JPH0792340B2 - 炉内温度モニタ装置 - Google Patents
炉内温度モニタ装置Info
- Publication number
- JPH0792340B2 JPH0792340B2 JP18979489A JP18979489A JPH0792340B2 JP H0792340 B2 JPH0792340 B2 JP H0792340B2 JP 18979489 A JP18979489 A JP 18979489A JP 18979489 A JP18979489 A JP 18979489A JP H0792340 B2 JPH0792340 B2 JP H0792340B2
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- JP
- Japan
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- conveyor
- data
- data transmitter
- installation piece
- furnace
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- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、被加熱物体をコンベアにて炉内に搬送して接
着剤の硬化、半田付けなどを行うリフロー炉の炉内温度
モニタ装置に関する。
着剤の硬化、半田付けなどを行うリフロー炉の炉内温度
モニタ装置に関する。
（従来の技術） この種の炉内温度モニタ装置の先行例としては、特開昭
63−318485号がある。
63−318485号がある。
この装置は無線によるデータ送信機を炉内の搬送用コン
ベアに取付け、炉内の温度をリアルタイムでモニタでき
るようにしたものである。
ベアに取付け、炉内の温度をリアルタイムでモニタでき
るようにしたものである。
この場合、最近においては、第６図に示すように、プリ
ント基板の如き被加熱物体１の両面に各種の電子部品を
搭載することが多く、このため、第７図に示すように、
搬送用のコンベア２としては被加熱物体１の両端だけを
支えるチェーン式がよく用いられている。しかして、こ
の場合、コンベアチェーン2aの巾は、多品種のプリント
基板に対応するために、第８図に示すように、コンベア
巾調整ハンドル10を介し可変自在に構成されていること
が多い。
ント基板の如き被加熱物体１の両面に各種の電子部品を
搭載することが多く、このため、第７図に示すように、
搬送用のコンベア２としては被加熱物体１の両端だけを
支えるチェーン式がよく用いられている。しかして、こ
の場合、コンベアチェーン2aの巾は、多品種のプリント
基板に対応するために、第８図に示すように、コンベア
巾調整ハンドル10を介し可変自在に構成されていること
が多い。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来のデータ送信器は、その巾が固定
で、自分より巾の広いプリント基板面の温度測定をする
時には、第７図に示すように、同じ巾のプリント基板の
如き部材１′をもう１枚用意してその上にデータ送信器
３′を耐熱テープＴでもって固定しなければならず、作
業が非常に煩雑であるという課題があった。
で、自分より巾の広いプリント基板面の温度測定をする
時には、第７図に示すように、同じ巾のプリント基板の
如き部材１′をもう１枚用意してその上にデータ送信器
３′を耐熱テープＴでもって固定しなければならず、作
業が非常に煩雑であるという課題があった。
本発明は上記のことに鑑み提案されたもので、その目的
とするところは、コンベア巾に対しデータ送信器の巾も
調整可能とした炉内温度モニタ装置を提供するにある。
とするところは、コンベア巾に対しデータ送信器の巾も
調整可能とした炉内温度モニタ装置を提供するにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、リフロー炉内に被加熱物体とともにコンベア
にて搬送され、被加熱物体の要部の温度を測定するとと
もに測定データにて搬送波を変調した電波を断熱ケース
に突設された送信アンテナから送信するデータ送信器
と、炉内のコンベア上方に搬送方向に沿って張設され上
記電波を受信する受信アンテナと、受信アンテナ出力を
増幅、復調してデータ信号を出力するデータ受信器とよ
り成る炉内温度モニタ装置において、データ送信器に伸
