JPH0811185A - ロール表面の洗浄装置 - Google Patents

ロール表面の洗浄装置

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JPH0811185A
JPH0811185A JP6151856A JP15185694A JPH0811185A JP H0811185 A JPH0811185 A JP H0811185A JP 6151856 A JP6151856 A JP 6151856A JP 15185694 A JP15185694 A JP 15185694A JP H0811185 A JPH0811185 A JP H0811185A
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達史 世古
Shuichi Adachi
秀一 安達
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 滓や埃をスリットノズルによってロール面か
ら吹き離し、これと紫外線ランプにより分解した滓や埃
とを吸い込んで取り除くことにより、紫外線ランプが汚
れることのないロール表面洗浄装置の提供。 【構成】 紫外線ランプ16及びその囲い17と、同囲
い17のロール13の回動方向の前後に設けられ、高速
のエアをロール表面に吹き付ける1対のスリットノズル
24と、同スリットノズル24と空気配管で連結された
清浄エア源及び加圧ブロワー29と、前記紫外線ランプ
16の囲い及び前記1対のスリットノズル24を纏めて
収納し、スカート部が前記ロール13と近接しているチ
ャンバー18と、同チャンバー18内の空気を吸い出し
て排出する排気ブロワー19及び配管とから構成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は熱可塑性樹脂フィルムの
製造又は加工のとき使用されるロールの表面に付着する
フィルム屑等の有機物を除去するロール表面洗浄装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】金属製部品やガラス、磁器等の表面を紫
外線で照射し、有機付着物を無水洗浄する方法は、従来
より半導体製品等の精密部品の洗浄手段として利用され
てきている。紫外線による洗浄の特性は、波長365nm
以下の紫外線による有機物の光分解効果と、波長240
nm以下の紫外線による酸素(O2 )よりのオゾン
(O3 )の生成と、更に波長240nm以上の紫外線のオ
ゾン分解作用に伴う原子状酸素の発生(O3 =O2
O)とによる付着物の酸化、分解、ガス化作用の相乗効
果である。このような波長の紫外線の発生源としては、
低圧水銀灯(波長253.7nm及び184.9nm)が最
も適しているが、この低圧水銀灯の表面は常に清浄に保
つ必要がある。
【0003】このような紫外線洗浄方法を熱可塑性樹脂
フィルムの製造又は加工装置のフィルム加工用ロールの
洗浄に応用した例として、特公平3−65775号公報
で提案されているロールの付着物除去方法を図3により
説明する。図3はポリエチレンテフレフタレート又はこ
れを主成分としたポリエステル樹脂を熔融し、これをシ
ート状に押出して固化する冷却ロールに適用した例であ
る。図において1は熔融樹脂を吐出する口金、2はこれ
により押出されたシート状樹脂である。このシート状樹
脂2は冷却ドラム3により冷却固化され、引取りロール
4を経て次工程に移送される。また冷却ロール3の内部
には通常冷却水が通水されていて、シート状樹脂が十分
冷却されるように設計されている。5は付着除去装置
で、冷却ロール3に付着する有機物を連続的に除去する
ものである。
【0004】図4は前記付着除去物装置5の詳細図を示
し、6は紫外線を発生するためのランプ、7は紫外線に
より発生するオゾンが拡散し、この効果が低下しないた
めの囲いである。オゾンは人体に有害であるので、前記
装置5全体をチャンバー8で覆い、これに吸引ブロワー
9、オゾン分解装置10を接続してオゾンを系外に放出
し、シート状樹脂の製造場所にオゾンが拡散しないよう
