JPH0785432A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0785432A JPH0785432A JP5231196A JP23119693A JPH0785432A JP H0785432 A JPH0785432 A JP H0785432A JP 5231196 A JP5231196 A JP 5231196A JP 23119693 A JP23119693 A JP 23119693A JP H0785432 A JPH0785432 A JP H0785432A
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- JP
- Japan
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- marker
- magnetoresistive effect
- magnetic head
- facing surface
- medium facing
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＭＲ素子の高さを正確に測定する事ができる
磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた
磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的としている。 【構成】 ＭＲ素子１と所定の位置関係のマーカー８を
形成する。マーカー８は媒体対向面７に頂点を有するマ
ーク帯９，１０，１１をストライプ状に整列させて配置
されている。基板６を研磨して行くと、媒体対向面７に
マーカー８がむき出しになり、そのむき出しになったマ
ーク帯の数をカウントして、大まかなＭＲ素子１の高さ
Ｌ１を知る事ができ、更に中央部のマーク帯の長さを測
定することによって詳細な高さＬ１を知る事ができる。
磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた
磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的としている。 【構成】 ＭＲ素子１と所定の位置関係のマーカー８を
形成する。マーカー８は媒体対向面７に頂点を有するマ
ーク帯９，１０，１１をストライプ状に整列させて配置
されている。基板６を研磨して行くと、媒体対向面７に
マーカー８がむき出しになり、そのむき出しになったマ
ーク帯の数をカウントして、大まかなＭＲ素子１の高さ
Ｌ１を知る事ができ、更に中央部のマーク帯の長さを測
定することによって詳細な高さＬ１を知る事ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
ド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気抵抗効果型磁気ヘッドはウェハープ
ロセスにて複数個の記録再生部分を１枚のウェハーに形
成し、機械加工によって一つ一つの磁気ヘッドスライダ
ーに形作られる。その一工程としてＭＲ素子高さを所望
の寸法に追い込む工程があり、一般的には粗い砥粒から
細かい砥粒まで数ステップのラップ加工にてなされる。
その際、磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と略す）高さ
は例えば、±０．２５μｍの精度に制御する必要があ
る。ところが、加工の際、ＭＲ素子高さそのものを知る
事は事実上不可能であり、なんらかのマーカーを設け、
それをモニターする事に置き換えなければならない。
ロセスにて複数個の記録再生部分を１枚のウェハーに形
成し、機械加工によって一つ一つの磁気ヘッドスライダ
ーに形作られる。その一工程としてＭＲ素子高さを所望
の寸法に追い込む工程があり、一般的には粗い砥粒から
細かい砥粒まで数ステップのラップ加工にてなされる。
その際、磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と略す）高さ
は例えば、±０．２５μｍの精度に制御する必要があ
る。ところが、加工の際、ＭＲ素子高さそのものを知る
事は事実上不可能であり、なんらかのマーカーを設け、
それをモニターする事に置き換えなければならない。
【０００３】図４は従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの
ＭＲ素子と磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカーの位置
関係を示す膜表面側から見た平面図であり、ラップ加工
を始める前の状態に相当し、ラップ加工されると点線部
分が除去される。
ＭＲ素子と磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカーの位置
関係を示す膜表面側から見た平面図であり、ラップ加工
を始める前の状態に相当し、ラップ加工されると点線部
分が除去される。
【０００４】図４において１はＭＲ素子、２はＭＲ素子
１にセンス電流を流すリード層、３はＭＲ素子１の高さ
を代替的に示す制御用のマーカー、４は減膜量検出用の
マーカー、５はアルミナ膜で、アルミナ膜５は基板上に
形成されており、さらにはこのアルミナ膜５上にはＭＲ
素子１，リード層２，マーカー３，４がそれぞれ形成さ
れている。ＭＲ素子１とマーカー３，４はそれぞれ同じ
ウェハープロセスを経て形成されたものである。従っ
て、ＭＲ素子１とマーカー３，４をウェハープロセスに
より精度良く作ってやれば、マーカー３，４にてＭＲ素
子１の高さを精度良くモニターする事ができる。通常マ
ーカー３は二等辺三角形、マーカー４は長方形をしてい
る。マーカー４はウェハープロセスでＭＲ素子１及びマ
ーカー３，４の寸法が設計値からずれるのを補正する役
割を果たす。
１にセンス電流を流すリード層、３はＭＲ素子１の高さ
を代替的に示す制御用のマーカー、４は減膜量検出用の
マーカー、５はアルミナ膜で、アルミナ膜５は基板上に
形成されており、さらにはこのアルミナ膜５上にはＭＲ
素子１，リード層２，マーカー３，４がそれぞれ形成さ
れている。ＭＲ素子１とマーカー３，４はそれぞれ同じ
ウェハープロセスを経て形成されたものである。従っ
て、ＭＲ素子１とマーカー３，４をウェハープロセスに
より精度良く作ってやれば、マーカー３，４にてＭＲ素
子１の高さを精度良くモニターする事ができる。通常マ
ーカー３は二等辺三角形、マーカー４は長方形をしてい
る。マーカー４はウェハープロセスでＭＲ素子１及びマ
ーカー３，４の寸法が設計値からずれるのを補正する役
割を果たす。
【０００５】図５（ａ）（ｂ）はそれぞれ従来の磁気抵
抗効果型磁気ヘッドの製造方法を示す膜付け部の平面図
及び媒体対向面の平面図である。図５（ａ）（ｂ）にお
いて６は基板で、基板６上にはアルミナ膜５が設けられ
ている。７は媒体対向面である。
抗効果型磁気ヘッドの製造方法を示す膜付け部の平面図
及び媒体対向面の平面図である。図５（ａ）（ｂ）にお
いて６は基板で、基板６上にはアルミナ膜５が設けられ
ている。７は媒体対向面である。
【０００６】以下製造方法を図５（ａ）（ｂ）を用いて
説明する。まず媒体対向面７にラップ加工等を施して、
基板６をはじめ各膜を研磨する。この時マーカー３は二
等辺三角形の形状をしているので、媒体対向面７の研磨
が進むにつれて媒体対向面７にむき出しになっているマ
ーカー３の幅Ｌ３は次第に狭くなっていく。この時マー
カー４は減膜量検出用のマーカーであるので、媒体対向
面７にむき出しになっている幅Ｌ２は研磨が進んで入っ
ても変化しない。更にＭＲ素子１の幅Ｌ４も変化しな
い。
説明する。まず媒体対向面７にラップ加工等を施して、
基板６をはじめ各膜を研磨する。この時マーカー３は二
等辺三角形の形状をしているので、媒体対向面７の研磨
が進むにつれて媒体対向面７にむき出しになっているマ
ーカー３の幅Ｌ３は次第に狭くなっていく。この時マー
カー４は減膜量検出用のマーカーであるので、媒体対向
面７にむき出しになっている幅Ｌ２は研磨が進んで入っ
ても変化しない。更にＭＲ素子１の幅Ｌ４も変化しな
い。
【０００７】ＭＲ素子１とマーカー３を形成する位置関
係を所定の関係にしているので、幅Ｌ３に対しての高さ
Ｌ１は一義的に決定できるので、幅Ｌ３を測定する事に
よって、高さＬ１を推測していた。
係を所定の関係にしているので、幅Ｌ３に対しての高さ
Ｌ１は一義的に決定できるので、幅Ｌ３を測定する事に
よって、高さＬ１を推測していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、研磨量に対
するマーカー３の幅Ｌ３の変化量はマーカー３の頂角θ
が大きいほど大きい。即ち、マーカーとして感度が高
い。ところが、マーカー３の頂角θを大きくし過ぎると
底辺の長さ、即ち、幅Ｌ３が長くなり、マーカー３の媒
体対向面７にむき出しになった部分が顕微鏡の視野に入
りきれない場合がある。逆にマーカー３の媒体対向面７
にむき出しになった部分を顕微鏡の視野に全部入れよう
とすると頂角θをあまり大きくできず感度をあまり高く
できない、あるいは研磨量が大きい所までカバーできな
いという問題点があった。
するマーカー３の幅Ｌ３の変化量はマーカー３の頂角θ
が大きいほど大きい。即ち、マーカーとして感度が高
い。ところが、マーカー３の頂角θを大きくし過ぎると
底辺の長さ、即ち、幅Ｌ３が長くなり、マーカー３の媒
体対向面７にむき出しになった部分が顕微鏡の視野に入
りきれない場合がある。逆にマーカー３の媒体対向面７
にむき出しになった部分を顕微鏡の視野に全部入れよう
とすると頂角θをあまり大きくできず感度をあまり高く
できない、あるいは研磨量が大きい所までカバーできな
いという問題点があった。
【０００９】本発明は前記従来の課題を解決するもので
正確なＭＲ素子の高さを測定する事ができ、研磨量の大
きい所までカバーできる磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マ
ーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製
造方法を提供する事を目的とする。
正確なＭＲ素子の高さを測定する事ができ、研磨量の大
きい所までカバーできる磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マ
ーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製
造方法を提供する事を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、基板の媒体対向面側に頂点を有し、しかも前記頂点
に行くに従って次第に間隔が小さくなる複数のマーク帯
を媒体対向面に対して垂直方向に沿ってストライプ状に
整列させたマーカーを設けた。
に、基板の媒体対向面側に頂点を有し、しかも前記頂点
に行くに従って次第に間隔が小さくなる複数のマーク帯
を媒体対向面に対して垂直方向に沿ってストライプ状に
整列させたマーカーを設けた。
【００１１】
【作用】この構成においてはＭＲ素子高さは見えている
マーク帯の本数を読む事で大ざっぱに、さらに内側のマ
ーク帯の長さを測定する事により詳細にＭＲ素子高さを
知る事ができる。その際、マーク帯の本数を数える時は
顕微鏡の倍率を高くする必要はないため、頂角の角度を
大きくしても十分顕微鏡の視野に入れる事ができる。ま
た、正確なＭＲ素子の高さは最内側の寸法を読めば良
く、高倍率の顕微鏡の視野にはいる。その結果、マーカ
ーの感度を良くする事ができ、その結果得られるＭＲ素
子高さ精度も良くできる。
マーク帯の本数を読む事で大ざっぱに、さらに内側のマ
ーク帯の長さを測定する事により詳細にＭＲ素子高さを
知る事ができる。その際、マーク帯の本数を数える時は
顕微鏡の倍率を高くする必要はないため、頂角の角度を
大きくしても十分顕微鏡の視野に入れる事ができる。ま
た、正確なＭＲ素子の高さは最内側の寸法を読めば良
く、高倍率の顕微鏡の視野にはいる。その結果、マーカ
ーの感度を良くする事ができ、その結果得られるＭＲ素
子高さ精度も良くできる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の一実施例における磁気抵抗効
果型磁気ヘッド用マーカーを示す斜視図である。図１に
おいて、１はＭＲ素子、２はリード層、４はマーカー、
５はアルミナ膜、６は基板、７は媒体対向面でこれらは
従来の構成と同じである。８はＭＲ素子１の高さＬ１を
代替的に算出するマーカーで、マーカー８は媒体対向面
７に頂点を持つマーク帯９，１０，１１，１２，１３を
媒体対向面７に対して垂直方向に整列されて構成されて
いる。なお本実施例では、マーク帯９，１０，１１，１
２，１３をＶ字型としたが、Ｕ字型等の媒体対向面７に
頂点を有する形状で有ればよい。
果型磁気ヘッド用マーカーを示す斜視図である。図１に
おいて、１はＭＲ素子、２はリード層、４はマーカー、
５はアルミナ膜、６は基板、７は媒体対向面でこれらは
従来の構成と同じである。８はＭＲ素子１の高さＬ１を
代替的に算出するマーカーで、マーカー８は媒体対向面
７に頂点を持つマーク帯９，１０，１１，１２，１３を
媒体対向面７に対して垂直方向に整列されて構成されて
いる。なお本実施例では、マーク帯９，１０，１１，１
２，１３をＶ字型としたが、Ｕ字型等の媒体対向面７に
頂点を有する形状で有ればよい。
【００１３】以下上記マーカー８を用いた磁気抵抗効果
型磁気ヘッドの製造方法について図２を用いて説明す
る。
型磁気ヘッドの製造方法について図２を用いて説明す
る。
【００１４】先ず媒体対向面７を研磨して行くと、図２
に示す様にマーカー８を構成するマーク帯９，１０が分
割して媒体対向面７にむき出しになっており、マーク帯
１１はそれらの中央部にむき出しになっている。この
時、この媒体対向面７にむき出しになったマーク帯の数
が多くなればなるほど研磨量が多いことを示すので、だ
いたいの研磨量はマーク帯の媒体対向面７にむき出しに
なっている数をカウントする事で分かる。すなわちＭＲ
素子１の高さＬ１が今どれだけか判定する事ができる。
この様にマーク帯の数のカウントは、顕微鏡の感度が悪
くても十分に行えるので、だいたいの高さＬ１はすぐに
判定でき、更に詳細な高さＬ１は媒体対向面７にむき出
しになっているマーク帯の中で中央部のマーク帯の幅を
測定する事で判定できる。
に示す様にマーカー８を構成するマーク帯９，１０が分
割して媒体対向面７にむき出しになっており、マーク帯
１１はそれらの中央部にむき出しになっている。この
時、この媒体対向面７にむき出しになったマーク帯の数
が多くなればなるほど研磨量が多いことを示すので、だ
いたいの研磨量はマーク帯の媒体対向面７にむき出しに
なっている数をカウントする事で分かる。すなわちＭＲ
素子１の高さＬ１が今どれだけか判定する事ができる。
この様にマーク帯の数のカウントは、顕微鏡の感度が悪
くても十分に行えるので、だいたいの高さＬ１はすぐに
判定でき、更に詳細な高さＬ１は媒体対向面７にむき出
しになっているマーク帯の中で中央部のマーク帯の幅を
測定する事で判定できる。
【００１５】図２を用いて具体的に示せば、まず媒体対
向面７にむき出しになっているマーク帯の数をカウント
することで、だいたいの高さＬ１を知る事ができる。本
実施例では５つがむき出しになっている。また詳細に高
さＬ１を知るには、マーク帯１１の幅Ｌ５を測定する。
この幅Ｌ５は比較的狭いので顕微鏡の感度を高くして観
測できるので、正確に幅Ｌ５を測定する事ができる。
向面７にむき出しになっているマーク帯の数をカウント
することで、だいたいの高さＬ１を知る事ができる。本
実施例では５つがむき出しになっている。また詳細に高
さＬ１を知るには、マーク帯１１の幅Ｌ５を測定する。
この幅Ｌ５は比較的狭いので顕微鏡の感度を高くして観
測できるので、正確に幅Ｌ５を測定する事ができる。
【００１６】従って、本実施例では、ＭＲ素子１の高さ
を非常に正確に測定する事ができる。
を非常に正確に測定する事ができる。
【００１７】次にＭＲ素子１の高さとマーカー長さとの
関係を図３を基に導出してみる。一例としてマーカー８
の形状を二等辺三角形とし、その底辺と高さの比を５：
１、マーク帯１１の突き出し量ａ＝２μｍ、マーカー４
の減膜量ｂ＝０．２５μｍの場合を考える。
関係を図３を基に導出してみる。一例としてマーカー８
の形状を二等辺三角形とし、その底辺と高さの比を５：
１、マーク帯１１の突き出し量ａ＝２μｍ、マーカー４
の減膜量ｂ＝０．２５μｍの場合を考える。
【００１８】ｘ軸を本来の設計図上のＭＲ素子１の高さ
＝０のライン、ｙ軸を二等辺三角形の頂角の２等分線の
ラインとする。減膜は各辺からの距離がｂとなるように
発生する。従って、減膜量ｂは減膜量検出用マーカー寸
法を読むことにより容易に検出でき、ｂ＝（設計減膜量
検出用マーカー寸法−実測減膜量検出用マーカー寸法）
÷２で表される。実際のＭＲ素子１の高さＭＲＨにおけ
るストライプ上のｙ座標Ｙは Ｙ＝−ＭＲＨ−ｂ＝−ＭＲＨ−０．２５ （１） となる。ｘ座標Ｘは Ｘ＝５×（Ｙ−ａ）÷２＋ｂ×（２６0.5 ）÷２ ＝５×（−ＭＲＨ−ｂ−ａ）÷２＋ｂ×（２６0.5 ）÷２ ＝−２．５×（ＭＲＨ＋２．２５）＋０．１２５×（２６0.5 ） （２） となり、ストライプの長さＬ６は２｜Ｘ｜であるから Ｌ６＝５×（ＭＲＨ＋２．２５）−０．２５×（２６0.5 ） ＝５×ＭＲＨ＋９．９８ （３） となる。
＝０のライン、ｙ軸を二等辺三角形の頂角の２等分線の
ラインとする。減膜は各辺からの距離がｂとなるように
発生する。従って、減膜量ｂは減膜量検出用マーカー寸
法を読むことにより容易に検出でき、ｂ＝（設計減膜量
検出用マーカー寸法−実測減膜量検出用マーカー寸法）
÷２で表される。実際のＭＲ素子１の高さＭＲＨにおけ
るストライプ上のｙ座標Ｙは Ｙ＝−ＭＲＨ−ｂ＝−ＭＲＨ−０．２５ （１） となる。ｘ座標Ｘは Ｘ＝５×（Ｙ−ａ）÷２＋ｂ×（２６0.5 ）÷２ ＝５×（−ＭＲＨ−ｂ−ａ）÷２＋ｂ×（２６0.5 ）÷２ ＝−２．５×（ＭＲＨ＋２．２５）＋０．１２５×（２６0.5 ） （２） となり、ストライプの長さＬ６は２｜Ｘ｜であるから Ｌ６＝５×（ＭＲＨ＋２．２５）−０．２５×（２６0.5 ） ＝５×ＭＲＨ＋９．９８ （３） となる。
【００１９】（３）式からわかるようにＭＲＨ＝２０μ
ｍ程度になるとＬ１〜１１０μｍにもなり、高倍率の顕
微鏡の視野には入らなくなる。ところが、例えば、２μ
ｍ幅のストライプが２μｍの間隔をおいて並ぶような本
実施例の場合、２列目のストライプの長さＬ７は Ｌ７＝５×（ＭＲＨ−４）＋９．９８ ＝５×ＭＲＨ−１０．０２ （４） となり、一つ外側のストライプよりも２０μｍ短くな
る。従って、ＭＲ素子１の高さの大きな領域では内側の
ストライプの寸法を読み、それが何番目のストライプで
あるかがわかればＭＲ素子１の高さがわかる。何番目の
ストライプかはマーカーの本数を数えることでわかる。
ｍ程度になるとＬ１〜１１０μｍにもなり、高倍率の顕
微鏡の視野には入らなくなる。ところが、例えば、２μ
ｍ幅のストライプが２μｍの間隔をおいて並ぶような本
実施例の場合、２列目のストライプの長さＬ７は Ｌ７＝５×（ＭＲＨ−４）＋９．９８ ＝５×ＭＲＨ−１０．０２ （４） となり、一つ外側のストライプよりも２０μｍ短くな
る。従って、ＭＲ素子１の高さの大きな領域では内側の
ストライプの寸法を読み、それが何番目のストライプで
あるかがわかればＭＲ素子１の高さがわかる。何番目の
ストライプかはマーカーの本数を数えることでわかる。
【００２０】上記の場合について各ＭＲＨにおけるスト
ライプの本数と最内側のマーカーの寸法を下の（表１）
に示す。
ライプの本数と最内側のマーカーの寸法を下の（表１）
に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】従来例において、ＭＲ素子１の高さ制御用
マーカー形状は直角二等辺三角形の一枚膜であった。上
記と同じ考えでマーカー寸法を計算するとマーカー寸法
Ｌは Ｌ＝２×ＭＲＨ＋３．７９ となり、ＭＲＨ＝２０μｍではＬ〜４４μｍと高倍率顕
微鏡の視野には入るものの感度は本実施例の４０％でし
かない。
マーカー形状は直角二等辺三角形の一枚膜であった。上
記と同じ考えでマーカー寸法を計算するとマーカー寸法
Ｌは Ｌ＝２×ＭＲＨ＋３．７９ となり、ＭＲＨ＝２０μｍではＬ〜４４μｍと高倍率顕
微鏡の視野には入るものの感度は本実施例の４０％でし
かない。
【００２３】
【発明の効果】本発明は基板の媒体対向面側に頂点を有
し、しかも前記頂点に行くに従って次第に間隔が小さく
なる複数のマーク帯を媒体対向面に対して垂直方向に沿
ってストライプ状に整列させたマーカーを設けた事によ
って、ＭＲ素子高さは見えているマーク帯の本数を読む
事で大ざっぱに、さらに内側のマーク帯の長さを測定す
る事により詳細にＭＲ素子高さを知る事ができる。その
際、マーク帯の本数を数える時は顕微鏡の倍率を高くす
る必要はないため、頂角の角度を大きくしても十分顕微
鏡の視野に入れる事ができる。また、正確なＭＲ素子の
高さは最内側の寸法を読めば良く、高倍率の顕微鏡の視
野にはいる。その結果、マーカーの感度を良くする事が
でき、その結果得られるＭＲ素子高さ精度も良くでき
る。
し、しかも前記頂点に行くに従って次第に間隔が小さく
なる複数のマーク帯を媒体対向面に対して垂直方向に沿
ってストライプ状に整列させたマーカーを設けた事によ
って、ＭＲ素子高さは見えているマーク帯の本数を読む
事で大ざっぱに、さらに内側のマーク帯の長さを測定す
る事により詳細にＭＲ素子高さを知る事ができる。その
際、マーク帯の本数を数える時は顕微鏡の倍率を高くす
る必要はないため、頂角の角度を大きくしても十分顕微
鏡の視野に入れる事ができる。また、正確なＭＲ素子の
高さは最内側の寸法を読めば良く、高倍率の顕微鏡の視
野にはいる。その結果、マーカーの感度を良くする事が
でき、その結果得られるＭＲ素子高さ精度も良くでき
る。
【図１】本発明の一実施例における磁気抵抗効果型磁気
ヘッド用マーカーを示す斜視図
ヘッド用マーカーを示す斜視図
【図２】本発明の一実施例における磁気抵抗効果型磁気
ヘッドの製造方法を示す平面図
ヘッドの製造方法を示す平面図
【図３】本発明の一実施例における磁気抵抗効果型磁気
ヘッドのＭＲ素子高さとマーカー長さとの関係を示す図
ヘッドのＭＲ素子高さとマーカー長さとの関係を示す図
【図４】従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドのＭＲ素子と
磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカーの位置関係を示す
膜表面側から見た平面図
磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカーの位置関係を示す
膜表面側から見た平面図
【図５】（ａ）従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造
方法を示す膜付け部の平面図 （ｂ）従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法を示
す媒体対向面の平面図
方法を示す膜付け部の平面図 （ｂ）従来の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法を示
す媒体対向面の平面図
１ ＭＲ素子 ２ リード層 ７ 媒体対向面 ８ マーカー ９，１０，１１ マーク帯
Claims (4)
- 【請求項１】基板の磁気抵抗効果素子を設けた面に設け
られ、しかも前記磁気抵抗効果素子の高さ寸法を媒体対
向面で読み取れる様に構成された磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド用マーカーであって、基板の媒体対向面側に頂点を
有し、しかも前記頂点に行くに従って次第に間隔が小さ
くなる複数のマーク帯を媒体対向面に対して垂直方向に
沿ってストライプ状に整列させた事を特徴とする磁気抵
抗効果型磁気ヘッド用マーカー。 - 【請求項２】マーク帯を構成する構成材料を磁気抵抗効
果素子膜と同一材料とした事を特徴とする請求項１記載
の磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー。 - 【請求項３】基板上に磁気抵抗効果素子を形成するとと
もに、前記基板上に基板の媒体対向面側に頂点を有し、
しかも前記頂点に行くに従って次第に間隔が小さくなる
複数のマーク帯を媒体対向面に対して垂直方向に沿って
ストライプ状に整列させたマーカーを形成し、前記磁気
抵抗効果素子に電流を供給するリードを形成し、前記基
板の媒体対向面にむき出しになった前記マーカーの数及
び前記マーカーの内側のマーク帯の長さを測定して、前
記磁気抵抗効果素子を所定の高さになるまで前記媒体対
向面を研磨する事を特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項４】磁気抵抗効果素子を形成すると同時にマー
カーを形成し、しかも前記磁気抵抗効果素子と前記マー
カーを同一材料で構成したことを特徴とする請求項３記
載の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5231196A JPH0785432A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5231196A JPH0785432A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785432A true JPH0785432A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16919851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5231196A Pending JPH0785432A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド用マーカー及びそれを用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785432A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8182705B2 (en) | 2009-10-30 | 2012-05-22 | Tdk Corporation | Method for producing thin film magnetic head having magnetoresistive effect element |
-
1993
- 1993-09-17 JP JP5231196A patent/JPH0785432A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8182705B2 (en) | 2009-10-30 | 2012-05-22 | Tdk Corporation | Method for producing thin film magnetic head having magnetoresistive effect element |
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