縮自在な設置片を設け、この設置片を介しデータ送信器
をコンベアに置いて搬送させるように構成することによ
り、上記目的を達成している。
にて搬送され、被加熱物体の要部の温度を測定するとと
もに測定データにて搬送波を変調した電波を断熱ケース
に突設された送信アンテナから送信するデータ送信器
と、炉内のコンベア上方に搬送方向に沿って張設され上
記電波を受信する受信アンテナと、受信アンテナ出力を
増幅、復調してデータ信号を出力するデータ受信器とよ
り成る炉内温度モニタ装置において、データ送信器に伸
縮自在な設置片を設け、この設置片を介しデータ送信器
をコンベアに置いて搬送させるように構成することによ
り、上記目的を達成している。
（作用） 上記のように、データ送信器に伸縮自在な設置片を取付
けることにより、コンベア巾に対応して設置片を伸縮せ
しめ、データ送信器をコンベアに載置し、搬送できるよ
うにしている。
けることにより、コンベア巾に対応して設置片を伸縮せ
しめ、データ送信器をコンベアに載置し、搬送できるよ
うにしている。
（実施例１） 第１図ないし第３図（ａ），（ｂ）は本発明の第１実施
例を示すもので、この実施例ではデータ送信器３の一方
の側部にコンベア巾方向に対し伸縮自在な一対の設置片
８を設けたことに特徴を有している。
例を示すもので、この実施例ではデータ送信器３の一方
の側部にコンベア巾方向に対し伸縮自在な一対の設置片
８を設けたことに特徴を有している。
しかして、先ず、炉内温度モニタ装置全体構成について
説明する。
説明する。
すなわち、この装置は、リフロー炉Ａ内にコンベア２に
てプリント基板の如き被加熱物体１とともに搬送され、
被加熱物体１の要部の温度を測定するとともに測定デー
タにて搬送波を変調した電波（150MHzのF2D）を断熱ケ
ース４に突設された送信アンテナ５から送信するデータ
送信器３と、炉内のコンベア２上方に搬送方向に沿って
張設され、上記電波を受信する受信アンテナ６と、受信
アンテナ６出力を増幅、復調して測定データを出力する
データ受信器７とで形成されている。ここに、データ受
信器３は、熱電対TC1〜TC4を用いて検出された被加熱物
体１の要部温度の測定データ（０〜300℃、分解能１
℃、サンプリング時間0.2sec）を送信アンテナ５を介し
て放射される電波にて送信するようになっており、デー
タ送信器３は、断熱ケース４内に収納された電池（図示
せず）にて駆動されるようになっている。データ送信器
３の回路部および電池を収納する断熱ケース４は、加熱
手段による温度上昇を回避するため表面がステンレスで
裏にベークライトが張られた断熱板にて形成され、断熱
ケース４の一側面には、送信アンテナ５が露出されると
ともに、熱電対TC1〜TC4が導出されている。熱電対TC1
〜TC4および送信アンテナ５の断熱ケース４からの引き
出し部は、マイカにて挟持された絶縁断熱型の引出し構
造となっている。
てプリント基板の如き被加熱物体１とともに搬送され、
被加熱物体１の要部の温度を測定するとともに測定デー
タにて搬送波を変調した電波（150MHzのF2D）を断熱ケ
ース４に突設された送信アンテナ５から送信するデータ
送信器３と、炉内のコンベア２上方に搬送方向に沿って
張設され、上記電波を受信する受信アンテナ６と、受信
アンテナ６出力を増幅、復調して測定データを出力する
データ受信器７とで形成されている。ここに、データ受
信器３は、熱電対TC1〜TC4を用いて検出された被加熱物
体１の要部温度の測定データ（０〜300℃、分解能１
℃、サンプリング時間0.2sec）を送信アンテナ５を介し
て放射される電波にて送信するようになっており、デー
タ送信器３は、断熱ケース４内に収納された電池（図示
せず）にて駆動されるようになっている。データ送信器
３の回路部および電池を収納する断熱ケース４は、加熱
手段による温度上昇を回避するため表面がステンレスで
裏にベークライトが張られた断熱板にて形成され、断熱
ケース４の一側面には、送信アンテナ５が露出されると
ともに、熱電対TC1〜TC4が導出されている。熱電対TC1
〜TC4および送信アンテナ５の断熱ケース４からの引き
出し部は、マイカにて挟持された絶縁断熱型の引出し構
造となっている。
一方、炉内に張設される受信アンテナ６は、耐熱温度が
1300℃の耐熱がいしにて支持されている。また、データ
受信器７から出力される測定データは、データ処理回路
によって処理され、プリンタにてプリントアウトされる
とともに、CRT表示装置に表示されるようになってい
