JPH0811207B2 - 液体の微量精密吐出調整方法とその装置 - Google Patents
液体の微量精密吐出調整方法とその装置Info
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- JPH0811207B2 JPH0811207B2 JP23585186A JP23585186A JPH0811207B2 JP H0811207 B2 JPH0811207 B2 JP H0811207B2 JP 23585186 A JP23585186 A JP 23585186A JP 23585186 A JP23585186 A JP 23585186A JP H0811207 B2 JPH0811207 B2 JP H0811207B2
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- valve
- intermittent
- dispenser
- opening
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
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- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は液体の微量精密吐出調整方法とその装置に係
る。
る。
一般に微量液体吐出器はディスペンサと言われてい
る。即ちデイスペンサとは、液体吐出用ガンの一種であ
って、特に少量づつ液体を点滴状に吐出する場合などに
使用されるものである。例えば、二液混合型樹脂又はUV
（Ultra Violet＝遠紫外線）硬化型樹脂などを被吐物面
上に滴下吐布する場合などにである。
る。即ちデイスペンサとは、液体吐出用ガンの一種であ
って、特に少量づつ液体を点滴状に吐出する場合などに
使用されるものである。例えば、二液混合型樹脂又はUV
（Ultra Violet＝遠紫外線）硬化型樹脂などを被吐物面
上に滴下吐布する場合などにである。
上記の従来の方式について説明する。第７図を参照さ
れたい。液体ポンプ87により所定の圧力に加圧された液
体PL7は、ディスペンサ81内に入れられ、その中の開閉
弁82の断続的開閉によって、そのノズル83より断続的に
吐出される。この場合の断続的弁開閉作動は、タイマ90
よりの電気信号により、上記バルブの操作用ソレノイド
85によって行われる。
れたい。液体ポンプ87により所定の圧力に加圧された液
体PL7は、ディスペンサ81内に入れられ、その中の開閉
弁82の断続的開閉によって、そのノズル83より断続的に
吐出される。この場合の断続的弁開閉作動は、タイマ90
よりの電気信号により、上記バルブの操作用ソレノイド
85によって行われる。
上記の場合には、液体は液体ポンプによって加圧され
たが、それらを使わず、同図上の仮想線に示したよう
に、エア式加圧タンク（プレッシャポット）88によっ
て、一定圧力の下に液体PL8を、ディスペンサ81に供給
することも行われている。
たが、それらを使わず、同図上の仮想線に示したよう
に、エア式加圧タンク（プレッシャポット）88によっ
て、一定圧力の下に液体PL8を、ディスペンサ81に供給
することも行われている。
また、吐布量の極めて少い場合には、上述の如き液体
タンクやプレッシャポットなど使用することなく、第８
図に見られるようにディスペンサ95内に小容量のタンク
を設け、その中に液体を入れ、その液面への空気圧を断
続して、その液体を吐出するという最も簡単な方法もと
られている。
タンクやプレッシャポットなど使用することなく、第８
図に見られるようにディスペンサ95内に小容量のタンク
を設け、その中に液体を入れ、その液面への空気圧を断
続して、その液体を吐出するという最も簡単な方法もと
られている。
最近は、これら用途が拡大され、より超微量吐出が要
求されるようになってきた。例えば滴下吐布において、
1mg以下を吐出するということがある。これらの場合、
液体の吐出圧力を小にすれば吐出量は少くなることは言
うまでもないが、ある限度を超えると、例えば粘度5000
cpsにおいて吐出圧力10kg/cm2以下になると、滴下した
場合、ノズルにおける液切れが悪るく、均一した定量滴
下が難しくなる。また反対に吐出圧力をあげると液切れ
