JPH0798867A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0798867A JPH0798867A JP24467993A JP24467993A JPH0798867A JP H0798867 A JPH0798867 A JP H0798867A JP 24467993 A JP24467993 A JP 24467993A JP 24467993 A JP24467993 A JP 24467993A JP H0798867 A JPH0798867 A JP H0798867A
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- Japan
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- cooling
- vapor
- deposited
- shielding means
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 帯電を効果的に防止できる磁気記録媒体の製
造装置を提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行
装置と、被蒸着材下方のルツボと、該ルツボの磁性材料
に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、
蒸着領域を規制する遮蔽手段とを含み、前記走行装置
は、冷却キャンを含み、前記遮蔽手段は、ローラマスク
を含む磁気記録媒体の製造装置において、前記製造装置
は、冷却キャン、及びローラマスクを含む遮蔽手段を順
次経由して配設され冷却媒体を直列に流す流路手段を具
備し、前記冷却媒体は導電性の良いものからなることを
特徴とする。
造装置を提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行
装置と、被蒸着材下方のルツボと、該ルツボの磁性材料
に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と、
蒸着領域を規制する遮蔽手段とを含み、前記走行装置
は、冷却キャンを含み、前記遮蔽手段は、ローラマスク
を含む磁気記録媒体の製造装置において、前記製造装置
は、冷却キャン、及びローラマスクを含む遮蔽手段を順
次経由して配設され冷却媒体を直列に流す流路手段を具
備し、前記冷却媒体は導電性の良いものからなることを
特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関する。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、図３に示すものがある。この製造装置は、真空容
器２０と、この真空容器２０内に配設され一連の被蒸着
材２１を走行させる走行装置２２と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボ２３と、この
ルツボの磁性材料２４に電子ビームを照射するための電
子ビーム発生装置２５と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材
に対する蒸着領域を規制する遮蔽手段２６とを含み、前
記走行装置は、被蒸着材に当接してこれを冷却する冷却
キャン２７を含み、前記遮蔽手段は、磁性材料蒸気の被
蒸着材両側に対する蒸着を規制するローラマスク２８を
含んでいる。そして、ルツボの融解槽内の磁性材料に電
子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照
射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に
蒸着していた。
して、図３に示すものがある。この製造装置は、真空容
器２０と、この真空容器２０内に配設され一連の被蒸着
材２１を走行させる走行装置２２と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボ２３と、この
ルツボの磁性材料２４に電子ビームを照射するための電
子ビーム発生装置２５と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材
に対する蒸着領域を規制する遮蔽手段２６とを含み、前
記走行装置は、被蒸着材に当接してこれを冷却する冷却
キャン２７を含み、前記遮蔽手段は、磁性材料蒸気の被
蒸着材両側に対する蒸着を規制するローラマスク２８を
含んでいる。そして、ルツボの融解槽内の磁性材料に電
子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照
射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に
蒸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】電子ビーム発生装置を
用いた蒸着では、加速電圧で電子をとばすため、冷却キ
ャン、遮蔽手段などが帯電してしまう。また、被蒸着材
表面の改質を行なうためにボンバード処理装置２９によ
りボンバード処理を行なう際、この放電が漏れてやはり
