JPH08123026A

JPH08123026A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いたカラーフィルター及びその製造方法

Info

Publication number: JPH08123026A
Application number: JP26518294A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Wakata; 裕一若田; Koji Inoue; 浩治井上
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1994-10-28
Filing date: 1994-10-28
Publication date: 1996-05-17
Also published as: US5571642A

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】アルカリ水に可溶性、かつ硬化後には充分な
耐アルカリ性を有し、かつ溶解性、樹脂の製造適性にも
優れ、かつ耐薬品性等にも優れた感光性樹脂組成物を提
供する。【構成】感光性樹脂組成物が、少なくとも一般式
（Ｉ）及び／又は（ＩＩ）で示される繰り返し単位を有
する樹脂を含む。〔式中、Ｒ_１：水素もしくはメチル基、Ｒ_２：炭素数１
から１２のアルキル基等、Ｒ_３：水素もしくはメチル
基、Ｘ_１：単結合、−ＣＯＯ−等、Ｘ_２：単結合、−Ｃ
ＯＯ−等、Ａ_１：ＣＯＯＨとＣＯＮＨ−Ｒ_２との閉環反
応によりイミド環を形成し得る３価の有機基、Ａ_２：Ｃ
ＯＯＨとＮＨＣＯとの閉環反応によりイミド環を形成し
得る２価の有機基、を表す〕

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は感光性樹脂組成物に関す
る。更に詳しくはアルカリ水溶液で現像が可能であり、
かつ露光および熱処理後の硬化物の耐アルカリ性等の耐
薬品性が優れる感光性樹脂組成物に関する。本発明にな
る感光性樹脂組成物は、カラーフィルターの保護層形成
に特に有用である。

【０００２】

【従来の技術】種々の組成を有する感光性樹脂組成物が
公知であり、印刷版、カラープルーフ、プリント配線版
製造用レジスト、カラーフィルター等各種の用途に広く
利用されている。それらの組成物は用途に応じた処理工
程を経て画像が形成されるが、多くの場合には基本工程
として画像状のパターン露光、現像処理の工程を含むも
のが一般的である。この内の現像工程は有機溶剤系の現
像液を用いるもの、アルカリ性水溶液を用いるものに大
別される。しかしながら近年では環境保全、作業環境で
の安全性確保等の観点からアルカリ性水溶液を用いるも
のが主流である。そこで感光性樹脂組成物の結合剤樹脂
としてはアルカリ性水溶液に可溶なものが数多く開発、
利用されている。この様な例としては（メタ）アクリル
酸、桂皮酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、イタコン
酸等の重合体、その他の単量体との共重合体が数多く知
られている。この様な具体例としては、特公昭５９−４
４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−
１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９
−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号、特開昭６
０−１５９７４３号、特開昭６０−２５８５３９号、特
開平１−１５２４４９号、特開平２−１９９４０３号、
特開平２−１９９４０４号の各明細書に記載されている
ようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イ
タコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共
重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、
又側鎖にカルボキシル基を有するセルローズ誘導体が挙
げられる。

【０００３】しかしながらこの様な結合剤は現像後も残
存する部分（即ちアルカリ水に不溶な部分：例えば多官
能単量体、架橋剤、架橋性基を有する結合剤等の反応に
より現像液への耐性を付与している）においてもカルボ
キシル基等のアルカリ可溶性基は残存したままである。
従って、更に長時間のアルカリ処理、又は現像液よりも
高ｐＨのアルカリ水に曝された場合におけるこの部分の
アルカリ水への耐性は不十分である。一方、この部分の
耐アルカリ性を向上させる為にアルカリ可溶性基の量を
減少させるとアルカリ性水溶液での現像性が低下してし
まう。この様に従来のアルカリ可溶性の樹脂ではアルカ
リ水での現像性と現像後の残存部分の高度な耐アルカリ
を両立する事は困難であった。

【０００４】この様なアルカリ現像性と現像後の残存部
分の高度な耐アルカリ性の両立が求められる具体例とし
てカラーフィルターの保護層が挙げられる。カラーフィ
ルターは液晶表示パネルの重要な部品であり、種々の要
求性能項目があるが、特にＳＴＮやＦＬＣ液晶表示パネ
ルとして用いたときに、カラーフィルター上に設けられ
る透明導電性層の形成及び引き続くこの層の透明電極パ
ターン状への加工にあたり、耐熱性や耐薬品性はとりわ
け重要である。即ち、前記の液晶表示パネルは、通常は
ガラス製の透明基板上に多色画像層が設けられる。この
多色画像層は通常赤、緑、青色の画素を交互にマトリク
ス状に配置したものである。この画素の大きさは使用目
的により異なるが１辺が１０〜１００μｍ×５０〜４０
０μｍ程度の大きさを有し、又その形状は必ずしも前記
の大きさの長方形とは限らず使用目的に応じて所望の形
状に加工された形状をしている場合もある。又更に場合
により前記の赤、緑、青色の画素の間や外周部分に黒色
又は光遮断性のブラックマトリックスを有するものも用
いられる。更にこの様な多色画像層の上に保護層を形成
することでカラーフィルターを得る。

【０００５】この上に通常はＩＴＯのスパッタにより透
明導電性層を形成する。その後、ＳＴＮ型や強誘電性液
晶型パネルの場合には更にフォトリソグラフィーにより
透明電極パターン状に加工し電極付きカラーフィルター
を得る。そして、該電極付きカラーフィルターの上に配
向膜を形成する。また別の透明基板上の透明電極及び配
向膜をスペーサーで一定の間隙を保ってシールしたあと
でこの２枚の基板間に液晶を注入することでパネルが作
製される。

【０００６】この一連の液晶表示パネルの為のカラーフ
ィルターの形成過程で、多色画像層上の保護層は、１）
平坦性を与える、２）液晶のセルギャップを確保するた
めスペーサが潜り込まないほどに十分な硬度を示す、
３）透明導電性層のフォトリソグラフィー過程で用いら
れる種々の薬液（フォトレジストの溶剤、酸性エッチン
グ液、強アルカリ性レジスト剥離液、配向膜塗液の溶剤
等）への耐性を与える、また更に、４）可視光領域での
透明性が有り、曇りや濁りが無い事、５）多色画像層と
の密着はもちろん、多色画像の形成されていない基板上
に直接設けられる場合も有る為に基板への密着性に優れ
る事、６）透明基板上の特定の範囲（例えばスクライブ
ライン上）のみは保護層が不要である為、これを精度よ
く実施する為に感光性で現像処理によりパターン形成が
できる事（いわゆる感光性樹脂）が必要となる。

【０００７】これまで知られている感光性を有し、カラ
ーフィルター層上に塗布などの方法で設け、露光、現像
して保護層として使用される例としては、特開昭５７−
４２００９号や特開昭６０−２４４９３２号に記載の紫
外線硬化型樹脂、特開昭５９−７３１７号記載のビニル
カルボニル基含有ポリマー、特開昭５９−１８４３２５
号記載のＰＶＡと感光剤からなる感光性樹脂、特開昭６
０−４２７０４号記載のゴム系樹脂、特開平２−１９１
９０１号記載の着色層として用いられる顔料分散させた
感光性樹脂組成物から顔料を除去した感光性樹脂組成物
などが挙げられる。

