JPH0798303B2 - 平面研磨装置 - Google Patents
平面研磨装置Info
- Publication number
- JPH0798303B2 JPH0798303B2 JP61033378A JP3337886A JPH0798303B2 JP H0798303 B2 JPH0798303 B2 JP H0798303B2 JP 61033378 A JP61033378 A JP 61033378A JP 3337886 A JP3337886 A JP 3337886A JP H0798303 B2 JPH0798303 B2 JP H0798303B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- work
- gear
- polishing
- small
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ワークに研磨模様を付すのに適した平面研磨
装置に関するものである。
装置に関するものである。
［従来の技術］ 例えば、半導体ウエハなどのワークの両面を同時に研磨
加工する平面研磨装置は、一般に、太陽歯車と内歯歯車
とに噛合して遊星運動する複数のキャリヤにワークを保
持させ、該ワークの両面を回転する上下の定盤により研
磨加工するように構成されている。また上記キャリヤ１
は、第６図に示すように、一定間隔で形成されたワーク
保持穴２にそれぞれワーク３を嵌合保持させるように構
成されており、その際、ワーク保持穴２の径をワーク３
よりやや大き目に形成し、それに該ワーク３を遊嵌状に
嵌合させるようにしている。
加工する平面研磨装置は、一般に、太陽歯車と内歯歯車
とに噛合して遊星運動する複数のキャリヤにワークを保
持させ、該ワークの両面を回転する上下の定盤により研
磨加工するように構成されている。また上記キャリヤ１
は、第６図に示すように、一定間隔で形成されたワーク
保持穴２にそれぞれワーク３を嵌合保持させるように構
成されており、その際、ワーク保持穴２の径をワーク３
よりやや大き目に形成し、それに該ワーク３を遊嵌状に
嵌合させるようにしている。
上記平面研磨装置においては、ワークの種類や製品とし
ての要望などによっては該ワークに一定方向の研磨模様
を付さなければならない場合があり、このような場合に
は、ワークを動かさないように拘束した状態で短時間加
工することが必要になる。
ての要望などによっては該ワークに一定方向の研磨模様
を付さなければならない場合があり、このような場合に
は、ワークを動かさないように拘束した状態で短時間加
工することが必要になる。
ところが、従来の平面研磨装置は、ワークをキャリヤ１
のワーク保持穴２内に拘束することができないために、
該ワークが動き、一定方向の研磨模様を精度良く付すこ
とができないという欠点があった。
のワーク保持穴２内に拘束することができないために、
該ワークが動き、一定方向の研磨模様を精度良く付すこ
とができないという欠点があった。
また、加工が終了して上定盤を上昇させる際に、ワーク
が該上定盤に付着したまま一緒に上昇したり、上昇の途
中で落下して破損を生じ易いという欠点もあった。
が該上定盤に付着したまま一緒に上昇したり、上昇の途
中で落下して破損を生じ易いという欠点もあった。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、ワークをキャリヤのワーク保持穴内に
簡単且つ確実に拘束することができ、従って、該ワーク
に一定方向の研磨模様を付すことができると共に、加工
終了時に上定盤が上昇する際に該上定盤にワークが付着
するのを防止することが可能な、平面研磨装置を提供す
ることにある。
簡単且つ確実に拘束することができ、従って、該ワーク
に一定方向の研磨模様を付すことができると共に、加工
終了時に上定盤が上昇する際に該上定盤にワークが付着
するのを防止することが可能な、平面研磨装置を提供す
ることにある。
［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の平面研磨装置は、キ
ャリヤが通り抜けできない間隔をおいて円周状に配列さ
れた複数の小歯車より構成され、所定の間隔をおいて円
周方向に多数組配列されたキャリヤ支持用の歯車装置
と、単一のワーク保持穴を偏心位置に備えると共に、該
ワーク保持穴の一部にワークを拘束状態に挟持可能な緩
