JPH0783847A - プリント基板検査装置 - Google Patents
プリント基板検査装置Info
- Publication number
- JPH0783847A JPH0783847A JP5225852A JP22585293A JPH0783847A JP H0783847 A JPH0783847 A JP H0783847A JP 5225852 A JP5225852 A JP 5225852A JP 22585293 A JP22585293 A JP 22585293A JP H0783847 A JPH0783847 A JP H0783847A
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- Japan
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- psd
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- printed circuit
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＰＳＤ上の照射面積の拡大（光量拡大）によ
る計測精度の向上及び／又はＰＳＤの計測範囲の拡大を
実現し得る合理的・経済的で高性能なプリント基板検査
装置を実現する。 【構成】 光照射系１１，１３，１５等によりレーザ光
を所定走査方向でプリント基板１９に照射し、その反射
光をＰＳＤ２５上に結像させて検査を行うプリント基板
検査装置において、ＰＳＤ２５に結像される反射光の照
射面積Ｓをレーザ光走査方向に拡大及び／又はレーザ光
走査方向に垂直な方向に縮小させる光学部材２３を、反
射光の経路途上に設け、検査性能を向上させる。
る計測精度の向上及び／又はＰＳＤの計測範囲の拡大を
実現し得る合理的・経済的で高性能なプリント基板検査
装置を実現する。 【構成】 光照射系１１，１３，１５等によりレーザ光
を所定走査方向でプリント基板１９に照射し、その反射
光をＰＳＤ２５上に結像させて検査を行うプリント基板
検査装置において、ＰＳＤ２５に結像される反射光の照
射面積Ｓをレーザ光走査方向に拡大及び／又はレーザ光
走査方向に垂直な方向に縮小させる光学部材２３を、反
射光の経路途上に設け、検査性能を向上させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光走査によるプ
リント基板の検査装置に関する。
リント基板の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光照射系によりレーザ光を所定走査方向
でプリント基板に照射し、その反射光をＰＳＤ（Positi
on Sensitive Detector)上に結像させて検査を行うプリ
ント基板検査装置がある。
でプリント基板に照射し、その反射光をＰＳＤ（Positi
on Sensitive Detector)上に結像させて検査を行うプリ
ント基板検査装置がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＰＳＤをセンサとして
用いる上記プリント基板検査装置においては、ＰＳＤ上
の単位面積当たりの受光量に厳しい制限があるために、
レーザ光の光量を小さくする必要があるが、そうする
と、ＰＳＤ出力信号（高さ信号）のＳ／Ｎ比が低下し検
査精度が悪化するといった問題がある。これを補償する
ために、ＰＳＤ上の照射面積（結像反射光）の拡大が考
えられるが、単純に拡大すると、ＰＳＤの計測範囲が極
端に小さくなり、逆に検査性能が低下してしまう。
用いる上記プリント基板検査装置においては、ＰＳＤ上
の単位面積当たりの受光量に厳しい制限があるために、
レーザ光の光量を小さくする必要があるが、そうする
と、ＰＳＤ出力信号（高さ信号）のＳ／Ｎ比が低下し検
査精度が悪化するといった問題がある。これを補償する
ために、ＰＳＤ上の照射面積（結像反射光）の拡大が考
えられるが、単純に拡大すると、ＰＳＤの計測範囲が極
端に小さくなり、逆に検査性能が低下してしまう。
【０００４】そこで、本発明においては、特に不都合を
伴うことなく、ＰＳＤ上の照射面積の拡大（光量拡大）
による計測精度の向上及び／又はＰＳＤの計測範囲の拡
大を実現し得る合理的・経済的な、プリント基板検査装
置を提供することをその課題とする。
伴うことなく、ＰＳＤ上の照射面積の拡大（光量拡大）
による計測精度の向上及び／又はＰＳＤの計測範囲の拡
大を実現し得る合理的・経済的な、プリント基板検査装
置を提供することをその課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、光照射系によりレーザ光を所定走査方向で
プリント基板に照射し、その反射光をＰＳＤ上に結像さ
せて検査を行うプリント基板検査装置において、ＰＳＤ
に結像される反射光の照射面積をレーザ光走査方向に拡
大及び／又はレーザ光走査方向に垂直な方向に縮小させ
る光学部材を、反射光の経路途上に設け、検査性能を向
上させることを構成上の特徴とする。
に本発明は、光照射系によりレーザ光を所定走査方向で
プリント基板に照射し、その反射光をＰＳＤ上に結像さ
せて検査を行うプリント基板検査装置において、ＰＳＤ
に結像される反射光の照射面積をレーザ光走査方向に拡
大及び／又はレーザ光走査方向に垂直な方向に縮小させ
る光学部材を、反射光の経路途上に設け、検査性能を向
上させることを構成上の特徴とする。
【０００６】好ましくは、上記光学部材は、平凸シリド
リカルレンズ有して成る。あるいは、上記光学部材は、
平凹シリドリカルレンズ及び平凸シリドリカルレンズを
有して成る。
リカルレンズ有して成る。あるいは、上記光学部材は、
平凹シリドリカルレンズ及び平凸シリドリカルレンズを
有して成る。
【０００７】
【作用】反射光の経路途上に設けられる光学部材は、Ｐ
ＳＤに結像される反射光の照射面積をレーザ光走査方向
に拡大及び／又はレーザ光走査方向に垂直な方向に縮小
させ、これにより、光量の増加による計測精度及び／又
は計測範囲が向上する。上記光学部材が平凸シリドリカ
ルレンズ有して成る場合、上記照射面積がレーザ光走査
方向に垂直な方向に縮小され、計測範囲が実質的に増加
する。
ＳＤに結像される反射光の照射面積をレーザ光走査方向
に拡大及び／又はレーザ光走査方向に垂直な方向に縮小
させ、これにより、光量の増加による計測精度及び／又
は計測範囲が向上する。上記光学部材が平凸シリドリカ
ルレンズ有して成る場合、上記照射面積がレーザ光走査
方向に垂直な方向に縮小され、計測範囲が実質的に増加
する。
【０００８】上記光学部材が平凹シリドリカルレンズ及
び平凸シリドリカルレンズを有して成る場合、上記照射
面積がレーザ光走査方向に拡大され且つレーザ光走査方
向に垂直な方向に縮小され、従って、限界受光量及び計
測範囲が実質的に増加する。
び平凸シリドリカルレンズを有して成る場合、上記照射
面積がレーザ光走査方向に拡大され且つレーザ光走査方
向に垂直な方向に縮小され、従って、限界受光量及び計
測範囲が実質的に増加する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は、本発明の第１実施例のプリント基板のパ
ターン検査装置の要部構成図、図２は、第２実施例の要
部構成図である。
する。図１は、本発明の第１実施例のプリント基板のパ
ターン検査装置の要部構成図、図２は、第２実施例の要
部構成図である。
【００１０】第１実施例 第１実施例を示す図１を参照すると、同図左手側の光照
射系は、基本的にレーザ光源１１、回転ミラー１３、及
び集光レンズ１５を有して成り、レーザ光源１１から出
射されたレーザ光１７は、斜め方向（所定入射角度）か
ら所定走査方向でプリント基板１９を照射する。
射系は、基本的にレーザ光源１１、回転ミラー１３、及
び集光レンズ１５を有して成り、レーザ光源１１から出
射されたレーザ光１７は、斜め方向（所定入射角度）か
ら所定走査方向でプリント基板１９を照射する。
【００１１】他方、図１右手側（光反射側）の三次元検
出系においては、入射角度と等しい出射角度の反射光の
経路上に、結像レンズ２１、本実施例の要部を成す光学
部材２３、及びＰＳＤ（Position Sensitive Detector)
２５がこの順序で配設される。ＰＳＤ２５は、その上に
結像された反射光に対応する信号Ａ，Ｂを出力し、それ
らの信号は、高さ演算回路２７に入力され、高さ演算回
路２７は、高さ信号（（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ））を出力
する。
出系においては、入射角度と等しい出射角度の反射光の
経路上に、結像レンズ２１、本実施例の要部を成す光学
部材２３、及びＰＳＤ（Position Sensitive Detector)
２５がこの順序で配設される。ＰＳＤ２５は、その上に
結像された反射光に対応する信号Ａ，Ｂを出力し、それ
らの信号は、高さ演算回路２７に入力され、高さ演算回
路２７は、高さ信号（（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ））を出力
する。
【００１２】結像レンズ２１とＰＳＤ２５との間に配置
される上記光学部材２３は、次に記載する幾つかの部材
例（それに限定されない）で構成され得る。
される上記光学部材２３は、次に記載する幾つかの部材
例（それに限定されない）で構成され得る。
【００１３】例１ 図３（ａ）に示したように、上記光学部材２３は、平凹
シリドリカルレンズ２３1 で構成され得る。この場合、
ＰＳＤ２５に結像される反射光の照射面積Ｓ（図４
（ａ）参照）は、レーザ光走査方向に拡大され（Ｓ→Ｓ
1)、従ってＰＳＤ２５の限界受光量は、実質的に増加し
得る。しかも、このとき、照射面積Ｓを単純に円形のま
ま拡大するわけではないので、ＰＳＤ２５の計測範囲
（図３（ｂ）でＬ1 寸法部分に相当）を減少させないで
済む。
シリドリカルレンズ２３1 で構成され得る。この場合、
ＰＳＤ２５に結像される反射光の照射面積Ｓ（図４
（ａ）参照）は、レーザ光走査方向に拡大され（Ｓ→Ｓ
1)、従ってＰＳＤ２５の限界受光量は、実質的に増加し
得る。しかも、このとき、照射面積Ｓを単純に円形のま
ま拡大するわけではないので、ＰＳＤ２５の計測範囲
（図３（ｂ）でＬ1 寸法部分に相当）を減少させないで
済む。
【００１４】ここで、出力信号等に関する、この例１の
構成と、上記光学部材２３（２３1)を設けない構成、と
の比較を示す図４を参照する。同図から良く理解され得
るように、ＰＳＤ出力Ａ，Ｂの個々の値を高くすること
ができ、その結果、ノイズの大部分を占める回路ノイズ
自体が変わらないので、ＰＳＤ出力信号のＳ／Ｎ比、そ
して高さ信号のＳ／Ｎ比が向上する。すなわち、ＰＳＤ
２５の計測精度が効果的に向上し、よってプリント基板
１９のパターン検査における検査精度が著しく向上し得
る。
構成と、上記光学部材２３（２３1)を設けない構成、と
の比較を示す図４を参照する。同図から良く理解され得
るように、ＰＳＤ出力Ａ，Ｂの個々の値を高くすること
ができ、その結果、ノイズの大部分を占める回路ノイズ
自体が変わらないので、ＰＳＤ出力信号のＳ／Ｎ比、そ
して高さ信号のＳ／Ｎ比が向上する。すなわち、ＰＳＤ
２５の計測精度が効果的に向上し、よってプリント基板
１９のパターン検査における検査精度が著しく向上し得
る。
【００１５】例２ 図５（ａ）に示したように、上記光学部材２３は、所定
角度傾けて設けられるガラス板２３2 で構成され得る。
この場合、上記例１と同様に、ＰＳＤ２５に結像される
反射光の照射面積Ｓは、レーザ光走査方向に拡大され
（Ｓ→Ｓ2)、従ってＰＳＤ２５の限界受光量は、向上し
得るし、このとき、ＰＳＤ２５の計測範囲（図５（ｂ）
でＬ2 寸法部分に相当) を減少させないで済む。
角度傾けて設けられるガラス板２３2 で構成され得る。
この場合、上記例１と同様に、ＰＳＤ２５に結像される
反射光の照射面積Ｓは、レーザ光走査方向に拡大され
（Ｓ→Ｓ2)、従ってＰＳＤ２５の限界受光量は、向上し
得るし、このとき、ＰＳＤ２５の計測範囲（図５（ｂ）
でＬ2 寸法部分に相当) を減少させないで済む。
【００１６】例３ 図６（ａ）に示したように、上記光学部材２３は、平凸
シリドリカルレンズ２３3 で構成され得る。この場合、
ＰＳＤ２５に結像される反射光の照射面積は、上記例１
及び例２と異なりレーザ光走査方向に変化ないが、レー
ザ光走査方向に垂直な方向に縮小され（Ｓ→Ｓ3)、従っ
て、ＰＳＤ２５の計測範囲（図６（ｂ）でＬ3 寸法部分
に相当）は、実質的に増加する。すなわち、これによ
り、ＰＳＤ２５による計測精度が向上し得る。
シリドリカルレンズ２３3 で構成され得る。この場合、
ＰＳＤ２５に結像される反射光の照射面積は、上記例１
及び例２と異なりレーザ光走査方向に変化ないが、レー
ザ光走査方向に垂直な方向に縮小され（Ｓ→Ｓ3)、従っ
て、ＰＳＤ２５の計測範囲（図６（ｂ）でＬ3 寸法部分
に相当）は、実質的に増加する。すなわち、これによ
り、ＰＳＤ２５による計測精度が向上し得る。
【００１７】例４ 図７（ａ）に示したように、上記光学部材２３は、例１
及び例３を組み合わせたように、平凹シリドリカルレン
ズ２３41及び平凸シリドリカルレンズ２３42がこの順序
で適当に配置構成されて成る。この場合、ＰＳＤ２５に
結像される反射光の照射面積は、レーザ光走査方向に拡
大され（Ｓ→Ｓ4)、且つ、レーザ光走査方向に垂直な方
向に縮小される。従って、ＰＳＤ２５の限界受光量は、
実質的に増加向上し、且つ、ＰＳＤ２５の計測範囲（図
７（ｂ）でＬ4 寸法部分に相当）は、実質的に増加す
る。すなわち、これにより、ＰＳＤ２５による計測精度
が相当向上し、よってプリント基板検査におけるパター
ン検査精度が飛躍的に向上し得る。
及び例３を組み合わせたように、平凹シリドリカルレン
ズ２３41及び平凸シリドリカルレンズ２３42がこの順序
で適当に配置構成されて成る。この場合、ＰＳＤ２５に
結像される反射光の照射面積は、レーザ光走査方向に拡
大され（Ｓ→Ｓ4)、且つ、レーザ光走査方向に垂直な方
向に縮小される。従って、ＰＳＤ２５の限界受光量は、
実質的に増加向上し、且つ、ＰＳＤ２５の計測範囲（図
７（ｂ）でＬ4 寸法部分に相当）は、実質的に増加す
る。すなわち、これにより、ＰＳＤ２５による計測精度
が相当向上し、よってプリント基板検査におけるパター
ン検査精度が飛躍的に向上し得る。
【００１８】第２実施例 第２実施例は、それを示す図２から良く理解され得るよ
うに、上記第１実施例の構成に、二次元検出系の要素を
追加した構成を有して成る。すなわち、結像レンズ２１
からの光を２等分するハーフミラー３１と、別の集光レ
ンズ３３と、二次元信号を得るためのホトマル３５、と
が一列にこの順序で配設される。尚、上記第１実施例と
共通する部分及び部品には、同一参照番号を付し、重複
する説明を省略する。
うに、上記第１実施例の構成に、二次元検出系の要素を
追加した構成を有して成る。すなわち、結像レンズ２１
からの光を２等分するハーフミラー３１と、別の集光レ
ンズ３３と、二次元信号を得るためのホトマル３５、と
が一列にこの順序で配設される。尚、上記第１実施例と
共通する部分及び部品には、同一参照番号を付し、重複
する説明を省略する。
【００１９】この第２実施例においては、基本的に第１
実施例における構成（例１〜例４）及び作用・効果がそ
のまま妥当し得る。
実施例における構成（例１〜例４）及び作用・効果がそ
のまま妥当し得る。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ＰＳＤ上
の照射面積の拡大（光量拡大）による計測精度の向上及
び／又はＰＳＤの計測範囲の拡大を実現でき、合理的・
経済的で高性能なプリント基板検査装置を提供すること
が可能となる。
の照射面積の拡大（光量拡大）による計測精度の向上及
び／又はＰＳＤの計測範囲の拡大を実現でき、合理的・
経済的で高性能なプリント基板検査装置を提供すること
が可能となる。
【図１】図１は、本発明の第１の実施例のプリント基板
のパターン検査装置の要部構成図である。
のパターン検査装置の要部構成図である。
【図２】図２は、第２の実施例の要部構成図である。
【図３】図３は、光学部材の第１の例を示す図である。
【図４】図４は、光学部材を設ける構成と設けない構成
との比較を示す図である。
との比較を示す図である。
【図５】図５は、光学部材の第２の例を示す図である。
【図６】図６は、光学部材の第３の例を示す図である。
【図７】図７は、光学部材の第４の例を示す図である。
１１…レーザ光源 １３…回転ミラー １５…集光レンズ １９…プリント基板 ２３…光学部材 ２５…ＰＳＤ ２３1 …平凹シリドリカルレンズ ２３2 …ガラス板 ２３3 …平凸シリドリカルレンズ ２３41…平凹シリドリカルレンズ ２３42…平凸シリドリカルレンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 裕 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 安藤 護俊 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 光照射系（１１，１３，１５等）により
レーザ光を所定走査方向でプリント基板（１９）に照射
し、その反射光をＰＳＤ（２５）上に結像させて検査を
行うプリント基板検査装置において、ＰＳＤ（２５）に
結像される反射光の照射面積（Ｓ）をレーザ光走査方向
に拡大及び／又はレーザ光走査方向に垂直な方向に縮小
させる光学部材（２３）を、反射光の経路途上に設け、
検査性能を向上させることを特徴とするプリント基板検
査装置。 - 【請求項２】 上記光学部材は、平凸シリドリカルレン
ズ（２３3 ）有して成ることを特徴とする請求項１に記
載のプリント基板検査装置。 - 【請求項３】 上記光学部材は、平凹シリドリカルレン
ズ（２３41）及び平凸シリドリカルレンズ（２３42）を
有して成ることを特徴とする請求項１に記載のプリント
基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5225852A JPH0783847A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | プリント基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5225852A JPH0783847A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | プリント基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0783847A true JPH0783847A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=16835857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5225852A Withdrawn JPH0783847A (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | プリント基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0783847A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107121091A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-09-01 | 西安五湖智联半导体有限公司 | 一种基于psd的轮廓扫描测量装置 |
-
1993
- 1993-09-10 JP JP5225852A patent/JPH0783847A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107121091A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-09-01 | 西安五湖智联半导体有限公司 | 一种基于psd的轮廓扫描测量装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001128 |