冷却キャン、遮蔽手段などが帯電してしまう。このよう
な状態で被蒸着材がローラマスク２８を通過するとき、
被蒸着材２１とローラマスク２８との間で異常放電が起
こり、そのため被蒸着材が損傷を受けることがある。ま
た、この帯電は、磁性材料の被蒸着材への蒸着を不安定
なものとし、その結果良質の磁気記録媒体を得ることが
困難となる。
用いた蒸着では、加速電圧で電子をとばすため、冷却キ
ャン、遮蔽手段などが帯電してしまう。また、被蒸着材
表面の改質を行なうためにボンバード処理装置２９によ
りボンバード処理を行なう際、この放電が漏れてやはり
冷却キャン、遮蔽手段などが帯電してしまう。このよう
な状態で被蒸着材がローラマスク２８を通過するとき、
被蒸着材２１とローラマスク２８との間で異常放電が起
こり、そのため被蒸着材が損傷を受けることがある。ま
た、この帯電は、磁性材料の被蒸着材への蒸着を不安定
なものとし、その結果良質の磁気記録媒体を得ることが
困難となる。
【０００４】冷却キャンを含むロール類はアースされて
いるが、回転体のためグリースなどが使用されており、
完全とはいえない。また、ローラマスクを含む遮蔽手段
にもアースがされているが、蒸着粒子が遮蔽手段に堆積
すると、導電率が低下し、そのためアース効果が低減さ
れてしまう。
いるが、回転体のためグリースなどが使用されており、
完全とはいえない。また、ローラマスクを含む遮蔽手段
にもアースがされているが、蒸着粒子が遮蔽手段に堆積
すると、導電率が低下し、そのためアース効果が低減さ
れてしまう。
【０００５】よって、本発明は、このような従来技術の
有する問題点を解消する新規な磁気記録媒体の製造装置
を提供することを目的とする。
有する問題点を解消する新規な磁気記録媒体の製造装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含み、前記走行装置は、被蒸
着材に当接してこれを冷却する冷却キャンを含み、前記
遮蔽手段は、磁性材料蒸気の被蒸着材両側に対する蒸着
を規制するローラマスクを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記製造装置は、冷却キャン、及びローラマ
スクを含む遮蔽手段を順次経由して配設され冷却媒体を
直列に流す流路手段を具備し、前記冷却媒体は導電性の
良いものからなることを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含み、前記走行装置は、被蒸
着材に当接してこれを冷却する冷却キャンを含み、前記
遮蔽手段は、磁性材料蒸気の被蒸着材両側に対する蒸着
を規制するローラマスクを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記製造装置は、冷却キャン、及びローラマ
スクを含む遮蔽手段を順次経由して配設され冷却媒体を
直列に流す流路手段を具備し、前記冷却媒体は導電性の
良いものからなることを特徴とする。
【０００７】本発明装置は流路手段を具備し、この流路
手段は、冷却キャン、及びローラマスクを含む遮蔽手段
を順次経由して配設され冷却媒体を直列に流す。また、
冷却媒体は導電性の良いものからなるものである。
手段は、冷却キャン、及びローラマスクを含む遮蔽手段
を順次経由して配設され冷却媒体を直列に流す。また、
冷却媒体は導電性の良いものからなるものである。
【０００８】本発明によれば、導電性の良い冷却媒体、
例えば食塩水、バッテリ液などを冷却キャン→遮蔽手段
の順に流す。これにより、冷却キャン及び遮蔽手段の冷
却を果すと同時に、冷却キャンと遮蔽手段を同電位に保
つ。本発明の流路構成は、冷却キャンと遮蔽手段に帯電
した電子を早く逃すように作用する。
例えば食塩水、バッテリ液などを冷却キャン→遮蔽手段
の順に流す。これにより、冷却キャン及び遮蔽手段の冷
却を果すと同時に、冷却キャンと遮蔽手段を同電位に保
つ。本発明の流路構成は、冷却キャンと遮蔽手段に帯電
した電子を早く逃すように作用する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１０】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、電子ビーム発生装置４と、そして
遮蔽手段１５とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口１９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容
器１内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５
を走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そしてテープ
５に当接してテープの案内と冷却を果す冷却キャン８か
らなっている。ルツボ３は、冷却キャン８下方の所定位
置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成
され、１４００℃〜１５００℃の高温に耐えられるよう
になっている。またこのルツボ３は、融解槽９を備え、
この融解槽９内に磁性金属１０を収容している。電子ビ
ーム発生装置４は電子銃１６を備え、この電子銃１６か