【０００８】更に、露光し、その後に衛生上また公害対
策上も有利なアルカリ水溶液で現像でき、その後加熱に
より硬化膜に更に大きな耐アルカリ性が与えられるよう
な保護層が最も好ましいが、そのような方法は特開平３
−１２６９５０号、特開昭５２−１３２０９１号、特公
平４−２０９２３号、特開平５−２６５２０８号、特願
平５−１４２２７８号、同２０２２７２号、特願平６−
１７６９号、同１７６６号等に記載の組成物を使用する
事で可能であることが知られている。又、特開平６−１
４８８８８号、特開平４−３４７８５８号等には同様な
樹脂を感光剤としてのナフトキノンジアジド化合物と組
み合わせた感光材料も知られている。

【０００９】これらは何れも無水マレイン酸、又は無水
イタコン酸の共重合体とアミンとの反応により得られる
ハーフアミドを有する樹脂である。しかしながらこれら
のモノマーはポリマーハンドブック−３ｒｄｅｄ．
（Ｊ．Ｂｒａｎｄｒｕｐ，Ｅ．Ｈ．Ｉｍｍｅｒｇｕｔ編
ＪｏｈｎＷｉｌｅｙ＆Ｓｏｎｓ，Ｉｎｃ．（１
９８９））ＩＩ／１５３頁の共重合反応性比等からも明
らかな様に単独重合は困難であり、また共重合性もスチ
レン、ビニルアセテート等の特定のモノマーと強い交互
共重合性を示す以外は概して共重合性は悪い。従ってこ
れらのモノマーを用いての重合、共重合組成比の調整に
より所望の性能（アルカリ現像性や耐アルカリ性、未露
光時、露光後の膜物性）を調整した樹脂を簡便に製造す
る事は困難であった。またハーフアミド基を有する樹脂
としてはテトラカルボン酸無水物とジアミン化合物の重
付加により得られるいわゆるポリアミック酸樹脂も知ら
れている。しかしながらこれらの化合物においては溶解
性の調整が困難であり、ＮＭＰ等の特殊な高極性溶媒以
外への溶解性が非常に低く、使用範囲が限られるという
問題があった。

【００１０】又、これ以外のハーフアミド基を有する樹
脂としては特開昭６０−２１８６６２号公報に本発明と
類似の化合物の例が開示されている。しかしながらこの
場合にはハーフアミド基を有する樹脂をトナーを分散し
た静電写真用液体現像剤中の一成分として用いるもので
あり、感光性樹脂組成物としての利用については記載が
ない。また、特開平１−１９７７５３号、特開昭６２−
２７９３３３号、同６２−１３６６４４号、同６２−５
２３８号、同６１−２５２５４４号、同６１−５７９４
３号、同６１−１７７４５１号公報等にもハーフアミド
基を有する樹脂の記載が有る。しかしながらこれらは何
れもハロゲン化銀写真感光材料の色素前駆体骨格の一部
としてハーフアミド基を有するものであり、このハーフ
アミド基によるアルカリ現像性や加熱後の耐アルカリ性
の付与、感光性樹脂組成物としての記載は無い。この様
にアルカリ水に可溶性、かつ硬化後には充分な耐アルカ
リ性を有し、かつ溶解性、樹脂の製造適性にも優れ、か
つ耐薬品性等にも優れた感光性樹脂組成物は知られてい
ない。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の目的
は、アルカリ水に可溶性、かつ硬化後には充分な耐アル
カリ性を有し、かつ溶解性、樹脂の製造適性にも優れ、
かつ耐薬品性等にも優れた感光性樹脂組成物を提供する
事にある。また本発明の第二の目的は前述の上記１）平
坦性、２）硬度、３）耐薬品性、４）透明性、５）基板
との密着性、６）透明導電性層の形成性において各必要
性能を備える保護層（ＯＣ層）を与えるような、アルカ
リ現像性が優れた感光性樹脂組成物、特にそれを構成す
る為の樹脂を提供することにある。本発明の第三の目的
は、上記感光性樹脂組成物を使用し、カラーフィルター
上に塗布法もしくは転写法により保護層を形成する、液
晶表示パネルに特に有用なカラーフィルターの製造方法
を提供する事にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意努力し
た結果、本発明の目的が少なくとも下記一般式（Ｉ）及
び／又は（ＩＩ）で示される繰り返し単位を有する樹脂
を含む事を特徴とする感光性樹脂組成物によって達成さ
れる事を見出し、本発明を成すに至った。

【００１３】

【化２】

【００１４】〔式中、Ｒ₁：水素もしくはメチル基Ｒ₂：炭素数１から１２のアルキル基、炭素数７から１
６のアラルキル基もしくは炭素数６から１８のアリール
基を表す。（該アルキル基、アラルキル基、アリール基
はそれぞれ分岐を有してもよく、更に炭素数１から４の
アルキル基、炭素数１から６のアルコキシ基、炭素数６
から１０のアリール基、炭素数７から１２のアラルキル
基、ハロゲン原子又はそれらの２種以上の組み合わせで
置換されてもよい）、Ｒ₃：水素もしくはメチル基、Ｘ₁：単結合、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＲ₅
−、−ＣＯＯ−Ｒ₆−もしくは−ＣＯＮＲ₇−Ｒ₈−、Ｘ₂：単結合、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＲ₉
−、−ＣＯＯ−Ｒ₁₀−もしくは−ＣＯＮＲ₁₁−Ｒ₁₂−、Ａ₁：ＣＯＯＨとＣＯＮＨ−Ｒ₂との閉環反応によりイ
ミド環を形成し得る３価の有機基、Ａ₂：ＣＯＯＨとＮＨＣＯとの閉環反応によりイミド環
を形成し得る２価の有機基、Ｒ₅、Ｒ₇、Ｒ₉、Ｒ₁₁：水素、炭素数１から１２のア
ルキル基、炭素数７から１６のアラルキル基もしくは炭
素数６から１８のアリール基を表す。（該アルキル基、
アラルキル基、アリール基はそれぞれ分岐を有してもよ
く、更に炭素数１から４のアルキル基、炭素数１から６
のアルコキシ基、炭素数６から１０のアリール基、炭素
数７から１２のアラルキル基、ヒドロキシル基、ハロゲ
ン原子又はそれらの２種以上の組み合わせで置換されて
もよい）、Ｒ₆、Ｒ₈、Ｒ₁₀、Ｒ₁₂：水素、炭素数１〜１０のアル
キレン、炭素数６〜１０のアリーレンもしくは炭素数７
〜２０のアラルキレン（該アルキレン、アリーレン、ア
ラルキレンはそれぞれ分岐を有してもよく、また途中に
−Ｏ−、−Ｓ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮＨ
−、−ＮＨＣＯ−、−ＳＯ₂−、−ＳＯ₂ＮＨ−、−Ｎ
ＨＳＯ₂−の群から選ばれる基又はこれらの２種以上の
組合せを介してもよく、更に炭素数１から４のアルキル
基、炭素数１から６のアルコキシ基、炭素数６から１０
のアリール基、炭素数７から１２のアラルキル基、ハロ
ゲン原子又はそれらの２種以上の組み合わせで置換され
てもよい）、を表す〕以下、本発明を詳細に説明する。

【００１５】本発明に使用される前述の一般式（Ｉ）及
び／又は（ＩＩ）で示される繰り返し単位を有する樹脂
は、例えば下記一般式（ＩＩＩ）及び／又は（ＩＶ）で
示される単量体の重合により得られる。

