JP2006258739A - 光束分岐出力装置および複数光束出力型の測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光束分岐出力装置3において、出射モジュール9から空間に出射された1つの光束を分岐させる分岐光学系17は、第1、第2および第3の光束分岐手段11,12,13により構成されている。第1の光束分岐手段11は4個のプリズム単体P1〜P4により、第2の光束分岐手段12は2個のプリズム単体P5,P6により、また第3の光束分岐手段13は12個のプリズム単体P7〜P18により、それぞれ構成されており、1つの光束を測定光束用と参照光束用との各一対の12組の光束に分岐する。
【選択図】 図2
Description
2 光源装置
3 光束分岐出力装置
4 試料保持手段
5 光検出装置
6 解析装置
7 支持台
8 光ファイバ
9 出射モジュール
10 減衰フィルタ
11 第1の光束分岐手段
12 第2の光束分岐手段
13 第3の光束分岐手段
14 ロッドレンズ
15,16 シリンドリカルレンズ
17 分岐光学系
18 収束光学系
41 貯留ブロック
41a (貯留ブロックの)左側面
41b (貯留ブロックの)右側面
42 凹部
42a (凹部の)底面
P1〜P4 プリズム単体
S0 偏光分離面
S1〜S12 光束分岐面
T1〜T4 全反射面
Claims (5)
- 空間に出射された1つの光束を分岐光路上に配置した光束分岐手段により所定数に分岐し、分岐させた各々の光束を、表面プラズモン励起用の照射光束として出力する光束分岐出力装置であって、
前記光束分岐手段は、複数のプリズム単体を互いに接合してなるビームスプリッタを備えてなることを特徴とする光束分岐出力装置。 - 前記1つの光束が入射する第1の前記光束分岐手段において、該1つの光束を測定光束用と参照光束用との互いに平行な一対の光束に分岐し、前記分岐光路上で該第1の光束分岐手段よりも後段に配置される他の光束分岐手段の各光束分岐面において、入射する前記一対の光束を各一対の2組の光束に順次分岐していき、最終的に互いに平行な一対の測定光束と参照光束とからなる複数組の前記照射光束を出力するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の光束分岐出力装置。
- 少なくとも1つの前記光束分岐手段は、前記分岐光路上において互いに平行に配設された複数の光束分岐面を備えてなることを特徴とする請求項1または2記載の光束分岐出力装置。
- 前記分岐光路の始端に、偏光ビームスプリッタを配設してなることを特徴とする請求項1〜3までのうちいずれか1項記載の光束分岐出力装置。
- 請求項1〜4までのうちいずれか1項記載の光束分岐出力装置と、
該光束分岐出力装置から出力された前記照射光束を誘電体試料と金属との境界面に照射することにより、該金属面と前記誘電体試料との境界面に励起される表面プラズモンの変化、を検出する検出手段と、
を備えてなることを特徴とする複数光束出力型の測定装置。
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