JPH0737808Y2 - 研磨機における被加工物の付着防止装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、アルミニウム製の磁気ディスク基板等の被加
工物を研磨する研磨機に係り、特に、研磨後、被加工物
が上定盤の砥石に付着するのを防止する研磨機における
被加工物の付着防止装置に関する。

〔従来の技術〕

前述した磁気ディスク基板の表面を研磨する研磨機とし
て上向きに砥石を備えた下定盤と、下向きに砥石を備え
下定盤に対し接離しうる上定盤とを有し、前記下定盤の
内側に太陽歯車を配設するとともに、下定盤の外側に内
歯歯車を配設した構成のものは従来から知られている。

このような研磨機によれば、前記太陽歯車および内歯歯
車にそれぞれ噛合しうる外歯が外周に形成されている円
板状の複数枚のキャリアを前記下定盤の砥石上に載置
し、各キャリアに形成されている複数の開口の被加工物
を嵌合させて下定盤の砥石上に各被加工物を載置したう
えで、上定盤をその砥石が各被加工物の上面に圧接する
ように下降し、上定盤および下定盤を相互に逆方向に回
転駆動するとともに、前記太陽歯車を回転せしめて各キ
ャリアを公転ならびに自転し、両定盤の砥石により被加
工物の表面を研磨することができる。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、前述した研磨機においては、研磨により
被加工物の表面が鏡面仕上げされることになるので、上
定盤の砥石を被加工物から離間させるために上定盤を上
昇させると、上定盤の砥石に被加工物が付着したまま上
定盤が上昇されることがある。

すると、この上定盤の砥石に付着している被加工物が自
重により落下し、被加工物の表面に傷がついたりするお
それがあった。

本考案は、このような従来の研磨機における問題点を克
服し、研磨後に上定盤を上昇させる際に被加工物が上定
盤の砥石に付着するのを確実に防止するようにした研磨
機における被加工物の付着防止装置を提供することを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

前述した目的を達成するため本考案は、砥石を区画して
いる溝に着目し、上定盤および下定盤にそれぞれ固定さ
れ溝によりそれぞれ複数の砥石片に区画されている砥石
間に被加工物を配設し、上定盤と下定盤を回転して被加
工物の表面を研磨する研磨機において、前記上定盤の砥
石の溝内に嵌合しうる形状のネットを上下動自在な支持
部材により支持し、前記ネットを研磨時に前記上定盤の
砥石の溝内に嵌合するように前記ネットを載置して案内
するガイドローラを配設するとともに、前記ネットが上
定盤の砥石の溝から脱するように上定盤が上昇した後に
前記支持部材に係合してこの支持部材を前記上定盤とと
もに上昇させる係合部材を前記上定盤に配設したことを
特徴としている。

〔作用〕

前述した構成からなる本考案によれば、研磨時にはネッ
トが上定盤の砥石の溝内に嵌合しているのに対し、研磨
後、上定盤を上昇すると、この上定盤の上昇の初期にお
いてはネットはガイドローラ上に載置されたままの状態
を維持するので、上定盤の上昇に伴ないネットは上定盤
の砥石の溝内において相対的に溝の浅い方向に移動し、
最終的には溝から脱することになる。すると、上定盤の
砥石に被加工物が仮りに付着していても、この被加工物
は、砥石の溝から脱したネットに引掛って上昇を妨げら
れるので、下定盤の砥石上に載置された状態を維持す
る。

さらに、上定盤の上昇を維持すると、上定盤の係合部材
がネットに係合し、その後は上定盤とともにネットも上
昇することになり、したがって、被加工物の交換の際に
ネットが邪魔になるおそれがない。

〔実施例〕 以下、本考案を図面に示す実施例により説明する。

第２図は本考案に係る被加工物の付着防止装置を適用し
た研磨機の概略を示すものであり、研磨機１のハウジン
グ２の上面には、図示しない駆動手段により相互に独立
して回転しうる太陽歯車３および内歯歯車４が同心的に
配設されている。これらの太陽歯車３および内歯歯車４
間には、第１図に示す下定盤５上にアルミニウム等から
なる基板６を介して取付けられている砥石７が配設され
ており、前記下定盤５は、図示しないモータのような駆
動手段により回転駆動されるようになっている。一方、
前記下定盤５の砥石７の上方には、第１図に示すよう
に、上定盤８が図示しない空気圧などを利用した駆動手
段により上下動しうるように配設されており、この上定
盤８には基板９を介して砥石10が下向きに取付けられて
いる。

前記各砥石7,10は、第３図に示すように、全体として円
環状に形成されており、また砥石7,10は、20本の放射方
向溝11,11…により20個の扇形状の砥石ブロック12,12…
に区画されたうえでさらに各砥石ブロック12は他の複数
の傾斜溝13および放射方向溝14により４個の砥石片15,1
5…に区画されている。前記各放射方向溝11,14および傾
斜溝13は、研磨時に研剤液を供給したり切り粉を流出し
たりするためのものである。

