JPH0798284A

JPH0798284A - 光透過性フィルム材料検査装置

Info

Publication number: JPH0798284A
Application number: JP24272493A
Authority: JP
Inventors: Yukio Watanabe; 幸穂渡辺
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1993-09-29
Filing date: 1993-09-29
Publication date: 1995-04-11

Abstract

(57)【要約】【目的】光透過性フィルム材料の検査方法における上記
の問題点を改善するためになされたものであって、従来
の一回透過による検査では自動検査が不可能であった所
謂Ｓ／Ｎ比の小さい不良において、Ｓ／Ｎ比を向上させ
て自動検査を可能とすることにある。【構成】光透過性フィルム材料を移動送行する光透過性
フィルム材料送行手段Aと、光透過性フィルム材料3 面
の互いに異なる複数の部位、又は同一部位に対して交差
する方向に計測光L を照射する単一の計測光照射手段6
と、光透過性フィルム材料の前記異なる部位を透過して
最終的に出射する計測光を受光検出する単一の計測光検
出手段7 とを設けた光透過性フィルム材料検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透明又は半透明の光透
過性フィルム材料において、フィルム材料を構成する材
料膜厚や、該材料に成膜された膜厚ムラや、フィルム材
料上に塗布された顔料等の塗布材の塗布膜厚ムラ、ある
いはフィルム材料上に蒸着された蒸着膜厚ムラ等を検査
するための光透過性フィルム材料検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ポリエチレン、ポリプロピレン等のプラ
スチックフィルム材料は、各種の包装材料等として広く
用いられているが、ガス遮断性（ガスバリア性）等のフ
ィルム材料の機能を持たせるためにフィルム基材上に各
種の蒸着材料による薄膜を形成することが行われてお
り、また、各種の転写型プリンタに用いられる転写リボ
ンは、プラスチックフィルム基材上に種々の顔料を印刷
等で塗布することにより作製されている。

【０００３】ところで、フィルム基材上に成膜された薄
膜の厚さ、又は塗布された顔料の濃さは、製品の機能
上、一定の基準以内であることが要求され、その基準外
のものは不良品として検査により取り除く必要がある。

【０００４】フィルム基材上に成膜された薄膜又は塗布
された顔料の層を持つ透明又は半透明のフィルム材料に
ついての従来の検査方法として、光源からの光を被検査
物の一方面から照射して他方面側に出射させて、光を被
検査物に対して一回だけ通過させ、被検査物の他方面か
ら出射した光をＣＣＤセンサやその他の検出素子により
検出し、出射光（透過光）強度がその周囲近傍と異なる
部分を不良部分（ムラ発生部分）とする検査方法があ
り、上記一回の光透過による検査方法は、明度差の大き
い異物混入や、傷等の不良検出には有効である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記検査
方法による不良部分の自動検出には、検査精度の点から
不良部分による欠陥信号強度（検出強度）と周囲の雑音
強度との比（以下Ｓ／Ｎ比と称す）が一定の値以上であ
る必要がある。

【０００６】フィルム基材上に薄膜又は着色料等の樹脂
膜を持つ透明又は半透明のフィルム材料の膜厚不良個所
の検査は、不良個所の発生領域が比較的大きい場合には
肉眼による目視観察によって確認できるものの、自動検
査においては、特に不良個所の明度差が極めて小さい場
合はＳ／Ｎ比が限り無く１（Ｓ＝Ｎ）に近づくため、従
来の一回透過による検査方法では精度ある自動検査がで
きないと云う問題があった。

【０００７】本発明は、光透過性フィルム材料の検査方
法における上記の問題点を改善するためになされたもの
であって、従来の一回透過による検査では自動検査が不
可能であった所謂Ｓ／Ｎ比の小さい不良において、Ｓ／
Ｎ比を向上させて自動検査を可能とすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明は、透
明又は半透明の光透過性フィルム材料の膜厚ムラを検出
する光透過性フィルム材料塗布膜検査装置において、光
透過性フィルム材料を移動送行する光透過性フィルム材
料送行手段と、光透過性フィルム材料面の互いに異なる
複数の部位に対して交差する方向に計測光を照射する単
一の計測光照射手段と、光透過性フィルム材料の前記異
なる部位を透過して最終的に出射する計測光を受光検出
する単一の計測光検出手段とを設けたことを特徴とする
光透過性フィルム材料塗布膜検査装置である。

【０００９】また、本発明の第２発明は、透明又は半透
明の光透過性フィルム材料の膜厚ムラを検出する光透過
性フィルム材料塗布膜検査装置において、光透過性フィ
ルム材料を移動送行する光透過性フィルム材料送行手段
と、光透過性フィルム材料面の同一部位を通過するよう
に該フィルム面の同一部位に対して交差する方向に計測
光を照射する単一の計測光照射手段と、光透過性フィル
ム材料の前記異なる部位を透過して最終的に出射する計
測光を受光検出する単一の計測光検出手段とを設けたこ
とを特徴とする光透過性フィルム材料塗布膜検査装置で
ある。

