JPH0355487A - 炉内温度モニタ装置 - Google Patents
炉内温度モニタ装置Info
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- JPH0355487A JPH0355487A JP18979489A JP18979489A JPH0355487A JP H0355487 A JPH0355487 A JP H0355487A JP 18979489 A JP18979489 A JP 18979489A JP 18979489 A JP18979489 A JP 18979489A JP H0355487 A JPH0355487 A JP H0355487A
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Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、被加熱物体をコンベアにて炉内に搬送して接
着剤の硬化、半田付けなどを行うリフロー炉の炉内温度
モニタ装置に関する.(従来の技術) この種の炉内温度モニタ装置の先行例としては、特開昭
63−318485号がある. この装置は無線によるデータ送信機を炉内の搬送用コン
ベアに取付け、炉内の温度をリアルタイムでモニタでき
るようにしたものである.この場合、最近においては、
第6図に示すように、プリント基板の如き被加熱物体1
の両面に各種の電子部品を搭載することが多く、このた
め、第7図に示すように、搬送用のコンベア2としては
被加熱物体lの両端だけを支えるチェーン式がよく用い
.られている.しかして、この場合、コンベアチェーン
2aの巾は、多品種のプリント基板に対応するために、
第8図に示すように、コンベア中調整ハンドル10を介
し可変自在に構威されていることが多い. (発明が解決しようとする課題) しかしながら、従来のデータ送信器は、その巾が固定で
、自分より巾の広いプリント基板面の温度測定をする時
は、第7図に示すように、同じ巾のプリント基板の如き
部材1゜をもう1枚用意してその上にデータ送信器3゛
を耐熱テープTでもって固定しなければならず、作業が
非常に煩雑であるという課題があった. 本発明は上記のことに鑑み提案されたもので、その目的
とするところは、コンベア巾に対しデータ送信器の巾も
調整可能とした炉内温度モニタ装置を提供するにある. (!i題を解決するための手段) 本発明は、リフロー炉内に被加熱物体とともにコンベア
にて搬送され、被加熱物体の要部の温度を測定するとと
もに測定データにて搬送波を変調した電波を断熱ケース
に突設された送信アンテナから送信するデータ送信器と
、炉内のコンベア上方に搬送方向に沿って張設され上記
電波を受信する受信アンテナと、受信アンテナ出力を増
幅、復調してデータ信号を出力するデータ受信器とより
成る炉内温度モニタ装置において、データ送信器に伸縮
自在な設置片を設け、この装1片を介しデータ送信器を
コンベアに置いて搬送させるように構戒することにより
、上記目的を達威している.(作用) 上記のように、データ送信器に伸縮自在な設置片を取付
けることにより、コンベア巾に対応して設置片を伸縮せ
しめ、データ送信器をコンベアに載置し、搬送できるよ
うにしている. (実施例1) 第1図ないし第3V!J(a),(b)は本発明の第1
実施例を示すもので、この実施例ではデータ送信器3の
一方の側部にコンベア巾方向に対し伸縮自在な一対の設
寛片8を設けたことに特徴を有している.しかして、先
ず、炉内温度モニタ装置全体構戒について説明する. すなわち、この装置は、リフロー炉A内にコンベア2に
てプリント基板の如き被加熱物体1とともに搬送され、
被加熱物体lの要部の温度を測定するとともに測定デー
タにて搬送波を変調した電波(150MB,のF2D)
を断熱ケース4に突設された送信アンテナ5から送信す
るデータ送信器3と、炉内のコンベア2上方に搬送方向
に沿って張設され、上記電波を受信する受信アンテナ6
と、受信アンテナ6出力を増幅、復調して測定データを
出力するデータ受信器7とで形威されている.ここに、
データ受信器3は、熱電対TC.〜TC4を用いて検出
された被加熱物体lの要部温度の測定データ(0〜30
0℃、分解能l℃、サンプリング時間0.2sec)を
送信アンテナ5を介して放射される電波にて送信するよ
うになっでおり、データ送信器3は、断熱ケース4内に
収納された電池(図示せず)にて駆動されるようになっ
ている.データ送信器3の回路部および電池を収納する
断熱ケース4は、加熱手段による温度上昇を回避するた
め表面がステンレスで裏にベークライトが張られた断熱
板にて形威され、断熱ケース4の一側面には、送信アン
テナ5が露出されるとともに、熱電対TC,〜TCaが
導出されている.熱電対TC+〜TC4および送信アン
テナ5の断熱ケース4からの引き出し部は、マイカにて
扶持された絶縁断熱型の引出?構造となっている. 一方、炉内に張設される受信アンテナ6は、耐熱温度が
1300’cの耐熱がいしにて支持されている。
着剤の硬化、半田付けなどを行うリフロー炉の炉内温度
モニタ装置に関する.(従来の技術) この種の炉内温度モニタ装置の先行例としては、特開昭
63−318485号がある. この装置は無線によるデータ送信機を炉内の搬送用コン
ベアに取付け、炉内の温度をリアルタイムでモニタでき
るようにしたものである.この場合、最近においては、
第6図に示すように、プリント基板の如き被加熱物体1
の両面に各種の電子部品を搭載することが多く、このた
め、第7図に示すように、搬送用のコンベア2としては
被加熱物体lの両端だけを支えるチェーン式がよく用い
.られている.しかして、この場合、コンベアチェーン
2aの巾は、多品種のプリント基板に対応するために、
第8図に示すように、コンベア中調整ハンドル10を介
し可変自在に構威されていることが多い. (発明が解決しようとする課題) しかしながら、従来のデータ送信器は、その巾が固定で
、自分より巾の広いプリント基板面の温度測定をする時
は、第7図に示すように、同じ巾のプリント基板の如き
部材1゜をもう1枚用意してその上にデータ送信器3゛
を耐熱テープTでもって固定しなければならず、作業が
非常に煩雑であるという課題があった. 本発明は上記のことに鑑み提案されたもので、その目的
とするところは、コンベア巾に対しデータ送信器の巾も
調整可能とした炉内温度モニタ装置を提供するにある. (!i題を解決するための手段) 本発明は、リフロー炉内に被加熱物体とともにコンベア
にて搬送され、被加熱物体の要部の温度を測定するとと
もに測定データにて搬送波を変調した電波を断熱ケース
に突設された送信アンテナから送信するデータ送信器と
、炉内のコンベア上方に搬送方向に沿って張設され上記
電波を受信する受信アンテナと、受信アンテナ出力を増
幅、復調してデータ信号を出力するデータ受信器とより
成る炉内温度モニタ装置において、データ送信器に伸縮
自在な設置片を設け、この装1片を介しデータ送信器を
コンベアに置いて搬送させるように構戒することにより
、上記目的を達威している.(作用) 上記のように、データ送信器に伸縮自在な設置片を取付
けることにより、コンベア巾に対応して設置片を伸縮せ
しめ、データ送信器をコンベアに載置し、搬送できるよ
うにしている. (実施例1) 第1図ないし第3V!J(a),(b)は本発明の第1
実施例を示すもので、この実施例ではデータ送信器3の
一方の側部にコンベア巾方向に対し伸縮自在な一対の設
寛片8を設けたことに特徴を有している.しかして、先
ず、炉内温度モニタ装置全体構戒について説明する. すなわち、この装置は、リフロー炉A内にコンベア2に
てプリント基板の如き被加熱物体1とともに搬送され、
被加熱物体lの要部の温度を測定するとともに測定デー
タにて搬送波を変調した電波(150MB,のF2D)
を断熱ケース4に突設された送信アンテナ5から送信す
るデータ送信器3と、炉内のコンベア2上方に搬送方向
に沿って張設され、上記電波を受信する受信アンテナ6
と、受信アンテナ6出力を増幅、復調して測定データを
出力するデータ受信器7とで形威されている.ここに、
データ受信器3は、熱電対TC.〜TC4を用いて検出
された被加熱物体lの要部温度の測定データ(0〜30
0℃、分解能l℃、サンプリング時間0.2sec)を
送信アンテナ5を介して放射される電波にて送信するよ
うになっでおり、データ送信器3は、断熱ケース4内に
収納された電池(図示せず)にて駆動されるようになっ
ている.データ送信器3の回路部および電池を収納する
断熱ケース4は、加熱手段による温度上昇を回避するた
め表面がステンレスで裏にベークライトが張られた断熱
板にて形威され、断熱ケース4の一側面には、送信アン
テナ5が露出されるとともに、熱電対TC,〜TCaが
導出されている.熱電対TC+〜TC4および送信アン
テナ5の断熱ケース4からの引き出し部は、マイカにて
扶持された絶縁断熱型の引出?構造となっている. 一方、炉内に張設される受信アンテナ6は、耐熱温度が
1300’cの耐熱がいしにて支持されている。
また、データ受信器7から出力される測定データは、デ
ータ処理回路によって処理され、プリンタにてプリント
アウトされるとともに、CRT表示装置に表示されるよ
うになっている. 次に装置の動作について具体的に説明する.いま、デー
タ送信器3は、それ自身および後述する設置片8を介し
コンベア2に戟置され、炉内を通遇するようになってお
り、この炉内通過中に一定時間(0. 2sec )
毎にプリント基板の4箇所の温度が熱電対TC+−TC
4によって測定され、測定信号壱A/D変換した測定デ
ータを所定周波数(150Ml’l■)の搬送波を用い
た電波によって送信アンテナ4から送信されるようにな
っている.この電波はコンベア2の上方に張設されてい
る受信アンテナ6によって受信され、データ受信器7に
よって増幅復調されて測定データが得られる.この測定
データはデータ処理回路によって処理されてブリントア
ウトあるいはCRT表示によって加熱パターンがリアル
タイムで表示されるようになっている.以上のように、
データ送信器3をコンベア2にて搬送して炉内を通過さ
せるだけで加熱パターンが実測できるようになっており
、炉内温度のモニタ作業が簡単で、しかもリアルタイム
で炉内温度をモニタすることができるようになっている
.また、受信アンテナ6を被加熱物体lの搬送路に沿っ
て張設しているので、送信アンテナ5から発信される電
波が他の電子機器に電波障害を与えない程度の微弱電波
(3mlれた地点における電界強度が500 uV/一
以下)であってもデータ送信器3とデータ受信器7との
間のデータ伝送を確実に行うことができるようになって
いる. しかして、本発明における上記データ送信器3には、第
3図゛に示すような設置片8が設けられている.すなわ
ち、データ送信器3の底部両側には設置片取付部3aが
それぞれ設けられ、それらの各端面には細長坂状の第1
の設置片8a、第2の設置片8bにてなる設置片8が伸
縮自在に設けられている.第2の設置片8bは第1の設
置片8aより若干小さく形威され、かつ第1の設置片8
a内には中空状の第2の設置片収納部が形成され、その
中に第2の設置片8bを適宜収納できるように構威され
、設置片8の全体の長さを伸縮自在として調整できるよ
うにし、コンベア巾に対応できるように構威されている
. なお、設置片8を、巾が広がる方向に力が働くようにバ
ネ(図示せず)を、例えば設置片取付部がその他の適宜
の部分に取付けると、コンベア2にて搬送中に両側のコ
ンベアチェーンに押し付け作用が生ずるので、データ送
信器3の落下防止になり好ましい. (実施例2) 第4図(a).(ハ)は本発明の第2実施例を示す.こ
の例では伸縮自在な設置片8Aが丸棒状部材の外周にネ
ジを形威し、かつ設置片取付部3a内に対応するネジ部
を有する円筒部を形威し、先端のツマミ8dを持って丸
棒状部材を回転させることにより、内部に収納させたり
、突出させたり、あるいは中間の円筒状部材9を継手と
し、外側部分8Cを回転させ、継手内に対し収納させた
り、突出させたりし、設置片8Aの長さを調整し得るよ
うにしている.他の構戒は前述の実施例と同様である.
(実施例3) 第5図(a). (b)は本発明の第3実施例を示す.
この例では設置片8Bをリンク機構にて構威したことに
特徴を有している. すなわち、第11第2のリンク片8e.8fの基端をデ
ータ送信器3の外部の適位置に框着し、第1のリンク片
8eの他端に第3のリンク片8gの一端を枢着して連結
し、第2のリンク片8fの他端に第4のリンク片8hの
一端を枢着して連結し、第3、第4のリンク片8g.8
hの他端をコンベアチェーン当接部81のほぼ中央部に
枢着・連結し、設置片8Bを伸縮自在としている. 他の構或は第1実施例と同欅である. (発明の効果) 以上のように本発明によれば、リフロー炉内に被加熱物
体とともにコンベアにて搬送され、被加熱物体の要部の
温度を測定するとともに測定データにて搬送波を変調し
た電波を断熱ケースに突設された送信アンテナから送信
するデータ送信器と、炉内のコンベア上方に搬送方向に
沿って張設され上記電波を受信する受信アンテナと、受
信アンテナ出力を増幅、復調してデータ信号を出力する
データ受信器とより威る炉内温度モニタ装置において、
データ送信器に伸縮自在な設置片を設け、この設置片を
介しデータ送信器をコンベアに置いて搬送させるように
したから、コンベアの巾に対応して設置片を伸縮させれ
ば、特に他の補助部材を用いることなく容易にデータ送
信器をセットすることができるという効果がある。
ータ処理回路によって処理され、プリンタにてプリント
アウトされるとともに、CRT表示装置に表示されるよ
うになっている. 次に装置の動作について具体的に説明する.いま、デー
タ送信器3は、それ自身および後述する設置片8を介し
コンベア2に戟置され、炉内を通遇するようになってお
り、この炉内通過中に一定時間(0. 2sec )
毎にプリント基板の4箇所の温度が熱電対TC+−TC
4によって測定され、測定信号壱A/D変換した測定デ
ータを所定周波数(150Ml’l■)の搬送波を用い
た電波によって送信アンテナ4から送信されるようにな
っている.この電波はコンベア2の上方に張設されてい
る受信アンテナ6によって受信され、データ受信器7に
よって増幅復調されて測定データが得られる.この測定
データはデータ処理回路によって処理されてブリントア
ウトあるいはCRT表示によって加熱パターンがリアル
タイムで表示されるようになっている.以上のように、
データ送信器3をコンベア2にて搬送して炉内を通過さ
せるだけで加熱パターンが実測できるようになっており
、炉内温度のモニタ作業が簡単で、しかもリアルタイム
で炉内温度をモニタすることができるようになっている
.また、受信アンテナ6を被加熱物体lの搬送路に沿っ
て張設しているので、送信アンテナ5から発信される電
波が他の電子機器に電波障害を与えない程度の微弱電波
(3mlれた地点における電界強度が500 uV/一
以下)であってもデータ送信器3とデータ受信器7との
間のデータ伝送を確実に行うことができるようになって
いる. しかして、本発明における上記データ送信器3には、第
3図゛に示すような設置片8が設けられている.すなわ
ち、データ送信器3の底部両側には設置片取付部3aが
それぞれ設けられ、それらの各端面には細長坂状の第1
の設置片8a、第2の設置片8bにてなる設置片8が伸
縮自在に設けられている.第2の設置片8bは第1の設
置片8aより若干小さく形威され、かつ第1の設置片8
a内には中空状の第2の設置片収納部が形成され、その
中に第2の設置片8bを適宜収納できるように構威され
、設置片8の全体の長さを伸縮自在として調整できるよ
うにし、コンベア巾に対応できるように構威されている
. なお、設置片8を、巾が広がる方向に力が働くようにバ
ネ(図示せず)を、例えば設置片取付部がその他の適宜
の部分に取付けると、コンベア2にて搬送中に両側のコ
ンベアチェーンに押し付け作用が生ずるので、データ送
信器3の落下防止になり好ましい. (実施例2) 第4図(a).(ハ)は本発明の第2実施例を示す.こ
の例では伸縮自在な設置片8Aが丸棒状部材の外周にネ
ジを形威し、かつ設置片取付部3a内に対応するネジ部
を有する円筒部を形威し、先端のツマミ8dを持って丸
棒状部材を回転させることにより、内部に収納させたり
、突出させたり、あるいは中間の円筒状部材9を継手と
し、外側部分8Cを回転させ、継手内に対し収納させた
り、突出させたりし、設置片8Aの長さを調整し得るよ
うにしている.他の構戒は前述の実施例と同様である.
(実施例3) 第5図(a). (b)は本発明の第3実施例を示す.
この例では設置片8Bをリンク機構にて構威したことに
特徴を有している. すなわち、第11第2のリンク片8e.8fの基端をデ
ータ送信器3の外部の適位置に框着し、第1のリンク片
8eの他端に第3のリンク片8gの一端を枢着して連結
し、第2のリンク片8fの他端に第4のリンク片8hの
一端を枢着して連結し、第3、第4のリンク片8g.8
hの他端をコンベアチェーン当接部81のほぼ中央部に
枢着・連結し、設置片8Bを伸縮自在としている. 他の構或は第1実施例と同欅である. (発明の効果) 以上のように本発明によれば、リフロー炉内に被加熱物
体とともにコンベアにて搬送され、被加熱物体の要部の
温度を測定するとともに測定データにて搬送波を変調し
た電波を断熱ケースに突設された送信アンテナから送信
するデータ送信器と、炉内のコンベア上方に搬送方向に
沿って張設され上記電波を受信する受信アンテナと、受
信アンテナ出力を増幅、復調してデータ信号を出力する
データ受信器とより威る炉内温度モニタ装置において、
データ送信器に伸縮自在な設置片を設け、この設置片を
介しデータ送信器をコンベアに置いて搬送させるように
したから、コンベアの巾に対応して設置片を伸縮させれ
ば、特に他の補助部材を用いることなく容易にデータ送
信器をセットすることができるという効果がある。
第1図ないし第3図(a), (b)は本発明の第l実
施例を示すもので、第1図は炉内温度モニタ装置の概略
構或図、第2図は同上の動作説明図、第3図(a)はデ
ータ送信器の斜視図、(b)はその底面図、第4図(a
).(ロ)は本発明の第2実施例で、(a)はデータ送
信器の斜視図、(b)は底面図、第5図(a).(ハ)
は本発明の第3実施例で、(a)は斜視図、(ロ)は底
面図、第6図は一般のプリント基板、第7図は従来にお
ける搬送工程説明図、第8図は従来例である.A・・・
リフロー炉 1・・・被加熱物体2・・・コンベア
3・・・データ送信器4・・・断熱ケース 5・
・・送信アンテナ6・・・受信アンテナ 7・・・デー
タ受信器8. 8A, 8B・・・設置片 (はFlるノ 第 4 図
施例を示すもので、第1図は炉内温度モニタ装置の概略
構或図、第2図は同上の動作説明図、第3図(a)はデ
ータ送信器の斜視図、(b)はその底面図、第4図(a
).(ロ)は本発明の第2実施例で、(a)はデータ送
信器の斜視図、(b)は底面図、第5図(a).(ハ)
は本発明の第3実施例で、(a)は斜視図、(ロ)は底
面図、第6図は一般のプリント基板、第7図は従来にお
ける搬送工程説明図、第8図は従来例である.A・・・
リフロー炉 1・・・被加熱物体2・・・コンベア
3・・・データ送信器4・・・断熱ケース 5・
・・送信アンテナ6・・・受信アンテナ 7・・・デー
タ受信器8. 8A, 8B・・・設置片 (はFlるノ 第 4 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 リフロー炉内に被加熱物体とともにコンベアにて搬送さ
れ、被加熱物体の要部の温度を測定するとともに測定デ
ータにて搬送波を変調した電波を断熱ケースに突設され
た送信アンテナから送信するデータ送信器と、炉内のコ
ンベア上方に搬送方向に沿って張設され上記電波を受信
する受信アンテナと、受信アンテナ出力を増幅、復調し
てデータ信号を出力するデータ受信器とより成る炉内温
度モニタ装置において、 データ送信器に伸縮自在な設置片を設け、この装置片を
介しデータ送信器をコンベアに置いて搬送させることを
特徴とした炉内温度モニタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18979489A JPH0792340B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 炉内温度モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18979489A JPH0792340B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 炉内温度モニタ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0355487A true JPH0355487A (ja) | 1991-03-11 |
JPH0792340B2 JPH0792340B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=16247317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18979489A Expired - Fee Related JPH0792340B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 炉内温度モニタ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0792340B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2707895A4 (en) * | 2011-05-10 | 2015-08-12 | Kla Tencor Corp | HEAD CABLE MODULE FOR A METROLOGY DEVICE WITH ONE SUBSTRATE |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007178253A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 温度測定装置および温度測定方法 |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP18979489A patent/JPH0792340B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2707895A4 (en) * | 2011-05-10 | 2015-08-12 | Kla Tencor Corp | HEAD CABLE MODULE FOR A METROLOGY DEVICE WITH ONE SUBSTRATE |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0792340B2 (ja) | 1995-10-09 |
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