配慮することが実用上好ましい。なお、オゾンの拡散防
止方法としては、囲い7の内圧を負圧にするとよい。ま
た紫外線を発生するためのランプとロールの距離は、付
着物を除去する効果において重要であって、短い程好ま
しいが実用上2〜10mm程度が良い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】熱可塑性樹脂フィルム
の製造又は加工装置の成形用ロールの表面には、時間の
経過と共に樹脂の屑や樹脂中の析出物或いは添加物が付
着堆積する現象が見られ、また周囲の環境によっては、
油脂や有機浮遊物が付着することがある。しかし図3及
び図4で説明した従来のロール表面の洗浄方法のよう
な、紫外線によってオゾンを発生させ、ロール表面の付
着物を除去するために、紫外線ランプ6を囲って、吸引
ブロワー9に接続しただけのチャンバー8の構造では、
紫外線ランプ6の囲い7内が埃等で汚染され、この紫外
線ランプ6が汚れることにより紫外線がロール表面の付
着物によく届かなくなり、洗浄能力が低下する。また紫
外線ランプ6の囲い7の周囲を2重に覆ったチャンバー
8からロール表面の滓や埃等を吸引するだけでは、分解
した有機物の一部がロールに着いたままで回動し、シー
ト状樹脂と一緒に巻き込まれるので、シート状樹脂製品
の品質を低下させる欠点があった。本発明は前記従来の
問題を解決しようとするもので、滓や埃をスリットノズ
ルによってロール面から吹き離し、これと紫外線ランプ
により分解した滓や埃とを吸い込んで取り除くことによ
り、紫外線ランプが汚れることのないロール表面洗浄装
置を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、熱可
塑性樹脂フィルムの製造又は加工に用いられる成形用ロ
ールの表面に紫外線を照射すると同時に、オゾンにより
ロール表面に付着する有機物を分解及び酸化せしめるロ
ール表面洗浄装置において、紫外線ランプ及びその囲い
と、同囲いのロール回動方向の前後に設けられ、高速の
エアをロール表面に吹き付ける1対のスリットノズル
と、同スリットノズルと空気配管で連結された清浄エア
源及び加圧ブロワーと、前記紫外線ランプの囲い及び前
記1対のスリットノズルを纏めて収納し、スカート部が
前記ロールと近接しているチャンバーと、同チャンバー
内の空気を吸い出して排出する排気ブロワー及び配管と
から構成され、ロール表面の滓や埃及び紫外線ランプに
より分解された有機物の滓や埃を前記スリットノズルに
よってロール面から吹き離し、これらを前記排気ブロワ
ーによって分解ガスとともに吸い込んで取り除くように
してなるもので、これを課題解決のための手段とするも
のである。
【0007】また本発明は、熱可塑性樹脂フィルムの製
造又は加工に用いられる成形用ロールの表面に紫外線を
照射すると同時に、オゾンによりロール表面に付着する
有機物を分解及び酸化せしめるロール表面洗浄装置にお
いて、紫外線ランプ及びその囲いと、同囲いのロール回
動方向の前側に設けられ、高速のエアをロール表面に吹
き付けるスリットノズルと、同スリットノズルと空気配
管で連結された清浄エア源及び加圧ブロワーと、前記紫
外線ランプの囲い及び前記スリットノズルを纏めて収納
し、スカート部が前記ロールと近接しているチャンバー
と、同チャンバー内の空気を吸い出して排出する排気ブ
ロワー及び配管とから構成され、ロール表面の滓や埃及
び紫外線ランプにより分解された有機物の滓や埃を前記
スリットノズルによってロール面から吹き離し、これら
を前記排気ブロワーによって分解ガスとともに吸い込ん
で取り除くようにしてなるもので、これを課題解決のた
めの手段とするものである。
【0008】更に本発明は、熱可塑性樹脂フィルムの製
造又は加工に用いられる成形用ロールの表面に紫外線を
照射すると同時に、オゾンによりロール表面に付着する
有機物を分解及び酸化せしめるロール表面洗浄装置にお
いて、紫外線ランプ及びその囲いと、同囲いのロール回
動方向の前後に設けられ、高速のエアをロール表面に吹
き付ける1対のスリットノズルと、前記紫外線ランプの
囲い及び前記1対のスリットノズルを纏めて収納し、ス
カート部が前記ロールと近接しているチャンバーと、同