【００１６】

【化３】

【００１７】〔式中、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₃、Ｘ₁、Ｘ₂、
Ａ₁、Ａ₂は前述と同義である〕Ｒ₂の好ましい例とし
ては、メチル、エチル、プロピル、ｉ−プロピル、ブチ
ル、ｔ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、ペンチル、ヘキシ
ル、シクロヘキシル、ヘプチル、オクチル、２−エチル
ヘキシル、ラウリル、ベンジル、フェネチル、フェニ
ル、トリル、オクチルフェニル、メトキシフェニル、４
−クロルフェニル、１−ナフチル、メトキシメチル、２
−メトキシエチル、２−エトキシエチル、３−メトキシ
プロピル、２−ブトキシエチル、２−シクロヘキシルオ
キシエチル、３−エトキシプロピル、３−プロポキシプ
ロピル、３−イソプロポキシプロピル、アダマンチル等
を挙げる事ができる。Ｘ₁、Ｘ₂の好ましい例として
は、単結合、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、
−ＣＯＮＭｅ−、−ＣＯＮＰｈ−、−ＣＯＮ（ＣＨ₂Ｃ
Ｈ₂ＯＭｅ）−、−ＣＯＯ−Ｚ−、−ＣＯＯ−Ｚ−ＯＣ
Ｏ−、−ＣＯＯ−Ｚ−ＣＯ−、−ＣＯＯ−Ｚ−Ｏ−、−
ＣＯＯ−Ｚ−Ｓ−、−ＣＯＮＨ−Ｚ−、−ＣＯＮＨ−Ｚ
−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＨ−Ｚ−ＣＯ−、−ＣＯＮＨ−Ｚ
−Ｏ−、−ＣＯＮＨ−Ｚ−Ｓ−、−ＣＯＮＭｅ−Ｚ−、
−ＣＯＮＭｅ−Ｚ−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＭｅ−Ｚ−Ｏ−
等を挙げる事ができる。（ここでＺとしてはメチレン、
エチレン等のアルキレン、メチルエチレンの様な分岐ア
ルキレン、又はポリエチレンオキシド、ポリプロピレン
オキシド等のエーテル含有アルキレン、エーテル含有分
岐アルキレン、又はフェニレン、下式の様なアリーレ
ン、アラルキレン等が挙げられる。）

【００１８】

【化４】

【００１９】Ａ₁の好ましい例としては例えば下式の基
が挙げられる。

【００２０】

【化５】

【００２１】Ａ₂の好ましい例としては、エチレン、プ
ロピレン、−ＣＨ＝ＣＨ−や下式で表される基等が挙げ
られる。

【００２２】

【化６】

【００２３】これらの一般式（ＩＩＩ）又は（ＩＶ）で
示される単量体の具体例としては以下の様な化合物が挙
げられる。〔式中のＲ₁、Ｒ₃は水素又はメチル基を表
す。〕

【００２４】

【化７】

【００２５】

【化８】

【００２６】

【化９】

【００２７】

【化１０】

【００２８】また、本発明の樹脂の性能を損なわない範
囲で更にこれらと共重合可能な単量体と共重合させても
良い。

【００２９】これらと共重合可能な単量体の例としては
（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミ
ド類、アリル化合物、ビニルエ−テル類、ビニルエスエ
ル類、スチレン類、クロトン酸エステル類などから選ば
れる重合性不飽和結合を分子内に１ケ含有する化合物が
挙げられる。具体的には、例えば（メタ）アクリル酸エ
ステル類、例えばアルキル（メタ）アクリレ−ト、又は
置換（メタ）アルキルアクリレ−ト（例えばメチル（メ
タ）アクリレ−ト、エチル（メタ）アクリレ−ト、プロ
ピル（メタ）アクリレ−ト、イソプロピル（メタ）アク
リレ−ト、ブチル（メタ）アクリレ−ト、アミル（メ
タ）アクリレ−ト、ヘキシル（メタ）アクリレ−ト、シ
クロヘキシル（メタ）アクリレ−ト、エチルヘキシル
（メタ）アクリレ−ト、オクチル（メタ）アクリレ−
ト、ｔ−オクチル（メタ）アクリレ−ト、クロロエチル
（メタ）アクリレ−ト、アリル（メタ）アクリレ−ト、
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ−ト、２−ヒド
ロキシプロピル（メタ）アクリレ−ト、４−ヒドロキシ
ブチル（メタ）アクリレ−ト、２，２−ジメチル−３−
ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ−ト、５−ヒドロ
キシペンチル（メタ）アクリレ−ト、トリメチロ−ルプ
ロパンモノ（メタ）アクリレ−ト、ペンタエリスリト−
ルモノ（メタ）アクリレ−ト、ベンジル（メタ）アクリ
レ−ト、メトキシベンジル（メタ）アクリレ−ト、クロ
ロベンジル（メタ）アクリレ−ト、フルフリル（メタ）
アクリレ−ト、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリ
レ−ト、フェノキシエチル（メタ）アクリレートな
ど）、：アリ−ル（メタ）アクリレ−ト（例えばフェニ
ル（メタ）アクリレ−ト、クレジル（メタ）アクリレ−
ト、ナフチル（メタ）アクリレ−トなど）、：（メタ）
アクリルアミド類、例えば（メタ）アクリルアミド、Ｎ
−アルキル（メタ）アクリルアミド（該アルキル基とし
ては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル
基、ｔ−ブチル基、ヘプチル基、オクチル基、エチルヘ
キシル基、シクロヘキシル基、ヒドロキシエチル基、ベ
ンジル基などがある。）、Ｎ−アリール（メタ）アクリ
ルアミド（該アリール基としては、例えばフェニル基、
トリル基、ニトロフェニル基、ナフチル基、ヒドロキシ
フェニル基などがある。）、Ｎ，Ｎ−ジアルキル（メ
タ）アクリルアミド（該アルキル基としては、例えばメ
チル基、エチル基、ブチル基、イソブチル基、エチルヘ
キシル基、シクロヘキシル基などがある。）、Ｎ，Ｎ−
ジアリ−ル（メタ）アクリルアミド（該アリ−ル基とし
ては、例えばフェニル基などがある。）、Ｎ−メチル−
Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシ
エチル−Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−２−
アセトアミドエチル−Ｎ−アセチル（メタ）アクリルア
ミド、Ｎ−（フェニルスルホニル）（メタ）アクリルア
ミド、Ｎ−（ｐ−メチルフェニルスルホニル）（メタ）
アクリルアミドなど：アリル化合物、例えばアリルエス
テル類（例えば酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリ
ル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、
ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリ
ル、乳酸アリルなど）、アリルオキシエタノ−ルなど：
ビニルエ−テル類、例えばアルキルビニルエ−テル（該
アルキル基としては例えばヘキシル基、オクチル基、デ
シル基、エチルヘキシル基、メトキシエチル基、エトキ
シエチル基、クロルエチル基、１−メチル−２，２−ジ
メチルプロピル基、２−エチルブチル基、ヒドロキシエ
チル基、ヒドロキシエトキシエチル基、ジメチルアミノ
エチル基、ジエチルアミノエチル基、ブチルアミノエチ
ル基、ベンジル基、テトラヒドロフルフリル基などがあ
る）、ビニルアリ−ルエ−テル（該アリール基としては
例えばフェニル基、トリル基、クロルフェニル基、２，
４−ジクロルフェニル基、ナフチル基、アントラニル基
などがある）；ビニルエステル類、例えばビニルブチレ
−ト、ビニルイソブチレ−ト、ビニルトリメチルアセテ
−ト、ビニルジエチルアセテ−ト、ビニルバレ−ト、ビ
ニルカプロエ−ト、ビニルクロルアセテ−ト、ビニルジ
クロルアセテ−ト、ビニルメトキシアセテ−ト、ビニル
ブトキシアセテ−ト、ビニルフェニルアセテ−ト、ビニ
ルアセトアセテ−ト、ビニルラクテ−ト、ビニル−β−
フェニルブチレ−ト、ビニルシクロヘキシルカルボキシ
レ−ト、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロル安
息香酸ビニル、テトラクロル安息香酸ビニル、ナフトエ
酸ビニルなど：スチレン類、例えばスチレン、アルキル
スチレン（例えばメチルスチレン、ジメチルスチレン、
トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレ
ン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシル
スチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、
ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオ
ロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキ
シメチルスチレンなど）、アルコキシスチレン（例えば
メトキシスチレン、４−メトキシ−３−メチルスチレ
ン、ジメトキシスチレンなど）、ハロゲノスチレン（例
えばクロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロス
チレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレ
ン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨ−ドスチレ
ン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、２−ブ
ロモ−４−トリフルオロメチルスチレン、４−フルオロ
−３−トリフルオロメチルスチレンなど）：クロトン酸
エステル類、例えば、クロトン酸アルキル（例えばクロ
トン酸ブチル、クロトン酸ヘキシル、グリセリンモノク
ロトネ−トなど）：イタコン酸ジアルキル類（例えばイ
タコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、イタコン酸ジ
ブチルなど）：マレイン酸あるいはフマ−ル酸のジアル
キル類（例えばジメチルマレエ−ト、ジブチルフマレ−
トなど）：（メタ）アクリロニトリル等がある。

【００３０】また、これらの耐アルカリ性を損なわない
範囲で酸性基を含有する単量体を共重合させる事も可能
である。この様な例としてはアクリル酸、メタクリル
酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、ビニル安息
香酸、桂皮酸、ビニルベンゼンスルホン酸、２−（メ
タ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、
Ｎ−メチルスルホニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エ
チルスルホニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−フェニル
スルホニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（ｐ−メチル
フェニルスルホニル（メタ）アクリルアミド等、マレイ
ミト等が挙げられる。

【００３１】この様な化合物から得られる、本発明に使
用される前述の一般式（Ｉ）又は（ＩＩ）で示される繰
り返し単位を有する樹脂の特に好ましい例としては、式
（９）の化合物／ベンジルメタクリレートの共重合体、
式（９）の化合物／スチレンの共重合体、式（９）の化
合物／メチルメタクリレート／エチルアクリレートの共
重合体、式（１９）の化合物／ベンジルメタクリレート
の共重合体、式（２０）の化合物／ベンジルメタクリレ
ートの共重合体、式（２３）の化合物／ベンジルメタク
リレートの共重合体、式（２５）の化合物／ベンジルメ
タクリレートの共重合体等が挙げられる。

【００３２】樹脂の重量平均分子量としては、５００か
ら３０，０００が好ましいが、より好ましくは７００か
ら２０，０００である。重量平均分子量が５００未満の
共重合体は製造が難しく、３０，０００を越えると、感
光性層のアルカリ現像性が劣るとともに、耐現像液性も
劣る。すなわち、アルカリ現像性が劣るので長時間現像
液に浸漬することになり、露光部も膨潤しやすくなるの
で良質な画像が得られない。

【００３３】感光性樹脂組成物中における樹脂の全量
は、組成物中の固形分に対して２０重量％から９０重量
％であり、特に好ましくは３０重量％から７０重量％で
ある。２０重量％未満では感光性層のタッキネスが増加
してしまい取り扱い性に劣り、９０重量％を越えると組
成物の露光部のアルカリ現像液への耐性が劣る。

【００３４】この様な特定の樹脂と感光性化合物又は感
光性組成物を併用する事で感光性樹脂組成物が得られ
る。また感光性化合物又は感光性組成物の例としてはネ
ガ型に作用するもの、例えばエチレン性不飽和二重結合
を有する付加重合性モノマーと光重合開始剤の組合せ、
シンナモイル基、マレイミド基等のような架橋反応性を
複数個有する化合物、ジアゾニウム塩、ポジ型に作用す
るもの、例えばｏ−キノンジアジド化合物等が挙げられ
る。

【００３５】エチレン性不飽和二重結合を有する付加重
合性モノマーは単独でまたは他のモノマーとの組み合わ
せで使用することができるもので、具体的には、ｔ−ブ
チル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレ
ート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオールジ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メ
タ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メ
タ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メ
タ）アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロール
プロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メ
タ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、
１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロ
キシベンゼンジ（メタ）アクリレート、デカメチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、スチレン、ジアリル
フマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル（メ
タ）アクリレート、（メタ）アクリルアミドまたはキシ
リレンビス（メタ）アクリルアミドが含まれる。また２
−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロ
キシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリ
コールモノ（メタ）アクリレート等のようなヒドロキシ
ル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネー
ト、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネ
ート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。こ
れらの内、特に好ましいのはペンタエリスリトールテト
ラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、
トリス（２−アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレ
ートである。

【００３６】感光性樹脂組成物中におけるモノマーの全
量は、組成物中の固形分に対して１０重量％から８０重
量％であり、特に好ましくは３０重量％から７０重量％
である。１０重量％未満では組成物の露光部のアルカリ
現像液への耐性が劣り、８０重量％を越えると感光性層
のタッキネスが増加してしまい取り扱い性に劣る。

【００３７】前述のエチレン性不飽和二重結合を有する
付加重合性モノマーと組み合わせる光重合開始剤または
光重合開始剤系は、実質的に、既知の全ての開始剤ある
いは開始剤系を使用する事ができる。例としては、ｐ−
メトキシフェニル−２，４−ビス（トリクロロメチル）
−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ブトキシスチリル）−５
−トリクロロメチル−１，３，４−オキサジアゾール、
９−フェニルアクリジン、９，１０−ジメチルベンズフ
ェナジン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ヘキサ
アリールビイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾー
ル、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン／アミ
ンなどがある。特に好ましいのは２−（ｐ−ブトキシス
チリル）−５−トリクロロメチル−１，３，４−オキサ
ジアゾールのようなトリハロメチル基含有化合物であ
る。

【００３８】光重合開始剤の添加量は組成物中の固形分
の０．１重量％から２０重量％、特に好ましくは０．５
重量％から５重量％である。０．１重量％未満では組成
物の光硬化の効率が低いので露光に長時間がかかり、２
０重量％を越えると、紫外線領域から可視領域での光透
過率が劣化するのでカラーフィルターの保護層には不適
となる。

【００３９】ジアゾニウム塩の例としては米国特許第３
８６７１４７号、２６３２７０３号記載のジアゾニウム
化合物等が挙げられるが、特に芳香族ジアゾニウム塩と
活性なカルボニル含有化合物（例えばホルムアルデヒ
ド）との縮合物で代表されるジアゾ樹脂が有用である。
更には特開昭５８−２７１４１号記載の化合物等が挙げ
られる。これらのジアゾニウム塩は単独で、又は２種以
上混合して用いてもよく、感光性樹脂組成物の固形分中
の含有量は１〜５０重量％が好ましく、より好ましくは
３〜２０重量％である。