ら電子ビームを発射し、この電子ビームを融解槽９内の
磁性金属１０に照射するようになっている。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、電子ビーム発生装置４と、そして
遮蔽手段１５とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口１９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容
器１内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５
を走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そしてテープ
５に当接してテープの案内と冷却を果す冷却キャン８か
らなっている。ルツボ３は、冷却キャン８下方の所定位
置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成
され、１４００℃〜１５００℃の高温に耐えられるよう
になっている。またこのルツボ３は、融解槽９を備え、
この融解槽９内に磁性金属１０を収容している。電子ビ
ーム発生装置４は電子銃１６を備え、この電子銃１６か
ら電子ビームを発射し、この電子ビームを融解槽９内の
磁性金属１０に照射するようになっている。
【００１１】遮蔽手段１５は、図２に示すように、テー
プ５の両側に耳を形成するべく、テープ両端部を僅かに
覆ってテープ両側に配置される耳付け遮蔽板、すなわち
ローラマスク１２と、先端がほぼ冷却キャン８の真下に
位置し、冷却キャン８とルツボ３の間に水平に配置され
る遮蔽板１３からなっている。ローラマスク１２は、ほ
ぼ、冷却キャン８の真横より冷却キャン８の真下まで冷
却キャン８に沿って延びている。このローラマスク１２
により覆われるテープ５の両端部は、蒸着が行なわれな
い。また、遮蔽板１３は、磁性金属蒸気がテープ５に蒸
着する領域を図１における冷却キャン８の右半分に規制
している。
プ５の両側に耳を形成するべく、テープ両端部を僅かに
覆ってテープ両側に配置される耳付け遮蔽板、すなわち
ローラマスク１２と、先端がほぼ冷却キャン８の真下に
位置し、冷却キャン８とルツボ３の間に水平に配置され
る遮蔽板１３からなっている。ローラマスク１２は、ほ
ぼ、冷却キャン８の真横より冷却キャン８の真下まで冷
却キャン８に沿って延びている。このローラマスク１２
により覆われるテープ５の両端部は、蒸着が行なわれな
い。また、遮蔽板１３は、磁性金属蒸気がテープ５に蒸
着する領域を図１における冷却キャン８の右半分に規制
している。
【００１２】遮蔽板１１は、その一端が冷却キャン８の
側方に接近し、その他端が真空容器１に接して水平に配
置され、蒸発粒子がそれより上方にいかないようにして
いる。
側方に接近し、その他端が真空容器１に接して水平に配
置され、蒸発粒子がそれより上方にいかないようにして
いる。
【００１３】本装置は、流路手段を具備している。この
流路手段は、冷却キャン８、遮蔽板１１、ローラマスク
１２、及び遮蔽板１３を順次経由して配設された管１４
よりなっている。この管１４内に冷却媒体、すなわち食
塩水が流れている。冷却キャン８内部に図示しない管路
が配設され、この管路の一端は食塩水供給源（図示せ
ず）に接続され、またこの管路の他端は遮蔽板１１に当
接して配設される管路１４ａの一端に接続されている。
管路１４ａの他端は、ローラマスク１２に当接して配設
される管路１４ｂの一端に接続され、この管路１４ｂの
他端は、遮蔽板１３に当接して配設される管路１４ｃの
一端に接続されている。更に、管路１４ｃの他端は食塩
水供給源に接続され、このようにして管路１４により一
循環系が構成されている。この一循環系に熱交換手段が
配設され、冷却ずみの食塩水に対し熱交換を行なうよう
になっている。また、この循環系にはアースがされてい
る。
流路手段は、冷却キャン８、遮蔽板１１、ローラマスク
１２、及び遮蔽板１３を順次経由して配設された管１４
よりなっている。この管１４内に冷却媒体、すなわち食
塩水が流れている。冷却キャン８内部に図示しない管路
が配設され、この管路の一端は食塩水供給源（図示せ
ず）に接続され、またこの管路の他端は遮蔽板１１に当
接して配設される管路１４ａの一端に接続されている。
管路１４ａの他端は、ローラマスク１２に当接して配設
される管路１４ｂの一端に接続され、この管路１４ｂの
他端は、遮蔽板１３に当接して配設される管路１４ｃの
一端に接続されている。更に、管路１４ｃの他端は食塩
水供給源に接続され、このようにして管路１４により一
循環系が構成されている。この一循環系に熱交換手段が
配設され、冷却ずみの食塩水に対し熱交換を行なうよう
になっている。また、この循環系にはアースがされてい
る。
【００１４】管路１４内を流れる食塩水は、冷却キャン
８、遮蔽板１１、ローラマスク１２、及び遮蔽板１３を
順次経由し、その間にこの食塩水は、冷媒として、これ
ら部材の冷却を果すと共に、良導電性媒体として、これ
ら各部材に帯電する電子を逃すように作用する。これに
より、冷却キャンと各遮蔽板は同電位に保たれる。
８、遮蔽板１１、ローラマスク１２、及び遮蔽板１３を
順次経由し、その間にこの食塩水は、冷媒として、これ