やかに間隔が狭まった狭幅部を備え、上記歯車装置にお
ける各小歯車と噛合してこれらの小歯車により定位置で
回転自在に支持されるキャリヤと、各歯車装置における
駆動用の小歯車と噛合し、該小歯車を介してキャリヤを
駆動する中心歯車と、キャリヤの直径より狭く且つ該キ
ャリヤに保持されて偏心回転するワークがはみ出さない
研磨幅を有する細幅円環状をなし、上記歯車装置におけ
る隣接する小歯間を通ってキャリヤを横断するように配
設された、各キャリヤに保持されたワークを研磨する回
転自在の上下の定盤とを備えたことを特徴とするもので
ある。
ャリヤが通り抜けできない間隔をおいて円周状に配列さ
れた複数の小歯車より構成され、所定の間隔をおいて円
周方向に多数組配列されたキャリヤ支持用の歯車装置
と、単一のワーク保持穴を偏心位置に備えると共に、該
ワーク保持穴の一部にワークを拘束状態に挟持可能な緩
やかに間隔が狭まった狭幅部を備え、上記歯車装置にお
ける各小歯車と噛合してこれらの小歯車により定位置で
回転自在に支持されるキャリヤと、各歯車装置における
駆動用の小歯車と噛合し、該小歯車を介してキャリヤを
駆動する中心歯車と、キャリヤの直径より狭く且つ該キ
ャリヤに保持されて偏心回転するワークがはみ出さない
研磨幅を有する細幅円環状をなし、上記歯車装置におけ
る隣接する小歯間を通ってキャリヤを横断するように配
設された、各キャリヤに保持されたワークを研磨する回
転自在の上下の定盤とを備えたことを特徴とするもので
ある。
［作 用］ ワークの研磨時に該ワークに一定方向の研磨模様を付す
場合には、ワーク保持穴の狭幅部が定盤の回転方向に向
くようにキャリヤを停止させ、該キャリアを拘束したま
ま上下の定盤を狭幅部の方向へ回転し、上記ワークを該
狭幅部間に押し込み嵌合させることによりそれを拘束状
態に保持させる。そして、その状態で定盤を回転させ、
短時間の研磨を行うことにより、ワークには一定方向の
研磨模様が付されることになる。
場合には、ワーク保持穴の狭幅部が定盤の回転方向に向
くようにキャリヤを停止させ、該キャリアを拘束したま
ま上下の定盤を狭幅部の方向へ回転し、上記ワークを該
狭幅部間に押し込み嵌合させることによりそれを拘束状
態に保持させる。そして、その状態で定盤を回転させ、
短時間の研磨を行うことにより、ワークには一定方向の
研磨模様が付されることになる。
研磨の終了したワークを取出すために上定盤を上昇させ
ると、各ワークは上述したように狭幅部間に保持されて
いるため、上定盤に付着して一緒に上昇するようなこと
がなく、その取出しを安全且つ確実に行うことができ
る。
ると、各ワークは上述したように狭幅部間に保持されて
いるため、上定盤に付着して一緒に上昇するようなこと
がなく、その取出しを安全且つ確実に行うことができ
る。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の平面研磨装置において用いられるキャ
リヤを示すもので、該キャリヤ10は、ギヤ12を外周に備
えたキャリヤ本体11に単一のワーク保持穴13を偏心状態
に設けることにより構成されており、該ワーク保持穴13
の一部には、ワーク15をそれらの間に押し込んで拘束状
態に挟持可能な緩やかに間隔が狭まったテーパー状の狭
幅部14,14を備えている。
リヤを示すもので、該キャリヤ10は、ギヤ12を外周に備
えたキャリヤ本体11に単一のワーク保持穴13を偏心状態
に設けることにより構成されており、該ワーク保持穴13
の一部には、ワーク15をそれらの間に押し込んで拘束状
態に挟持可能な緩やかに間隔が狭まったテーパー状の狭
幅部14,14を備えている。
第２図及び第３図は、上記キャリヤ10を使用してワーク
の研磨加工を行う平面研磨装置を示すもので、21は平面
研磨装置の機台、22,23は円環状をなす上下の定盤、24
は中心歯車であって、これらの定盤22,23及び中心歯車2
4は、同軸状に位置する駆動軸25,26,27を介してそれぞ
れ図示しない駆動源に接続され、該駆動源によって任意
の速度及び方向に駆動回転されるようになっており、上
定盤22は、第２図に鎖線で示すように、駆動軸25によっ
て上下動自在に支持されている。
の研磨加工を行う平面研磨装置を示すもので、21は平面
研磨装置の機台、22,23は円環状をなす上下の定盤、24
は中心歯車であって、これらの定盤22,23及び中心歯車2
4は、同軸状に位置する駆動軸25,26,27を介してそれぞ