る。
1300℃の耐熱がいしにて支持されている。また、データ
受信器７から出力される測定データは、データ処理回路
によって処理され、プリンタにてプリントアウトされる
とともに、CRT表示装置に表示されるようになってい
る。
次に装置の動作について具体的に説明する。いま、デー
タ送信器３は、それ自身および後述する設置片８を介し
コンベア２に載置され、炉内を通過するようになってお
り、この炉内通過中に一定時間（0.2sec）毎にプリント
基板の４箇所の温度が熱電対TC1〜TC4によって測定さ
れ、測定信号をA/D変換した測定データを所定周波数（1
50MHz）の搬送波を用いた電波によって送信アンテナ５
から送信されるようになっている。この電波はコンベア
２の上方に張設されている受信アンテナ６によって受信
され、データ受信器７によって増幅復調されて測定デー
タが得られる。この測定データはデータ処理回路によっ
て処理されてプリントアウトあるいはCRT表示によって
加熱パターンがリアルタイムで表示されるようになって
いる。以上のように、データ送信器３をコンベア２にて
搬送して炉内を通過させるだけで加熱パターンが実測で
きるようになっており、炉内温度のモニタ作業が簡単
で、しかもリアルタイムで炉内温度をモニタすることが
できるようになっている。また、受信アンテナ６を被加
熱物体１の搬送路に沿って張設しているので、送信アン
テナ５から発信される電波が他の電子機器に電波障害を
与えない程度の微弱電波（3m離れた地点における電界強
度が500μV/m以下）であってもデータ送信器３とデータ
受信器７との間のデータ伝送を確実に行うことができる
ようになっている。
タ送信器３は、それ自身および後述する設置片８を介し
コンベア２に載置され、炉内を通過するようになってお
り、この炉内通過中に一定時間（0.2sec）毎にプリント
基板の４箇所の温度が熱電対TC1〜TC4によって測定さ
れ、測定信号をA/D変換した測定データを所定周波数（1
50MHz）の搬送波を用いた電波によって送信アンテナ５
から送信されるようになっている。この電波はコンベア
２の上方に張設されている受信アンテナ６によって受信
され、データ受信器７によって増幅復調されて測定デー
タが得られる。この測定データはデータ処理回路によっ
て処理されてプリントアウトあるいはCRT表示によって
加熱パターンがリアルタイムで表示されるようになって
いる。以上のように、データ送信器３をコンベア２にて
搬送して炉内を通過させるだけで加熱パターンが実測で
きるようになっており、炉内温度のモニタ作業が簡単
で、しかもリアルタイムで炉内温度をモニタすることが
できるようになっている。また、受信アンテナ６を被加
熱物体１の搬送路に沿って張設しているので、送信アン
テナ５から発信される電波が他の電子機器に電波障害を
与えない程度の微弱電波（3m離れた地点における電界強
度が500μV/m以下）であってもデータ送信器３とデータ
受信器７との間のデータ伝送を確実に行うことができる
ようになっている。
しかして、本発明における上記データ送信器３には、第
３図に示すような設置片８が設けられている。すなわ
ち、データ送信器３の底部両側には設置片取付部3aがそ
れぞれ設けられ、それらの各端面には細長板状の第１の
設置片8a、第２の設置片8bにてなる設置片８が伸縮自在
に設けられている。第２の設置片8bは第１の設置片8aよ
り若干小さく形成され、かつ第１の設置片8a内には中空
状の第２の設置片収納部が形成され、その中に第２の設
置片8bを適宜収納できるように構成され、設置片８の全
体の長さを伸縮自在として調整できるようにし、コンベ
ア巾に対応できるように構成されている。
３図に示すような設置片８が設けられている。すなわ
ち、データ送信器３の底部両側には設置片取付部3aがそ
れぞれ設けられ、それらの各端面には細長板状の第１の
設置片8a、第２の設置片8bにてなる設置片８が伸縮自在
に設けられている。第２の設置片8bは第１の設置片8aよ
り若干小さく形成され、かつ第１の設置片8a内には中空
状の第２の設置片収納部が形成され、その中に第２の設
置片8bを適宜収納できるように構成され、設置片８の全
体の長さを伸縮自在として調整できるようにし、コンベ
ア巾に対応できるように構成されている。
なお、設置片８を、巾が広がる方向に力が働くようにバ
ネ（図示せず）を、例えば設置片取付部やその他の適宜
の部分に取付けると、コンベア２にて搬送中に両側のコ
ンベアチェーンに押し付け作用が生ずるので、データ送