ら部材の冷却を果すと共に、良導電性媒体として、これ
ら各部材に帯電する電子を逃すように作用する。これに
より、冷却キャンと各遮蔽板は同電位に保たれる。
【００１５】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１６により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
て、電子銃１６により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転し、そ
の間に磁性膜がテープ上に形成され、巻取りロール７に
より巻取られる。
【００１６】管路１４内を流れる食塩水は、冷却キャン
８、遮蔽板１１、ローラマスク１２、及び遮蔽板１３と
順次通過し、その間にこれら部材は冷却され、またこの
食塩水は、これら各部材に帯電する電子を逃すように作
用する。
８、遮蔽板１１、ローラマスク１２、及び遮蔽板１３と
順次通過し、その間にこれら部材は冷却され、またこの
食塩水は、これら各部材に帯電する電子を逃すように作
用する。
【００１７】
【発明の効果】本発明装置は、帯電を効果的に防止でき
るので、装置内での異常放電がなくなり、従って被蒸着
材が損傷を受ける事態が回避される。また、磁性材料の
被蒸着材への蒸着が安定し、その結果良質の磁気記録媒
体を得ることができるものである。
るので、装置内での異常放電がなくなり、従って被蒸着
材が損傷を受ける事態が回避される。また、磁性材料の
被蒸着材への蒸着が安定し、その結果良質の磁気記録媒
体を得ることができるものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】図１に示す装置の冷却キャン部分の側面図。
【図３】従来の磁気記録媒体製造装置の構成図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １１ 遮蔽板 １２ ローラマスク １３ 遮蔽板 １４ 管 １５ 遮蔽手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置と、前記磁性材料蒸気の被蒸着材に対する蒸着領
域を規制する遮蔽手段とを含み、 前記走行装置は、被蒸着材に当接してこれを冷却する冷
却キャンを含み、前記遮蔽手段は、磁性材料蒸気の被蒸
着材両側に対する蒸着を規制するローラマスクを含む磁
気記録媒体の製造装置において、 前記製造装置は、冷却キャン、及びローラマスクを含む
遮蔽手段を順次経由して配設され冷却媒体を直列に流す
流路手段を具備し、前記冷却媒体は導電性の良いものか
らなることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467993A JPH0798867A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467993A JPH0798867A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798867A true JPH0798867A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24467993A Pending JPH0798867A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798867A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013137107A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 日東電工株式会社 | 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置 |
| CN108977779A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | 株式会社爱发科 | 溅射装置 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24467993A patent/JPH0798867A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013137107A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 日東電工株式会社 | 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置 |
| JP2013196848A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Nitto Denko Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置 |
| CN108977779A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | 株式会社爱发科 | 溅射装置 |
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