第１図に詳示するように、前記上定盤８上には、この上
定盤８の外径により大径の取付盤16が固定されており、
前記上定盤８の外周縁より外周に突出する部位の取付盤
16には、60度ずつの角度を隔ててそれぞれ上下方向に延
在する６個の同形のガイドスリーブ17,17…が相互に前
記取付盤16から等しい距離だけ上方に突出するように補
助板18および複数本のボルト19,19…により取付けられ
ている。

前記上定盤８に支持されている砥石10の各溝11,13,14に
遊嵌される形状に形成され外形を円形とされたネット21
が配設されており、このネット21の外周縁は、前記取付
盤16の外径より大径に形成されている。このネット21
は、一例としてステンレス製とされ比較的剛性を有して
おり、このネット21の表面はウレタンにより被覆されて
いる。前記ネット21の外周部の同一半径位置には、60度
ずつの角度を隔てて長さの長い３本の支持部材たるガイ
ドロッド22,22…と、長さの短かい３本の支持部材たる
ガイドロッド23,23…とが交互にしかもそれぞれ上向き
にボルト24、補助板25および複数本のキャップスクリュ
ー26,26…により接続されている。各ガイドロッド22,23
は、前記ガイドスリーブ17の中心孔20内に比較的密にし
かも摺動自在に挿通されており、各ガイドロッド22,23
の上端には、係合部材たる円板27,28がそれぞれボルト2
9により同心状に取付けられている。なお、長さの短か
い各ガイドロッド23の上端に取付けられる円板28には、
第４図に示すように、その中心孔30に連通する半径方向
のスリット31が形成されており、ボルト29を若干緩める
だけで円板28を側方に抜き出せるようになっている。

前記研磨機１のハウジング２の外周縁上には、複数の支
持ブロック32が円周方向に間隔を隔てて立設されてお
り、各支持ブロック32には、第５図に詳示するように、
ガイドローラ33の支持軸34がそれぞれハウジング２の半
径方向に延在するように回転自在に支持されている。こ
れにより各ガイドローラ33は、研磨中、上定盤８ととも
に回転するネット21の外周縁部を従動しつつ支持し、こ
のとき各ガイドローラ33に支持されているネット21は、
砥石10の各放射方向溝11,12,14内の比較的浅い位置に留
まるようになっている。このとき、長さの短かいガイド
ロッド23の上端に取付けられている円板28は、ガイドス
リーブ17の上端と小さな間隔を隔てている。この間隔
は、研磨時におけるネット21と砥石10の表面との間隔よ
り大きくされている。

つぎに、前述した構成からなる本実施例の作用について
説明する。

光ディスクなどの被加工物を研磨するには、第５図に示
すキャリア35を使用する。このキャリア35は、プラスチ
ックにより薄肉円板状に形成されており、このキャリア
35の外周には外歯36が形成されている。そして、このキ
ャリア35は、その外歯36が前記研磨機１の太陽歯車３と
内歯歯車４とに同時に噛合しうるような外径に形成され
ている。さらに、前記キャリア35の表面には、被加工物
をそれぞれ嵌合するための複数の開口37,37…が円周方
向に等しい間隔をもって形成されている。

そこで、上定盤８を基板９および砥石10とともに図示し
ない駆動手段により下定盤５の砥石７から大きく離間す
るように上昇せしめておき、下定盤５の砥石７上に適宜
の間隔をもって複数のキャリア35を、それぞれその外歯
36を太陽歯車３および内歯歯車４にそれぞれ噛合するよ
うに載置する。そして、各キャリア35の各開口37内に被
加工物を嵌合する。この状態においてネット21は、長さ
の短かい各ガイドロッド23の上端の円板28が各ガイドス
リーブ17の上端上に着座するようにして支持されてい
る。

各キャリア35の各開口37内に嵌合された状態において下
定盤５の砥石７上に載置されている各被加工物を研磨す
るためには、上定盤８をアーム９および砥石10とともに
図示しない駆動手段により下降せしめる。すると、上定
盤８の砥石10が被加工物の上面に当接する前にネット21
は各ガイドローラ33上に着座してその下降は停止される
ので、その後上定盤８の下降により長さの短かい各ガイ
ドロッド23の上端の円板28は各ガイドスリーブ17の上端
から離間される。そして、上定盤８の砥石10が被加工物
の上面に当接するまで上定盤８を下降したら、両砥石7,
10間に研削液を供給しつつ下定盤５および上定盤８を相
互逆方向に回転するとともに、太陽歯車３をいずれの方
向に回転する。すると、外歯36が太陽歯車３および内歯
歯車４にそれぞれ噛合しているキャリア35は遊星歯車と
して機能し、太陽歯車３の回転により自転して各被加工
物を内外に移動させる。一方、砥石７および砥石10の相
互に逆方向の回転により各被加工物を研磨する。

このようにして研磨のための所定時間が経過したら研磨
済の各被加工物を取出す必要があるが、このためには、
上定盤８をアーム９および砥石10とともに上昇せしめ
る。すると、鏡面加工された一部の被加工物は上定盤８
の砥石10の付着されたまま上昇することになるが、この
上定盤８の上昇の初期においては、長さの短かい各ガイ
ドロッド23の上端の円板28はガイドスリーブ17上に着座
していないため、上定盤８が上昇してもネット21はその
位置に留まっている。したがって、上定盤８の上昇に伴
ないネット21は砥石10の各溝11,13,14の浅い方向に移動
し、最終的には各溝11,13,14から脱して砥石10の表面よ
り下方に位置することになる。すると、上定盤８の砥石
10に付着されている被加工物はネット21に引掛って上昇
を妨げられることになり、下定盤５の砥石７上に載置さ
れることになる。

さらに、上定盤８の上昇を継続すると、長さの短かい各
ガイドロッド23の上端の円板28が上定盤８と一体のガイ
ドスリーブ17上に載置され、その後、ネット21は上定盤
８とともに上昇することになる。したがって、被加工物
の交換の際にネット21が邪魔になることはない。

一方、両砥石7,10を交換する際には、まず、上定盤８を
大きく上昇せしめた状態において下定盤５の砥石７を交
換する。このとき、ネット21は上定盤８の砥石10の近傍
に位置しているため砥石10の交換の邪魔になる。そこ
で、上定盤８の砥石10の交換を行なうためには、長さの
短かい各ガイドロッド23の円板28を固定しているボルト
29を多少緩めて、円板28を側方に移動し、スリット31を
介して円板28を抜き取る。すると、ネット21は、長さの
長い各ガイドロッド22の上端の円板27がガイドスリーブ
17上に着座するまで下降することになり、ネット21は上
定盤８の砥石10から大きく離間する。そこで、上定盤８
の砥石10を交換することができる。なお、この砥石10の
交換後、ネット21を上昇せしめて長さの短かい各ガイド
ロッド23の上端を各ガイドスリーブ17の上方に突出した
うえで各ガイドロッド23の上端に円板28を固定すればよ
い。

このように本実施例によれば、研磨終了後、上定盤８を
上昇させると、ネット21がある程度遅れて上昇を開始す
ることになるので、上定盤８の砥石10に付着している被
加工物をネット21に引掛けて排除することができる。こ
の結果、上定盤８の砥石10に被加工物が付着したまま上
昇することが防止されることになり、被加工物が落下し
て表面に傷がついたりする事故を確実に防止することが
できる。

また、上定盤８の砥石10の交換の際には、ネット21を上
定盤８の砥石10よりはるか下方に下降せしめて砥石10の
交換を簡単に行なうことができる。

なお、本考案は、前述した実施例に限定されるものでは
なく、必要に応じて種々の変更が可能である。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば、研磨後に上定盤を
上昇させる際に被加工物が上定盤の砥石に付着するのを
確実に防止して、被加工物の損傷を防止することができ
るという優れた効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る被加工物の付着防止装置の実施例
を示す要部の正面図、第２図は第１図の被加工物の付着
防止装置を適用した研磨機の概略平面図、第３図は砥石
の拡大平面図、第４図は一方の円板の平面図、第５図は
キャリアの平面図である。 １……研磨機、２……ハウジング、３……太陽歯車、４
……内歯歯車、５……下定盤、7,10……砥石、８……上
定盤、11,14……放射方向溝、13……傾斜溝、16……取
付盤、17……ガイドスリーブ、21……ネット、22,23…
…ガイドロッド、27,28……円板、33……ガイドロー
ラ、35……キャリア、36……外歯。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上定盤および下定盤にそれぞれ固定され溝
   によりそれぞれ複数の砥石片に区画されている砥石間に
   被加工物を配設し、上定盤と下定盤を回転して被加工物
   の表面を研磨する研磨機において、前記上定盤の砥石の
   溝内に嵌合しうる形状のネットを上下動自在な支持部材
   により支持し、前記ネットを研磨時に前記上定盤の砥石
   の溝内に嵌合するように前記ネットを載置して案内する
   ガイドローラを配設するとともに、前記ネットが上定盤
   の砥石の溝から脱するように上定盤が上昇した後に前記
   支持部材に係合してこの支持部材を前記上定盤とともに
   上昇させる係合部材を前記上定盤に配設したことを特徴
   とする研磨機における被加工物の付着防止装置。