チャンバー内の空気を吸い出して循環させる循環空気配
管及び循環ブロワーとから構成され、ロール表面の滓や
埃及び紫外線ランプにより分解された有機物の滓や埃を
前記スリットノズルによってロール面から吹き離し、こ
れらを前記循環ブロワーによって分解ガスとともに吸い
込んで循環させるようにしてなるものであり、また前記
循環空気配管における循環ブロワーの吸い込み側の配管
に流量調整弁を有する清浄エアの吸い込み管を連結し、
同循環ブロワーの高圧側の配管に流量調整弁を有する排
気管を連結してなるもので、これを課題解決のための手
段とするものである。
【0009】
【作用】本発明は機械設備の運転中に連続的にロールの
表面に紫外線を照射して、有機付着物を化学結合解離さ
せると同時に、空気中の酸素を紫外線によってオゾンに
変換し、更にこのオゾンから発生する活性酸素により、
ロール表面に付着する有機物を分解及び酸化させてガス
化する。これらの廃棄物及びロール表面に付着した滓や
埃を取り除く手段として、紫外線ランプの前後で高速の
清浄エアをスリットノズルからロール表面に吹き付け、
紫外線ランプにより分解された有機物の滓や埃をロール
表面から吹き離してチャンバー内に浮遊させ、分解ガス
と共にチャンバー内の空気を吸い出し排気ブロワーで排
出する。
【0010】この洗浄装置においては常に多量の空気を
チャンバー内に流しているので、紫外線ランプの囲い内
の温度が上昇する虞れはなく、紫外線ランプの紫外線強
度を低下させることはない。また循環空気配管及び循環
ブロワーを配設すればブロワーは1台で済み、スリット
ノズルの吹き出し空気量と吸い込み空気量のバランスが
取り易くなる。循環ブロワーの圧力側を少し逃がすこと
により、チャンバー内の圧力を負圧にして有害オゾンガ
スの漏洩を防止することができる。本発明の付着物除去
装置は連続で作用しているので、時間当たりの付着物除
去量は非常に僅かであり、従って紫外線ランプの囲い内
の有害ガスの発生量も僅かであるため、同ガスはスリッ
トノズルから吹き付ける空気の分流により追い出され、
前記囲い内に紫外線の作用を低下させる程のガス貯溜の
虞れはない。
【0011】
【実施例】以下本発明を図面の実施例について説明する
と、図1及び図2は本発明の第1及び第2実施例を示
す。先ず図1により熱可塑性樹脂フィルムの製造装置の
冷却ロールにロール表面洗浄装置を取付けた第1実施例
について説明する。なお、図1は同装置の側面断面図で
あり、周辺機器をブロック図で示してある。図において
溶融したシート状樹脂12は押出機の口金11からシー
ト状に押し出される。押し出されたシート状樹脂12は
矢印の方向に進み、冷却ロール13に巻き付くことによ
り冷やされて固化し、引取ロール14に移動して後工程
に送られる。15は付着物除去装置で、冷却ロール13
のシート状樹脂12の巻き付いていない表面部分の、冷
却ロール13の円筒面から僅かに離れた位置に、図示し
ない外部固定部材によって固設されている。
【0012】またこの付着物除去装置15は、紫外線ラ
ンプ16及びその囲い17と、同囲い17のロール13
の回動方向の前後部で高速のエアをロール13表面に吹
き付ける1対のスリットノズル24と、前記紫外線ラン
プ16の囲い17及び前記1対のスリットノズル24を
纏めて収納するチャンバー18とにより構成されてい
る。またチャンバー18のスカート部は、前記ロール1
3と近接して設けられている。24はスリットノズル
で、清浄エアの供給源から清浄エアがブロワー29によ
って加圧されて供給されるようになっており、前記チャ
ンバー18はフィルタ22、オゾン分解装置20を経て
排出用ブロワー19に空気配管で結合されている。排出
用ブロワー19の送風容量は、スリットノズル24から
噴出したエアの総量がチャンバー18において回収され
るように設定されている。また23は紫外線ランプ16
の光量を有効に生かすための反射板である。
【0013】次に以上の如く構成された実施例について
作用を説明すると、熱可塑性樹脂フィルムの製造装置の
押出機の口金11から押し出されたシート状樹脂12
は、冷却ロール13において急速に冷却され、同冷却ロ