【００１０】

【実施例】本発明の第１発明の光透過性フィルム材料塗
布膜検査装置を、図１の第１発明の第１実施例の側面図
に従って、以下に詳細に説明する。

【００１１】図１に示すように、第１発明の第１実施例
における光透過性フィルム材料検査装置は、適宜ラミネ
ート膜、塗布膜、蒸着膜等が形成された光透過性フィル
ム材料３を移動送行する光透過性フィルム材料送行手段
Ａを備える。

【００１２】光透過性フィルム材料送行手段Ａは、光透
過性フィルム材料３の一端側に該材料３を巻き出す巻出
ロール１と、他端側に該材料３を巻き取り駆動回転する
巻取ロール２とを備え、その間に、該材料３を１乃至数
回の折返し状態で移動送行させる例えばガイドロール４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅの折返しガイド支持手段４
を備える。

【００１３】また、該光透過性フィルム材料送行手段Ａ
は、巻出ロール１の巻出方向の近傍に、駆動回転する対
向ロールからなるインフィードロールＩを備え、巻取ロ
ール２の巻取直前近傍に、駆動回転する対向ロールから
なるアウトフィードロールＯを備えるようにしてもよ
い。

【００１４】該ガイド支持手段４により折返し移動送行
する光透過性フィルム材料面に対して交差する方向（図
１においては水平方向）の両端部に、一対の相対する単
一計測光照射手段６と計測光検出手段７とを備える。

【００１５】同図１に示すように、該照射手段６から照
射光Ｌを照射して、照射される入射光Ｌ_Iを折返し送行
する各光透過性フィルム材料３面に、交差して横切るよ
うに少なくとも２回以上透過させて、最終的に出射する
出射光Ｌ_O（計測光）を、単一の前記計測光検出手段７
によって受光し検出するように構成されている。

【００１６】次に本発明の第１発明の第２実施例におけ
る光透過性フィルム材料塗布膜検査装置を、図２の側面
図に従って、以下に詳細に説明する。

【００１７】図２に示すように、第１発明の第２実施例
における光透過性フィルム材料検査装は、適宜ラミネー
ト膜、塗布膜、蒸着膜等が形成された光透過性フィルム
材料３を移動送行する光透過性フィルム材料送行手段Ａ
を備える。

【００１８】光透過性フィルム材料送行手段Ａは、光透
過性フィルム材料３の一端側に該材料３を巻き出す巻出
ロール１１と、他端側に該材料３を巻き取り駆動回転す
る巻取ロール１２とを備え、その間に、該材料３を平面
状態で直線的に移動送行させる例えばガイドロール１４
ａ，１４ｂガイド支持手段１４を備える。

【００１９】また、該光透過性フィルム材料送行手段Ａ
は、巻出ロール１１の巻出方向の近傍に、駆動回転する
対向ロールからなるインフィードロールＩを備え、巻取
ロール１２の巻取直前近傍に、駆動回転する対向ロール
からなるアウトフィードロールＯを備えるようにしても
よい。

【００２０】該ガイド支持手段１４により平面状態で直
線的に移動送行する光透過性フィルム材料３の表裏両面
に、その移動送行方向に対して互いに平行に離間対向す
る一対の平面反射板１５，１８を備え、例えば一方面の
該平面反射板１５に対して、９０°未満（０°を除外）
の入射角度にて照射光Ｌ（計測光）の入射光Ｌ_Iを照射
するする単一の計測光照射手段１６と、９０°未満入射
角度にて照射され且つ一対の前記平面反射板１５，１８
間で反射されて、最終的に出射する出射光Ｌ_O（計測
光）を受光検出する単一の計測光検出手段１７とを備え
る。

【００２１】同図２に示すように、該照射手段１６から
照射光Ｌを照射して、照射される入射光Ｌ_Iを前記平面
反射板１５と、それと対向する平面反射板１８間にて反
射させ、且つ直線的に移動送行する前記光透過性フィル
ム材料３に、交差して横切るように少なくとも２回以上
透過させて、最終的に出射する出射光Ｌ_O（計測光）を
単一の前記計測光検出手段１７にて受光検出するように
構成されている。

【００２２】次に本発明の第１発明の第３実施例におけ
る光透過性フィルム材料塗布膜検査装置を、図３の側面
図に従って、以下に詳細に説明する。

【００２３】図３に示すように、第１発明の第３実施例
における光透過性フィルム材料検査装は、適宜ラミネー
ト膜、塗布膜、蒸着膜等が形成された光透過性フィルム
材料３を移動送行する光透過性フィルム材料送行手段Ａ
を備える。

【００２４】光透過性フィルム材料送行手段Ａは、光透
過性フィルム材料３の一端側に該材料３を巻き出す巻出
ロール２１と、他端側に該材料３を巻き取り駆動回転す
る巻取ロール２２とを備え、その間に、該材料３を平面
状態で直線的に移動送行させる例えばガイドロール２４
ａ，２４ｂガイド支持手段２４を備える。

【００２５】また、該光透過性フィルム材料送行手段Ａ
は、巻出ロール２１の巻出方向の近傍に、駆動回転する
対向ロールからなるインフィードロールＩを備え、巻取
ロール２２の巻取直前近傍に、駆動回転する対向ロール
からなるアウトフィードロールＯを備えるようにしても
よい。