はよくなるが、一ショットの吐出量が多くなるので、そ
の吐出時間の短縮化が必要となってくる。しかし、それ
にも限度があり、必要とする短縮化即ち液体吐出の微量
化は難しく、従来のディスペンサでは吐出時間即ちディ
スペンサ内の開閉バルブの“開”時間はエア操作式にお
いて20ms（ミリセコンド）、ソレノイド式でも10msが限
度であった。従って一桁のミリセコンド単位の時間設定
は非常に困難であった。これは従来のディスペンサの構
造的理由からくるものである。
求されるようになってきた。例えば滴下吐布において、
1mg以下を吐出するということがある。これらの場合、
液体の吐出圧力を小にすれば吐出量は少くなることは言
うまでもないが、ある限度を超えると、例えば粘度5000
cpsにおいて吐出圧力10kg/cm2以下になると、滴下した
場合、ノズルにおける液切れが悪るく、均一した定量滴
下が難しくなる。また反対に吐出圧力をあげると液切れ
はよくなるが、一ショットの吐出量が多くなるので、そ
の吐出時間の短縮化が必要となってくる。しかし、それ
にも限度があり、必要とする短縮化即ち液体吐出の微量
化は難しく、従来のディスペンサでは吐出時間即ちディ
スペンサ内の開閉バルブの“開”時間はエア操作式にお
いて20ms（ミリセコンド）、ソレノイド式でも10msが限
度であった。従って一桁のミリセコンド単位の時間設定
は非常に困難であった。これは従来のディスペンサの構
造的理由からくるものである。
本発明の動機は上述の如きディスペンサよりの液体吐
出時間を一桁のミリセコンドまで短縮し、より超微量の
液体吐出を実現することにあった。
出時間を一桁のミリセコンドまで短縮し、より超微量の
液体吐出を実現することにあった。
上述の如く、従来のディスペンサにおける液体吐出時
間の10msは限度であり、またその原因はその構造に基く
ものである。これらを列挙すると次の如くなる。
間の10msは限度であり、またその原因はその構造に基く
ものである。これらを列挙すると次の如くなる。
エア操作式ディスペンサにおいては、操作エアがソ
レノイドバルブよりエアシリンダ内に流入するまでの時
間と、またそのエアの体積弾性により、そして、又、開
閉弁のステムに対する液体シール用パッキングの摩擦抵
抗等により、上記開閉弁作動には時間的遅れが生じてい
た。
レノイドバルブよりエアシリンダ内に流入するまでの時
間と、またそのエアの体積弾性により、そして、又、開
閉弁のステムに対する液体シール用パッキングの摩擦抵
抗等により、上記開閉弁作動には時間的遅れが生じてい
た。
ソレノイド直動式ディスペンサーにおいては、バル
ブステムに直結しているアマチュア自体の慣性抵抗と、
またそのアマチュアが液体内に浸漬しているので、アマ
チュアの上下運動に当っての、液体の流体抵抗等によ
り、開閉バルブの作動には時間的遅れが生じていた。更
にまた、上記アマチュアに発生する残留磁気もその遅れ
に加担していたのである。
ブステムに直結しているアマチュア自体の慣性抵抗と、
またそのアマチュアが液体内に浸漬しているので、アマ
チュアの上下運動に当っての、液体の流体抵抗等によ
り、開閉バルブの作動には時間的遅れが生じていた。更
にまた、上記アマチュアに発生する残留磁気もその遅れ
に加担していたのである。
以上の如き、構造上の物理的抵抗の解消は不可能で、
現在の機構では、より以上の時間短縮化は望まれなかっ
たのである。
現在の機構では、より以上の時間短縮化は望まれなかっ
たのである。
上述の如く、本問題を解決する手段としては、ディス
ペンサ自体の機械的構造の改善だげでは時間短縮化はは
かれないことが分った。そこで全く別な観点に立って検
討をすすめた。即ち複数の機器の組合せによる複合的作
用により、新規の機能を発揮せしめることに着目したの
である。
ペンサ自体の機械的構造の改善だげでは時間短縮化はは
かれないことが分った。そこで全く別な観点に立って検
討をすすめた。即ち複数の機器の組合せによる複合的作
用により、新規の機能を発揮せしめることに着目したの
である。
本発明の要旨は、液体吐出用断続開閉バルブを有する
ディスペンサと該ディスペンサ内に供給される液体に対
する断続的に加圧する時機と、またその断続的に加圧さ
れた液体を更に該ディスペンサ内にて断続的に開閉する
時機との組合せと制御によって、即ち加圧液太用断続開
閉弁の“開”時機とディスペンサ内の液体吐出用断続開
閉弁の“開”時機とのラップ時間を得、その時間のみ液