ール13の表面には、時間の経過とともに樹脂の屑や樹
脂中の析出物或いは添加物が付着堆積する現象が見られ
る。また周囲の環境によっては、油脂や有機浮遊物が付
着することがある。この付着物除去装置15は、機械の
運転中に連続的に冷却ロール13の表面に紫外線を照射
して、同冷却ロール13に対する付着量が未だ僅かなう
ちに有機付着物を化学結合解離させる(低圧水銀灯の有
する波長253.7nmの紫外線が適している)と同時
に、空気中の酸素を紫外線によってオゾンに変換する
(低圧水銀灯の有する波長184.9nmの紫外線が適し
ている)ことにより、冷却ロール13の表面に付着する
有機付着物を分解及び酸化させてガス化し、取除き易く
する。
【0014】またこの付着物除去装置15には、紫外線
ランプ16の囲い17の前後位置に、1対のスリットノ
ズル24が設けられており、このスリットノズル24か
ら冷却ロール13の表面に高速の清浄エアを吹き付ける
ことにより、紫外線の作用で酸化し分解して生じたガス
や、有機物の滓、塵等を冷却ロール13の表面から吹き
離してチャンバー18内に浮遊させ、分解ガスと共にチ
ャンバー18内の空気をブロワー19により吸い出して
取り除くことができる。即ち、これらの廃棄物混合エア
は、フィルタ22において固形物を取り除き、オゾン分
解装置20で残存オゾン(O3 )を酸素(O2 )に換
え、無毒化してブロワー19により外部に放出される。
この付着物除去装置15においては常に空気をチャンバ
ー18内に流しているので、紫外線ランプ16の囲い1
7内の温度が上昇する虞れはなく、紫外線ランプの紫外
線強度を低下させることはない。特に図示しない温調装
置を付け、紫外線ランプの紫外線最大出力最適温度±2
0℃、好ましくは紫外線最大出力最適温度±10℃に保
てば、水銀灯の寿命及び出力は更に向上する。また紫外
線ランプの効率を落とさない適量の清浄エア又はオゾン
を囲い17の中に供給しながら、排出用ブロワー19の
送風容量を清浄エア加圧供給側のブロワー29の送風容
量より大きく設定しておけば、付着物除去装置15のチ
ャンバー18内は常に負圧になっているので、回りの隙
間から有毒なオゾンが洩れる虞れはない。なお、本実施
例ではスリットノズル24から噴射したエアを受けるチ
ャンバーと、紫外線ランプの囲い17の回りのチャンバ
ーを同一としたが、スリットノズル24から出るラチエ
ットからの埃の影響を紫外線ランプが受けにくくする為
に、別個に設けても良いことは云うまでもない。しかし
コスト的には囲い17と、スリットノズル24からの空
気を受けるチャンバーは同一にした方が得策である。
【0015】次に図2により本発明の第2実施例につい
て説明すると、図2は周辺機器をブロック図で示したも
のである。この図2では図1のスリットノズル24から
吹き付けるエアを循環させるように、図1の空気供給ブ
ロワー29を廃止し、配管を循環空気配管としその中間
に循環ブロワー19′を配設したものである。なお、図
2において押出機の口金11から引取ロール14までの
構成及び付着物除去装置15の構造作用は、図1の第1
実施例と全く同じであるため、それらの説明は省略す
る。また図2において、22はフィルタであり、同フィ
ルタ22とブロワー19′間の配管に連結された配管2
6からは清浄エアが供給されるようになっている。25
は配管26上に設けられた清浄エアの供給量を調整する
流量調整弁である。またブロワー19′の高圧側の配管
に連結された配管27は排気用であり、同配管27には
排気量を調整する流量調整弁25′と、オゾン分解装置
20が設けられている。
【0016】次に以上の如く構成された図2の第2実施
例について作用を説明すると、循環空気配管及び1個の
循環ブロワー19′を配設したことにより、スリットノ
ズル24の吹き出し空気量とチャンバー18からの吸い
込み空気量のバランスが取り易くなる。また循環ブロワ
ー19′の高圧側に連結された配管27の流量調整弁2
5′を調整してエアを少し逃がすことにより、チャンバ
ー18内の圧力を負圧にして有害オゾンガスの漏洩を防
止することができる。また高圧側に連結された配管27
にはオゾン分解装置20が設けてあり、ここから逃がす