れ図示しない駆動源に接続され、該駆動源によって任意
の速度及び方向に駆動回転されるようになっており、上
定盤22は、第２図に鎖線で示すように、駆動軸25によっ
て上下動自在に支持されている。
上記機台21上には、中心歯車24の回りに一定間隔をおい
て多数のキャリヤ支持用の歯車装置30が配設されてい
る。この歯車装置30は、キャリヤ10を定位置において回
転自在に支持するもので、第４図及び第５図からも明ら
かなように、キャリヤ10が通り抜けない程度の間隔をお
いて円周状に配設された複数の小歯車31〜34により構成
されており、そのうちの１つの小歯車31は、上記中心歯
車24にも噛合して駆動用小歯車を構成し、この駆動用小
歯車31を介してキャリヤ10が中心歯車24により駆動回転
されるようになっている。なお、残りの従動用小歯車32
〜34のうち中心歯車24側に位置する小歯車34は、該中心
歯車24との接触を防ぐために一回り小径に形成されてい
る。
て多数のキャリヤ支持用の歯車装置30が配設されてい
る。この歯車装置30は、キャリヤ10を定位置において回
転自在に支持するもので、第４図及び第５図からも明ら
かなように、キャリヤ10が通り抜けない程度の間隔をお
いて円周状に配設された複数の小歯車31〜34により構成
されており、そのうちの１つの小歯車31は、上記中心歯
車24にも噛合して駆動用小歯車を構成し、この駆動用小
歯車31を介してキャリヤ10が中心歯車24により駆動回転
されるようになっている。なお、残りの従動用小歯車32
〜34のうち中心歯車24側に位置する小歯車34は、該中心
歯車24との接触を防ぐために一回り小径に形成されてい
る。
また、上記中心歯車24は、その歯数をキャリヤ10におけ
るギヤ12の歯数のｎ（整数）倍に形成し、この中心歯車
24またはその駆動軸27にｎ個のドグ（図示せず）を等間
隔を取付け、これに対して機台21の適宜位置には、上記
ドグの検出手段を付設し、而して、該検出手段によるド
グの検出によって中心歯車24を停止させたとき、各キャ
リヤ10が、第５図に示すように、ワーク保持穴13におけ
る狭幅部14,14が定盤22,23の円周方向を向くような位置
に停止するように構成している。
るギヤ12の歯数のｎ（整数）倍に形成し、この中心歯車
24またはその駆動軸27にｎ個のドグ（図示せず）を等間
隔を取付け、これに対して機台21の適宜位置には、上記
ドグの検出手段を付設し、而して、該検出手段によるド
グの検出によって中心歯車24を停止させたとき、各キャ
リヤ10が、第５図に示すように、ワーク保持穴13におけ
る狭幅部14,14が定盤22,23の円周方向を向くような位置
に停止するように構成している。
上記構成を有する平面研磨装置によってワーク15を研磨
を行う場合には、第３図に示すように、キャリヤ10を各
歯車装置30における小歯車31〜34にそれぞれ円周に沿っ
た同じ方向を向くように噛合させ、各キャリヤ10に上記
ワーク15を保持させる。
を行う場合には、第３図に示すように、キャリヤ10を各
歯車装置30における小歯車31〜34にそれぞれ円周に沿っ
た同じ方向を向くように噛合させ、各キャリヤ10に上記
ワーク15を保持させる。
次に、上定盤22を第２図の実線位置まで下降させた状態
で中心歯車24を回転させると共に、上下の定盤22,23を
等速で互いに逆方向に回転させる。これによってキャリ
ヤ10は、定位置において支持されながら自転し、偏心す
るワーク保持穴13に保持されたワーク15は、その偏心距
離を半径とする回転運動を行いながら加工されることに
なる。
で中心歯車24を回転させると共に、上下の定盤22,23を
等速で互いに逆方向に回転させる。これによってキャリ
ヤ10は、定位置において支持されながら自転し、偏心す
るワーク保持穴13に保持されたワーク15は、その偏心距
離を半径とする回転運動を行いながら加工されることに
なる。
ワーク15の加工が完了すると、上下定盤22,23が停止さ
れると共に、ドグ検出手段によるドグの検出によって中
心歯車24がその位置に停止され、これによって各キャリ
ヤ20は、それぞれ第５図に示すように、ワーク保持穴13
の狭幅部14,14が定盤の円周方向を向くような位置に停
止させる。この状態で、中心歯車24を制動したまま上下
の定盤22,23を狭幅部14,14の方向へ回転すると、ワーク
15は該狭幅部に押し付けられて拘束されたまま研磨さ
