブ工程の実施にあたっては、前記片面成膜ガラス
基板を、その片面の成膜面が上方に、成膜面のない方の
面が下方に向くようにして、治具テーブル上に配置する
とともに、前記片面成膜ガラス基板の下方の成膜面のな
い方の面を前記治具テーブル上に直接支持、固定し、そ
の後前記片面成膜ガラス基板の下方から、スクライブ刃
手段により片面成膜ガラス基板の切断部位にクラックを
形成し、しかるのち前記分断工程を実施することを特徴
としている。
基板の切断部位にクラックを形成するスクライブ工程
と、前記クラックを成長させる方向の荷重を前記ガラス
基板に加えて、前記ガラス基板を分断する分断工程とか
らなる片面成膜処理ガラスの切断方法であって、前記ス
クライブ工程の実施にあたっては、前記片面成膜ガラス
基板を、その片面の成膜面が上方に、成膜面のない方の
面が下方に向くようにして、治具テーブル上に配置する
とともに、前記片面成膜ガラス基板の下方の成膜面のな
い方の面を前記治具テーブル上に直接支持、固定し、そ
の後前記片面成膜ガラス基板の下方から、スクライブ刃
手段により片面成膜ガラス基板の切断部位にクラックを
形成し、しかるのち前記分断工程を実施することを特徴
としている。
【０００８】請求項３記載の発明では、請求項１または
２に記載の片面成膜処理ガラスの切断方法において、前
記分断工程の実施にあたっては、前記片面成膜ガラス基
板のガラス不要部を治具テーブルのスリットに挿入し、
この治具テーブルのスリットにて前記片面成膜ガラス基
板のガラス不要部を支持させた状態において、前記片面
成膜ガラス基板のガラス必要部のうち、成膜面のない方
の面に、前記クラックを成長させる方向の荷重を加え
て、前記ガラス基板を分断することを特徴とする。
２に記載の片面成膜処理ガラスの切断方法において、前
記分断工程の実施にあたっては、前記片面成膜ガラス基
板のガラス不要部を治具テーブルのスリットに挿入し、
この治具テーブルのスリットにて前記片面成膜ガラス基
板のガラス不要部を支持させた状態において、前記片面
成膜ガラス基板のガラス必要部のうち、成膜面のない方
の面に、前記クラックを成長させる方向の荷重を加え
て、前記ガラス基板を分断することを特徴とする。
【０００９】請求項４記載の発明では、請求項１または
２に記載の片面成膜処理ガラスの切断方法において、前
記分断工程の実施にあたっては、前記片面成膜ガラス基
板を、その片面の成膜面が上方に、成膜面のない方の面
が下方に向くようにして、治具テーブル上に配置すると
ともに、前記片面成膜ガラス基板のガラス不要部は、前
記治具テーブルの一部に構成された回動可能な回動機構
部の上方に位置するように配置し、前記片面成膜ガラス
基板のガラス不要部のうち、成膜面のない方の面に、前
記治具テーブルの回動機構部により前記クラックを成長
させる方向の荷重を加えて、前記ガラス基板を分断する
ことを特徴とする。
２に記載の片面成膜処理ガラスの切断方法において、前
記分断工程の実施にあたっては、前記片面成膜ガラス基
板を、その片面の成膜面が上方に、成膜面のない方の面
が下方に向くようにして、治具テーブル上に配置すると
ともに、前記片面成膜ガラス基板のガラス不要部は、前
記治具テーブルの一部に構成された回動可能な回動機構
部の上方に位置するように配置し、前記片面成膜ガラス
基板のガラス不要部のうち、成膜面のない方の面に、前
記治具テーブルの回動機構部により前記クラックを成長
させる方向の荷重を加えて、前記ガラス基板を分断する
ことを特徴とする。
【００１０】
【発明の作用効果】請求項１または２記載の発明によれ
ば、上記技術的手段を有しているため、ガラス基板の成
膜面のない方の面にスクライブしてクラックを形成で
き、従って成膜面の形態の影響を受けることなく、常に
安定的にクラックを形成できる。しかも、スクライブ工
程において、ガラス必要部の成膜面に触れることなく、
ガラス基板を支持固定して、ガラス基板にスクライブで
きるので、ガラス必要部の成膜面に傷付きが発生するこ
とがない。
ば、上記技術的手段を有しているため、ガラス基板の成
膜面のない方の面にスクライブしてクラックを形成で
き、従って成膜面の形態の影響を受けることなく、常に
安定的にクラックを形成できる。しかも、スクライブ工
程において、ガラス必要部の成膜面に触れることなく、
ガラス基板を支持固定して、ガラス基板にスクライブで
きるので、ガラス必要部の成膜面に傷付きが発生するこ
とがない。
【００１１】従って、常に安定的なクラックに基づいて
ガラス基板を良好に分断できるとともに、成膜面の傷付
きが発生しない高品質の製品を提供できるという効果が
大である。請求項３または４記載の発明によれば、上記
作用効果に加えて、分断工程においても、ガラス基板の
成膜面への傷付きを確実に防止しつつ、ガラス基板の分
断を良好に実施できる。
ガラス基板を良好に分断できるとともに、成膜面の傷付
きが発生しない高品質の製品を提供できるという効果が