【００２６】該ガイド支持手段２４により平面状態で直
線的に移動送行する光透過性フィルム材料３の少なくと
も一方面に、その移動送行方向に対して各々４５°の角
度を以て互いに９０°の角度で離間対向する一対の平面
反射板２５ａ，２５ｂを備えた平面反射板群２５を備え
る。

【００２７】又は、該ガイド支持手段２４により平面状
態で直線的に移動送行する光透過性フィルム材料３の表
裏両面に、その移動送行方向に対して各々４５°の角度
を以て互いに９０°の角度で離間対向する一対の平面反
射板を複数対備えた平面反射板群２５，２８を備える。

【００２８】該平面反射板群２５の一対の平面反射板２
５ａ，２５ｂのうちの一方の平面反射板２５ａに対し
て、４５°入射角度にて照射光Ｌ（計測光）の入射光Ｌ
_Iを照射する単一の計測光照射手段２６と、４５°入射
角度にて照射され且つ順次一対の前記平面反射板２５
ａ，２５ｂ間、及び他の複数対の平面反射板２８ａ，２
８ｂ、２５ｃ，２５ｄ、２８ｃ，２８ｄ、２５ｅ，２５
ｆ、２８ｅ，２８ｆ、２５ｇ，２５ｈ間で反射されて最
終的に出射される出射光Ｌ_O（計測光）を受光検出する
単一の計測光検出手段２７とを備える。

【００２９】同図３に示すように、該照射手段２６から
照射光Ｌを照射して、照射される入射光Ｌ_Iを前記平面
反射板群２５，２８間にて反射させ、且つ直線的に移動
送行する前記光透過性フィルム材料３面に、交差して横
切るように２回以上透過して最終的に出射する出射光Ｌ
_O（計測光）を、単一の前記計測光検出手段２７にて受
光検出するように構成されている。

【００３０】次に本発明の第１発明の第４実施例におけ
る光透過性フィルム材料塗布膜検査装置を、図４の側面
図に従って、以下に詳細に説明する。

【００３１】図４に示すように、第１発明の第４実施例
における光透過性フィルム材料検査装は、上記第３実施
例における平面反射板群２５，２８の各々平面反射板前
面に集光用凸レンズ、集光用フレネルレンズ等の集光レ
ンズ２９を配置したものである。

【００３２】同図４に示すように、該照射手段２６から
照射光Ｌを集光レンズ２９を介して照射して、照射され
る集光した入射光Ｌ_Iを前記平面反射板群２５，２８間
にて反射させ、且つ直線的に移動送行する前記光透過性
フィルム材料３に、交差して横切るように２回以上透過
させて、最終的に出射する集光した出射光Ｌ_O（計測
光）を単一の前記計測光検出手段２７にて受光検出する
ように構成されている。なおそれぞれ集光レンズ２９に
よる集光部位は、図４に示すように光透過性フィルム材
料３面に集光するように設定することが適当であるが、
本発明においては特にこれに限定されるものではない。

【００３３】次に本発明の第２発明の光透過性フィルム
材料塗布膜検査装置を、図５の第２発明の第１実施例の
側面図に従って、以下に詳細に説明する。図５に示すよ
うに、第２発明の第１実施例における光透過性フィルム
材料検査装は、適宜ラミネート膜、塗布膜、蒸着膜等が
形成された光透過性フィルム材料３を移動送行する光透
過性フィルム材料送行手段Ａを備える。

【００３４】光透過性フィルム材料送行手段Ａは、光透
過性フィルム材料３の一端側に該材料３を巻き出す巻出
ロール２１と、他端側に該材料３を巻き取り駆動回転す
る巻取ロール２２とを備え、その間に、該材料３を平面
状態で直線的に移動送行させる例えばガイドロール２４
ａ，２４ｂガイド支持手段２４を備える。

【００３５】また、該光透過性フィルム材料送行手段Ａ
は、巻出ロール２１の巻出方向の近傍に、駆動回転する
対向ロールからなるインフィードロールＩを備え、巻取
ロール２２の巻取直前近傍に、駆動回転する対向ロール
からなるアウトフィードロールＯを備えるようにしても
よい。

【００３６】該ガイド支持手段２４により直線的に移動
送行する光透過性フィルム材料３の表裏両面側のいずれ
か一方面側に離間して、互いに９０°未満の角度を以て
離間対向する一対の平面反射板をｎ対備えた平面反射板
群３５を備え、且つ他方面側に離間対向して互いに９０
°未満の角度を以て離間対向する一対の平面反射板をｎ
＋１対備えた平面反射板群３８を備える。なお図５にお
いては、ｎ＝１の場合を示し、光透過性フィルム材料３
の一方面側の平面反射板群３５には、二対の平面反射板
３５ａ，３５ｂと、３５ｃ，３５ｄとを備え、他方面側
の平面反射板群３８には、一対の平面反射板３８ａ，３
８ｂを備えたものである。

【００３７】図５に示すように、前記光透過性フィルム
材料３の他方面側より一方面側の平面反射板３５ｄに対
して照射光Ｌ（計測光）の入射光Ｌ_Iを照射する単一の
計測光照射手段２６と、単一の該計測光照射手段２６に
て前記平面反射板３５ｄに照射され且つ順次他の各平面
反射板３５ｃ，３８ａ，３８ｂ，３５ｂ，３５ａ間で反
射されて同一部位Ｆを通過して出射する出射光Ｌ_O（計
測光）を検出する単一の計測光検出手段２７とを備え
る。

【００３８】図５に示すように、前記照射手段２６にて
平面反射板３５ｄに照射された入射光Ｌ_Iは、順次平面
反射板３５ｃ，３８ａ，３８ｂ，３５ｂ，３５ａ間にて
同一部位Ｆを通過するように反射され、且つ前記同一部
位Ｆを通過するように直線的に移動送行する前記光透過
性フィルム材料３に、交差して横切るように２回以上透
過して、最終的に出射する出射光Ｌ_O（計測光）を単一
の前記計測光検出手段２７にて受光検出するように構成
されている。なお第２発明の上記第１実施例において
は、平面反射板群３５及び平面反射群３８のそれぞれ平
面反射板の前面に集光レンズを配置することは可能であ
る。

【００３９】次に本発明の第２発明の光透過性フィルム
材料塗布膜検査装置を、図６の第２発明の第２実施例の
側面図に従って、以下に詳細に説明する。図６に示すよ
うに、第２発明の第２実施例における光透過性フィルム
材料検査装は、適宜ラミネート膜、塗布膜、蒸着膜等が
形成された光透過性フィルム材料３を移動送行する光透
過性フィルム材料送行手段Ａを備える。

【００４０】光透過性フィルム材料送行手段Ａは、光透
過性フィルム材料３の一端側に該材料３を巻き出す巻出
ロール２１と、他端側に該材料３を巻き取り駆動回転す
る巻取ロール２２とを備え、その間に、該材料３を平面
状態で直線的に移動送行させる例えばガイドロール２４
ａ，２４ｂガイド支持手段２４を備える。

【００４１】また、該光透過性フィルム材料送行手段Ａ
は、巻出ロール２１の巻出方向の近傍に、駆動回転する
対向ロールからなるインフィードロールＩを備え、巻取
ロール２２の巻取直前近傍に、駆動回転する対向ロール
からなるアウトフィードロールＯを備えるようにしても
よい。

【００４２】該ガイド支持手段２４により直線的に移動
送行する光透過性フィルム材料３の表裏両面側のいずれ
か一方面側に離間対向するライトガイド手段５０を備
え、且つ他方面側に離間対向するライトガイド手段４０
を備える。

【００４３】例えばライトガイド手段５０は、図６に示
すように、光透過性フィルム材料３の上面に離間対向す
るＵ字状の１個の透明な合成樹脂若しくは透明なガラス
により形成された単一線状若しくは結束集合した複数線
状（若しくは丸棒状、角棒状）又は単一偏平板状若しく
は結束集合した複数偏平板状のライトガイド５１を備
え、該ライトガイド５１はその両端部５１ａ，５１ｂを
光透過性フィルム材料３面に向けて配置され、該両端部
５１ａ，５１ｂが徐々に近設するような閉塞Ｕ字状を呈
している。

【００４４】また、ライトガイド手段４０は、図６に示
すように、光透過性フィルム材料３の下面に離間対向す
るＵ字状の２個の透明な合成樹脂若しくは透明なガラス
により形成された線状（若しくは丸棒状）のライトガイ
ド４１，４２を備え、その両端部４１ａ，４１ｂ、４２
ａ，４２ｂを光透過性フィルム材料３面に向けて配置さ
れ、該両端部４１ａ，４１ｂ、４２ａ，４２ｂが徐々に
近設するような閉塞Ｕ字状を呈している。

【００４５】前記光透過性フィルム材料３の一方面側よ
り他方面側のライトガイド４２の端部４２ｂに向けて照
射光Ｌの入射光Ｌ_I（計測光）を照射し、ライトガイド
４２内に入射光Ｌ_Iを導入する単一の計測光照射手段２
６を備える。

【００４６】単一の前記計測光照射手段２６によって前
記ライトガイド４２内に導入されＵ字状（折り返し状
態）にガイドされた入射光Ｌ_Iは、その他端部４２ａよ
り放出される。

【００４７】放出された入射光Ｌ_Iは、対向するライト
ガイド５１の端部５１ａより導入されＵ字状（折り返し
状態）にガイドされて他端部５１ｂより放出される。

【００４８】他端部５１ｂより放出された前記入射光Ｌ
_Iは、対向するライトガイド４１の端部４１ｂより導入
されＵ字状（折り返し状態）にガイドされて他端部４１
ａより出射する。

【００４９】それぞれ前記ライトガイド４１，４２，５
１にガイドされて導入、放出を繰り返す前記入射光Ｌ_I
は、途中において同一部位Ｆを通過するようにガイドさ
れ、ライトガイド４１の他端部４１ａより出射した出射
光Ｌ_O（計測光）の前方には単一の計測光検出手段２７
を備える。

【００５０】前記ライトガイドにて同一部位Ｆを通過す
るようにカイドされ、且つ直線的に移動送行する前記光
透過性フィルム材料３に、交差して横切るように２回以
上透過して最終的に出射する出射光Ｌ_O（計測光）を単
一の前記計測光検出手段２７にて受光検出するように構
成されている。

【００５１】次に、本発明装置を用いて検査する場合の
操作についての詳細を以下に説明する。

【００５２】図１は、第１発明の１実施例を説明する概
要側面図であり、不良部分の長尺方向の長さが比較的長
い（例えば数メートル以上の長さに亘る）場合に適用で
きるものである。

【００５３】フィルム材料３の移動送行手段Ａの巻取ロ
ール２によりフィルム材料３（被検査物）を巻き取る過
程において、フィルム材料３を複数のガイド支持手段４
のガイドロール４ａ，４ｂ，４ｃ・・・に掛けてジグザ
グ状に曲げることにより、照射手段６からフィルム材料
３に照射される計測光Ｌ（照射光）が検出手段７により
受光されるまでにフィルム材料３を数回に亘って透過す
る。

【００５４】図１の１実施例では、ガイドロールを５本
として透過回数を６回に設定したものであるが、実際に
はフィルム材料３による光散乱の強さ、検出する不良部
分のサイズ、及びＳ／Ｎ比の大きさ等に対応して、ガイ
ドロールの本数を適宜変更したり、透過回数を適宜に選
択することは可能である。

【００５５】図２は、本発明の第１発明の第２実施例を
説明する概要側面図であり、不良部分の長尺方向の長さ
が比較的短い（例えば数ｃｍ〜１００ｃｍ程度に亘る）
場合に適用できる。

【００５６】フィルム材料３の移動送行手段Ａである巻
取ロール１２により、フィルム材料３を巻取る過程にお
いて、フィルム材料３をガイド支持手段１４の各ガイド
ロール１４ａ，１４ｂにより平面状態に保持する。

【００５７】フィルム材料３（被検査物）の平面状態に
保持された部分を挟む位置に、２枚の平面反射板１５，
１８を配置し、照射手段１６からの計測光Ｌ（照射光）
が検出手段１７により検出されるまでに、平面反射板１
５，１８間で反射を繰り返すことにより、計測光Ｌはフ
ィルム材料３を複数回に亘って透過するものである。

【００５８】また、平面反射板１５，１８に取付けられ
た回転機構１５ａ，１８ａにより、反射板１５，１８の
フィルム材料３（被検査物）に対する角度を適宜変更す
ること、及び照射手段１６からの照射光Ｌの入射角度を
変更することにより、計測光Ｌがフィルム材料３を通過
する回数や、検査面積大きさを適宜選択することができ
る。

【００５９】図３は、第１発明の第２実施例を説明する
概要側面図であり、図２におけるような大きな平面反射
板１５，１８ではなく、小さな平面反射板を複数配置し
た平面反射板群２５，２８を用いるものである。

【００６０】平面反射板群２５，２８の各平面反射板２
５ａ，２５ｂ，２５ｃ・・・、及び平面反射板２８ａ，
２８ｂ，２８ｃ・・・は全てフィルム材料３に対して４
５°の角度に設定され、またフィルム材料３の互いに同
一面側にて離間対向する各一対の平面反射板は、互いに
９０°の角度になるように設定されているため、照射手
段２６からの計測光Ｌは、常にフィルム材料３に垂直に
入射して、フィルム材料３表面での全反射による計測光
の減衰を抑えることができる。なおフィルム材料３に関
して同じ側にあるそれぞれ平面反射板群２５，２８は、
アルミブロックを用いた連続一体化した集合反射板であ
ってもよい。

【００６１】図４は、第１発明の第３実施例を説明する
概要側面図であり、図３にて示した各平面反射板２５
ａ，２５ｂ，２５ｃ・・・と、フィルム材料３との間、
及び各平面反射板２８ａ，２８ｂ，２８ｃ・・・と、フ
ィルム材料３との間に、集光レンズ２９（平凸レンズ、
又は両凸レンズ）を配置し、照射手段２６とフィルム材
料３との間、及び検出手段２７とフィルム材料３との間
に、集光レンズ２９（両凸レンズ又は平凸レンズ）を配
置したものである。

【００６２】集光レンズ２９は、計測光Ｌがフィルム材
料３上に焦点を結ぶように配置されているため、照射光
Ｌの光散乱、あるいはフィルム材料３面での光散乱によ
る計測光の減衰を小さくして抑えることができる。なお
フィルム材料３に関して同じ側にある集光レンズ２９
は、連続一体化した１枚のシリンドリカルレンズアレイ
としてもよい。

【００６３】図５は、本発明の第２発明の第１実施例を
説明する概要側面図であり、フィルム材料３の不良部分
の長尺方向の長さが数ｃｍ以下のものに対して適用でき
る。

【００６４】照射手段２６、フィルム材料移動送行手段
Ａ、検出手段２７、及びガイド支持手段２４の動作は、
図２乃至図４に示したものと同一である。

【００６５】照射手段２６からの計測光Ｌが、測定点Ｆ
（前述した同一部位Ｆ）を透過して２枚１対の平面反射
板３５ｄ，３５ｃにより入射角度を変換され、再度測定
点Ｆ（前述した同一部位Ｆ）に再入射される。

【００６６】２枚１対の平面反射板３８ａ，３８ｂ、及
び３５ｂ，３５ａも、それぞれ同様に動作し、計測光Ｌ
は前記同一部位Ｆを通過してフィルム材料３を複数回に
亘って透過し、検出手段２７によって受光検出される。
この時、検出手段２７に受光される直前の計測光Ｌの入
射光が、照射手段２６からの計測光Ｌの反射角と異なる
ように、前記平面反射板３５ａを配置することによっ
て、フィルム材料３からの直接の表面反射光をカットす
ることができる。

【００６７】あるいは、前記平面反射板３５ｃにて反射
した計測光Ｌがフィルム材料３を透過して平面反射板３
８ａに入射する際において、フィルム材料３からの該計
測光Ｌの直接の表面反射光が平面反射板３５ａに入射し
ないように、適宜平面反射板３５ａの角度を適宜に設定
することは可能である。

【００６８】図５においては、計測光Ｌがフィルム材料
３を４回に亘って透過する場合を説明したが、平面反射
板の枚数及び配置を選択することにより、透過回数を任
意に設定できる。

【００６９】また、角平面反射板の前方に平凸レンズ、
両凸レンズ等の集光レンズを配置して、測定個所Ｆ（同
一部位Ｆ）上に焦点を結ぶようにして、フィルム材料３
の光散乱による検査光の減衰を小さくするようにしても
よい。

【００７０】図６は、第２発明の第２実施例を説明する
概要側面図であり、図５における複数枚の平面反射板に
よる計測光Ｌの光路変更機能を、ライトガイド手段４
０，５０（光ファイバー）によって実現するようにした
ものであり、ライトガイド手段４０，５０によって、同
一部位Ｆ（測定個所Ｆ）上を計測光Ｌが通過するように
したものである。なお、光散乱による計測光Ｌの減衰を
小さくするため、ライトガイド手段４０，５０の各ライ
トガイド４１，４２，５１の両端部を集光レンズ状に成
形してもよい。

【００７１】上記本発明の第１発明、第２発明における
光透過性フィルム材料検査装置は、透明又は半透明の光
透過性フィルム材料３をその長尺方向に移動する移動送
行手段Ａと、計測光が被検査物（光透過性フィルム材料
３）を複数回に亘って透過するような光学的多重透過機
構と、複数回透過した計測光の光量を検出する光学検出
センサを備えているものであり、フィルム材料３の送行
を停止した状態で検査をするか、又は移動送行を継続し
ながら検査を行なうことができる。

【００７２】この場合の多重透過機構は、図１に示すよ
うに、フィルム材料３がその長尺方向に複数の支持ロー
ルに掛けられて曲げられることによって、計測光がフィ
ルム材料を複数回に亘って透過する機構になっている
か、あるいは図２乃至図６に示すように、平面状態に支
持されたフィルム材料３を挟むように配置された反射板
若しくはライトガイド（光ファイバー等）によって計測
光が反射して、フィルム材料３と交差して横切るように
複数回に亘って透過する機構になっている。

【００７３】なお、使用する計測光は通常は可視光領域
を使用するものであるが、測定精度等の関係から、他の
波長領域を使用することは可能である。

【００７４】例えば、照射手段に使用する光源として
は、蛍光灯、ハロゲン、キセノン等の各種ランプを用い
ることができ、二次元的に所定平面領域を照射するエリ
ア照射型光源、一次元的に所定直線領域を照射するリニ
ア照射型光源、又は個別に各ポイント領域を照射するポ
イント照射型光源を用いることができ、例えば光透過性
フィルム材料でも特に散乱効果の大きいものを検査対象
とする場合は、計測光の指向性を良くするために光源と
してレーザー光を使用してもよい。

【００７５】また、フィルム材料を通過する際の散乱に
よる計測光の減衰を抑えるために、計測光の光路上に光
学レンズ等の素子を配置して、計測光がフィルム材料上
に焦点を結ぶようにしてもよい。

【００７６】フィルム材料３に計測光を照射するための
計測光照射手段としては、エリア照射型光源、リニア照
射型光源、個別ポイント照射型光源が使用でき、またフ
ィルム材料３を複数回通過した計測光を検出する計測光
検出手段としては、エリア型ＣＣＤセンサ、リニア型Ｃ
ＣＤセンサ、個別ポイント半導体センサ等の各種光電変
換素子を用いることができる。

【００７７】フィルム材料の不良部分（成膜厚ムラや塗
布膜厚ムラ等の存在する部分）からの透過光強度の波長
依存性が、フィルム材料の良品部分（成膜厚ムラや塗布
膜厚ムラ等の無い部分）からの透過光強度の波長依存性
とは異なる場合、検出装置の前方に光学フィルタを設け
て、不良部分を強調して検出操作することは可能であ
る。

【００７８】本発明における前記移動送行手段Ａについ
ては、フィルム材料等の被検査物が巻取れる場合は、巻
取・巻出装置を備え、その間に検査エリアを設ける構成
でよいが、容易に巻取れない場合、若しくは他の装置に
よる工程操作がある場合等では、被検査物の受渡し操作
における移動機構を採用してもよい。

【００７９】

【作用】本発明の第１発明の第１実施例における光透過
性フィルム材料検査装置は、ガイド支持手段４によって
ジグザグ状に曲げられた光透過性フィルム材料３に対し
て、交差して横切るように直線的に計測光Ｌを照射し
て、フィルム材料３に対して該計測光Ｌを２回以上透過
させてフィルム材料３を透過した出射光の強度の変化の
有無を測定することができるので、計測光のＳ／Ｎ比を
増大でき、明度差の小さい不良部分の存在するようなフ
ィルム材料３の成膜厚ムラや塗布膜厚ムラを目視に依ら
ずに自動的に精度よく検査することができる。

【００８０】また、本発明の第１発明の第２実施例乃至
第４実施例における光透過性フィルム材料検査装置は、
ガイド支持手段１４、２４によって平面状態に支持され
た光透過性フィルム材料３に対して、平面反射板によっ
て光路を屈曲させた計測光Ｌを繰り返し交差して横切る
ように照射して、フィルム材料３に対して該計測光Ｌを
２回以上透過させてフィルム材料３を透過した出射光の
強度の変化の有無を測定することができるので、計測光
のＳ／Ｎ比を増大でき、明度差の小さい不良部分の存在
するようなフィルム材料３の成膜厚ムラや塗布膜厚ムラ
を目視に依らずに自動的に精度よく検査することができ
る。

【００８１】また、本発明の第２発明の第１実施例乃至
第２実施例における光透過性フィルム材料検査装置は、
平面反射板の組合せ、又はライトガイドによって、計測
光Ｌの光路を屈曲させ、ガイド支持手段２４によって平
面状態に支持された光透過性フィルム材料３に対して、
測定点としての同一部位Ｆを通過するように、且つ該計
測光Ｌを繰り返し交差して横切るように照射して、フィ
ルム材料３に対して該計測光Ｌを２回以上透過させ、フ
ィルム材料３を透過した出射光の強度の変化の有無を測
定することができるので、計測光のＳ／Ｎ比を増大で
き、明度差の小さい不良部分の存在するようなフィルム
材料３の成膜厚ムラや塗布膜厚ムラを目視に依らずに自
動的に精度よく検査することができる。

【００８２】

【発明の効果】本発明の光透過性フィルム材料検査装置
は、２回以上の透過による検査ができるため、検出Ｓ／
Ｎ比が改善され、従来のような１回透過による検査方式
では検出が不可能であった明度差の小さい成膜厚ムラや
塗布膜厚ムラを精度良く検査することができ、また計測
光の減衰を小さく抑えることが可能となる等の効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１発明の第１実施例を説明する概要
側面図である。