エア中の残存オゾンを分解して無毒化する。供給エアの
不足分はチャンバー18とロール13との隙間より外部
の空気が入ってくるが、低圧側に連結された配管26の
流量調整弁25′を調整して清浄エアを補給してもよ
い。この図2の付着物除去装置15は連続で作用してい
るので、時間当たりの付着物除去量は非常に僅かであ
り、従って紫外線ランプ16の囲い17内の有害ガスの
発生量も僅かであるため、有害ガスがスリットノズル2
4から吹き付ける空気の分流により追い出され、前記囲
い17内に紫外線の作用を低下させる程のガス貯溜の虞
れはないが、図1の実施例と同様に囲い17内に適量の
エア又はオゾンを供給してもよいことは云うまでのな
い。
【0017】
【発明の効果】以上詳細に説明した如く本発明によれ
ば、紫外線ランプの前後でロール表面の滓や埃をロール
表面から吹き離し、このロール表面から吹き離した滓や
埃及び分解された滓や埃の全量をブロワーによって吸引
するため、紫外線囲いの中にもエアが分流し、紫外線ラ
ンプが汚れない。また吹き出しの大量のエアを、全量吸
引回収するため周囲に汚染或いは有害ガスを振り撒くよ
うなことはなく、環境を損ずるようなことはない。また
ブラシ等の固体と直接に接することがないので、ロール
表面を傷めるような虞れも全くない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るロール表面洗浄装置
を取付けたフィルム製造装置の系統図である。
【図2】本発明の第2実施例に係るロール表面洗浄装置
を取付けたフィルム製造装置の系統図である。
【図3】従来のロール表面洗浄装置を示す側面図であ
る。
【図4】図3の付着物除去手段の詳細を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
11 口金 12 シート状樹脂 13 冷却ロール 14 引取ロール 15 付着物除去装置 16 紫外線ランプ 17 囲い 18 チャンバー 19 ブロワー 19′ 循環ブロワー 20 オゾン分解装置 22 フィルタ 23 反射板 24 スリットノズル 25,25′ 流量調整弁 26,27 配管 29 ブロワー

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 熱可塑性樹脂フィルムの製造又は加工に
    用いられる成形用ロールの表面に紫外線を照射すると同
    時に、オゾンによりロール表面に付着する有機物を分解
    及び酸化せしめるロール表面洗浄装置において、紫外線
    ランプ及びその囲いと、同囲いのロール回動方向の前後
    に設けられ、高速のエアをロール表面に吹き付ける1対
    のスリットノズルと、同スリットノズルと空気配管で連
    結された清浄エア源及び加圧ブロワーと、前記紫外線ラ
    ンプの囲い及び前記1対のスリットノズルを纏めて収納
    し、スカート部が前記ロールと近接しているチャンバー
    と、同チャンバー内の空気を吸い出して排出する排気ブ
    ロワー及び配管とから構成され、ロール表面の滓や埃及
    び紫外線ランプにより分解された有機物の滓や埃を前記
    スリットノズルによってロール面から吹き離し、これら
    を前記排気ブロワーによって分解ガスとともに吸い込ん
    で取り除くことを特徴とするロール表面洗浄装置。
  2. 【請求項2】 熱可塑性樹脂フィルムの製造又は加工に
    用いられる成形用ロールの表面に紫外線を照射すると同
    時に、オゾンによりロール表面に付着する有機物を分解
    及び酸化せしめるロール表面洗浄装置において、紫外線
    ランプ及びその囲いと、同囲いのロール回動方向の前側
    に設けられ、高速のエアをロール表面に吹き付けるスリ
    ットノズルと、同スリットノズルと空気配管で連結され
    た清浄エア源及び加圧ブロワーと、前記紫外線ランプの
    囲い及び前記スリットノズルを纏めて収納し、スカート
    部が前記ロールと近接しているチャンバーと、同チャン
    バー内の空気を吸い出して排出する排気ブロワー及び配
    管とから構成され、ロール表面の滓や埃及び紫外線ラン