体をディスペンサより吐出せしめる方法とその装置であ
る。
ディスペンサと該ディスペンサ内に供給される液体に対
する断続的に加圧する時機と、またその断続的に加圧さ
れた液体を更に該ディスペンサ内にて断続的に開閉する
時機との組合せと制御によって、即ち加圧液太用断続開
閉弁の“開”時機とディスペンサ内の液体吐出用断続開
閉弁の“開”時機とのラップ時間を得、その時間のみ液
体をディスペンサより吐出せしめる方法とその装置であ
る。
次に本発明の方法の基本について説明する。そもそも
ディスペンサから液体が吐出されるには、その液体が、
ディスペンサ内に供給される前から加圧されていること
と、またその加圧液体がディスペンサ内の開閉弁により
開放されることとの二つの要件が重なることが必要であ
る。言い換えると、ディスペンサ内に供給される液体が
加圧されていてもディスペンサ内の開閉弁が閉鎖されて
おれば液体は吐出せず（第６図参照）、またディスペン
サ内の開閉弁が開放されていても、それに供給される液
体が加圧されていなければ液体は吐出しないのである。
ディスペンサから液体が吐出されるには、その液体が、
ディスペンサ内に供給される前から加圧されていること
と、またその加圧液体がディスペンサ内の開閉弁により
開放されることとの二つの要件が重なることが必要であ
る。言い換えると、ディスペンサ内に供給される液体が
加圧されていてもディスペンサ内の開閉弁が閉鎖されて
おれば液体は吐出せず（第６図参照）、またディスペン
サ内の開閉弁が開放されていても、それに供給される液
体が加圧されていなければ液体は吐出しないのである。
上記加圧液体を常時加圧液体の開閉バルブの開放によ
って得られるようにし、かつ該弁とシリーズに配設され
たディスペンサ内の吐出用開閉弁とをタイマにより関連
づけて断続的に行なうようにしたのが、第１図に示した
系統図である。
って得られるようにし、かつ該弁とシリーズに配設され
たディスペンサ内の吐出用開閉弁とをタイマにより関連
づけて断続的に行なうようにしたのが、第１図に示した
系統図である。
次に同図に基き本発明の方法を説明する。液体ポンプ
16より常時加圧された液体PLを加圧液体用開閉バルブ６
によって、ある決められたタイミングの下に断続的に開
閉せしめる。そして同バルブの“開”によって加圧液体
はシリーズに配設されたディスペンサ１内の吐出用断続
開閉弁２に至り、その弁の開放が待つが、それは上記タ
イミングと、タイマ20により制御される。
16より常時加圧された液体PLを加圧液体用開閉バルブ６
によって、ある決められたタイミングの下に断続的に開
閉せしめる。そして同バルブの“開”によって加圧液体
はシリーズに配設されたディスペンサ１内の吐出用断続
開閉弁２に至り、その弁の開放が待つが、それは上記タ
イミングと、タイマ20により制御される。
そして、上記二箇の開閉弁の“開”時機がラップした
時のみ、液体が吐出することは前述した通りである。こ
れらラップさせる両断続開閉弁の開閉に対するタイミン
グの設定は電気式タイマにおいては極めて容易に行なう
ことができる。
時のみ、液体が吐出することは前述した通りである。こ
れらラップさせる両断続開閉弁の開閉に対するタイミン
グの設定は電気式タイマにおいては極めて容易に行なう
ことができる。
次に本発明による装置の基本的構造について説明す
る。同じく第１図を参照されたい。吐出開閉弁２付きデ
ィスペンサ１の吐出口にはノズル３が取付けられ、また
該デイスペンサの流入口４は加圧液体供給用配管17によ
り、加圧液体断続開閉バルブ６の流出口８に接続、かつ
該バルブの流入口９は加圧液体供給用配管14により、液
体加圧ポンプ16に、更に該ポンプは液体タンク13に接続
される。更に又、上記加圧液体供給用配管17上には、そ
の途中に分岐管18が設けられ、それに圧抜き用配管19を
介して圧抜き用断続開閉バルブ11に接続される。上記各
バルブの操作用ソレノイドコイル5,10,15はそれぞれタ
イマ20に電気接続される。
る。同じく第１図を参照されたい。吐出開閉弁２付きデ
ィスペンサ１の吐出口にはノズル３が取付けられ、また
該デイスペンサの流入口４は加圧液体供給用配管17によ
り、加圧液体断続開閉バルブ６の流出口８に接続、かつ
該バルブの流入口９は加圧液体供給用配管14により、液
体加圧ポンプ16に、更に該ポンプは液体タンク13に接続
される。更に又、上記加圧液体供給用配管17上には、そ