【図２】本発明の第１発明の第２実施例を説明する概要
側面図である。

【図３】本発明の第１発明の第３実施例を説明する概要
側面図である。

【図４】本発明の第１発明の第４実施例を説明する概要
側面図である。

【図５】本発明の第２発明の第１実施例を説明する概要
側面図である。

【図６】本発明の第２発明の第２実施例を説明する概要
側面図である。

【符号の説明】

Ｌ…照射光（計測光）Ｌ_I…入射光Ｌ_O…出射光
Ａ…移動送行手段Ｉ…インフィードロールＯ…アウトフィードロール１…巻出ロール２…巻取ロール３…光透過性フィル
ム材料４…ガイド支持手段６…計測光照射手段７…計測光
検出手段１１…巻出ロール１２…巻取ロール１４…ガイド支
持手段１５…平面反射板１６…計測光照射手段１７…計測
光検出手段１８…平面反射板２１…巻出ロール２２…巻取ロール２４…ガイド支
持手段２５…平面反射板群２６…計測光照射手段２７…計
測光検出手段２８…平面反射板群２９…集光レンズ３５…平面反射板群３８…平面反射板群４０…ライトガイド手段４１…ライトガイド４２…
ライトガイド４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ…端部５０…ライトガイド手段５１…ライトガイド５１
ａ，５１ｂ…端部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光透過性フィルム材料を移動送行する光透
過性フィルム材料送行手段と、光透過性フィルム材料面
の互いに異なる複数の部位に対して交差する方向に計測
光を照射する単一の計測光照射手段と、光透過性フィル
ム材料の前記異なる部位を透過して最終的に出射する計
測光を受光検出する単一の計測光検出手段とを設けたこ
とを特徴とする光透過性フィルム材料検査装置。
【請求項２】光透過性フィルム材料を移動送行する光透
過性フィルム材料送行手段と、光透過性フィルム材料面
の同一部位を通過するように該フィルム面の同一部位に
対して交差する方向に計測光を照射する単一の計測光照
射手段と、光透過性フィルム材料の前記異なる部位を透
過して最終的に出射する計測光を受光検出する単一の計
測光検出手段とを設けたことを特徴とする光透過性フィ
ルム材料検査装置。
【請求項３】前記請求項１記載の光透過性フィルム材料
検査装置において、光透過性フィルム材料送行手段は、
光透過性フィルム材料を１乃至数回の折返し状態で移動
送行させる折返しガイド支持手段を備え、折返し移動送
行する光透過性フィルム材料面に対して交差する方向に
一対の相対する単一計測光照射手段と計測光検出手段と
を備え、折返しの各光透過性フィルム材料面を透過して
最終的に出射する計測光を単一の前記計測光検出手段に
て受光検出するように構成された光透過性フィルム材料
検査装置。
【請求項４】前記請求項１記載の光透過性フィルム材料
検査装置において、光透過性フィルム材料送行手段は、
光透過性フィルム材料を平面状態で直線的に移動送行さ
せるガイド支持手段を備え、直線的に移動送行する光透
過性フィルム材料の表裏両面に、その移動送行方向に対
して互いに平行に離間対向する一対の平面反射板を備
え、該平面反射板に対して９０°未満（０°を除外）入
射角度にて計測光を照射する単一の計測光照射手段と、
９０°未満入射角度にて照射され且つ一対の前記平面反
射板間で反射される計測光を検出する単一の計測光検出
手段とを備え、前記平面反射板間にて反射し且つ直線的
に移動送行する前記光透過性フィルム材料面を透過して
最終的に出射する計測光を単一の前記計測光検出手段に
て受光検出するように構成された光透過性フィルム材料
検査装置。
【請求項５】前記請求項１記載の光透過性フィルム材料
検査装置において、光透過性フィルム材料送行手段は、
光透過性フィルム材料を平面状態で直線的に移動送行さ
せるガイド支持手段を備え、直線的に移動送行する光透
過性フィルム材料の表裏両面にその移動送行方向に対し
て各々４５°の角度を以て互いに９０°の角度で離間対
向する一対の平面反射板を複数対備え、該平面反射板に
対して４５°入射角度にて計測光を照射する単一の計測
光照射手段と、４５°入射角度にて照射され且つ一対の
前記平面反射板間及び複数対の平面反射板間で反射され
る計測光を検出する単一の計測光検出手段とを備え、前
記平面反射板間にて反射し且つ直線的に移動送行する前
記光透過性フィルム材料面を透過して最終的に出射する
計測光を単一の前記計測光検出手段にて受光検出するよ
うに構成された光透過性フィルム材料検査装置。
【請求項６】前記請求項１記載の光透過性フィルム材料
検査装置において、光透過性フィルム材料送行手段は、
光透過性フィルム材料を平面状態で直線的に移動送行さ
せるガイド支持手段を備え、直線的に移動送行する光透
過性フィルム材料の表裏両面にその移動送行方向に対し
て各々４５°の角度を以て互いに９０°の角度で離間対
向する一対の平面反射板を複数対備え、該平面反射板に
対して４５°入射角度にて計測光を照射する単一の計測
光照射手段と、４５°入射角度にて照射され且つ一対の
前記平面反射板間及び複数対の平面反射板間で反射され
る計測光を検出する単一の計測光検出手段とを備え、前
記計測光検出手段及び平面反射板及び計測光検出手段の
各々前面に集光レンズを備え、前記平面反射板間にて反
射し且つ直線的に移動送行する前記光透過性フィルム材
料面を透過して最終的に出射する計測光を単一の前記計
測光検出手段にて受光検出するように構成された光透過
性フィルム材料検査装置。
【請求項７】前記請求項２記載の光透過性フィルム材料
検査装置において、光透過性フィルム材料送行手段は、
光透過性フィルム材料を平面状態で直線的に移動送行さ
せるガイド支持手段を備え、直線的に移動送行する光透
過性フィルム材料の表裏両面側のいずれか一方面側に離
間して互いに９０°未満の角度を以て離間対向する一対
の平面反射板をｎ対備え、且つ他方面側に離間対向して
互いに９０°未満の角度を以て離間対向する一対の平面
反射板をｎ＋１対備え、前記一方面側より他方面側の平
面反射板に対して計測光を照射する単一の計測光照射手
段と、単一の該計測光照射手段にて前記平面反射板に照
射され且つ他の各平面反射板間で反射されて同一部位を
通過して出射する計測光を検出する単一の計測光検出手
段とを備え、前記平面反射板間にて同一部位を通過する
ように反射し且つ直線的に移動送行する前記光透過性フ
ィルム材料面を透過して最終的に出射する計測光を単一
の前記計測光検出手段にて受光検出するように構成され
た光透過性フィルム材料検査装置。
【請求項８】単一の前記計測光検出手段及び平面反射板
及び単一の前記計測光検出手段の各々前面に集光レンズ
を備えた請求項７に記載の光透過性フィルム材料検査装
置。
【請求項９】前記請求項２記載の光透過性フィルム材料
検査装置において、光透過性フィルム材料送行手段は、
光透過性フィルム材料を平面状態で直線的に移動送行さ
せるガイド支持手段を備え、直線的に移動送行する光透
過性フィルム材料の表裏両面側のいずれか一方面側に離
間対向する閉塞Ｕ字状の１個のライトガイドを備え、且
つ他方面側に離間対向する閉塞Ｕ字状の２個のライトガ
イドを備え、前記一方面側より他方面側のライトガイド
に対して計測光を照射する単一の計測光照射手段と、単
一の該計測光照射手段にて前記ライトガイドに照射され
且つ他の各ライトガイドによってガイドされて同一部位
を通過して出射する計測光を検出する単一の計測光検出
手段とを備え、前記ライトガイドにて同一部位を通過す
るようにガイドされ且つ直線的に移動送行する前記光透
過性フィルム材料面を透過して最終的に出射する計測光
を単一の前記計測光検出手段にて受光検出するように構
成された光透過性フィルム材料検査装置。