大である。請求項３または４記載の発明によれば、上記
作用効果に加えて、分断工程においても、ガラス基板の
成膜面への傷付きを確実に防止しつつ、ガラス基板の分
断を良好に実施できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例について説明
する。 （第１実施例）図１において、片面成膜ガラス基板１１
は液晶表示素子の基板として使用されるものであって、
例えばホウケイ酸ガラスから成形されており、その片面
のみに成膜面１１ａを有している。この成膜面１１ａは
例えばガラス基板表面の上に直接形成されたオーバコー
ト膜、その上に形成された透明電極、その上に形成され
た絶縁膜、その上に形成された配向制御膜等から構成さ
れている。
する。 （第１実施例）図１において、片面成膜ガラス基板１１
は液晶表示素子の基板として使用されるものであって、
例えばホウケイ酸ガラスから成形されており、その片面
のみに成膜面１１ａを有している。この成膜面１１ａは
例えばガラス基板表面の上に直接形成されたオーバコー
ト膜、その上に形成された透明電極、その上に形成され
た絶縁膜、その上に形成された配向制御膜等から構成さ
れている。
【００１３】ここで、成膜面１１ａのうち、配向制御膜
だけはガラス基板１１の切断後に塗布して形成するよう
にしてもよい。そして、治具テーブル１０上に片面成膜
ガラス基板１１を載置するに際しては、図１に示すよう
に、このガラス基板１１の成膜面１１ａが下方に向くよ
うにするとともに、この成膜面１１ａの全体が治具テー
ブル１０の上面に直接接触しないようにするため、ガラ
ス基板１１のうち、切断後廃却する左右両側のガラス不
要部１１ｂのみに接するようにして、スペーサ１２をガ
ラス基板１１と治具テーブル１０との間に介在させる。
だけはガラス基板１１の切断後に塗布して形成するよう
にしてもよい。そして、治具テーブル１０上に片面成膜
ガラス基板１１を載置するに際しては、図１に示すよう
に、このガラス基板１１の成膜面１１ａが下方に向くよ
うにするとともに、この成膜面１１ａの全体が治具テー
ブル１０の上面に直接接触しないようにするため、ガラ
ス基板１１のうち、切断後廃却する左右両側のガラス不
要部１１ｂのみに接するようにして、スペーサ１２をガ
ラス基板１１と治具テーブル１０との間に介在させる。
【００１４】これにより、ガラス基板１１のうち、中央
部に位置するガラス必要部１１ｃの成膜面１１ａが治具
テーブル１０に接することなく、ガラス基板１１を治具
テーブル１０上に支持できる。ガラス基板１１の固定
は、治具テーブル１０及びスペーサ１２に設けた負圧供
給通路１３に負圧を供給して、ガラス基板１１に下方へ
の吸引力を作用させることにより行う。ここで、負圧に
よる吸引力でガラス基板１１の必要部１１ｃが下方へ撓
むことがないようにするため、ガラス必要部１１ｃの下
方には負圧供給通路１３を設けない。
部に位置するガラス必要部１１ｃの成膜面１１ａが治具
テーブル１０に接することなく、ガラス基板１１を治具
テーブル１０上に支持できる。ガラス基板１１の固定
は、治具テーブル１０及びスペーサ１２に設けた負圧供
給通路１３に負圧を供給して、ガラス基板１１に下方へ
の吸引力を作用させることにより行う。ここで、負圧に
よる吸引力でガラス基板１１の必要部１１ｃが下方へ撓
むことがないようにするため、ガラス必要部１１ｃの下
方には負圧供給通路１３を設けない。
【００１５】上記のようにガラス基板１１をセットした
上で、ガラス基板１１の成膜面１１ａの形成してない上
面側において、ガラス不要部１１ｂとガラス必要部１１
ｃとの境界部（切断部位）に超硬合金チップやダイヤモ
ンドチップからなるチップ刃（スクライブ刃手段）１４
にて、スクライブ（切り込み）し、クラック１５を入れ
る。以上がスクライブ工程である。
上で、ガラス基板１１の成膜面１１ａの形成してない上
面側において、ガラス不要部１１ｂとガラス必要部１１
ｃとの境界部（切断部位）に超硬合金チップやダイヤモ
ンドチップからなるチップ刃（スクライブ刃手段）１４
にて、スクライブ（切り込み）し、クラック１５を入れ
る。以上がスクライブ工程である。
【００１６】次に、ガラス基板１１を分断する分断工程
について述べると、図２（ａ）に示すように、ガラスよ
り硬い金属等の材質でできた治具テーブル１６に、ガラ
ス基板１１の板厚がスムーズに挿入できる高さ寸法を有
し、かつガラス基板１１の不要部１１ｂの幅と同等もし
くは若干小さめの奥行き寸法を有するスリット１６ａを
形成しておく。このスリット１６ａに片面成膜ガラス基
板１１の不要部１１ｂを成膜面１１ａが上となるように
して挿入し、スリット１６ａにて不要部１１ｂを支持す
る。
について述べると、図２（ａ）に示すように、ガラスよ
り硬い金属等の材質でできた治具テーブル１６に、ガラ
ス基板１１の板厚がスムーズに挿入できる高さ寸法を有
し、かつガラス基板１１の不要部１１ｂの幅と同等もし
くは若干小さめの奥行き寸法を有するスリット１６ａを
形成しておく。このスリット１６ａに片面成膜ガラス基
板１１の不要部１１ｂを成膜面１１ａが上となるように
して挿入し、スリット１６ａにて不要部１１ｂを支持す
る。
【００１７】次に、上記ガラス基板１１の下面（成膜面
１１ａのない方の面）に、図２（ｂ）の矢印Ａに示すよ
うに下方から持ち上げる方向の荷重を加える。これによ
り、スクライブ工程で形成したクラック１５が成長し
て、ガラス必要部１１ｃとガラス不要部１１ｂとが分断
される。上記荷重の印加方法としては、手動操作のレバ
ー・カム機構によりガラス基板１１に持ち上げる方向の
荷重を印加するようにしたり、あるいは油圧、エアー圧
を用いたプレス機構によりガラス基板１１に持ち上げる
方向の荷重を印加するようにすればよい。
１１ａのない方の面）に、図２（ｂ）の矢印Ａに示すよ
うに下方から持ち上げる方向の荷重を加える。これによ
り、スクライブ工程で形成したクラック１５が成長し
て、ガラス必要部１１ｃとガラス不要部１１ｂとが分断
される。上記荷重の印加方法としては、手動操作のレバ
ー・カム機構によりガラス基板１１に持ち上げる方向の
荷重を印加するようにしたり、あるいは油圧、エアー圧
を用いたプレス機構によりガラス基板１１に持ち上げる
方向の荷重を印加するようにすればよい。
【００１８】一方、スリット１６ａを上記のごとく寸法
設定する理由は、クラック１５がスリット１６ａ内に入
ってしまい、ガラスの分断ができなくなるという事態を
未然に防ぐためである。また、スペーサ１２は、図１に
示すように、チップ刃１４が通る直下またはガラス必要
部１１ｃの領域に突出しない近辺まで、ガラス基板１１
を支持し得る幅寸法に設定してある。スペーサ１２の幅
寸法を上記のように設定するのは、チップ刃１４の刃圧
力がガラス基板１１に加わった際に、ガラス基板１１が
撓んでクラック１５が斜めに入ったり、ガラス必要部１
１ｃの成膜面１１ａが治具テーブル１０に接する等の不
具合が発生するのを防止するためである。
設定する理由は、クラック１５がスリット１６ａ内に入
ってしまい、ガラスの分断ができなくなるという事態を
未然に防ぐためである。また、スペーサ１２は、図１に
示すように、チップ刃１４が通る直下またはガラス必要
部１１ｃの領域に突出しない近辺まで、ガラス基板１１
を支持し得る幅寸法に設定してある。スペーサ１２の幅
寸法を上記のように設定するのは、チップ刃１４の刃圧
力がガラス基板１１に加わった際に、ガラス基板１１が
撓んでクラック１５が斜めに入ったり、ガラス必要部１
１ｃの成膜面１１ａが治具テーブル１０に接する等の不
具合が発生するのを防止するためである。
【００１９】以上の説明から理解されるように、第１実
施例によれば、ガラス必要部１１ｃの成膜面１１ａを治
具等の他の部材に接触させることなく、スクライブ工程
及び分断工程を実施することができる。そのため、ガラ
ス必要部１１ｃの成膜面１１ａへの傷つき等の不具合は
一切発生しない。しかも、片面成膜処理ガラス基板１１
のうち、成膜面１１ａのない面の方にスクライブしてい
るから、成膜面１１ａの形態（膜厚、硬度等）に影響さ
れることなく、常に安定的にクラック１５を形成でき、
その結果ガラスの分断も常に安定的に良好に実施でき
る。 （第２実施例）図３に示すように、片面成膜処理ガラス
基板１１のうち、成膜面１１ａのない面を下方にして、
この面を直接治具テーブル１０の上に載置する。一方、
治具テーブル１０には、負圧供給通路１３の他に、チッ
プ刃１４を治具テーブル１０の下方から上方に向けて挿
入できるチップ刃挿入穴１７を形成してある。
施例によれば、ガラス必要部１１ｃの成膜面１１ａを治
具等の他の部材に接触させることなく、スクライブ工程
及び分断工程を実施することができる。そのため、ガラ
ス必要部１１ｃの成膜面１１ａへの傷つき等の不具合は
一切発生しない。しかも、片面成膜処理ガラス基板１１
のうち、成膜面１１ａのない面の方にスクライブしてい
るから、成膜面１１ａの形態（膜厚、硬度等）に影響さ
れることなく、常に安定的にクラック１５を形成でき、
その結果ガラスの分断も常に安定的に良好に実施でき
る。 （第２実施例）図３に示すように、片面成膜処理ガラス
基板１１のうち、成膜面１１ａのない面を下方にして、
この面を直接治具テーブル１０の上に載置する。一方、
治具テーブル１０には、負圧供給通路１３の他に、チッ
プ刃１４を治具テーブル１０の下方から上方に向けて挿
入できるチップ刃挿入穴１７を形成してある。
【００２０】従って、負圧供給通路１３からの負圧によ
りガラス基板１１をテーブル１０上に直接固定した上
で、上記挿入穴１７にチップ刃１４を挿入して、ガラス
基板１１の下方側の面（成膜面１１ａのない面）にスク
ライブしクラック１５を形成できる。これにより、成膜
面１１ａに傷つきを生じることなく、しかも成膜面１１
ａの形態（膜厚、硬度等）の影響を受けることなく、安
定的にクラック１５を形成できる。
りガラス基板１１をテーブル１０上に直接固定した上
で、上記挿入穴１７にチップ刃１４を挿入して、ガラス
基板１１の下方側の面（成膜面１１ａのない面）にスク
ライブしクラック１５を形成できる。これにより、成膜
面１１ａに傷つきを生じることなく、しかも成膜面１１
ａの形態（膜厚、硬度等）の影響を受けることなく、安
定的にクラック１５を形成できる。
【００２１】次に、図４は分断工程を示す。治具テーブ
ル１８の上にガラス基板１１を成膜面１１ａが上方に向
くようにして載置し、負圧供給通路１３からの負圧によ
りガラス基板１１の成膜面１１ａのない方の面をテーブ
ル１０上に直接固定する。ここで、治具テーブル１８の
一部、すなわちガラス不要部１１ｂを支持する部分１８
ａをクラック１５の上方に位置する点Ｂを支点として上
方へ回動可能な回動機構部として構成してあるため、こ
の回動機構部１８ａを図４（ｂ）に示すように点Ｂを支
点として上方へ回動することにより、成膜面１１ａを他
の部材に一切接触させることなく、ガラス基板１１を良
好に分断できる。
ル１８の上にガラス基板１１を成膜面１１ａが上方に向
くようにして載置し、負圧供給通路１３からの負圧によ
りガラス基板１１の成膜面１１ａのない方の面をテーブ
ル１０上に直接固定する。ここで、治具テーブル１８の
一部、すなわちガラス不要部１１ｂを支持する部分１８
ａをクラック１５の上方に位置する点Ｂを支点として上
方へ回動可能な回動機構部として構成してあるため、こ
の回動機構部１８ａを図４（ｂ）に示すように点Ｂを支
点として上方へ回動することにより、成膜面１１ａを他
の部材に一切接触させることなく、ガラス基板１１を良
好に分断できる。
【００２２】なお、第１実施例の分断工程として、第２
実施例の分断工程（図４）を使用することができ、また
第２実施例の分断工程として、第１実施例の分断工程
（図２）を使用することができ、スクライブ工程と分断
工程の組合せは必要に応じて選択すればよい。
実施例の分断工程（図４）を使用することができ、また
第２実施例の分断工程として、第１実施例の分断工程
（図２）を使用することができ、スクライブ工程と分断
工程の組合せは必要に応じて選択すればよい。
【図１】本発明の第１実施例のスクライブ工程を示す断
面図である。
面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は第１実施例の分断工程を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の第２実施例のスクライブ工程を示す断
面図である。
面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は第２実施例の分断工程を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は従来のスクライブ工程を示す
断面図である。
断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は従来の分断工程を示す断面図
である。
である。
１０、１６、１８ 治具テーブル １１ 片面成膜ガラス基板 １１ａ 成膜面 １１ｂ ガラス不要部 １１ｃ ガラス必要部 １２ スペーサ １４ チップ刃（スクライブ刃手段） １５ クラック １６ａ スリット
Claims (4)
- 【請求項１】 片面成膜ガラス基板の切断部位にクラッ
クを形成するスクライブ工程と、 前記クラックを成長させる方向の荷重を前記ガラス基板
に加えて、前記ガラス基板を分断する分断工程とからな
る片面成膜処理ガラスの切断方法であって、 前記スクライブ工程の実施にあたっては、前記片面成膜
ガラス基板を、その片面の成膜面が下方に、成膜面のな
い方の面が上方に向くようにして、治具テーブルの上方
に配置するとともに、 前記片面成膜ガラス基板のうち、分断後不要となるガラ
ス不要部のみをスペーサを介して前記治具テーブル上に
支持、固定し、 その後前記片面成膜ガラス基板の上方から、スクライブ
刃手段により片面成膜ガラス基板の切断部位にクラック
を形成し、 しかるのち前記分断工程を実施することを特徴とする片
面成膜処理ガラスの切断方法。 - 【請求項２】 片面成膜ガラス基板の切断部位にクラッ
クを形成するスクライブ工程と、 前記クラックを成長させる方向の荷重を前記ガラス基板
に加えて、前記ガラス基板を分断する分断工程とからな
る片面成膜処理ガラスの切断方法であって、 前記スクライブ工程の実施にあたっては、前記片面成膜
ガラス基板を、その片面の成膜面が上方に、成膜面のな
い方の面が下方に向くようにして、治具テーブル上に配
置するとともに、 前記片面成膜ガラス基板の下方の成膜面のない方の面を
前記治具テーブル上に直接支持、固定し、 その後前記片面成膜ガラス基板の下方から、スクライブ