    プにより分解された有機物の滓や埃を前記スリットノズ
    ルによってロール面から吹き離し、これらを前記排気ブ
    ロワーによって分解ガスとともに吸い込んで取り除くこ
    とを特徴とするロール表面洗浄装置。
  3. 【請求項3】 熱可塑性樹脂フィルムの製造又は加工に
    用いられる成形用ロールの表面に紫外線を照射すると同
    時に、オゾンによりロール表面に付着する有機物を分解
    及び酸化せしめるロール表面洗浄装置において、紫外線
    ランプ及びその囲いと、同囲いのロール回動方向の前後
    に設けられ、高速のエアをロール表面に吹き付ける1対
    のスリットノズルと、前記紫外線ランプの囲い及び前記
    1対のスリットノズルを纏めて収納し、スカート部が前
    記ロールと近接しているチャンバーと、同チャンバー内
    の空気を吸い出して循環させる循環空気配管及び循環ブ
    ロワーとから構成され、ロール表面の滓や埃及び紫外線
    ランプにより分解された有機物の滓や埃を前記スリット
    ノズルによってロール面から吹き離し、これらを前記循
    環ブロワーによって分解ガスとともに吸い込んで循環さ
    せることを特徴とするロール表面洗浄装置。
  4. 【請求項4】 前記循環空気配管における循環ブロワー
    の吸い込み側の配管に流量調整弁を有する清浄エアの吸
    い込み管を連結し、同循環ブロワーの高圧側の配管に流
    量調整弁を有する排気管を連結してなることを特徴とす
    る請求項3記載のロール表面洗浄装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6140659A (en) * 1997-05-16 2000-10-31 Nec Corporation Method and apparatus for removing residual dirt adhered on dies
WO2009063694A1 (ja) * 2007-11-16 2009-05-22 Konica Minolta Opto, Inc. セルロースエステルフィルムの製造方法およびセルロースエステルフィルム
CN108816954A (zh) * 2018-06-29 2018-11-16 温州市职业中等专业学校 机械设备防尘系统
CN110877039A (zh) * 2019-12-13 2020-03-13 江苏宏宝锻造股份有限公司 一种应用于辊的异物剥离设备及异物剥离方法
JP2021011026A (ja) * 2019-07-03 2021-02-04 横浜ゴム株式会社 加硫用モールドの洗浄方法および装置並びにタイヤの製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6140659A (en) * 1997-05-16 2000-10-31 Nec Corporation Method and apparatus for removing residual dirt adhered on dies
WO2009063694A1 (ja) * 2007-11-16 2009-05-22 Konica Minolta Opto, Inc. セルロースエステルフィルムの製造方法およびセルロースエステルフィルム
CN108816954A (zh) * 2018-06-29 2018-11-16 温州市职业中等专业学校 机械设备防尘系统
JP2021011026A (ja) * 2019-07-03 2021-02-04 横浜ゴム株式会社 加硫用モールドの洗浄方法および装置並びにタイヤの製造方法
CN110877039A (zh) * 2019-12-13 2020-03-13 江苏宏宝锻造股份有限公司 一种应用于辊的异物剥离设备及异物剥离方法
CN110877039B (zh) * 2019-12-13 2023-10-27 江苏宏宝锻造股份有限公司 一种应用于辊的异物剥离设备及异物剥离方法

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