の途中に分岐管18が設けられ、それに圧抜き用配管19を
介して圧抜き用断続開閉バルブ11に接続される。上記各
バルブの操作用ソレノイドコイル5,10,15はそれぞれタ
イマ20に電気接続される。
上記本発明の基本的構造による装置の作用について説
明する。第１図を参照されたい。液体加圧ポンプ16によ
りある所定の圧力に連続的に上記加圧された液体PLが、
加圧液体用断続開閉バルブ６（Ｐ）内に流入する。該バ
ルブの“開”時に流出した断続的加圧液体PL1は加圧液
体供給用配管17を通ってディスペンサ１内に入る。そし
て該ディスペンサ内の吐出用断続開閉弁２（Ｄ）の
“開”時には、上記加圧液体はノズル３を通して外部に
吐出される。
明する。第１図を参照されたい。液体加圧ポンプ16によ
りある所定の圧力に連続的に上記加圧された液体PLが、
加圧液体用断続開閉バルブ６（Ｐ）内に流入する。該バ
ルブの“開”時に流出した断続的加圧液体PL1は加圧液
体供給用配管17を通ってディスペンサ１内に入る。そし
て該ディスペンサ内の吐出用断続開閉弁２（Ｄ）の
“開”時には、上記加圧液体はノズル３を通して外部に
吐出される。
以上の吐出系統上の二箇の開閉バルブの“開”時間を
それぞれ30msとし、かつそれらの時機をずらして1msだ
けラップさせると、それらのタイミンググラフは第６図
に示す如くなる。
それぞれ30msとし、かつそれらの時機をずらして1msだ
けラップさせると、それらのタイミンググラフは第６図
に示す如くなる。
前述したように、二箇の開閉バルブがシリーズに配置
された系統路上においては、加圧液体はそれらの“開”
のラップされた時間のみしか液体は吐出しない。よっ
て、ラップ時間L1即ち1msの間だけ液体は吐出されるの
である。
された系統路上においては、加圧液体はそれらの“開”
のラップされた時間のみしか液体は吐出しない。よっ
て、ラップ時間L1即ち1msの間だけ液体は吐出されるの
である。
ただし、実際上次の如き問題が発生する。再び第１図
を参照されたい。ラップした1msの時間後は、加圧液体
断続開閉弁７は閉鎖されている。ただし同系路上の吐出
用断続開閉弁２は開放されているので、前者の弁と後者
の弁との間の配管17内の液体の圧力は残留圧となって残
る。そして、それが常圧になるまで後者の弁より外部に
吐出される。即ち、前記したラップ時間1ms後も若干の
液体が吐出するのである（第６図の液体吐出の仮想
線）。これは精密な微量吐出にとっては好ましくない。
これを防止するには上記の発生した残留圧を除去すれば
よい。そのためには上記加圧液体供給用配管17の途上に
バイパス配管を設けて圧抜きをさせてやればよいのであ
る。即ち該配管17上の分岐管18より圧抜き用配管19を通
し、圧抜き用断続開閉バルブ11内の弁の“開”を通って
大気中に上記残留圧の液体を開放せしめるのである。
を参照されたい。ラップした1msの時間後は、加圧液体
断続開閉弁７は閉鎖されている。ただし同系路上の吐出
用断続開閉弁２は開放されているので、前者の弁と後者
の弁との間の配管17内の液体の圧力は残留圧となって残
る。そして、それが常圧になるまで後者の弁より外部に
吐出される。即ち、前記したラップ時間1ms後も若干の
液体が吐出するのである（第６図の液体吐出の仮想
線）。これは精密な微量吐出にとっては好ましくない。
これを防止するには上記の発生した残留圧を除去すれば
よい。そのためには上記加圧液体供給用配管17の途上に
バイパス配管を設けて圧抜きをさせてやればよいのであ
る。即ち該配管17上の分岐管18より圧抜き用配管19を通
し、圧抜き用断続開閉バルブ11内の弁の“開”を通って
大気中に上記残留圧の液体を開放せしめるのである。
なお、上述の残留圧の発生は、実際上の配管抵抗の僅
少なること、又は液体の特性上、また吐出条件上などか
ら問題のないことがある。その場合には上述の圧抜き用
断続開閉バルブは取除かれても差支えない。
少なること、又は液体の特性上、また吐出条件上などか
ら問題のないことがある。その場合には上述の圧抜き用
断続開閉バルブは取除かれても差支えない。
上述の如く、二箇の断続開閉バルブの開放をシリーズ
に、かつ微量精密に作動せしめることは比較的容易であ
る。たとえ、断続開閉バルブの開閉の作動が電気信号発
信の時機よりも遅れたとしても、複数箇シリーズであれ
ば、それらの遅延の時間を予め見込んでタイマに時間設
定すればよいからである。従って、従来のソレノイドバ
ルブでも1msの吐出時間が得られるのである。本発明者
は本実験において、最も応答速度の早い、本出願人によ
って出願された特許願（特開昭63−100970号公報）によ
る微量精密液体吐出用ディスペンサを使用し、0.5msに
おける微量吐出を得ることもできた。
に、かつ微量精密に作動せしめることは比較的容易であ
る。たとえ、断続開閉バルブの開閉の作動が電気信号発
信の時機よりも遅れたとしても、複数箇シリーズであれ
ば、それらの遅延の時間を予め見込んでタイマに時間設
定すればよいからである。従って、従来のソレノイドバ
ルブでも1msの吐出時間が得られるのである。本発明者
は本実験において、最も応答速度の早い、本出願人によ
って出願された特許願（特開昭63−100970号公報）によ
る微量精密液体吐出用ディスペンサを使用し、0.5msに
おける微量吐出を得ることもできた。
その1. 前記した本発明の方法に基く装置の基本構造は、その
まま実施装置として適用される。第１図ご参照された
い。説明は前述と同様につき省略する。
まま実施装置として適用される。第１図ご参照された
い。説明は前述と同様につき省略する。
その2. 上例その1.における即ち第１図上の加圧液体用断続開
閉バルブ６と圧抜き用断続開閉バルブ11との二箇のバル
ブを一体化とした三方口切換断続開閉バルブ26を組込ん
だものであって、第２図に示す通りである。即ち上例そ
の1.における第１図の加圧液体用断続開閉弁７は、本例
第２図における27に、また圧抜き用断続開閉バルブ12は
28に相当するものである。その他はその1.と同様であ
る。作用も同様につき説明は省略する。
閉バルブ６と圧抜き用断続開閉バルブ11との二箇のバル
ブを一体化とした三方口切換断続開閉バルブ26を組込ん
だものであって、第２図に示す通りである。即ち上例そ
の1.における第１図の加圧液体用断続開閉弁７は、本例
第２図における27に、また圧抜き用断続開閉バルブ12は
28に相当するものである。その他はその1.と同様であ
る。作用も同様につき説明は省略する。
その3. 前記その1.又はその2.における液体加圧ポンプ16,36
及び液体タンク13,33の代わりに、エア式加圧タンク51
を設けたものであり、第３図に示す通りである。同タン
クはプレッシャポットとも言われている。即ち密閉タン
ク内に入れられた液体の上面にエア圧をかけ、その圧力
をもって液体をタンク外にサイフォン式に圧送する方式
である。この場合、エア圧は連続的にかけられるので、
圧送される液体も常時一定加圧である。
及び液体タンク13,33の代わりに、エア式加圧タンク51
を設けたものであり、第３図に示す通りである。同タン
クはプレッシャポットとも言われている。即ち密閉タン
ク内に入れられた液体の上面にエア圧をかけ、その圧力
をもって液体をタンク外にサイフォン式に圧送する方式
である。この場合、エア圧は連続的にかけられるので、
圧送される液体も常時一定加圧である。
その4. 上記その3.において、加圧タンク内に連続的に供給さ
れるエア式CA2を、断続開閉バルブ74により、断続的と
する（CA3）もので、第４図に示す通りである。よって
圧送される加圧液体PL6も断続的となってディスペンサ6
1内に供給することができる。従って、上記各実施例に
おいて使用される加圧液体断続開閉バルブは不要とな
る。ただし圧抜き用断続開閉バルブ66は設ける。しかし
また前述したように、諸条件により上記圧抜き用断続開
閉バルブを取除いても差支えない場合もある。その系統
図を第５図に示す。
れるエア式CA2を、断続開閉バルブ74により、断続的と
する（CA3）もので、第４図に示す通りである。よって
圧送される加圧液体PL6も断続的となってディスペンサ6
1内に供給することができる。従って、上記各実施例に
おいて使用される加圧液体断続開閉バルブは不要とな
る。ただし圧抜き用断続開閉バルブ66は設ける。しかし
また前述したように、諸条件により上記圧抜き用断続開
閉バルブを取除いても差支えない場合もある。その系統
図を第５図に示す。
その5. 上記各実施例における各断続開閉バルブを操作するソ
レノイド式をエア式としたものである。たゞし前述した
ようにエア式の断続開閉バルブは、その開閉作動におい
て、ソレノイド式のそれよりも、電気信号に対する応答
速度が遅い。
レノイド式をエア式としたものである。たゞし前述した