刃手段により片面成膜ガラス基板の切断部位にクラック
を形成し、 しかるのち前記分断工程を実施することを特徴とする片
面成膜処理ガラスの切断方法。 - 【請求項３】 前記分断工程の実施にあたっては、前記
片面成膜ガラス基板のガラス不要部を治具テーブルのス
リットに挿入し、 この治具テーブルのスリットにて前記片面成膜ガラス基
板のガラス不要部を支持させた状態において、前記片面
成膜ガラス基板のガラス必要部のうち、成膜面のない方
の面に、前記クラックを成長させる方向の荷重を加え
て、前記ガラス基板を分断することを特徴とする請求項
１または２に記載の片面成膜処理ガラスの切断方法。 - 【請求項４】 前記分断工程の実施にあたっては、前記
片面成膜ガラス基板を、その片面の成膜面が上方に、成
膜面のない方の面が下方に向くようにして、治具テーブ
ル上に配置するとともに、 前記片面成膜ガラス基板のガラス不要部は、前記治具テ
ーブルの一部に構成された回動可能な回動機構部の上方
に位置するように配置し、 前記片面成膜ガラス基板のガラス不要部のうち、成膜面
のない方の面に、前記治具テーブルの回動機構部により
前記クラックを成長させる方向の荷重を加えて、前記ガ
ラス基板を分断することを特徴とする請求項１または２
に記載の片面成膜処理ガラスの切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13861194A JPH0812362A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 片面成膜処理ガラスの切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13861194A JPH0812362A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 片面成膜処理ガラスの切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0812362A true JPH0812362A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15226135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13861194A Pending JPH0812362A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 片面成膜処理ガラスの切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812362A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1101743A2 (en) * | 1999-11-19 | 2001-05-23 | BOTTERO S.p.A. | Method and machine for producing a flat glass article having an extensive surface covered with a layer of covering material |
| JP2008308368A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | ガラス基板の分割方法 |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP13861194A patent/JPH0812362A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1101743A2 (en) * | 1999-11-19 | 2001-05-23 | BOTTERO S.p.A. | Method and machine for producing a flat glass article having an extensive surface covered with a layer of covering material |
| EP1101743A3 (en) * | 1999-11-19 | 2002-04-10 | BOTTERO S.p.A. | Method and machine for producing a flat glass article having an extensive surface covered with a layer of covering material |
| JP2008308368A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | ガラス基板の分割方法 |
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