JPH08117744A - イオン交換装置のブレーク検知方法 - Google Patents
イオン交換装置のブレーク検知方法Info
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- JPH08117744A JPH08117744A JP6256898A JP25689894A JPH08117744A JP H08117744 A JPH08117744 A JP H08117744A JP 6256898 A JP6256898 A JP 6256898A JP 25689894 A JP25689894 A JP 25689894A JP H08117744 A JPH08117744 A JP H08117744A
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- boron
- exchange apparatus
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 少なくともアニオン交換樹脂を用いるイオン
交換装置のブレ−クを正確に検知する。 【構成】 処理水中のシリカリ−クが起こる前にリ−ク
してくるホウ素のイオン交換装置を通過した濃度を測定
することでブレ−クを判別する。
交換装置のブレ−クを正確に検知する。 【構成】 処理水中のシリカリ−クが起こる前にリ−ク
してくるホウ素のイオン交換装置を通過した濃度を測定
することでブレ−クを判別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶や半導体素子を製
造する電子工業等で用いられる純水や超純水製造用のイ
オン交換装置、あるいは火力発電所や原子力発電所など
の復水を処理する復水脱塩装置など、高純度の処理水を
得ることが要求されるイオン交換装置において、イオン
交換樹脂のブレ−クを検知する方法に関するものであ
る。
造する電子工業等で用いられる純水や超純水製造用のイ
オン交換装置、あるいは火力発電所や原子力発電所など
の復水を処理する復水脱塩装置など、高純度の処理水を
得ることが要求されるイオン交換装置において、イオン
交換樹脂のブレ−クを検知する方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】純水あるいは超純水製造に用いられるイ
オン交換樹脂の貫流交換容量を越えて通水を行うと、ブ
レ−ク（破過）が起こり、イオン等が処理水へリ−クし
始めることが知られている。
オン交換樹脂の貫流交換容量を越えて通水を行うと、ブ
レ−ク（破過）が起こり、イオン等が処理水へリ−クし
始めることが知られている。
【０００３】このイオン交換装置のブレ−クを検知する
方法としては、従来から、アニオン交換樹脂については
処理水中のシリカ濃度を測定してシリカ濃度の急な上昇
を検出してブレークしたものと判定し、カチオン交換樹
脂については処理水中のナトリウム濃度を測定してナト
リウム濃度の急な上昇を検出してブレークしたものと判
定することが行われていた。なお、シリカ濃度の測定に
はシリカモニタ−あるいは蒸発残渣濃度計（特公平５−
８２２７８）が用いられ、ナトリウム濃度の測定には導
電率計または比抵抗計などが用いられている。
方法としては、従来から、アニオン交換樹脂については
処理水中のシリカ濃度を測定してシリカ濃度の急な上昇
を検出してブレークしたものと判定し、カチオン交換樹
脂については処理水中のナトリウム濃度を測定してナト
リウム濃度の急な上昇を検出してブレークしたものと判
定することが行われていた。なお、シリカ濃度の測定に
はシリカモニタ−あるいは蒸発残渣濃度計（特公平５−
８２２７８）が用いられ、ナトリウム濃度の測定には導
電率計または比抵抗計などが用いられている。
【０００４】このように、アニオン交換樹脂のブレーク
の判定に処理水中のシリカ濃度を測定したり、カチオン
交換樹脂のブレークの判定に処理水中のナトリウム濃度
を測定するのは、シリカやナトリウムがアニオン交換樹
脂やカチオン交換樹脂がブレークした際に最初にリ−ク
してくる物質であると考えられていたためである。
の判定に処理水中のシリカ濃度を測定したり、カチオン
交換樹脂のブレークの判定に処理水中のナトリウム濃度
を測定するのは、シリカやナトリウムがアニオン交換樹
脂やカチオン交換樹脂がブレークした際に最初にリ−ク
してくる物質であると考えられていたためである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シリカ
濃度測定により管理されているイオン交換装置において
シリカリ−クが起こる前にシリカ以外の物質が処理水中
にリ−クして、処理水の純度を悪化させるという問題が
発生した。
濃度測定により管理されているイオン交換装置において
シリカリ−クが起こる前にシリカ以外の物質が処理水中
にリ−クして、処理水の純度を悪化させるという問題が
発生した。
【０００６】従って、従来の方法では少なくともアニオ
ン交換樹脂を用いるイオン交換装置のブレ−クを正確に
検知できないことが明らかになった。
ン交換樹脂を用いるイオン交換装置のブレ−クを正確に
検知できないことが明らかになった。
【０００７】また、シリカ濃度の測定によるアニオン交
換樹脂のブレークの判定方法には、低濃度シリカの定量
の分析手順が複雑なため、コンタミ（微量汚染）による
測定ミスの危険性やイオン交換装置管理コストの上昇を
招くという問題もあった。
換樹脂のブレークの判定方法には、低濃度シリカの定量
の分析手順が複雑なため、コンタミ（微量汚染）による
測定ミスの危険性やイオン交換装置管理コストの上昇を
招くという問題もあった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、かかる従
来の問題を解決するため、鋭意研究をすすめた結果、少
なくともアニオン交換樹脂を用いるイオン交換装置にお
いては、シリカリークの前にホウ素がリ−クしてくるこ
とを発見した。
来の問題を解決するため、鋭意研究をすすめた結果、少
なくともアニオン交換樹脂を用いるイオン交換装置にお
いては、シリカリークの前にホウ素がリ−クしてくるこ
とを発見した。
【０００９】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、イオン交換装置を通過した処理水中のホウ素濃
度を測定してイオン交換装置のブレ−クを判定すること
を特徴とするイオン交換装置のブレ−ク検知方法であ
る。
もので、イオン交換装置を通過した処理水中のホウ素濃
度を測定してイオン交換装置のブレ−クを判定すること
を特徴とするイオン交換装置のブレ−ク検知方法であ
る。
【００１０】測定水中のホウ素濃度測定には誘導結合プ
ラズマ質量分析計（ＩＣＰ−ＭＳ）による測定が好適で
ある。
ラズマ質量分析計（ＩＣＰ−ＭＳ）による測定が好適で
ある。
【００１１】一般に、市水、工業用水あるいは井戸水中
には、微量のホウ素が含まれているので、本発明を実施
するにあたって被処理水にホウ素を添加する必要はない
が、従来のシリカ測定による方法と併用することが望ま
しい。
には、微量のホウ素が含まれているので、本発明を実施
するにあたって被処理水にホウ素を添加する必要はない
が、従来のシリカ測定による方法と併用することが望ま
しい。
【００１２】本発明のイオン交換装置のブレ−ク検知方
法は、純水や超純水製造用のイオン交換装置、あるいは
火力発電所や原子力発電所などの復水を処理する復水脱
塩装置のイオン交換装置のブレ−ク検知方法に用いるこ
とができる。
法は、純水や超純水製造用のイオン交換装置、あるいは
火力発電所や原子力発電所などの復水を処理する復水脱
塩装置のイオン交換装置のブレ−ク検知方法に用いるこ
とができる。
【００１３】
【作用】本発明のイオン交換装置のブレ−ク検知方法に
よれば、少なくともアニオン交換樹脂を用いるイオン交
換装置においてシリカリ−クが生じる前にリ−クしてく
るホウ素濃度を測定することによってイオン交換装置の
ブレ−クによる処理水の純度悪化を防ぐことができる。
また、測定水中の低濃度ホウ素の定量は低濃度シリカの
定量に比べて分析手順が簡便であるため、コンタミによ
る測定ミスの危険性やイオン交換装置管理コストの上昇
も防ぐことが可能である。
よれば、少なくともアニオン交換樹脂を用いるイオン交
換装置においてシリカリ−クが生じる前にリ−クしてく
るホウ素濃度を測定することによってイオン交換装置の
ブレ−クによる処理水の純度悪化を防ぐことができる。
また、測定水中の低濃度ホウ素の定量は低濃度シリカの
定量に比べて分析手順が簡便であるため、コンタミによ
る測定ミスの危険性やイオン交換装置管理コストの上昇
も防ぐことが可能である。
【００１４】
【実施例】次に本願発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
る。
【００１５】図１は、本願発明の一実施例に用いた純水
製造装置のシステム構成を概略的に示すもので、混床式
イオン交換装置１で処理される被処理水は、前処理装置
２、第１段逆浸透膜３及び第２段逆浸透膜４によって予
め処理されて高い純度にされている。
製造装置のシステム構成を概略的に示すもので、混床式
イオン交換装置１で処理される被処理水は、前処理装置
２、第１段逆浸透膜３及び第２段逆浸透膜４によって予
め処理されて高い純度にされている。
【００１６】混床式イオン交換装置１で処理された処理
水は、その一部がサンプリングコック５でサンプリング
されてホウ素濃度、シリカ濃度が測定され、また、比抵
抗セル６と比抵抗計７により処理水の比抵抗が検出され
るようになっている。
水は、その一部がサンプリングコック５でサンプリング
されてホウ素濃度、シリカ濃度が測定され、また、比抵
抗セル６と比抵抗計７により処理水の比抵抗が検出され
るようになっている。
【００１７】この実施例で用いた混床式イオン交換装置
１に充填された混合樹脂は、アニオン交換樹脂として強
塩基性アニオン交換樹脂デュオライトＡ−１１３ｐｌｕ
ｓ（ロ−ム＆ハ−ス社）３３ ｌ、カチオン交換樹脂と
して強酸性カチオン交換樹脂デュオライトＣ−２０（ロ
−ム＆ハ−ス社）２３ ｌを使用し、あらかじめ再生し
てＨ型とＯＨ型に変換した後に混合充填したものであ
る。この混床式イオン交換装置１のイオン交換容量は0.
9 当量/l-Resin、被処理水のホウ素濃度は0.6〜1.8ppb
（as Ｂ）［平均1.1ppb（as Ｂ）］、シリカ濃度は80
〜160ppb（asＳｉＯ2 ）［平均130ppb（as Ｓｉ
Ｏ2 ）］である。
１に充填された混合樹脂は、アニオン交換樹脂として強
塩基性アニオン交換樹脂デュオライトＡ−１１３ｐｌｕ
ｓ（ロ−ム＆ハ−ス社）３３ ｌ、カチオン交換樹脂と
して強酸性カチオン交換樹脂デュオライトＣ−２０（ロ
−ム＆ハ−ス社）２３ ｌを使用し、あらかじめ再生し
てＨ型とＯＨ型に変換した後に混合充填したものであ
る。この混床式イオン交換装置１のイオン交換容量は0.
9 当量/l-Resin、被処理水のホウ素濃度は0.6〜1.8ppb
（as Ｂ）［平均1.1ppb（as Ｂ）］、シリカ濃度は80
〜160ppb（asＳｉＯ2 ）［平均130ppb（as Ｓｉ
Ｏ2 ）］である。
【００１８】なお、ホウ素濃度の測定は、ＩＣＰ−ＭＳ
で行い、シリカ濃度の測定は原子吸光光度計を用いた。
で行い、シリカ濃度の測定は原子吸光光度計を用いた。
【００１９】図２は、この実施例で脱イオン処理した処
理水の一部をサンプリングコック５より採水し、ホウ素
濃度（実線）とシリカ濃度（点線）を測定した結果を縦
軸にとり、通水日数を横軸にとってグラフ化したホウ素
およびシリカのブレ−ク曲線である。図中の一点鎖線は
比抵抗計の指示値である。
理水の一部をサンプリングコック５より採水し、ホウ素
濃度（実線）とシリカ濃度（点線）を測定した結果を縦
軸にとり、通水日数を横軸にとってグラフ化したホウ素
およびシリカのブレ−ク曲線である。図中の一点鎖線は
比抵抗計の指示値である。
【００２０】この実験結果から明らかなように、従来の
シリカを検出してアニオンブレ−クポイント（Ｂ点）を
判定する方法よりも、ホウ素を検出してアニオンブレ−
クポイント（Ａ点）を判定する方法の方が、より正確な
アニオンブレ−クポイントを示していることが分かる。
シリカを検出してアニオンブレ−クポイント（Ｂ点）を
判定する方法よりも、ホウ素を検出してアニオンブレ−
クポイント（Ａ点）を判定する方法の方が、より正確な
アニオンブレ−クポイントを示していることが分かる。
【００２１】
【発明の効果】以上の実施例からも明らかなように、本
発明は少なくともアニオン交換樹脂を用いたイオン交換
装置を通過した処理水中のホウ素濃度を測定することに
よってイオン交換装置のブレ−クを判別するので、アニ
オン交換樹脂から最初にリ−クしてくるホウ素による処
理水の純度悪化を防ぐことが可能である。また、測定水
中の低濃度ホウ素の定量は低濃度シリカの定量に比べて
分析手順が簡便であるからコンタミによる測定ミスの危
険性やイオン交換装置管理コストの上昇を防ぐこともで
きる。
発明は少なくともアニオン交換樹脂を用いたイオン交換
装置を通過した処理水中のホウ素濃度を測定することに
よってイオン交換装置のブレ−クを判別するので、アニ
オン交換樹脂から最初にリ−クしてくるホウ素による処
理水の純度悪化を防ぐことが可能である。また、測定水
中の低濃度ホウ素の定量は低濃度シリカの定量に比べて
分析手順が簡便であるからコンタミによる測定ミスの危
険性やイオン交換装置管理コストの上昇を防ぐこともで
きる。
【図１】本発明の実施例のシステム構成を概略的に示す
図である。
図である。
【図２】本発明による混床式イオン交換装置処理水中の
ホウ素濃度の定量とシリカ濃度の定量によるアニオンブ
レ−ク曲線の図である。
ホウ素濃度の定量とシリカ濃度の定量によるアニオンブ
レ−ク曲線の図である。
１… 混床式イオン交換装置 ２… 前処理装置 ３… 第１段逆浸透膜 ４… 第２段逆浸透膜 ５… サンプリングコック ６… 比抵抗セル ７… 比抵抗計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 27/62 Ｖ 33/18 Ｃ // Ｇ０１Ｎ 21/31 Ａ 21/73
Claims (4)
- 【請求項１】 イオン交換装置を通過した処理水中のホ
ウ素濃度を測定してイオン交換装置のブレ−クを判定す
ることを特徴とするイオン交換装置のブレ−ク検知方
法。 - 【請求項２】 請求項１記載のイオン交換装置のブレ−
ク検知方法において前記イオン交換装置として、アニオ
ン交換樹脂とカチオン交換樹脂を混合した混床式イオン
交換装置を用いることを特徴とするイオン交換装置のブ
レ−ク検知方法。 - 【請求項３】 請求項１記載のイオン交換装置のブレ−
ク検知方法において前記イオン交換装置として、アニオ
ン交換樹脂を用いることを特徴とするイオン交換装置の
ブレ−ク検知方法。 - 【請求項４】 請求項１記載のイオン交換装置のブレ−
ク検知方法において前記イオン交換装置が、純水もしく
は超純水製造装置におけるイオン交換装置であることを
特徴とするイオン交換装置のブレ−ク検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6256898A JPH08117744A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | イオン交換装置のブレーク検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6256898A JPH08117744A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | イオン交換装置のブレーク検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08117744A true JPH08117744A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=17298932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6256898A Withdrawn JPH08117744A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | イオン交換装置のブレーク検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08117744A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2003062151A1 (ja) * | 2002-01-22 | 2005-05-19 | 東レ株式会社 | 造水方法および造水装置 |
| JP2011098267A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Japan Organo Co Ltd | 純水製造システムおよび純水製造方法 |
| WO2014064754A1 (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-01 | オルガノ株式会社 | ホウ素含有溶液の脱塩方法 |
| KR20140065349A (ko) * | 2012-11-21 | 2014-05-29 | 오비보 룩셈부르크 에스.에이.알.엘. | 물의 처리, 특히 초순수를 얻기 위한 처리 |
| JP6119886B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-04-26 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置および超純水製造装置の運転方法 |
| WO2019244443A1 (ja) * | 2018-06-20 | 2019-12-26 | オルガノ株式会社 | 被処理水中のホウ素除去方法、ホウ素除去システム、超純水製造システム及びホウ素濃度の測定方法 |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP6256898A patent/JPH08117744A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2003062151A1 (ja) * | 2002-01-22 | 2005-05-19 | 東レ株式会社 | 造水方法および造水装置 |
| JP2011098267A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Japan Organo Co Ltd | 純水製造システムおよび純水製造方法 |
| WO2014064754A1 (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-01 | オルガノ株式会社 | ホウ素含有溶液の脱塩方法 |
| JPWO2014064754A1 (ja) * | 2012-10-22 | 2016-09-05 | オルガノ株式会社 | ホウ素含有溶液の脱塩方法 |
| KR20140065349A (ko) * | 2012-11-21 | 2014-05-29 | 오비보 룩셈부르크 에스.에이.알.엘. | 물의 처리, 특히 초순수를 얻기 위한 처리 |
| JP2014100706A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | Ovivo Luxembourg Srl | 特に超純水を得るための水の処理 |
| JP6119886B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-04-26 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置および超純水製造装置の運転方法 |
| JP2017131846A (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-03 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置および超純水製造装置の運転方法 |
| WO2017130454A1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-03 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置および超純水製造装置の運転方法 |
| CN108602705A (zh) * | 2016-01-28 | 2018-09-28 | 栗田工业株式会社 | 超纯水制造装置以及超纯水制造装置的运转方法 |
| TWI710529B (zh) * | 2016-01-28 | 2020-11-21 | 日商栗田工業股份有限公司 | 超純水製造裝置及超純水製造裝置的運轉方法 |
| WO2019244443A1 (ja) * | 2018-06-20 | 2019-12-26 | オルガノ株式会社 | 被処理水中のホウ素除去方法、ホウ素除去システム、超純水製造システム及びホウ素濃度の測定方法 |
| JP2019217463A (ja) * | 2018-06-20 | 2019-12-26 | オルガノ株式会社 | 被処理水中のホウ素除去方法、ホウ素除去システム、超純水製造システム及びホウ素濃度の測定方法 |
| US11655162B2 (en) | 2018-06-20 | 2023-05-23 | Organo Corporation | Method of removing boron from water to be treated, boron-removing system, ultrapure water production system, and method of measuring concentration of boron |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |