JPH0785427B2 - Airtight glass terminal - Google Patents
Airtight glass terminalInfo
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- JPH0785427B2 JPH0785427B2 JP61158261A JP15826186A JPH0785427B2 JP H0785427 B2 JPH0785427 B2 JP H0785427B2 JP 61158261 A JP61158261 A JP 61158261A JP 15826186 A JP15826186 A JP 15826186A JP H0785427 B2 JPH0785427 B2 JP H0785427B2
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- lead wire
- glass
- eyelet
- cobalt
- plating
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体素子などを搭載するのに用いられる気
密ガラス端子（以下気密端子という）に係り、特に、耐
食性に優れた気密端子に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an airtight glass terminal (hereinafter referred to as an airtight terminal) used for mounting a semiconductor element or the like, and particularly to an airtight terminal having excellent corrosion resistance.
（従来技術とその問題点） 前述した気密端子には、一般に、第２図（ａ）に一例を
示すように、鉄−ニッケル−コバルト合金（以下コバー
ルと称する）からなるアイレット（金属外環）１を有す
るものがある。このアイレット１は下部開口２を備えた
深皿状に形成され、その頂壁３にはリード線４が遊挿さ
れる開口５が穿設されている。なお９はアースリード線
である。そして、これらの開口５には、アイレット１と
同様、コバールからなるリード線４が挿通され、これら
のアイレット１、リード線４、およびアースリード線９
は、アイレット１内に充填された硬質ガラス６により気
密に封止されている。(Prior Art and Problems Thereof) In general, the airtight terminal described above has an eyelet (metal outer ring) made of an iron-nickel-cobalt alloy (hereinafter referred to as Kovar) as shown in FIG. 2 (a). Some have 1. This eyelet 1 is formed in the shape of a basin having a lower opening 2, and an opening 5 into which a lead wire 4 is loosely inserted is formed in a top wall 3 thereof. Reference numeral 9 is an earth lead wire. Then, like the eyelets 1, the lead wires 4 made of Kovar are inserted into the openings 5, and the eyelets 1, the lead wires 4, and the ground lead wires 9 are inserted.
Are hermetically sealed by the hard glass 6 filled in the eyelet 1.
このような気密端子は、従来、アイレット表面およびリ
ード線表面にFe2O3、Fe3O4等、鉄の酸化皮膜を施した後
に、これらのアイレット１および各リード線４、９を成
形してある硬質ガラスとともに組立て、加熱処理により
ガラスを溶融してこのガラス６によりアイレット１およ
び各リード線４、９を気密に溶着する。その後、ガラス
６から露出しているアイレット１および各リード線４、
９の部位にめっき７を施して気密端子が形成される。Conventionally, such an airtight terminal is formed by forming an iron oxide film such as Fe 2 O 3 or Fe 3 O 4 on the surface of the eyelet and the surface of the lead wire, and then molding the eyelet 1 and each of the lead wires 4 and 9. Assembled with the hard glass, the glass is melted by heat treatment, and the eyelet 1 and the lead wires 4 and 9 are hermetically welded by the glass 6. After that, the eyelet 1 and each lead wire 4 exposed from the glass 6,
The airtight terminal is formed by applying the plating 7 to the portion of 9.
しかしながら、前述した従来の気密端子においては、各
リード線４、９に負荷がかかるなどして各リード線４、
９が曲ったりすると、第３図にＡで示すようにリード線
４または９の外周のガラス６のメニスカス部6aが欠けて
めっきが施されていない部位のリード線４（または９）
が露出することがある。そして、この部位の各リード線
４、９が直接外気に触れるため錆が発生し、耐食性が低
下する問題があった。However, in the above-mentioned conventional airtight terminal, each lead wire 4, 9 is loaded with load, etc.
If 9 bends, as shown by A in FIG. 3, the lead wire 4 (or 9) at the portion where the meniscus portion 6a of the glass 6 on the outer circumference of the lead wire 4 or 9 is chipped and is not plated
May be exposed. Then, since the lead wires 4 and 9 in this portion directly contact the outside air, rust occurs and there is a problem that the corrosion resistance decreases.
前述した従来の気密端子に対し24時間の塩水噴霧試験を
行ってアイレット１の下面側に突出するリード線表面積
の５％以上が腐食した気密端子の個数を割出したとこ
ろ、試験を行ったもののうちの20％の気密端子に腐食が
発生していた。A 24-hour salt spray test was conducted on the conventional airtight terminals described above, and the number of airtight terminals in which 5% or more of the surface area of the lead wire protruding to the lower surface of the eyelet 1 was corroded was calculated. 20% of the airtight terminals had corrosion.
なお、第２図（ｂ）に示すような気密端子においても、
リード線４の外周のガラス６が欠け、同様の問題があっ
た。Even in the airtight terminal as shown in FIG. 2 (b),
The glass 6 on the outer periphery of the lead wire 4 was chipped and there was a similar problem.
（発明の目的） 本発明は、前述した従来のものにおける問題点を克服
し、耐食性の良好な気密端子提供することを目的とす
る。(Object of the Invention) It is an object of the present invention to overcome the problems of the above-mentioned conventional ones and to provide an airtight terminal having good corrosion resistance.
（発明の概要） 本発明は、鉄−ニッケル−コバルト合金からなるアイレ
ットと該アイレットと同様の材料からなるリード線を有
し、ガラスにより前記アイレットおよびリード線を気密
に封止してなる気密端子において、リード線素材に少な
くともコバルトを含む下地めっきを施し、この下地めっ
きを酸化処理することにより表面に少なくともコバルト
の酸化被膜が形成されたリード線を前記ガラスにより気
密に封止したことを特徴とするものであり、気密端子の
リード線の外周のガラスが欠けるなどしてもリード線の
表面に耐食性の良好なコバルトの酸化被膜が形成された
ことにより、リード線素材が直接外気に触れないように
するとともにガラスとの密着性を良好にしたものであ
る。(Outline of the Invention) The present invention has an eyelet made of an iron-nickel-cobalt alloy and a lead wire made of the same material as the eyelet, and the eyelet and the lead wire are hermetically sealed by glass. In the above, the lead wire material is subjected to undercoating containing at least cobalt, and the lead wire on which at least a cobalt oxide film is formed by oxidizing the undercoating is hermetically sealed by the glass. Even if the glass around the outer circumference of the lead wire of the airtight terminal is chipped off, the lead wire material does not come into direct contact with the outside air because the cobalt oxide film with good corrosion resistance is formed on the lead wire surface. And the adhesion to glass is improved.
（実施例） 以下、本発明を図面に示す実施例により説明する。(Examples) Hereinafter, the present invention will be described with reference to Examples shown in the drawings.
まず、コバールからなるリード線素材に少なくともコバ
ルトを含む下地めっき８を施してリード線４（または
９）を形成する（第１図）。この下地めっき８として
は、コバルトのみのめっき、あるいはニッケル−コバル
ト合金めっきなど耐食性の良好なめっきとする必要があ
る。なお、ニッケルのみのめっきよりコバルトまたはコ
バルトを含む下地めっきが好適である。また、ニッケル
−コバルト合金めっきに代えて、まずニッケルめっきを
施した後で、コバルトめっきを施し、加熱処理をして合
金化することによりニッケル−コバルト合金めっきを施
すのと同様にすることもできる。First, a lead wire 4 made of Kovar is subjected to a base plating 8 containing at least cobalt to form a lead wire 4 (or 9) (FIG. 1). The base plating 8 needs to be a plating having good corrosion resistance such as cobalt only plating or nickel-cobalt alloy plating. It should be noted that cobalt or a base plating containing cobalt is more preferable than plating using only nickel. Further, instead of nickel-cobalt alloy plating, nickel plating may be performed first, and then cobalt plating may be performed, and heat treatment may be performed to alloy the nickel-cobalt alloy plating. .
前述したようにしてリード線素材に下地めっき８を施す
とともに酸化処理することにより、この下地めっき８に
含有されているコバルトの酸化皮膜がリード線素材の表
面に形成され、この酸化皮膜を介してガラス６と強固に
気密封止することができる。As described above, the lead wire material is subjected to the underplating 8 and subjected to an oxidation treatment to form an oxide film of cobalt contained in the underplating material 8 on the surface of the lead wire material. The glass 6 can be firmly hermetically sealed.
つぎに、前記アイレット１および各リード線４、９を成
形してある硬質ガラスとともに組立て、加熱処理により
ガラスを溶融してこのガラス６によりアイレット１およ
び各リード線４、９を気密に溶着する。その後、ガラス
６から露出しているアイレット１および各リード線４、
９の部位にめっき７を施して気密端子が形成される。Next, the eyelet 1 and the lead wires 4 and 9 are assembled together with the molded hard glass, the glass is melted by heat treatment, and the eyelet 1 and the lead wires 4 and 9 are hermetically welded by the glass 6. After that, the eyelet 1 and each lead wire 4 exposed from the glass 6,
The airtight terminal is formed by applying the plating 7 to the portion of 9.
このようにして製造された気密端子は、各リード線４、
９にあらかじめ耐食性を有する材料の下地めっき８が施
されているので、ガラス６が仮りに欠けてめっき７が施
されていない部位の各リード線４、９が露出したとして
も、この部位の各リード線４、９は耐食性を有する材料
からなる下地めっき８により保護されているので、各リ
ード線４、９が外気に触れて錆びるおそれがない。The airtight terminal manufactured in this manner is provided with each lead wire 4,
Since the base plating 8 made of a material having corrosion resistance is previously applied to the plate 9, even if the lead wires 4 and 9 in the part where the glass 6 is not chipped and the plate 7 is not exposed are exposed. Since the lead wires 4 and 9 are protected by the base plating 8 made of a material having corrosion resistance, there is no risk of the lead wires 4 and 9 coming into contact with the outside air and rusting.
本実施例により製造された気密端子について24時間の塩
水噴霧試験を行ったところ、アイレット１の下面側に突
出するリード線表面積の５％以上が腐食した気密端子の
発生は０％であった。When a salt spray test was conducted for 24 hours on the hermetic terminal manufactured according to this example, 5% or more of the surface area of the lead wire protruding to the lower surface side of the eyelet 1 was corroded, and the occurrence of the hermetic terminal was 0%.
（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、リード線素材に少
なくともコバルトを含む下地めっきを施し、この下地め
っきを酸化処理することにより、リード線の表面に少な
くともコバルトの酸化被膜を形成したので耐食性が良好
でガラスとの密着性の良い気密端子が得られるという効
果を奏する。(Effect of the Invention) As described above, according to the present invention, an undercoat containing at least cobalt is applied to a lead wire material, and the undercoat plating is oxidized to form at least a cobalt oxide film on the surface of the lead wire. Since it is formed, there is an effect that an airtight terminal having good corrosion resistance and good adhesion with glass can be obtained.
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本
発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得る
のはもちろんのことである。Although the present invention has been variously described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to these embodiments, and many modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. That is.
第１図は本発明に係る気密端子の実施例を示す要部の縦
断面図、第２図は一般的な気密端子の一例を示す縦断面
図、第３図は従来の気密端子の要部の縦断面図である。 １……アイレット、４……リード線、 ６……ガラス、6a……メニスカス部、 ７……めっき、８……下地めっき、 ９……アースリード線。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an essential part showing an embodiment of an airtight terminal according to the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an example of a general airtight terminal, and FIG. 3 is an essential part of a conventional airtight terminal. FIG. 1 ... Eyelet, 4 ... Lead wire, 6 ... Glass, 6a ... Meniscus part, 7 ... Plating, 8 ... Underlayer plating, 9 ... Ground lead wire.
Claims (2)
レットと該アイレットと同様の材料からなるリード線を
有し、ガラスにより前記アイレットおよびリード線を気
密に封止してなる気密ガラス端子において、 リード線素材に少なくともコバルトを含む下地めっきを
施し、この下地めっきを酸化処理することにより表面に
少なくともコバルトの酸化被膜が形成されたリード線を
前記ガラスにより気密に封止したことを特徴とする気密
ガラス端子。1. An airtight glass terminal comprising an eyelet made of an iron-nickel-cobalt alloy and a lead wire made of the same material as the eyelet, wherein the eyelet and the lead wire are hermetically sealed by glass. An airtight glass characterized by subjecting a wire material to an underplating containing at least cobalt, and oxidizing the undercoat to hermetically seal a lead wire having an oxide film of at least cobalt formed on the surface thereof with the glass. Terminal.
にコバルトめっきを施したものであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の気密ガラス端子。2. The hermetically sealed glass terminal according to claim 1, wherein the undercoat is nickel-plated and then cobalt-plated.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP61158261A JPH0785427B2 (en) | 1986-07-05 | 1986-07-05 | Airtight glass terminal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61158261A JPH0785427B2 (en) | 1986-07-05 | 1986-07-05 | Airtight glass terminal |
Publications (2)
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| JPS6316581A JPS6316581A (en) | 1988-01-23 |
| JPH0785427B2 true JPH0785427B2 (en) | 1995-09-13 |
Family
ID=15667752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61158261A Expired - Fee Related JPH0785427B2 (en) | 1986-07-05 | 1986-07-05 | Airtight glass terminal |
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Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
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1986
- 1986-07-05 JP JP61158261A patent/JPH0785427B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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