ようにエア式の断続開閉バルブは、その開閉作動におい
て、ソレノイド式のそれよりも、電気信号に対する応答
速度が遅い。
本発明の方法と装置によれば、ディスペンサによる液
体の吐出時間を一桁のミリセコンドに短縮化することが
できるものであって、最近とみに需要の高まってきた液
体の微量精密吐出作業に対して十分に寄与できるもので
ある。
体の吐出時間を一桁のミリセコンドに短縮化することが
できるものであって、最近とみに需要の高まってきた液
体の微量精密吐出作業に対して十分に寄与できるもので
ある。
第１図は本発明による方法説明図とその装置の基本構成
系統図第２図は本発明による実施例その2.における構成
系統図 第３図は同じく実施例その3.における構成系統
図 第４図は同じく実施例その4.における構成系統図
第５図は同上において圧抜き用バルブを除去した構成系
統図 第６図は本発明による基本構成系統図における各
断続開閉バルブの断続開閉タイミングと液体吐出のグラ
フ 第７図は従来のディスペンサにおける構成系統図第
８図は従来のエア圧式ディスペンサを使用した系統図 主要な符号の説明 １……ディスペンサ、２……吐出用断続開閉弁、5,10,1
5……ソレノイド、６……加圧液体用断続開閉バルブ、
７……加圧液体用断続開閉弁、８……加圧液体用断続開
閉バルブ流出口、９……仝上流入口、11……圧抜き用断
続開閉バルブ、12……圧抜き用断続開閉弁、14……加圧
液体供給用配管、16……液体加圧ポンプ、17……断続加
圧液体用配管、18……分岐管、19……圧抜き用配管、20
……タイマ、26……三方口切換断続開閉バルブ、51……
エア式加圧タンク、71……エア式断続加圧タンク、74…
…エア三方切換断続開閉バルブ、Ｌ……常圧の液体、P1
……加圧液体断続開閉弁の“開”時間、D1……ディスペ
ンサ内の吐出用断続開閉弁の“開”時間、L1……上記両
断続開閉弁の“開”のラップ時間、PL1……断続加圧液
体、R1……圧抜きバルブの“開”時間、Ｔ……液体の吐
出
系統図第２図は本発明による実施例その2.における構成
系統図 第３図は同じく実施例その3.における構成系統
図 第４図は同じく実施例その4.における構成系統図
第５図は同上において圧抜き用バルブを除去した構成系
統図 第６図は本発明による基本構成系統図における各
断続開閉バルブの断続開閉タイミングと液体吐出のグラ
フ 第７図は従来のディスペンサにおける構成系統図第
８図は従来のエア圧式ディスペンサを使用した系統図 主要な符号の説明 １……ディスペンサ、２……吐出用断続開閉弁、5,10,1
5……ソレノイド、６……加圧液体用断続開閉バルブ、
７……加圧液体用断続開閉弁、８……加圧液体用断続開
閉バルブ流出口、９……仝上流入口、11……圧抜き用断
続開閉バルブ、12……圧抜き用断続開閉弁、14……加圧
液体供給用配管、16……液体加圧ポンプ、17……断続加
圧液体用配管、18……分岐管、19……圧抜き用配管、20
……タイマ、26……三方口切換断続開閉バルブ、51……
エア式加圧タンク、71……エア式断続加圧タンク、74…
…エア三方切換断続開閉バルブ、Ｌ……常圧の液体、P1
……加圧液体断続開閉弁の“開”時間、D1……ディスペ
ンサ内の吐出用断続開閉弁の“開”時間、L1……上記両
断続開閉弁の“開”のラップ時間、PL1……断続加圧液
体、R1……圧抜きバルブの“開”時間、Ｔ……液体の吐
出
Claims (2)
- 【請求項１】加圧液体用開閉バルブ（６）の作動によっ
て断続的に供給される加圧液体（PL1）を、吐出用断続
開閉弁（２）を有する微量液体吐出用のディスペンサ
（１）内に導入し、前記加圧液体用開閉バルブ（６）の
開時期（P1）と、前記吐出用断続開閉弁（２）の開時期
（D1）とをラップさせた時間（L1）のみ前記加圧液体
（PL）が微量液体吐出用のディスペンサ（１）から吐出
されることを特徴とする、液体の微量精密吐出調整方
法。 - 【請求項２】吐出用断続開閉弁（２）を内蔵する微量液
体吐出用のディスペンサ（１）を、加圧液体供給配管
（17）を介して加圧液体用開閉バルブ（６）の流出口
（８）に、また該加圧液体用開閉バルブ（６）の流入口
（９）を加圧液体供給用配管（14）を介して液体ポンプ
（16）に接続し、かつまた上記加圧液体供給配管（17）
を分岐して圧抜き用配管（19）を介して圧抜き用断続開
閉バルブ（11）に接続し、更にまた、上記ディスペンサ
（１）内の吐出用断続開閉弁（２）、加圧液体用開閉バ
ルブ（６）及び圧抜き用断続開閉バルブ（11）のそれぞ
れの操作用ソレノイドコイル（5,10,15）がタイマ（2
0）に接続されていることを特徴とする液体の微量精密
吐出調整装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23585186A JPH0811207B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 液体の微量精密吐出調整方法とその装置 |
| PCT/JP1987/000732 WO1988002281A1 (en) | 1986-10-03 | 1987-10-02 | Method and apparatus for precisely discharging small quantities of liquid |
| AU80734/87A AU8073487A (en) | 1986-10-03 | 1987-10-02 | Method and apparatus for precisely discharging small quantities of liquid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23585186A JPH0811207B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 液体の微量精密吐出調整方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6391164A JPS6391164A (ja) | 1988-04-21 |
| JPH0811207B2 true JPH0811207B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=16992195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23585186A Expired - Lifetime JPH0811207B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 液体の微量精密吐出調整方法とその装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811207B2 (ja) |
| AU (1) | AU8073487A (ja) |
| WO (1) | WO1988002281A1 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5139665B2 (ja) * | 1972-08-09 | 1976-10-29 | ||
| JPS6062121A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-10 | Nec Corp | フオトレジスト吐出装置 |
| JPS6178457A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-22 | Nippon Gurei Kk | 流体供給装置 |
-
1986
- 1986-10-03 JP JP23585186A patent/JPH0811207B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-10-02 WO PCT/JP1987/000732 patent/WO1988002281A1/ja unknown
- 1987-10-02 AU AU80734/87A patent/AU8073487A/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6391164A (ja) | 1988-04-21 |
| WO1988002281A1 (en) | 1988-04-07 |
| AU8073487A (en) | 1988-04-21 |
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Legal Events
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