信器３の落下防止になり好ましい。
ネ（図示せず）を、例えば設置片取付部やその他の適宜
の部分に取付けると、コンベア２にて搬送中に両側のコ
ンベアチェーンに押し付け作用が生ずるので、データ送
信器３の落下防止になり好ましい。
（実施例２） 第４図（ａ），（ｂ）は本発明の第２実施例を示す。こ
の例では伸縮自在な設置片8Aが丸棒状部材の外周にネジ
を形成し、かつ設置片取付部3a内に対応するネジ部を有
する円筒部を形成し、先端のツマミ8dを持って丸棒状部
材を回転させることにより、内部に収納させたり、突出
させたり、あるいは中間の円筒状部材９を継手とし、外
側部分8cを回転させ、継手内に対し収納させたり、突出
させたりし、設置片8Aの長さを調整し得るようにしてい
る。
の例では伸縮自在な設置片8Aが丸棒状部材の外周にネジ
を形成し、かつ設置片取付部3a内に対応するネジ部を有
する円筒部を形成し、先端のツマミ8dを持って丸棒状部
材を回転させることにより、内部に収納させたり、突出
させたり、あるいは中間の円筒状部材９を継手とし、外
側部分8cを回転させ、継手内に対し収納させたり、突出
させたりし、設置片8Aの長さを調整し得るようにしてい
る。
他の構成は前述の実施例と同様である。
（実施例３） 第５図（ａ），（ｂ）は本発明の第３実施例を示す。こ
の例では設置片8Bをリンク機構にて構成したことに特徴
を有している。
の例では設置片8Bをリンク機構にて構成したことに特徴
を有している。
すなわち、第１、第２のリンク片8e,8fの基端をデータ
送信器３の外部に適位置に枢着し、第１のリンク片8eの
他端に第３のリンク片8gの一端を枢着して連結し、第２
のリンク片8fの他端に第４のリンク片8hの一端を枢着し
て連結し、第３、第４のリンク片8g,8hの他端をコンベ
アチェーン当接部8iのほぼ中央部に枢着・連結し、設置
片8Bを伸縮自在としている。
送信器３の外部に適位置に枢着し、第１のリンク片8eの
他端に第３のリンク片8gの一端を枢着して連結し、第２
のリンク片8fの他端に第４のリンク片8hの一端を枢着し
て連結し、第３、第４のリンク片8g,8hの他端をコンベ
アチェーン当接部8iのほぼ中央部に枢着・連結し、設置
片8Bを伸縮自在としている。
他の構成は第１実施例と同様である。
（発明の効果） 以上のように本発明によれば、リフロー炉内に被加熱物
体とともにコンベアにて搬送され、被加熱物体の要部の
温度を測定するとともに測定データにて搬送波を変調し
た電波を断熱ケースに突設された送信アンテナから送信
するデータ送信器と、炉内のコンベア上方に搬送方向に
沿って張設され上記電波を受信する受信アンテナと、受
信アンテナ出力を増幅、復調してデータ信号を出力する
データ受信器とより成る炉内温度モニタ装置において、
データ送信器に伸縮自在な設置片を設け、この設置片を
介しデータ送信器をコンベアに押し付けて搬送させるよ
うにしたから、コンベアの巾に対応して設置片を伸縮さ
せれば、特に他の補助部材を用いることなく容易にデー
タ送信器をセットすることができるという効果がある。
体とともにコンベアにて搬送され、被加熱物体の要部の
温度を測定するとともに測定データにて搬送波を変調し
た電波を断熱ケースに突設された送信アンテナから送信
するデータ送信器と、炉内のコンベア上方に搬送方向に
沿って張設され上記電波を受信する受信アンテナと、受
信アンテナ出力を増幅、復調してデータ信号を出力する
データ受信器とより成る炉内温度モニタ装置において、
データ送信器に伸縮自在な設置片を設け、この設置片を
介しデータ送信器をコンベアに押し付けて搬送させるよ
うにしたから、コンベアの巾に対応して設置片を伸縮さ
せれば、特に他の補助部材を用いることなく容易にデー
タ送信器をセットすることができるという効果がある。
第１図ないし第３図（ａ），（ｂ）は本発明の第１実施
例を示すもので、第１図は炉内温度モニタ装置の概略構
成図、第２図は同上の動作説明図、第３図（ａ）はデー
タ送信器の斜視図、（ｂ）はその底面図、第４図
（ａ），（ｂ）は本発明の第２実施例で、（ａ）はデー
タ送信器の斜視図、（ｂ）は底面図、第５図（ａ），
（ｂ）は本発明の第３実施例で、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は底面図、第６図は一般のプリント基板、第７図
は従来における搬送工程説明図、第８図は従来例であ