れ、それに一定方向の研磨模様が付されることになる。
れると共に、ドグ検出手段によるドグの検出によって中
心歯車24がその位置に停止され、これによって各キャリ
ヤ20は、それぞれ第５図に示すように、ワーク保持穴13
の狭幅部14,14が定盤の円周方向を向くような位置に停
止させる。この状態で、中心歯車24を制動したまま上下
の定盤22,23を狭幅部14,14の方向へ回転すると、ワーク
15は該狭幅部に押し付けられて拘束されたまま研磨さ
れ、それに一定方向の研磨模様が付されることになる。
次に、上定盤22を第２図の鎖線位置に上昇せしめて各キ
ャリヤ10に保持されたワーク15を搬出を行うが、該ワー
ク15が狭幅部14,14間に嵌合して拘束状態に保持されて
いるため、上定盤22に付着して一緒に上昇するようなこ
とはない。
ャリヤ10に保持されたワーク15を搬出を行うが、該ワー
ク15が狭幅部14,14間に嵌合して拘束状態に保持されて
いるため、上定盤22に付着して一緒に上昇するようなこ
とはない。
［発明の効果］ 上記構成を有する本発明の平面研磨装置によれば、上下
の定盤を同方向に回転させるだけでワークをキャリヤの
ワーク保持穴の狭幅部に押し込んで挟持、拘束すること
ができ、これにより、該ワークに確実に一定方向の研磨
模様を付すことができると共に、加工終了時に上定盤が
上昇する際に該上定盤にワークが付着するのを防止する
ことができる。
の定盤を同方向に回転させるだけでワークをキャリヤの
ワーク保持穴の狭幅部に押し込んで挟持、拘束すること
ができ、これにより、該ワークに確実に一定方向の研磨
模様を付すことができると共に、加工終了時に上定盤が
上昇する際に該上定盤にワークが付着するのを防止する
ことができる。
また、上記キャリヤを、偏心位置に単一のワーク保持穴
を備えた構成とすると共に、上下の定盤を、該キャリヤ
の直径より狭く且つ該キャリヤに保持されて偏心回転す
るワークがはみ出さない研磨幅を持った細幅円環状に形
成して、これらの定盤を、歯車装置における隣接する小
歯車間を通ってキャリヤを横断するように配設したこと
により、上記歯車装置が研磨の障害にならないようにす
ることが可能となって、定位置で回転する多数のキャリ
ヤに保持させたワークの両面を上下の定盤で同時に研磨
することが可能な両面研磨装置を、簡単に得ることがで
きる。
を備えた構成とすると共に、上下の定盤を、該キャリヤ
の直径より狭く且つ該キャリヤに保持されて偏心回転す
るワークがはみ出さない研磨幅を持った細幅円環状に形
成して、これらの定盤を、歯車装置における隣接する小
歯車間を通ってキャリヤを横断するように配設したこと
により、上記歯車装置が研磨の障害にならないようにす
ることが可能となって、定位置で回転する多数のキャリ
ヤに保持させたワークの両面を上下の定盤で同時に研磨
することが可能な両面研磨装置を、簡単に得ることがで
きる。
第１図は本発明の研磨装置に使用するキャリヤの一実施
例を示す正面図、第２図及び第３図は平面研磨装置の部
分縦断面図及び同平面図、第４図及び第５図は第２図の
部分拡大図及び同平面図、第６図は従来のキャリヤの正
面図である。 10……キャリヤ、13……ワーク保持穴 14……狭幅部、15……ワーク 22,23……定盤、24……中心歯車 30……歯車装置、31,32,33,34……小歯車
例を示す正面図、第２図及び第３図は平面研磨装置の部
分縦断面図及び同平面図、第４図及び第５図は第２図の
部分拡大図及び同平面図、第６図は従来のキャリヤの正
面図である。 10……キャリヤ、13……ワーク保持穴 14……狭幅部、15……ワーク 22,23……定盤、24……中心歯車 30……歯車装置、31,32,33,34……小歯車
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 和彦 神奈川県厚木市林899−６ (72)発明者 佐軒 貴也 神奈川県海老名市国分1724 清和荘102号 (72)発明者 草野 真一 神奈川県大和市上和田2412 上和田団地２ −６−106
Claims (1)
- 【請求項１】キャリヤが通り抜けできない間隔をおいて
円周状に配列された複数の小歯車により構成され、所定
の間隔をおいて円周方向に多数組配列されたキャリヤ支
持用の歯車装置と、 単一のワーク保持穴を偏心位置に備えると共に、該ワー
ク保持穴の一部にワークを拘束状態に挟持可能な緩やか
に間隔が狭まった狭幅部を備え、上記歯車装置における
各小歯車と噛合してこれらの小歯車により定位置で回転
自在に支持されるキャリヤと、 各歯車装置における駆動用の小歯車と噛合し、該小歯車
を介してキャリアを駆動する中心歯車と、 キャリヤの直径より狭く且つ該キャリヤに保持されて偏
心回転するワークがはみ出さない研磨幅を有する細幅円
環状をなし、上記歯車装置における隣接する小歯間を通
ってキャリヤを横断するように配設された、各キャリヤ
に保持されたワークを研磨する回転自在の上下の定盤
と、 を備えたことを特徴とする平面研磨装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61033378A JPH0798303B2 (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 平面研磨装置 |
| DE19863624878 DE3624878A1 (de) | 1985-07-31 | 1986-07-23 | Flachlaeppmaschine |
| DE19863644854 DE3644854A1 (de) | 1985-07-31 | 1986-07-23 | Werkstueckhalter |
| CH3040/86A CH670416A5 (ja) | 1985-07-31 | 1986-07-29 | |
| KR1019860006184A KR890003776B1 (ko) | 1985-07-31 | 1986-07-29 | 평면 연마장치 |
| US06/891,241 US4805348A (en) | 1985-07-31 | 1986-07-29 | Flat lapping machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61033378A JPH0798303B2 (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 | 平面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193757A JPS62193757A (ja) | 1987-08-25 |
| JPH0798303B2 true JPH0798303B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=12384930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61033378A Expired - Lifetime JPH0798303B2 (ja) | 1985-07-31 | 1986-02-18 | 平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798303B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110732946B (zh) * | 2019-10-11 | 2021-08-27 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种研磨头的保护罩 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3263375A (en) * | 1963-08-09 | 1966-08-02 | Prec Scient Company | Specimen holder for polishing machine |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP61033378A patent/JPH0798303B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3263375A (en) * | 1963-08-09 | 1966-08-02 | Prec Scient Company | Specimen holder for polishing machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62193757A (ja) | 1987-08-25 |
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