【００４０】また感光性を有する高分子化合物を用いる
事もできる。この様な例としては前述の高分子化合物に
更に感光性基としてシンナモイル基、マレイミド基等を
含むものが挙げられる。具体的には特開平２−１５７７
６２号、英国特許第１１１２２７７号、同第１３１３３
９０号、同第１３４１００４号、同第１３７７７４７号
等に記載の化合物を挙げる事ができる。またこの様な官
能基を有する単量体を前述の一般式（ＩＩＩ）又は（Ｉ
Ｖ）で示される単量体と共重合させて用いる事もでき
る。

【００４１】ｏ−キノンジアジド化合物の例としては、
好ましくはｏ−ナフトキノンジアジド化合物がある。具
体的には特公昭４３−２８４０３号、米国特許第３０４
６１２０号、同３１８８２１０号、特開昭４７−５３０
３号、同４８−６３８０２号、同４９−３８７０１号、
同４８−１３３５４号、同４９−１７４８１号、特開平
２−１６７５５０号等に記載の化合物を挙げる事ができ
る。これらのｏ−キノンジアジド化合物は単独で、また
は２種以上混合して用いてもよく、感光性樹脂組成物の
固形分中の含有量は１０〜５０重量％が好ましくより好
ましくは２０〜４０重量％である。

【００４２】この様に各種の感光性化合物又は感光性組
成物を用いる事が可能であるが、これらの内ではエチレ
ン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマーと光重
合開始剤の組合せが特に好ましい。

【００４３】更に公知の添加剤、例えば可塑剤、充填
剤、安定化剤等を含有させる事ができ、カラーフイルタ
ーの保護層以外の用途には顔料、染料等を添加すること
もできる。

【００４４】本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィ
ルターの保護層形成用材料として好適である。即ち、本
発明の感光性樹脂組成物を前記画素を有するカラーフィ
ルターの上に層状に設けた後、露光・現像・加熱等の工
程を経て保護層を形成する。層状に設けるには、例えば
溶液を噴霧吹き付け・液中に浸漬するなどの公知の手段
により塗布する方法、もしくは仮支持体上に感光性樹脂
組成物層を形成し、これを転写する方法等がある。保護
層の厚さは通常０．１μｍから５０μｍであり、特に好
ましくは、１μｍから５μｍである。

【００４５】カラーフィルターの支持体としては、金属
性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミッ
ク、合成樹脂フイルム等を使用することができる。特に
好ましくは、透明で寸度安定性の良好なガラスや合成樹
脂フイルムを挙げることができる。

【００４６】本発明の感光性樹脂組成物は層転写材料と
しても使用される。即ち、感光性樹脂組成物は仮支持
体、好ましくはポリエチレンテレフタレートフィルム上
に直接、または酸素遮断層、剥離層、もしくは剥離層お
よび酸素遮断層を設けたポリエチレンテレフタレートフ
ィルム上に層状に設け、通常その上に取扱上の保護のた
めに除去可能な合成樹脂製カバーシートを積層する。ま
たは仮支持体上にアルカリ可溶性熱可塑性樹脂層及び中
間層を設け、更に感光性樹脂組成物層を設けた層構成
（特開平５−１７３３２０号公報に記載）も適用でき
る。使用時に該カバーシートを除去し、感光性樹脂組成
物層を永久支持体上、例えばカラーフィルター画素を有
する支持体表面に積層する。ついで、酸素遮断層、剥離
層等があるときはそれらの層と仮支持体の間で、剥離層
および酸素遮断層があるときは剥離層と酸素遮断層の間
で、剥離層も酸素遮断層もないときには仮支持体と感光
性樹脂組成物層の間で剥離して、仮支持体を除去するこ
とにより、該組成物層をカラーフィルター層上に積層す
る。ついで露光を行うが、ＳＴＮの場合の様に、カラー
フィルター層上に保護層を介して透明電極を形成する時
には、マスクを通して露光し、現像して保護層をパター
ンニングする。現像はアルカリ可溶性部（エチレン性不
飽和二重結合を有する付加重合性モノマーと光重合開始
剤の組合せの場合には未露光部）を適当なアルカリ現像
液で洗い去ることによっておこなわれる。一方、ＴＦＴ
の場合の様に、全面に透明導電層を有する時には、マス
クを必要としない。

【００４７】本発明の感光性樹脂組成物の現像液として
は、アルカリ性物質の希薄水溶液を使用するが、さらに
水と混和性の有機溶剤を少量添加したものも含まれる。
適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類（例え
ば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属
炭酸塩類（例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、ア
ルカリ金属重炭酸塩類（炭酸水素ナトリウム、炭酸水素
カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（ケイ酸ナトリウ
ム、ケイ酸カリウム）アルカリ金属メタケイ酸塩類（メ
タケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールア
ミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒド
ロキシド類（例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキ
シド）または燐酸三ナトリウムである。アルカリ性物質
の濃度は、０．０１重量％〜３０重量％であり、ｐＨは
８〜１４が好ましい。

【００４８】水と混和性のある適当な有機溶剤は、メタ
ノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノ
ール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ
エチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエ
ーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチル
ケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−
ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセ
トアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、
乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリド
ンである。水と混和性の有機溶剤の濃度は０．１重量％
〜３０重量％である。さらに公知の界面活性剤を添加す
ることができる。界面活性剤の濃度は０．０１重量％〜
１０重量％が好ましい。

【００４９】現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液
としても用いることができる。感光性樹脂組成物層のア
ルカリ可溶部分を除去するには現像液中で回転ブラシで
擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法を組み合わせるこ
とができる。現像液の液温度は通常室温付近から４０℃
が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入れることも可
能である。

【００５０】現像工程の後、加熱処理を行う。即ち、ア
ルカリ不溶部分（画像として残存する部分：例えばエチ
レン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマーと光
重合開始剤の組合せの場合には光重合により架橋、硬化
した部分）を有する支持体を電気炉、乾燥器等の中で加
熱する、または赤外線ランプを照射する。加熱の温度及
び時間は使用した感光性樹脂組成物の組成や形成された
層の厚みに依存する。一般に、十分な耐溶剤性、耐アル
カリ性を獲得するのに、約１２０℃から約２５０℃で約
１０分から約６０分間加熱することが好ましい。

【００５１】次に、こうして形成された保護層の上にＩ
ＴＯ（酸化インジウムスズ）層をスパッタ法により形成
する。ＩＴＯ層を透明電極として加工する場合には、該
ＩＴＯ層上にフォトレジスト層を形成し、電極パターン
を焼き付け、フォトレジスト層を現像し、該ＩＴＯ層を
エッチングし、該フォトレジストを剥離する。さらに配
向膜の形成には、一般的にはＮ−メチルピロリドンやγ
−ブチロラクトンのような極性有機溶媒を溶剤として含
むポリイミドのような配向膜形成用塗液が塗布され、乾
燥され、配向処理が施される。本発明の感光性樹脂組成
物は、公知の種々の方法、例えば転写法、着色レジスト
法、染色法、印刷法、電着法等のいずれの方法で作成さ
れたカラーフィルターに対しても、保護層形成用材料と
して有用である。

【００５２】本発明の感光性樹脂組成物はカラーフィル
ター層上の保護層形成に好適に使用できるが、この用途
に限定されるものではない。染料、顔料を含有させて高
度の耐薬品性が必要とされるカラーフィルター画素形成
用の着色レジスト（例えば特開昭６３−２９８３０４に
開示）、プリント基板用ソルダーレジスト（例えば特開
平３−２２３８５６に開示）、無電解メッキ用レジスト
（同公報に開示）、電気素子の保護膜、層間絶縁膜、接
着剤（以上例えば特開平３−１２６９５０に開示）、ス
ペーサー材料等にも有用である。以下、本発明を実施例
によって説明する。特に断らない限り、「部」は重量部
を、「％」は重量％を表す。

【００５３】

【実施例】

＜合成例１＞（ｐ−アミノフェニルメタクリルアミドの
合成）ｐ−ニトロアニリン１３８．１部、トリエチルアミン１
１１．３部をテトラヒドロフラン５００部に溶解した。
氷冷下、メタクリル酸クロライド１２５．４部／テトラ
ヒドロフラン１００部の溶液を４時間かけて滴下した。
滴下終了後、室温で更に４時間反応させた後、この反応
液を氷水３０００部に注いだ。析出した結晶を濾過、水
洗、乾燥する事でｐ−ニトロフェニルメタクリルアミド
の粗結晶２７３．５部を得た。これをエタノール５００
部、水５００部の混合溶媒に溶解し、鉄１６７．６部を
添加した。塩酸１０部／エタノール１５０部、水１５０
部の混合液を加えた後５時間還流した。冷却後、エタノ
ールを減圧留去し、ＮａＯＨ４．８部／水１５０００部
に注いだ。析出した結晶を濾過、水洗、乾燥の後、酢酸
エチル／ヘキサンから再結晶する事でｐ−アミノフェニ
ルメタクリルアミド６８部を得た。

【００５４】＜合成例２＞（ｍ−アミノフェニルメタク
リルアミドの合成）合成例１におけるｐ−ニトロアニリンをｍ−ニトロアニ
リンに変更した他は合成例１と同様にしてｍ−アミノフ
ェニルメタクリルアミドを得た。

【００５５】＜合成例３＞無水フタル酸３７．０部をジ
メチルアセトアミド５０部に溶解した。氷冷下、ｐ−ア
ミノフェニルメタクリルアミド４４．１部／ジメチルア
セトアミド１５０部の溶液を２時間かけて滴下した。更
に室温で４時間撹拌させた後、この反応液を氷水１５０
０部に注いだ。析出した結晶を濾過、水洗、乾燥の後、
更にクロロホルムで洗浄する事で式（２５）の化合物
（Ｒ₃はメチル基、芳香環上の置換位置はｐ位）の淡褐
色結晶７４．１部を得た。

【００５６】＜合成例４＞合成例３におけるｐ−アミノ
フェニルメタクリルアミドをｍ−アミノフェニルメタク
リルアミドに変更した他は合成例３と同様にして式（２
５）の化合物（Ｒ ₃はメチル基、芳香環上の置換位置は
ｍ位）を得た。

【００５７】＜合成例５＞合成例３における無水フタル
酸３７．０部をテトラヒドロ無水フタル酸３８．０部に
変更した他は合成例３と同様にして式（２３）の化合物
（Ｒ₃はメチル基、芳香環上の置換位置はｐ位）を得
た。

【００５８】＜合成例６＞合成例３におけるｐ−アミノ
フェニルメタクリルアミドをｍ−アミノフェニルメタク
リルアミドに、無水フタル酸３７．０部をテトラヒドロ
無水フタル酸３８．０部に変更した他は合成例３と同様
にして式（２３）の化合物（Ｒ₃はメチル基、芳香環上
の置換位置はｍ位）を得た。

【００５９】＜合成例７＞５−アミノペンタノール５
１．６部をテトラヒドロフラン１５０部に溶解した。無
水フタル酸７４．１部を加え、室温で一日反応させた。
これにトリエチルアミン１２１．４部を添加した。氷冷
下、アクリル酸クロライド５４．３部を３時間かけて滴
下した。滴下終了後、室温で更に４時間反応させた後、
この反応液を氷水８００部に注いだ。酢酸エチルで抽
出、水洗、乾燥の後、溶媒を減圧留去する事で橙褐色油
状物を得た。これをシリカゲルカラムクロマトグラフィ
ー（展開溶媒はクロロホルム／ＭｅＯＨ）で精製する事
で式（２０）の化合物（Ｒ₃は水素）を橙褐色油状物と
して得た。

【００６０】＜合成例８＞合成例７における無水フタル
酸７４．１部を無水コハク酸５０．１部に変更した他は
合成例７と同様にして式（１９）の化合物（Ｒ₃は水
素）を得た。

【００６１】＜合成例９＞トリメリット酸無水物クロラ
イド１０５．３部をベンゼン３００部に溶解した。氷冷
下、２−ヒドロキシエチルアクリレート５８．１部／ピ
リジン３９．６部／ベンゼン１００部の溶液を３時間か
けて滴下した。滴下終了後、室温で更に４時間反応させ
た後、不溶物を吸引濾過で除去した。溶媒を減圧留去し
た。これをテトラヒドロフラン２００部に溶解し、氷冷
下、シクロヘキシルアミン４１．７部／テトラヒドロフ
ラン５０部の溶液を２時間かけて滴下した。滴下終了
後、室温で更に４時間反応させた後、この反応液を氷水
５００部に注いだ。クロロホルムで抽出、水洗、乾燥の
後、溶媒を減圧留去する事で白色油状物を得た。これを
ベンゼンで洗浄する事で式（９）の化合物（Ｒ₁は水
素、芳香環上の置換位置は３位，４位の混合物）の白色
固体５５．８部を得た。

【００６２】＜合成例１０＞合成例９における２−ヒド
ロキシエチルアクリレート５８．１部を２−ヒドロキシ
エチルメタクリレート６５．１部に変更した他は合成例
９と同様にして式（９）の化合物（Ｒ₁はメチル基、芳
香環上の置換位置は３位，４位の混合物）を得た。

【００６３】＜合成例１１＞合成例９で得られた単量体
２１．０部（０．０５４ｍｏｌ）、ベンジルメタクリレ
ート２２．２部（０．１２６ｍｏｌ）〔両者のモル比は
３０／７０〕、ドデシルメルカプタン０．７３部をメチ
ルエチルケトン６４．８部に溶解した。窒素気流下、７
０℃にて２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロ
ニトリル）０．１５部を加えて２時間加熱撹拌した。更
に２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリ
ル）０．２５部を加えて４時間加熱撹拌した。得られた
溶液をヘキサンから再沈する事でハーフアミド基を側鎖
に有する樹脂（樹脂Ｎｏ１）３９．２部を得た。得られ
た樹脂の酸価より組成比を算出した結果、組成比は合成
例９で得られた単量体／ベンジルメタクリレート＝２８
／７２とほぼモノマー仕込み量比と同等であり、共重合
性に問題が無く、目的に応じた共重合組成比の調整が容
易である事が判った。

【００６４】＜合成例１２〜２３＞合成例１１と同様に
して表１に示した単量体を用いてハーフアミド基を側鎖
に有する樹脂（樹脂Ｎｏ２〜１１）、比較例としてカル
ボキシル基を有する樹脂（樹脂Ｎｏ１２〜１３）を得
た。

【００６５】表１：合成した樹脂 ──────────────────────────────────── 樹脂原料モノマーモル比重量平均Ｎｏ分子量 ──────────────────────────────────── １合成例９の単量体／ベンジルメタクリレート３０／７０３９５０２合成例９の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０６２７０３合成例９の単量体／スチレン３０／７０１２７０４合成例１０の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０８１８０５合成例７の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０４２００６合成例８の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０８３２０７合成例３の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０６０００８合成例４の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０４６９０９合成例５の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０７９２０１０合成例６の単量体／ベンジルメタクリレート２０／８０４６００１１合成例６の単量体／メチルメタクリレート２０／４０５４５０／エチルアクリレート／４０１２メタクリル酸／ベンジルメタクリレート２８／７２９８００１３メタクリル酸／ベンジルメタクリレート１５／８５８８００ ────────────────────────────────────

【００６６】実施例１＜保護層形成用塗液の製造＞次の組成で混合溶解し、
０．２μｍの穴径のフィルターでろ過し保護層形成用塗
液を調製した。・合成例１１で製造した樹脂Ｎｏ．１の２０重量％溶液（溶媒はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／プロピレングリコールモノメチルエーテルの１／１重量比混合物）６８部・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３．４部・トリス（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート１０．２部・２−（４−ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル− １，３，４−オキサジアゾール０．６５部・ハイドロキノンモノメチルエーテル０．００７部・ふっ素系界面活性剤（大日本インキ化学（株）製Ｆ１７７Ｐ）０．００２部

【００６７】＜保護層の製造＞１．１ｍｍ厚のガラス基
板（大きさ３５０ｍｍ×４００ｍｍ）上に形成された、
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の画素を有するカラーフ
ィルター層上に前記の保護層形成用塗液を、スピンコー
ターで塗布して乾燥し、３μｍ厚みの保護層形成用感光
性層を形成した。超高圧水銀灯光源のアライナーを用
い、保護層焼き付け用マスクを通して２００ｍｊ／ｃｍ
² の光量で紫外線照射した、その後、１％炭酸ナトリウ
ム水溶液である現像液をこの基板上に噴霧する事により
現像し、水洗した。その後、加熱処理のため、２００℃
の乾燥器中に２０分間放置したあとで冷却した。

【００６８】こうして得られたカラーフィルター層上の
保護層に、ＩＴＯ膜をスパッタする事により０．２μｍ
厚で設け、さらにＩＴＯ膜上にポジ型フォトレジスト
（フジハントエレクトロニクステクノロジー社製、ＦＨ
２１３０）を形成後、電極パターンマスクを介して露光
し、現像し、塩酸／塩化鉄水溶液でＩＴＯ層をエッチン
グし、レジスト剥離液（フジハントエレクトロニクステ
クノロジー社製、ＭＳ２００１）で剥離したところ、全
く欠陥のないＩＴＯ電極が得られた。粘着テープを用い
てこの電極を剥離しようとしたが剥がれなかった。また
この上に配向膜塗液（ポリイミド樹脂のＮ−メチルピロ
リドン／γ−ブチロラクトン溶液）を、スピンコーター
で塗布し乾燥したが、膨潤する事なく配向膜層が得られ
た。また保護層の鉛筆硬度は５Ｈであった。又、その他
の項目の評価結果を表２に示す。

【００６９】実施例２〜１１及び比較例１〜２実施例１と同様にして樹脂Ｎｏ２〜１３を用いて保護層
形成用塗布液を調製した。これをガラス基板に塗布し乾
燥し、３μｍ厚の塗膜とし、露光、現像（１％炭酸ナト
リウム水溶液、３０℃）、後加熱した。各サンプルの性
能の評価方法を以下に記す。

【００７０】１．現像性ガラス基板上にスピンコーターで、３μｍの膜厚になる
ように塗布した感光性層を１％炭酸ナトリウム水溶液中
に３０℃で１分間浸漬して、溶解するかどうかで評価し
た。

【００７１】２．耐現像液性ガラス基板上に３μｍの膜厚になるように、スピンコー
ターで塗布した感光性層を、８０μｍ×３００μｍの矩
形の画像が得られるマスクを通して２００ｍｊ／ｃｍ²
露光し、１％炭酸ナトリウム水溶液中に３０℃で１分間
浸漬して、露光部が基板に密着しているかどうかで評価
した。

【００７２】３．平坦性ガラス基板上の２μｍ厚のカラーフィルター層上（２μ
ｍの凹凸有り）に３μｍになるように感光性層を形成
し、露光（２００ｍｊ／ｃｍ2 ）、現像、後加熱（２０
０℃、６０分）して得られる保護層の表面の凹凸を、膜
厚計を用いて測定し、凹凸が±０．５μｍ以下のものを
良好、これを越えるものを不良と判定した。

【００７３】４．硬度ガラス基板上に３μｍ厚の感光性層を形成し、露光（２
００ｍｊ／ｃｍ²）、現像、後加熱（２００℃、６０
分）したあとで、ＪＩＳＫ５４００の鉛筆硬度試験に
従って評価した。

【００７４】５．耐アルカリ性ガラス基板上に３μｍ厚の感光性層を形成し、露光（２
００ｍｊ／ｃｍ²）、現像、後加熱（２００℃、６０
分）したあとで、５％ＫＯＨ水溶液に５０℃で３０分間
浸漬した後で、表面にシワや濁りが生成しないかどうか
で評価した。

【００７５】６．光透過性ガラス基板上に３μｍ厚の保護層形成用感光性層を形成
し、全面露光（２００ｍｊ／ｃｍ² ）、現像、後加熱
（２００℃、６０分）したあとで、表面のクリヤーなも
のを透明性良好、曇りの発生するものを透明性不良と判
定した。

【００７６】７．基板密着性ガラス基板上に３μｍ厚の保護層形成用感光性層を形成
し、全面露光（２００ｍｊ／ｃｍ² ）し、現像後、及び
後加熱（２００℃、６０分）したあとで、クロスカット
し、マイラーテープで剥離して密着性を評価した。１０
０ケのクロスカット部に何も剥がれの無いものを密着性
良好、１ケ所でも剥がれを生じたものを密着性不良と判
定した。

【００７７】８．透明導電性層の形成性ガラス基板上に３μｍ厚の保護層形成用感光性樹脂層を
形成し、全面露光（２００ｍｊ／ｃｍ² ）、現像、後加
熱（２００℃、６０分）したあとで日電アネルバ社製高
周波スパッタリング装置を用い、インジウムスズ酸化物
（スズ酸化物含有率６重量％）を電圧８００Ｖ、電流
１．８Ａ、出力２７０Ｗ、アルゴン圧力５×１０^-4Ｔｏ
ｒｒの条件で１０分間蒸着した。得られた透明導電性層
の面状を顕微鏡で観察し、更にテープ剥離による密着テ
ストを行ない、透明導電性層の形成性を評価した。透明
導電性層の表面が平坦かつ均一で、密着テストで剥がれ
等の故障のないものを透明導電性層の形成性良好、透明
導電性層の表面にシワやクラックが発生しているもの、
或いは密着テストにより透明導電性層が剥がれてしまう
ものは形成性不良と判定した。以上の項目の評価結果を
表２に示す。

【００７８】表２：組成物の評価結果 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 樹脂現像耐現像平坦性硬度耐アル光透基板密着性透明導Ｎｏ性液性カリ性過性電性層現像後加形成性後熱後 ──────────────────────────────────── 実施例１１良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好２２良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好３３良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好４４良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好５５良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好６６良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好７７良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好８８良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好９９良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１０１０良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１１１１良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好 ──────────────────────────────────── 比較例１１２良好良好良好５Ｈ不良良好良好良好不良２１３不良良好良好４Ｈ良好良好良好良好不良 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００７９】実施例１２（フィルム状保護層形成用材
料）実施例１の保護層形成用塗液を厚さ７５μｍのポリエチ
レンテレフタレートフィルム仮支持体上に塗布し、乾燥
して３μｍ厚の保護層形成用感光性層を形成した。この
上に厚さ１５μｍのポリプロピレン製カバーシートをラ
ミネートし、フィルム状保護層形成用材料を得た。実施
例１に記載のカラーフィルター層を有するガラス基板を
用意した。まず、該フィルム状保護層形成用材料からカ
バーシートを除去し、該感光性層をカラーフィルター層
と接触するように重ね、ラミネータを用い積層した。そ
の後該仮支持体を剥したところ、カラーフィルター層上
に感光性層が形成された。以下は実施例１と同様に、感
光性層を露光現像し、加熱処理する事で、保護層が形成
された。この保護層上に、実施例１と同様にＩＴＯの電
極を形成したところ、密着し、欠陥のないＩＴＯ電極が
得られた。また同様に保護層が膨潤する事なく、配向膜
も形成する事ができた。鉛筆硬度は５Ｈであった。又、
その他の項目の評価結果を表３に示す。

【００８０】実施例１３〜２２及び比較例３〜４実施例１２と同様にして樹脂Ｎｏ２〜１３を用いてフィ
ルム状保護層形成用材料を得た。これを実施例１２と同
様にして評価した。評価結果を表３に示す。

【００８１】表３：組成物の評価結果 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 樹脂現像耐現像平坦性硬度耐アル光透基板密着性透明導Ｎｏ性液性カリ性過性電性層現像後加形成性後熱後 ──────────────────────────────────── 実施例１２１良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１３２良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１４３良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１５４良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１６５良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１７６良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１８７良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好１９８良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好２０９良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好２１１０良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好２２１１良好良好良好５Ｈ良好良好良好良好良好 ──────────────────────────────────── 比較例３１２良好良好良好５Ｈ不良良好良好不良不良４１３不良良好良好４Ｈ良好良好良好不良不良 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００８２】これから、評価したすべての項目に於い
て、本発明になる感光性樹脂組成物が優れた性能を発揮
していることが判る。

【００８３】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は樹脂の製造
適性に優れ、また優れたアルカリ溶解性を有し、得られ
た画像部分は優れた耐現像液性、硬度、耐アルカリ性、
光透過性、基板密着性、透明導電性層形成性を有する。
本発明の組成物はカラーフィルターの保護層の形成に特
に有用で、耐性の優れた、平坦性の高い保護層を形成す
ることができる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも下記一般式（Ｉ）及び／又は
（ＩＩ）で示される繰り返し単位を有する樹脂を含む事
を特徴とする感光性樹脂組成物。【化１】〔式中、Ｒ₁：水素もしくはメチル基、Ｒ₂：炭素数１から１２のアルキル基、炭素数７から１
６のアラルキル基もしくは炭素数６から１８のアリール
基を表す。（該アルキル基、アラルキル基、アリール基
はそれぞれ分岐を有してもよく、更に炭素数１から４の
アルキル基、炭素数１から６のアルコキシ基、炭素数６
から１０のアリール基、炭素数７から１２のアラルキル
基、ハロゲン原子又はそれらの２種以上の組み合わせで
置換されてもよい）、Ｒ₃：水素もしくはメチル基Ｘ₁：単結合、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＲ₅
−、−ＣＯＯ−Ｒ₆−もしくは−ＣＯＮＲ₇−Ｒ₈−、Ｘ₂：単結合、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＲ₉
−、−ＣＯＯ−Ｒ₁₀−もしくは−ＣＯＮＲ₁₁−Ｒ₁₂−、Ａ₁：ＣＯＯＨとＣＯＮＨ−Ｒ₂との閉環反応によりイ
ミド環を形成し得る３価の有機基、Ａ₂：ＣＯＯＨとＮＨＣＯとの閉環反応によりイミド環
を形成し得る２価の有機基、Ｒ₅、Ｒ₇、Ｒ₉、Ｒ₁₁：水素、炭素数１から１２のア
ルキル基、炭素数７から１６のアラルキル基もしくは炭
素数６から１８のアリール基を表す。（該アルキル基
、アラルキル基、アリール基はそれぞれ分岐を有して
もよく、更に炭素数１から４のアルキル基、炭素数１か
ら６のアルコキシ基、炭素数６から１０のアリール基、
炭素数７から１２のアラルキル基、ヒドロキシル基、ハ
ロゲン原子又はそれらの２種以上の組み合わせで置換さ
れてもよい）、Ｒ₆、Ｒ₈、Ｒ₁₀、Ｒ₁₂：水素、炭素数１〜１０のアル
キレン、炭素数６〜１０のアリーレンもしくは炭素数７
〜２０のアラルキレン（該アルキレン、アリーレン、ア
ラルキレンはそれぞれ分岐を有してもよく、また途中に
−Ｏ−、−Ｓ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮＨ
−、−ＮＨＣＯ−、−ＳＯ₂−、−ＳＯ₂ＮＨ−、−ＮＨ
ＳＯ₂−の群から選ばれる基又はこれらの２種以上の組
合せを介してもよく、更に炭素数１から４のアルキル
基、炭素数１から６のアルコキシ基、炭素数６から１０
のアリール基、炭素数７から１２のアラルキル基、ハロ
ゲン原子又はそれらの２種以上の組み合わせで置換され
てもよい）、を表す〕
【請求項２】（１）請求項１に記載の樹脂、（２）光
重合開始剤もしくは光重合開始剤系、（３）エチレン性
不飽和二重結合を有する付加重合性モノマーを含む事を
特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項３】透明基板上に少なくとも赤、緑、青色の
画素がマトリックス状に配置された多色層の上に、請求
項１もしくは請求項２に記載の感光性樹脂組成物の硬化
物から成る保護層を有することを特徴とするカラーフィ
ルター。
【請求項４】透明基板上に少なくとも赤、緑、青色の
画素がマトリックス状に配置された多色層の上に、請求
項１もしくは請求項２に記載の感光性樹脂組成物の層を
形成し、露光し、アルカリ水溶液を用いて現像処理し、
次いで加熱処理により硬化することを特徴とするカラー
フィルターの製造方法。
【請求項５】透明基板上に少なくとも赤、緑、青色の
画素がマトリックス状に配置された多色層の上に、仮支
持体上に請求項１もしくは請求項２に記載の感光性樹脂
組成物の層を有する感光材料を密着させ、該感光性樹脂
組成物の層を該多色層上に転写し、露光し、アルカリ水
溶液を用いて現像処理し、次いで加熱処理により硬化す
ることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。