る。 Ａ……リフロー炉、１……被加熱物体 ２……コンベア、３……データ送信器 ４……断熱ケース、５……送信アンテナ ６……受信アンテナ、７……データ受信器 8,8A,8B……設置片
例を示すもので、第１図は炉内温度モニタ装置の概略構
成図、第２図は同上の動作説明図、第３図（ａ）はデー
タ送信器の斜視図、（ｂ）はその底面図、第４図
（ａ），（ｂ）は本発明の第２実施例で、（ａ）はデー
タ送信器の斜視図、（ｂ）は底面図、第５図（ａ），
（ｂ）は本発明の第３実施例で、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は底面図、第６図は一般のプリント基板、第７図
は従来における搬送工程説明図、第８図は従来例であ
る。 Ａ……リフロー炉、１……被加熱物体 ２……コンベア、３……データ送信器 ４……断熱ケース、５……送信アンテナ ６……受信アンテナ、７……データ受信器 8,8A,8B……設置片
Claims (1)
- 【請求項１】リフロー炉内に被加熱物体とともにコンベ
アにて搬送され、被加熱物体の要部の温度を測定すると
ともに測定データにて搬送波を変調した電波を断熱ケー
スに突設された送信アンテナから送信するデータ送信器
と、炉内のコンベア上方に搬送方向に沿って張設され上
記電波を受信する受信アンテナと、受信アンテナ出力を
増幅、復調してデータ信号を出力するデータ受信器とよ
り成る炉内温度モニタ装置において、 データ送信器に伸縮自在な設置片を設け、この設置片を
介しデータ送信器を一対のコンベアに押し付けて搬送さ
せることを特徴とした炉内温度モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18979489A JPH0792340B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 炉内温度モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18979489A JPH0792340B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 炉内温度モニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355487A JPH0355487A (ja) | 1991-03-11 |
| JPH0792340B2 true JPH0792340B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=16247317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18979489A Expired - Fee Related JPH0792340B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 炉内温度モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792340B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178253A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 温度測定装置および温度測定方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8681493B2 (en) * | 2011-05-10 | 2014-03-25 | Kla-Tencor Corporation | Heat shield module for substrate-like metrology device |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP18979489A patent/JPH0792340B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178253A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 温度測定装置および温度測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0355487A (ja) | 1991-03-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |