JPH0779561A - 昇圧電源回路および昇圧回路 - Google Patents

昇圧電源回路および昇圧回路

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JPH0779561A
JPH0779561A JP5225382A JP22538293A JPH0779561A JP H0779561 A JPH0779561 A JP H0779561A JP 5225382 A JP5225382 A JP 5225382A JP 22538293 A JP22538293 A JP 22538293A JP H0779561 A JPH0779561 A JP H0779561A
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JP
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voltage
boosting
node
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circuit
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JP5225382A
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Hideki Arakawa
秀貴 荒川
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Original Assignee
Sony Corp
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    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
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    • Y02B70/10Technologies improving the efficiency by using switched-mode power supplies [SMPS], i.e. efficient power electronics conversion e.g. power factor correction or reduction of losses in power supplies or efficient standby modes

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Abstract

(57)【要約】 【目的】低電源電圧下で安定した所定の昇圧電圧を発生
できる昇圧電源回路、並びに回路面積および消費電力の
増大の防止等を図れる昇圧回路を提供する。 【構成】外部電源電圧VCCより高い電圧を発生する昇圧
回路BST11と、昇圧回路BST11の出力に接続され、
昇圧回路BST11の出力電圧を所定レベルに保持する外
部電源電圧よりも大きなツェナー電圧を有するダイオー
ドZDと、ダイオードZDにより所定レベルに保持され
た電圧に基づいて所定レベルのリファレンス電圧VR1
を発生する電圧分割用抵抗素子R11,R12とを有する第
1の昇圧ブロックMVC1と、第1の昇圧ブロックによ
るリファレンス電圧VR1 に基づいて出力レベルを所定
レベルに制御した電圧を生成し出力する、出力電流能力
が上第1の昇圧ブロックMVC1より高く、スタンバイ
時は動作が停止される第2の昇圧ブロックMVC2とを
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置などに
用いられる昇圧電源回路および昇圧回路に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置、たとえばフラッシュメ
モリには、5Vなどの基準電源電圧を12V〜20Vの
高電圧および−6V〜−20Vの負の高電圧に昇圧させ
て、消去/書込の各機能ブロックに供給する、電流能力
が100μA程度の昇圧回路が設けられている。
【0003】図13は、たとえば+5Vの電源電圧を昇
圧して20Vの出力を得る、一般的な正電圧の昇圧回路
を示す回路図である。図13において、VCCは電源電
圧、NT0 〜NT4 はnチャネルMOS(MetalOxide Se
miconductor) トランジスタ(以下、nMOSトランジ
スタという)、C1 〜C4 はノード昇圧用キャパシタ、
ND0 〜ND4 はノード、TOUT は出力端子、VOUT
出力電圧、φ,φ は互いに相補的なレベルをとるクロ
ック信号をそれぞれ示している。
【0004】クロック信号φおよびφ は、図14に示
すように、電源電圧VCCレベルと「0」Vレベルとを所
定周期で交互にとる相補的信号である。したがって、ク
ロック信号φがVCCレベルのときはキャパシタC1 ,C
3 の容量結合によりノードND1 およびND3 が、たと
えば電圧VC 分昇圧され(たたき上げられ)、このとき
クロック信号φ は「0」VであることからノードND
2 およびND4 は引き下げ(たたき下げ)られる。一
方、クロック信号φが「0」VレベルのときはノードN
1 およびND3 はたたき下げられ、このときクロック
信号φ はVCCレベルであることから、キャパシタ
2 ,C4 の容量結合によりノードND2 およびND4
が電圧VC 分たたき上げられる。
【0005】図15は、図13の昇圧回路におけるノー
ドND1 およびND2 が昇圧される過程を示す波形図で
ある。図15に示すように、図13の昇圧回路では、相
補的レベルをとるクロック信号φ,φ をポンピング用
キャパシタC1 〜C4 に入力させることにより、出力側
に向かって電流が流れ、キャパシタC1 〜C4 の電荷が
順次運ばれる。
【0006】具体的には、図中に示すa期間では、クロ
ック信号φがVCCレベルでキャパシタC1 に入力され、
クロック信号φ は「0」VでキャパシタC2 に入力さ
れる。したがって、ノードND1 はキャパシタC1 の容
量結合により、電圧VC 分昇圧され(たたき上げら
れ)、ノードND2 は電圧VC 分たたき下げられる。ノ
ードND1 が昇圧されたことに伴い、nMOSトランジ
スタNT1 に電圧V C が印加されるため、次段のノード
ND2 に向かって電流i1 が流れ、キャパシタC1 の電
荷がノードND2 に運ばれる。これに伴い、ノードND
2 の電圧V2 は、a期間が終了する時点で多少上昇す
る。
【0007】次のb期間では、クロック信号φが「0」
VでキャパシタC1 に入力され、クロック信号φ がV
CCレベルでキャパシタC2 に入力される。したがって、
ノードND1 はキャパシタC1 の容量結合が行われず、
電圧VC分たたき下げられ、ノードND2 は電圧VC
たたき上げられる。したがって、ノードND2 の電圧V
2 は電流i1 の流入より上昇した電圧(+) α分を加えた
次の値となる。 V2 =VC +α …(1) これにより、nMOSトランジスタNT1 はオフ状態と
なり電流i1 は流れなくなり、電荷が次段のノードND
2 に運ばれ、ノードND2 の電圧V2 、すなわちnMO
SトランジスタNT1 のソース電圧が上昇したことにな
る。
【0008】ノードND2 が昇圧されたことに伴い、n
MOSトランジスタNT2 のゲートに電圧(VC +α)
が印加されるため、次段のノードND3 に向かって電流
2が流れ、キャパシタC2 の電荷がノードND2 に運
ばれる。これに伴い、ノードND3 の電圧は、b期間が
終了する時点でさらに上昇する。
【0009】以上の動作と同様の動作が繰り返されて、
所定の高電圧出力VOUT が出力端子TOUT に現れること
になる。
【0010】この昇圧回路で、たとえばnMOSトラン
ジスタNT1 を介して、次段のノードND2 に電荷を運
ぶ場合、すなわち、電流i1 が流れるときは、nMOS
トランジスタNT1 のソース電圧=nMOSトランジス
タNT1 のドレイン電圧=nMOSトランジスタNT1
のゲート電圧=V1 となるので、以下の関係を満足する
必要がある。 V1 −V2 >Vth …(2) ここで、VthはnMOSトランジスタのしきい値電圧を
示している。
【0011】したがって、電流i1 が流れて電荷が運ば
れる条件は、上述したようにキャパシタC1 ,C2 でノ
ードND1 ,ND2 がたたき上げ/下げられる電圧をV
C とすると、以下に示すようになる。 (V1 +VC )−(V2 −VC )>Vth(1) すなわち、 2VC −Vth(1) >V2 −V1 …(3)
【0012】この条件を満たす図13の回路は、相補的
クロック信号φ,φ を用いてキャパシタC1 〜C4
電荷をノードND1 からノードND4 を経て出力端子T
OUTに順次シフトさせることができ、電源電圧VCCを所
望の電圧まで昇圧できる。
【0013】また、フラッシュメモリは、はじめ5V/
12Vの2電源を有し、上述したような昇圧回路を備
え、昇圧電圧を消去/書込の各機能ブロックに供給する
ように構成していたが、3V単一電源化への移行に伴
い、読み出し動作の高速性を確保するなどのため、ワー
ド線の3V以上への昇圧の必要性が、読み出し時におい
ても高まっている。そこで、DRAMにおけるワード線
の昇圧方法と同様に、大きな容量による、上述したと同
様のたたき上げ方式を採用した回路が提案されている。
【0014】また、従来の昇圧回路は、上述したように
出力電圧を10V以上の高電圧としてきたため、ツェナ
ーダイオードによる電圧設定が容易であった。このツェ
ナーダイオードを用いた回路としては、たとえば公開技
報92−29316号に開示されているような、昇圧回
路の出力側に直接ツェナーダイオードを接続するもの
や、ツェナーダイオードと抵抗素子との組み合わせによ
り昇圧電圧を監視して、昇圧用クロックをオン/オフさ
せて消費電力を節約するように構成されたものが提案さ
れている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】上述した大きな容量に
よるたたき上げ方式を採用しワード線を昇圧する回路で
は、電源電圧VCCを3V±0.3Vとしたときの最低の
電圧である2.7Vに場合の昇圧電圧がせいぜい3.2
Vであり、トランジスタのしきい値電圧Vthのバラツキ
等を考慮すると、最悪3.0V程度となってしまう。し
たがって、この容量たたき上げ方式では、さらなる定電
圧電源化には耐え得ない。
【0016】また、MOS ICで一般に実現できるツ
ェナーダイオードのツェナー電圧は5〜7Vであるの
で、昇圧回路の出力電圧が約4V〜6Vとなると、出力
電圧の制御が困難となる。特に、ツェナー特性が良い範
囲は6V以上であることから、出力電圧として5V以下
を望む場合には、出力電圧を直接ツェナーダイオードで
制御できなくなる。
【0017】ところで、MOSトランジスタのしきい値
電圧Vthは、ソース電圧が上昇すると増大するという、
いわゆるバックバイアス効果の影響を受ける。ここで、
基板電圧=ソース電圧=0Vのときのしきい値電圧Vth
を「0.8V」とすると、ソース電圧が10数Vのとき
のしきい値電圧Vthは約2Vとなってしまう。このた
め、図13に示すような昇圧回路では、昇圧段数が増
え、電圧が高くなるに従って1段当たりの効率が悪くな
るという問題がある。
【0018】上述の式(3) において、バックバイアス効
果がなく、VC =4Vとすると、 V2 −V1 <8−0.8V=7.2V となるが、バックバイアス効果によりしきい値電圧Vth
=2Vとなると、 V2 −V1 <8−2=6V となる。電源電圧3.0Vの動作を保証するめに、2.
5Vにおいても動作する必要があるとしたとき、VC
2Vとして、 V2 −V1 <4−2=2V となってしまう。
【0019】従来、このバックバイアス効果による影響
を避けるために、たとえば図13のnMOSトランジス
タNT3 ,NT4 など段数の高次の部分のトランジスタ
のしきい値電圧Vthを下げ、0Vとするなどの対策がな
されている。しかし、この対策では、製造プロセスが煩
雑になるなどの問題がある。
【0020】また、バックバイアス効果による影響を避
けるために、「文献;IEEE JOURNALOF SOLID-STATE CIR
CUITS.VOL.27.NO.11,1992,pp1540 〜1546」の図5(Fi
g.5)および図7(Fig.7 )に示されているような、バ
ックバイアス効果によりしきい値電圧Vthが増大した
分、ゲート電圧を上げるように構成した昇圧回路も提案
されている。
【0021】図16は、この文献の図7に記載されてい
る正の昇圧回路を示す回路図である。この回路は、図1
3の回路に加えて、各nMOSトランジスタNT0 〜N
3のゲートにゲート昇圧用のキャパシタCG1 〜CG
4 が接続され、各ノードND 0 〜ND3 とnMOSトラ
ンジスタNT0 〜NT3 のゲートとの間にnMOSトラ
ンジスタNTG0 〜NTG3 が挿入接続され、かつ、各
nMOSトランジスタNTG0 〜NTG3 のゲートが一
つ後段のノードND1 〜ND4 に接続されて構成されて
いる。
【0022】この回路を動作させるためには、図17に
示すようなタイミングに設定された4相のクロック信号
φ1 〜φ4 が各キャパシタC1 〜C4 ,CG1 〜CG4
に所定のタイミングで入力される。具体的には、ノード
昇圧用キャパシタC1 ,C3 にクロック信号φ3 が、キ
ャパシタC2 ,C4 にクロック信号φ1 がそれぞれ入力
され、ゲートポンピング用キャパシタCG1 ,CG3
クロック信号φ2 が、キャパシタCG2 ,CG4 にクロ
ック信号φ4 がそれぞれ入力される。
【0023】ここで、簡単のため、たとえばクロック信
号φ1 がVCCレベルでキャパシタC 2 に入力され、クロ
ック信号φ3 が「0」VでキャパシタC3 に入力されて
いる場合を想定する。この場合、ノードND2 が昇圧状
態にあり、ノードND3 がたたき下げの状態にある。し
たがって、nMOSトランジスタNTG2 のゲート電圧
はノードND 3 のレベルと同レベルであることから、n
MOSトランジスタNTG2 はオフ状態に保持される。
この状態で、クロック信号φ2 がVCCレベルになるとキ
ャパシタCG3 の容量結合によりnMOSトランジスタ
NT2 のゲート電圧が、バックバイアス効果を相殺可能
なレベルまで上昇される。このため、キャパシタC2
電荷がnMOSトランジスタNT2 を介してノードND
3 に良好に伝達される。
【0024】次に、クロック信号φ1 が「0」Vに、ク
ロック信号φ3 がVCCレベルに切り替えられると、ノー
ドND2 がたたき下げられ、ノードND3 が昇圧され
る。このとき、クロック信号φ2 は「0」Vに切り替え
られる。ノードND3 が昇圧状態にあることから、nM
OSトランジスタNTG2 のゲート電圧も高レベルとな
り、nMOSトランジスタNTG2 はオン状態となる。
これにより、ノードND2 とnMOSトランジスタNT
2 のゲート側ノードNG 2 とは同電位となり、ノードN
3 からノードND2 に電流は流れない。
【0025】しかしながら、従来の昇圧回路では、負荷
側に接続される最終段のnMOSトランジスタNT4
ついてはバックバイアス効果を相殺することができな
い。したがって、キャパシタC4 をたたき上げたときn
MOSトランジスタNT4のしきい値電圧Vth(4) によ
り出力電圧VOUT は、ノードND4 の電圧V(4) からし
きい値電圧Vth(4) を減じたレベルまでしか得られな
い。出力電圧VOUT が上がった後は、バックバイアス効
果によりしきい値電圧Vthは通常の0.6V〜0.8V
(バックバイアス=0V)から1.5V〜2.0Vまで
上昇するため、低電圧電源下における動作を考えると、
大きな問題となる。また、図16の回路は4相のクロッ
ク信号φ1 〜φ4 を用いることから、図18に示すよう
に、クロック発生回路が複雑となり、素子数の増大に伴
う回路面積および消費電力の増大を招く。
【0026】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、低電源電圧下においてもノイズ
等の少ない安定した所定の昇圧電圧を発生でき、半導体
記憶装置のワード線電圧等に適用することにより高速ア
クセスタイムを実現できる昇圧電源回路、並びにバック
バイアス効果を相殺でき、回路面積および消費電力の増
大の防止、クロック発生回路の複雑化の防止、並びに電
流能力の低下を防止できる昇圧回路を提供することにあ
る。
【0027】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の昇圧電源回路は、外部電源電圧より高い電
圧を発生する昇圧回路と、上記昇圧回路の出力に接続さ
れ、当該昇圧回路で発生された電圧を所定レベルに保持
する外部電源電圧よりも大きなツェナー電圧を有するダ
イオードと、上記ダイオードにより所定レベルに保持さ
れた電圧に基づいて所定レベルのリファレンス電圧を発
生するリファレンス電圧発生手段とを有する第1の昇圧
ブロックと、上記第1の昇圧ブロックによるリファレン
ス電圧に基づいて出力レベルを所定レベルに制御した電
圧を生成し出力する、出力電流能力が上記第1の昇圧ブ
ロックより高く、スタンバイ時は動作が停止される第2
の昇圧ブロックとを有する。
【0028】本発明の昇圧電源回路は、上記第2の昇圧
ブロックは、出力電圧より高い電圧を蓄える前段と、出
力電圧が設定レベル以下になったか否かの判別を行う出
力電圧判別回路を有する後段と、ゲート電極が上記後段
の出力電圧判別回路の出力に接続され、出力電圧が設定
レベル以下になったときに上記前段の出力と上記後段の
電圧出力ラインとを接続するトランスファゲートとから
構成されている。
【0029】本発明の昇圧電源回路は、上記第2の昇圧
ブロックは、各々位相の異なるクロック対により駆動さ
れる少なくとも2つの昇圧回路を有し、各昇圧回路の出
力を合成して出力電圧を得る。
【0030】本発明の昇圧電源回路は、上記昇圧回路を
駆動するクロック対は、電位が異なる2つの基準電源間
に直列に接続されたpチャネルトランジスタおよびnチ
ャネルトランジスタからなるインバータを有するクロッ
ク発生回路により発生され、上記pチャネルトランジス
タおよびnチャネルトランジスタの両者は一旦オフ状態
を経てからいずれか一方がオン状態となるように制御さ
れる。
【0031】本発明の昇圧電源回路は、上記第1の昇圧
ブロックはスタンバイ時も駆動され、かつ、スタンバイ
時に、上記ダイオードにより所定レベルに保持された電
圧に基づいて外部電源電圧により高い一定の電圧を生成
し出力するスタンバイ時用出力回路を有する。
【0032】本発明の昇圧電源回路では、上記スタンバ
イ時用出力回路は、抵抗分割により出力電圧を生成す
る。
【0033】本発明の昇圧回路は、相補的に昇圧される
隣接するノード間をトランジスタにより作動的に接続
し、ノード昇圧用素子により昇圧されたノードから次段
のノードに対して電荷を転送し、外部電源電圧より高い
電圧を生成して負荷側に供給する回路において、最終段
のノードと負荷側との間に抵抗素子が接続されている。
【0034】本発明の昇圧回路は、最終段のノードに昇
圧用素子が接続されている。
【0035】本発明の昇圧回路は、上記トランジスタの
ゲートがゲート昇圧用素子に接続され、昇圧するノード
に接続されたノード昇圧用素子およびその電荷を転送す
るトランジスタのゲートに接続されたゲート用昇圧素子
には互いに同相となる期間を含む第1および第2のクロ
ック信号が印加され、電荷が転送される次段のノードに
接続されたノード昇圧用素子および昇圧するノードの前
段に接続されたトランジスタのゲートに接続されたゲー
ト昇圧用素子には上記第1および第2のクロック信号と
逆相で、かつ互いに同相となる期間を含む第3および第
4のクロック信号が印加される。
【0036】本発明の昇圧回路は、上記第1のクロック
信号および第2のクロック信号が全期間で同相で、上記
第3のクロック信号および第4のクロック信号が全期間
で同相である。
【0037】本発明の昇圧回路は、最終段のノードに接
続された昇圧用素子の容量と上記抵抗素子の抵抗値は、
両者で決まる時定数が、上記第1、第2、第3および第
4のクロック信号の周波数のサイクル時間の4分の1以
上となるように設定されている。
【0038】本発明の昇圧回路は、外部電源電圧と初段
のノードとの間に抵抗素子が接続されている。
【0039】
【作用】本発明の昇圧電源回路によれば、第1の昇圧ブ
ロックの昇圧回路において、外部電源電圧より高い電
圧、たとえば10Vの電圧が生成される。この昇圧回路
の出力電圧は、ツェナーダイオードにより所定の電圧、
たとえば6Vに制御されてリファレンス電圧発生手段に
供給される。リファレンス電圧発生手段では、供給電圧
に基づいて所定レベル、たとえば2Vのリファレンス電
圧が発生され、第2の昇圧ブロックに出力される。第2
の昇圧ブロックでは、たとえば読み出し動作時等に、入
力されたリファレンス電圧に基づいて出力レベルが所定
レベル、たとえば4Vに設定されて、負荷側のたとえば
ワード線に供給される。このときの出力電流は、たとえ
ばmAオーダの大電流であり、低電圧電源下においても
高速な読み出し動作等が実現される。
【0040】また、本発明の昇圧電源回路によれば、第
2の昇圧ブロックにおいては、前段で出力電圧より高い
電圧が蓄えられトランスファゲートに供給される。トラ
ンスファゲートのゲートには、後段の出力電圧判別回路
の出力が入力され、後段からの出力電圧が設定レベル以
下の場合、トランスファゲートは開状態に制御される。
これにより、前段から後段にリーク等で低下した出力電
圧レベルが一定のレベルに補償される。
【0041】また、本発明の昇圧電源回路によれば、複
数の昇圧回路がそれぞれ位相の異なるクロック対により
駆動され、各昇圧回路の出力が合成されて当該昇圧電源
回路の出力電圧として出力される。これにより、電流ノ
イズが低減され、また出力電圧のリップル小さくなる。
【0042】また、本発明の昇圧電源回路によれば、上
記クロックは、pチャネルトランジスタおよびnチャネ
ルトランジスタからなるインバータを有するクロック発
生回路により発生される。このとき、インバータのpチ
ャネルトランジスタおよびnチャネルトランジスタの両
者は一旦オフ状態を経てからいずれか一方がオン状態と
なるように制御される。これにより、貫通電流の発生が
防止される。
【0043】また、本発明の昇圧電源回路によれば、第
1の昇圧ブロックはスタンバイ時も駆動され、スタンバ
イ時用出力回路により、ツェナーダイオードで所定レベ
ル、たとえば6Vに保持された電圧が、たとえば抵抗分
割により分割されて、たとえば4Vの出力電圧が生成さ
れ出力される。
【0044】本発明の昇圧回路によれば、抵抗素子によ
り昇圧回路側と負荷側が分離され、最終段ノードに昇圧
用素子を接続して昇圧した場合にも、抵抗素子の存在に
より負荷容量による影響が相殺される。すなわち、たと
えば最終段の一つ前段のノードをたたき上げ、最終段ノ
ードをたたき下げる場合、前段のノードから最終段ノー
ドへとトランジスタを通して流れる電流と、負荷側から
最終段ノードへと抵抗素子を通して負荷容量から流れる
電流により、最終段ノード電位が下がった分だけ補償さ
れる。これにより、前段のノードの電荷がトランジスタ
を通して最終段ノードに移動される。次に、最終段の一
つ前段のノードをたたき下げ、最終段ノードをたたき上
げるときは、トランジスタがカットオフし、最終段の電
荷は負荷側へと流れていく。
【0045】また、本発明の昇圧回路によれば、トラン
ジスタのゲートがゲート昇圧用素子に接続されている場
合の、ノード昇圧用素子およびゲート用昇圧素子に印加
するクロック信号のうち第1のクロック信号および第2
のクロック信号を全期間で同相とし、第3のクロック信
号および第4のクロック信号を全期間で同相として、相
補型のクロックとされる。これにより、昇圧回路の前段
に設けられるクロックバッファなどの構成が簡単化で
き、消費電力の低減を実現できる。
【0046】また、本発明の昇圧回路によれば、外部電
源電圧と初段のノードとの間に抵抗素子を接続すること
により、初段のノードの電位が外部電源電圧レベル以上
に保持される。
【0047】
【実施例1】図1は、本発明に係るフラッシュメモリチ
ップ回路の構成例を示すブロック図である。図1におい
て、MCAはメモリセルアレイ、1は読出用昇圧電源回
路、2は消去/書込用昇圧電源回路、3はコントロール
回路、4はアドレスバッファ、5はローデコーダ、6は
カラムデコーダ、7はセンスアンプ(S/A)および書
込回路、8はYゲート、9はソース電圧コントロール回
路、10はソーススイッチ、11はI/Oバッファをそ
れぞれ示している。
【0048】本回路では、たとえば3V以下の電源電圧
CCの場合にワード線WLを3V以上の昇圧するための
読出用昇圧電源回路1が設けられており、読み出し動作
時に、読出用昇圧電源回路1による出力昇圧電圧がロー
デコーダに供給されて、メモリセルアレイMCAのセル
に記憶されているデータが読み出される。また、消去/
書込動作時には、消去/書込用昇圧電源回路2から動作
に応じたレベルに設定された昇圧電圧が消去/書込用の
機能ブロックとしてのローデコーダ5、書込回路7およ
びソース電圧コントロール回路9に供給され、メモリセ
ルアレイMCAの所定のセルに対する消去または書き込
み動作が行われる。
【0049】以下に、3V等の低電圧電源における高速
アクセスタイムを実現するために設けられた読出用昇圧
電源回路1の構成および各部の機能について、図2〜図
10を用い順を追って詳細に説明する。
【0050】図2は、図1の読出用昇圧電源回路1の構
成例を示す回路図である。図2に示すように、読出用昇
圧電源回路1は、第1の昇圧ブロックMVC1および第
2の昇圧ブロックMVC2により構成されている。第1
の昇圧ブロックMVC1は、発振器OSC11、クロック
バッファCKB11、昇圧回路BST11、キャパシタ
11、ツェナーダイオードZD、分圧用抵抗素子R11
12およびコントロール電圧発生回路CVG11により構
成され、スタンバイ時の出力電圧を低消費電流で生成
し、安定なリファレンス電圧VR1 を生成して第2の昇
圧ブロックMVC2に出力する。
【0051】この第1の昇圧ブロックMVC1は、スタ
ンバイ時においても作動させることを前提としているた
め、出力電流の能力として数μA、消費電流として数1
0μAの規模となるように構成される。これは、発振器
OSC11の周波数(たとえば5〜10MHz)、クロッ
クバッファCKB11の大きさ、昇圧回路BST11の昇圧
用キャパシタの大きさと段数によって調整できる。
【0052】図3は、第1の昇圧ブロックMVC1の発
振器OSC11、クロックバッファCKB11および昇圧回
路BST11の具体的な構成例を示す回路図である。発振
器OSC11は、いわゆるリングオシレータを構成するイ
ンバータINV11 1 〜INV115 およびこのリングオシ
レータの出力側に接続されたインバータINV116 によ
り構成されており、所定周波数のクロックをクロックバ
ッファCKB11に出力する。図4は、リングオシレータ
を構成するインバータINV111 (〜INV115 )の構
成例を示している。図4に示すように、インバータIN
111 は、電源電圧VCC側から直列に接続されたpMO
SトランジスタPT111 〜PT113 と、接地側から直列
に接続されたnMOSトランジスタNT111 〜NT113
とを有し、pMOSトランジスタPT111 〜PT113
よびnMOSトランジスタNT111 〜NT113 のゲート
同士が接続されて入力端が構成され、pMOSトランジ
スタPT113 のドレインとnMOSトランジスタNT
111 のドレイン同士が接続されて出力端が構成されてい
る。
【0053】クロックバッファCKB11は、インバータ
INV117 と直列に接続されたインバータINV118
よびINV119 により構成されている。インバータIN
117 とインバータINV118 およびINV119 とは発
振器OSC11の出力に対して並列に接続されており、イ
ンバータINV117 からクロック信号φ0 を、インバー
タINV119 からクロック信号φ0 と逆相のクロック信
号φ 0 を昇圧回路BST11に出力する。
【0054】昇圧回路BST11は、nMOSトランジス
タNT114 〜NT123 およびノード昇圧用キャパシタC
111 〜C114 により構成され、クロックバッファCKB
11の出力クロック信号φ0 、φ 0 をノード昇圧用キャ
パシタC111 〜C114 に所定のタイミングで入力するこ
とにより容量結合を誘起させ、縦続接続されたnMOS
トランジスタNT114 〜NT118 を介して電荷を出力端
OUT 側に転送し、たとえば3Vの外部電源電圧VCC
10V程度まで昇圧して出力する。
【0055】nMOSトランジスタNT114 のドレイン
が電源電圧VCCに接続され、nMOSトランジスタNT
118 のソースが出力端子TOUT に接続されている。ま
た、各nMOSトランジスタNT114 〜NT118 は、ド
レインとゲートとが接続された、いわゆるダイオード接
続されている。キャパシタC111 はnMOSトランジス
タNT115 のドレインに、キャパシタC112 はnMOS
トランジスタNT116 のドレインに、キャパシタC113
はnMOSトランジスタNT117 のドレインに接続さ
れ、キャパシタC114 はnMOSトランジスタNT118
のドレインにそれぞれ接続されている。nMOSトラン
ジスタNT119 〜NT123 のソースおよびゲートは電源
電圧V CCに接続されている。nMOSトランジスタNT
119 のドレインはnMOSトランジスタNT115 のゲー
トとドレインとの接続中点に接続され、nMOSトラン
ジスタNT120 のドレインはnMOSトランジスタNT
116 のゲートとドレインとの接続中点に接続され、nM
OSトランジスタNT121 のドレインはnMOSトラン
ジスタNT117 のゲートとドレインとの接続中点に接続
され、nMOSトランジスタNT122 のドレインはnM
OSトランジスタNT118 のゲートとドレインとの接続
中点に接続され、nMOSトランジスタNT123 のドレ
インはnMOSトランジスタNT118 のソースに接続さ
れている。また、キャパシタC111 およびC113 はクロ
ック信号φ0 の入力ラインに接続され、キャパシタC
112 およびC114 はクロック信号φ 0 の入力ラインに
接続されている。
【0056】このような構成を有する昇圧回路BST11
の出力電圧は、ツェナーダイオードZDにより、一定電
圧、たとえば6Vに制御され、分圧抵抗素子R11,R12
およびコントロール電圧発生回路CVG11に供給され
る。この定電圧6Vは、抵抗素子R11,R12により分圧
されて、リファレンス電圧VR1 が発生され、第2の昇
圧ブロックMVC2に出力される。ここで、抵抗素子R
11の抵抗値を2MΩ、抵抗素子R12の抵抗値を1MΩと
すると、この部分に流れる電流は1μAで、リファレン
ス電圧VR1 は2Vとなる。
【0057】コントロール電圧発生回路CVG11は、定
電圧6Vを受けて、第2の昇圧ブロックMVC2の出力
電圧V2 、たとえば3.6VにMOSトランジスタのし
きい値電圧Vthを加えたレベル(V2 +Vth)のコント
ロール電圧CNVを発生して第2の昇圧ブロックMVC
2のトランスファゲートTFG21のゲート電極に供給す
る。
【0058】図5は、コントロール電圧発生回路CVG
11の構成例を示す回路図である。図5に示すように、コ
ントロール電圧発生回路CVG11は、抵抗素子Ra〜R
e、nMOSトランジスタNTa〜NTcおよびキャパ
シタCaにより構成されている。抵抗素子RaおよびR
bは、定電圧6Vの供給ラインV6 と接地との間に直列
に接続されている。同様に、抵抗素子Rc、nMOSト
ランジスタNTaおよび抵抗素子Rdは定電圧6Vの供
給ラインV6 と接地との間に直列に接続され、nMOS
トランジスタNTaのゲートは抵抗素子RaとRbとの
接続中点に接続されている。また、定電圧6Vの供給ラ
インV6 に対して抵抗素子Re、nMOSトランジスタ
NTb,NTcが直列に接続され、nMOSトランジス
タNTcのソースはnMOSトランジスタNTaと抵抗
素子Rdとの接続中点に接続されている。nMOSトラ
ンジスタNTbおよびNTcはゲートとドレインとが接
続され、ダイオード接続されており、抵抗素子Reおよ
びnMOSトランジスタNTbのドレインの接続中点と
接地との間にキャパシタCaが接続されている。
【0059】このコントロール電圧発生回路CVG11
は、抵抗素子RaおよびRbで供給電圧6Vを分圧し
て、第2の昇圧ブロックMVC2の出力電圧と同じ電圧
2 が発生され、nMOSトランジスタNTaのゲート
に供給される。ここで、抵抗素子Rdの抵抗値が抵抗素
子RdおよびReの抵抗値より十分に小さな値に設定さ
れ、nMOSトランジスタNTaのチャネル幅Wが十分
大きく設定されているとすると、nMOSトランジスタ
NTaのドレインに発生する電圧Va は(V2 −Vth
となる。したがって、出力コントロール電圧CNVは下
記式のように、(V2 +Vth)となる。 CNV=Va +2Vth=V2 +Vth
【0060】第2の昇圧ブロックMVC2は、図2に示
すように、発振器OSC21、クロックバッファCKB21
〜CKB24、昇圧回路BST21〜BST24、キャパシタ
21,C22、比較器CMP21,CMP22、抵抗素子R21
〜R24、nMOSトランジスタNT21およびトランスフ
ァーゲートTFG21により構成されている。この第2の
昇圧ブロックMVC2は、出力電圧V2 よりリップル分
と昇圧回路の遅延分(0.2V〜0.5V)だけ大きな
値、たとえば4Vを発生する前段FPと、出力電圧をV
2 、たとえば3.6Vに微調整する後段BPとに、トラ
ンスファゲートTFG21によって分離されている。前段
FPは発振器OSC21、クロックバッファCKB21〜C
KB24、昇圧回路BST21〜BST24、キャパシタ
21、比較器CMP21および抵抗素子R21,R 22により
構成され、後段BPはキャパシタC22、比較器22、抵抗
素子R23,R24およびnMOSトランジスタNT21によ
り構成されている。
【0061】図6は、第2の昇圧ブロックMVC2の発
振器OSC21、クロックバッファCKB21および昇圧回
路BST21の具体的な構成例を示す回路図である。発振
器OSC21は、いわゆるリングオシレータを構成する3
入力ナンドゲートNAND211 および直列接続されたイ
ンバータINV211 〜INV214 により構成されおり、
インバータINV214 、INV213 、INV212 および
INV211から90°ずつ位相が異なるクロックをクロ
ックバッファCKB21、CKB22、CKB23およびCK
24のそれぞれ出力する。
【0062】図7は、リングオシレータを構成するナン
ドゲートNAND211 の構成例を示している。図7に示
すように、ナンドゲートINV211 は、電源電圧VCC
から直列に接続されたpMOSトランジスタPT211
PT213 と、接地側から直列に接続されたnMOSトラ
ンジスタNT211 〜NT215 と、pMOSトランジスタ
PT21 4 ,PT215 とを有し、pMOSトランジスタP
211 〜PT213 およびnMOSトランジスタNT211
〜NT213 のゲート同士の接続中点、nMOSトランジ
スタNT214 ,NT215 のゲートにより3入力端が構成
され、pMOSトランジスタPT213 のドレインとnM
OSトランジスタNT211 のドレイン同士が接続されて
出力端が構成されている。pMOSトランジスタPT
214 ,PT215 のソースは電源電圧VCCに接続され、ド
レインは出力端に接続され、pMOSトランジスタPT
214 のゲートはnMOSトランジスタNT214 のゲート
に接続され、pMOSトランジスタPT215のゲートは
nMOSトランジスタNT215 のゲートに接続されてい
る。このような構成の3入力ナンドゲートNAND211
の第1の入力端はインバータINV214 の出力に接続さ
れ、第2の入力端はCE信号の入力ラインに接続され、
第3の入力端は比較器CMP1 の出力に接続されてい
る。
【0063】クロックバッファCKB21は、図6に示す
ように、インバータINV215 〜INV222 と、2入力
ナンドゲートNAND212 、2入力ノアゲートNOR
211 、pMOSトランジスタPT216 ,PT217 および
nMOSトランジスタNT216,NT217 により構成さ
れ、発振器OSC21のインバータINV214 から出力さ
れるクロックに基づいて互いに逆相のクロック信号
φ1 ,φ 1 を発生し、昇圧回路BST21に出力する。
【0064】インバータINV215 〜INV220 は直列
に接続され、インバータINV215の入力は発振器OS
21のインバータINV214 の出力に接続され、インバ
ータINV220 の出力はナンドゲートNAND222 およ
びノアゲートNOR221 の一方の入力にそれぞれ接続さ
れている。また、インバータINV216 の出力がナンド
ゲートNAND222 およびノアゲートNOR211 の他方
の入力にそれぞれ接続されている。pMOSトランジス
タPT216 とnMOSトランジスタNT216 とのドレイ
ン同士、並びにpMOSトランジスタPT217 とnMO
SトランジスタNT217 とのドレイン同士が接続され、
pMOSトランジスタPT216 ,PT217 のソースはそ
れぞれ電源電圧VCCに接続され、nMOSトランジスタ
NT216 ,NT217のソースはそれぞれ接地されてい
る。ナンドゲートNAND222 の出力はpMOSトラン
ジスタPT216 のゲートおよびインバータINV221
入力に接続され、インバータINV221 の出力はnMO
SトランジスタNT217 のゲートに接続されている。ノ
アゲートNOR211 の出力はnMOSトランジスタNT
216 のゲートおよびインバータINV222 の入力に接続
され、インバータINV222 の出力はpMOSトランジ
スタPT217 のゲートに接続されている。そして、pM
OSトランジスタPT216 とnMOSトランジスタNT
216 とのドレイン同士の接続中点からクロック信号φ1
が出力され、pMOSトランジスタPT216 とnMOS
トランジスタNT216 とのドレイン同士の接続中点から
クロック信号φ 1 が出力される。
【0065】ここで、図8はクロックバッファCKB21
におけるクロック信号φ1 の出力段の説明図で、同図
(a)は回路図、同図(b)はタイミングチャートを示
している。出力段のトランジスタPT216 およびNT
216 は、昇圧回路BST21の昇圧用キャパシタを駆動す
るため大きなサイズとする必要があるが、その貫通電流
は無視できなくなる。そこで、図8(b)に示すよう
に、貫通電流を阻止するため、トランジスタPT216
よびNT216 共に一旦オフ状態を経て、一方のみがオン
状態となるように各ゲート電圧φN およびφP のレベル
が設定される。
【0066】クロックバッファCKB22,CKB23,C
KB24は、上述したクロックバッファCKB21と同様の
構成を有しており、それぞれ対をなし相補的なレベルを
とるクロック信号φ2 /φ 2 、φ3 /φ 3 、φ4
φ 4 を発生し、昇圧回路BST22、BST23、BST
24にそれぞれ出力する。
【0067】昇圧回路BST21は、nMOSトランジス
タNT218 〜NT229 およびノード昇圧用キャパシタC
211 〜C214 により構成され、クロックバッファCKB
21の出力クロック信号φ1 、φ 1 をノード昇圧用キャ
パシタC211 〜C214 に所定のタイミングで入力するこ
とにより容量結合を誘起させ、縦続接続されたnMOS
トランジスタNT218 〜NT220 、NT224 〜NT226
を介して電荷を出力端TOUT2に運び、たとえば3Vの外
部電源電圧VCCを4Vまで昇圧して出力する。
【0068】nMOSトランジスタNT218 のドレイン
が電源電圧VCCに接続され、nMOSトランジスタNT
220 のソースが出力端子TOUT2に接続されている。ま
た、各nMOSトランジスタNT218 〜NT220 は、ド
レインとゲートとが接続された、ダイオード接続されて
いる。キャパシタC211 はnMOSトランジスタNT
219 のドレインに、キャパシタC212 はnMOSトラン
ジスタNT220 のドレインにそれぞれ接続されている。
nMOSトランジスタNT221 〜NT223 のソースおよ
びゲートは電源電圧V CCに接続されている。nMOSト
ランジスタNT221 のドレインはnMOSトランジスタ
NT219 のゲートとドレインとの接続中点に接続され、
nMOSトランジスタNT222 のドレインはnMOSト
ランジスタNT220 のゲートとドレインとの接続中点に
接続され、nMOSトランジスタNT223 のドレインは
nMOSトランジスタNT220 のソースに接続されてい
る。また、キャパシタC211 はクロック信号φ1 の入力
ラインに接続され、キャパシタC212 はクロック信号φ
1 の入力ラインに接続されている。
【0069】また、nMOSトランジスタNT224 のド
レインが電源電圧VCCに接続され、nMOSトランジス
タNT226 のソースが出力端子TOUT2に接続されてい
る。また、各nMOSトランジスタNT224 〜NT226
は、ドレインとゲートとが接続された、ダイオード接続
されている。キャパシタC213 はnMOSトランジスタ
NT225 のドレインに、キャパシタC214 はnMOSト
ランジスタNT226 のドレインにそれぞれ接続されてい
る。nMOSトランジスタNT227 〜NT229 のソース
およびゲートは電源電圧V CCに接続されている。nMO
SトランジスタNT227 のドレインはnMOSトランジ
スタNT225 のゲートとドレインとの接続中点に接続さ
れ、nMOSトランジスタNT228 のドレインはnMO
SトランジスタNT226 のゲートとドレインとの接続中
点に接続され、nMOSトランジスタNT229 のドレイ
ンはnMOSトランジスタNT226 のソースに接続され
ている。また、キャパシタC213 はクロック信号φ 1
の入力ラインに接続され、キャパシタC214 はクロック
信号φ1 の入力ラインに接続されている。
【0070】昇圧回路BST22、BST23、BST
24は、上述した昇圧回路BST21と同様の構成を有して
おり、各昇圧回路BST21〜BST24の出力は互いに接
続されている。この各昇圧回路BST21〜BST24の出
力同士の接続中点と接地との間にキャパシタC21が接続
され、キャパシタC21に並列的に直列接続された抵抗素
子R21,R22が接続されている。抵抗素子R21と昇圧回
路BST21〜BST24の出力同士の接続中点とは抵抗素
子R3 を介して第1の昇圧ブロックMVC1の定電圧6
Vの供給ラインおよびトランスファゲートTFG21の一
方の入出力端に接続されている。比較器CMP21の非反
転入力(+)はリファレンス電圧VR1 の供給ラインに
接続され、反転入力(−)は抵抗素子R21およびR22
接続中点に接続され、比較器CMP21の出力は発振器O
SC21の3入力ナンドゲートNAND211 の一の入力に
接続されている。
【0071】この前段FPにおける昇圧回路BST21
BST24の出力電圧は、上述したように4Vに制御され
るが、各昇圧回路BST21〜BST24は対をなす回路に
より構成され、これらを略90°ずつ位相が異なるクロ
ックにより駆動することから、出力電圧のリップル(波
打ち)が少なく、かつ、VCC電源のピーク電流が小さく
ならされた状態の消費電流となり、ノイズが低減されて
いる。
【0072】図9は、第2の昇圧ブロックMVC2によ
り電流ノイズの低減を図れる理由を説明するための図
で、同図(a)は第1の昇圧ブロックMVC1のように
一の昇圧回路を用いている場合のクロック、昇圧回路出
力およびVCC電流波形を示し、同図(b)が第2の昇圧
ブロックMVC2の各クロック、昇圧回路出力およびV
CC電流波形を示している。
【0073】図9(a)に示すように、第1の昇圧ブロ
ックMVC1の場合には、昇圧回路出力は、リーク電流
により低下する。この出力低下の要因としては、リーク
電流に加え、R11/R12による電流およびコントロール
電圧発生回路CVG11の電流が挙げられる。この場合の
CC電流は、クロックバッファCKB11の昇圧回路BS
11におけるキャパシタ駆動電流が大部分を占める。こ
れに対して、図9(b)からわかるように、第2の昇圧
ブロックMVC2の場合には、クロックφ1 〜φ4 の位
相がたとえば72°ずれていることから、各昇圧回路B
ST21〜BST24の単独の出力はそれぞれある程度の振
幅を有するものの、4つの昇圧回路BST21〜BST24
の合成出力振幅は小さくなる。したがって、VCC電流
は、図3に示すよな回路により大きな負荷を駆動したと
きよりは、ピークが減少する。
【0074】また、前段FPの出力電圧は、比較器CM
1 で第1の昇圧ブロックMVC1から供給されるリフ
ァレンス電圧VR1 と4Vを抵抗素子R21およびR22
分圧した電圧とを比較し、その比較結果に応じたレベル
の信号を発振器OSC21に入力させて発振動作を制御
し、昇圧回路BST21〜BST24の出力電圧を4Vに保
持する。本実施例の場合には、リファレンス電圧VR1
より分圧電圧が大きくなると発振動作を停止するように
制御される。この電圧制御は、上述した発振動作の停止
・非停止による他、たとえば周期を変える(周波数を変
える)ことにより行え、また、比較器CMP1 の出力を
クロックバッファCKB21〜CKB24に帰還させてクロ
ックの振幅を変えるようにしても良い。
【0075】また、上述したように、直列に接続された
抵抗素子R21およびR22は抵抗素子R3 を介して第1の
昇圧ブロックMVC1の定電圧6Vの供給ラインに接続
されているが、これはスタンバイ時のために設けられた
構成である。前段FPの出力電圧は4Vであるから、た
とえば抵抗素子R3 の抵抗値を1MΩ、抵抗素子R21
よびR22の抵抗値の総和を2MΩとすると、6.0Vが
分圧されて、4Vの電圧がトランスファゲートTFG21
に供給される。また、抵抗素子R21およびR22の抵抗値
は、リファレンス電圧VR1 を2Vとした場合、両抵抗
値共に1MΩとすれば、上述した出力電圧4Vの制御を
良好に行える。そして、これらはすべて比で決まるた
め、絶対値が正確な必要はない。たとえば拡散層のシー
ト抵抗を利用して形成することができる。なお、このと
き抵抗素子R3 ,R21,R22の長さおよび幅は全て同じ
に設定される。
【0076】第2の昇圧ブロックMVC2の後段BPに
おいては、トランスファゲートRTFG21の他方の入出
力端と出力電圧V2 の出力端との接続中点と接地との間
に抵抗素子R23,R24およびnMOSトランジスタNT
21が直列に接続され、またこれらと並列にキャパシタC
22が接続されている。また、nMOSトランジスタNT
21のゲートはCE信号の入力ラインに接続されている。
比較器CMP22の非反転入力(+)は抵抗素子R23およ
びR24の接続中点に接続され、反転入力(−)はリファ
レンス電圧VR1 の供給ラインに接続され、比較器CM
22の出力はトランスファゲートTFG21のpMOSト
ランジスタTPのゲートに接続されている。
【0077】後段BPは、出力電圧V2 が3.6Vより
大きいか小さいかで、比較器CMP 21の出力をロー/ハ
イレベルに設定してトランスファゲートTFG21のpM
OSトランジスタTP のゲートに供給し、pMOSトラ
ンジスタTP をオン/オフさせて出力電圧V2 をたとえ
ば3.6Vに微調整するように構成されている。
【0078】トランスファゲートTFG21は、nMOS
トランジスタTN とpMOSトランジスタTP とのソー
ス、ドレイン同士を接続して構成され、リップルの大き
い前段FPと小さい後段BPとを分離している。nMO
SトランジスタTN のゲートは第1の昇圧ブロックMV
C1のコントロール電圧発生回路CVG11の出力に接続
され、pMOSトランジスタTP のゲートは、上述した
ように、後段BPの比較器CMP22の出力に接続されて
いる。通常、出力電圧V2 を微調整は、上述したよう
に、比較器CMP22の出力によりpMOSトランジスタ
P をオン/オフさせて行われるが、スタンバイ時は、
第2の昇圧回路MVC2の比較器CMP21,CMP22
抵抗素子R23,R24を非駆動状態にして電流が流れない
ように制御される。なお、比較器CMP21,CMP
22は、たとえば差動増幅回路により構成される。このス
タンバイ時には、nMOSトランジスタTN のゲートに
コントロール電圧発生回路CVG11で発生されたレベル
(V2 +Vth)のコントロール電圧CNVが供給されて
いることから、出力電圧V2 にリークがありそのレベル
が下がると、前段FPからリーク分が補償される。
【0079】以上説明したように、本実施例によれば、
定電圧電源化においても安定した4〜6V電源を生成で
き、半導体メモリのワード線電圧などに応用することに
よりアクセスタイムの高速化を図れる。また、スタンバ
イ時でも低消費電流で正確な電圧を発生できる。さら
に、出力電圧よりも大きなツェナー電圧のツェナーダイ
オードを適用でき。また、第2の昇圧ブロックMVC2
の前段FPにおける昇圧回路BST21〜BST24の出力
電圧は、上述したように4Vに制御されるが、各昇圧回
路BST21〜BST24は対をなす回路により構成され、
これらを略90°ずつ位相が異なるクロックにより駆動
することから、出力電圧のリップルの低減と電源ノイズ
の低減を図れる。
【0080】
【実施例2】図10は、本発明に係る昇圧回路の第1の
実施例を示す回路図であって、従来例を示す図16と同
一構成部分は同一符号をもって表す。すなわち、VCC
電源電圧、NT0 〜NT5 ,NTG0 〜NTG4 はnM
OSトランジスタ、ND0 〜ND5 は昇圧ノード、C1
〜C5 はノード昇圧用キャパシタ、CG1 〜CG5 はゲ
ート昇圧用キャパシタ、NG0 〜NG4 はゲート側ノー
ド、RS1は昇圧側と負荷側との分離用抵抗素子、CL
負荷容量、TOUT は出力端をそれぞれ示している。
【0081】本例の昇圧回路と図16の昇圧回路との異
なる点は、昇圧回路の最終段のnMOSトランジスタN
4 のソース側のノードND5 もノードND1 〜ND4
と同様に、ノード昇圧用キャパシタC5 を接続して昇圧
し、また、nMOSトランジスタNT4 のゲート電圧も
ゲート昇圧用キャパシタCG5 を用いてバックバイアス
効果を相殺可能なレベルまで上昇させ、ノードND5
昇圧されたときに、ノードND4 とnMOSトランジス
タNT4 のゲート側ノードNG4 とを同電位とし、ノー
ドND5 からノードND4 への電流の逆流を防止するた
めのnMOSトランジスタNTG4 を設け、かつ、昇圧
側の最終段ノードND5 と負荷側に接続される出力端T
OUT との間に抵抗素子RS1を接続して、昇圧側と負荷側
とを分離させたことにある。なお、ノード昇圧用キャパ
シタC5 はクロック信号φ1 の入力ラインに接続され、
ゲート昇圧用キャパシタCG5 はクロック信号φ2 の入
力ラインに接続されている。
【0082】ここで、昇圧側と負荷側とを分離するため
の抵抗素子RS1を昇圧側の最終段ノードND5 と負荷側
に接続される出力端TOUT との間に接続した理由につい
て、以下に説明する。
【0083】昇圧回路の出力には、負荷容量としてノー
ド昇圧用キャパシタC1 〜C5 よりも十分に大きいCL
が接続される。このCL がなければ、抵抗素子RS1をノ
ードND5 と出力端TOUT との間に接続しなくとも、ノ
ードND5 を他のノードと同じように、いわゆるたたき
上げ/たたき下げを行い、かつ、nMOSトランジスタ
NT4 のゲート電圧をゲート昇圧用キャパシタCG5
用いてバックバイアス効果を相殺可能なレベルまで上昇
させることにより昇圧に寄与できる。すなわち、nMO
SトランジスタNT4 のしきい値電圧Vthが問題になる
ことがない。
【0084】しかし、負荷容量CL が存在して、抵抗素
子RS1は接続されていない(抵抗値が0であると仮定し
た)場合には、CL の容量がノード昇圧用キャパシタC
5 の容量より十分に大きいことから、キャパシタC5
よってノードND5 をたたき上げ/たたき下げを行うと
ができず、ほぼ同電圧に固定される。したがって、キャ
パシタC4 によりノードND4 をたたき上げ、キャパシ
タC 5 によりノードND5 をたたき下げたときのノード
ND4 からノードND5 への電荷転送効率は著しく落ち
ることとなる。具体的には、電荷転送直前のノードND
4 ,ND5 の電圧をVND4 ,VND5 とすると、ノードN
4 の電圧は(VND4 +VCP4 )となるのに対して、ノ
ードND5 の電圧はVND5 のままである。
【0085】そこで、抵抗素子RS1の抵抗値RVを、キ
ャパシタC5 の容量CP5 との積(CP5 ×RV)で決
まる時定数が、クロック信号φ1 〜φ4 のサイクル時間
の1/4〜1/1となるように設定するとにより、ノー
ドND4 からノードND5 への電荷転送効率の向上を図
れる。ここで、ノードND4 のたたき上げ、ノードND
5 のたたき下げを考える。ノードND4 からノードND
5 へとnMOSトランジスタNT4 を通して流れる電流
と、出力端TOUT からノードND5 へと抵抗素子RS1
通してCL から流れてくる電流が、ノードND5 が下が
った分だけ補償する。ノードND4 はたたき上げ、ノー
ドND5 はたたき下げのため、(VND4 −V ND5 )はほ
ぼ2VCC、(VO −VND5 )はほぼVCCとなることか
ら、抵抗素子R S1の抵抗値RVおよびnMOSトランジ
スタNT4 の能力(チャネル幅)によって大部分のノー
ドND4 の電荷をノードND5 に移動させることができ
る。次に、ノードND4 をたたき下げ、ノードND5
たたき上げると、nMOSトランジスタNT4 はカット
オフし、ノードND5 の電荷は出力端TOUT へ流れてい
く。このように、最終段のnMOSトランジスタNT4
においても昇圧動作を行うため、出力電圧V2 を従来回
路に比べてより高くできる。
【0086】次に、スタンバイ時にも昇圧動作を行う場
合について考察する。消費電流は、可能な限り小さく抑
える必要があるが、従来のように4相のクロックを発生
させるクロック発生回路は、図18に示すように、複雑
な回路となり余分な回路が必要で不利である。そこで、
クロックの僅かなオーバーラップにより多少昇圧の効率
は落ちる場合もあるが、φ1 =φ4 、φ2 =φ3 とし
て、たとえば図14に示すような単なる相補型クロック
にして図10の回路に適用することにより、昇圧回路の
前段に設けられる発振器およびクロックバッファの消費
電力を小さくでき、有利である。
【0087】以上説明したように、本実施例によれば、
昇圧回路の最終段のnMOSトランジスタNT4 のソー
ス側のノードND5 を、ノード昇圧用キャパシタC5
用いて昇圧し、また、nMOSトランジスタNT4 のゲ
ート電圧もゲート昇圧用キャパシタCG5 を用いてバッ
クバイアス効果を相殺可能なレベルまで上昇させ、ノー
ドND5 が昇圧されたときに、ノードND4 とnMOS
トランジスタNT4 のゲート側ノードNG4 とを同電位
とし、ノードND5 からノードND4 への電流の逆流を
防止するためのnMOSトランジスタNTG4 を設け、
かつ、昇圧側の最終段ノードND5 と負荷側に接続され
る出力端TOUT との間に抵抗素子RS1を接続して、昇圧
側と負荷側とを分離させたので、昇圧回路の段数を少な
くして所望の昇圧電圧を得ることができる。すなわち、
消費電力を抑えて所望の昇圧電圧を得ることができる。
また、本例のように、ゲート電圧を上昇させてしきい値
電圧Vthを補償する昇圧回路は、たとえば出力電圧4V
〜6V、出力電流数μAというような昇圧回路で、電源
が3V以下の場合、ノード昇圧用キャパシタとそのノー
ドの寄生容量の比、および消費電流の大部分を占めるノ
ード昇圧用キャパシタの充電電流を考え合わせると、い
わゆるウェル・イン・ウェル構造を採用した昇圧回路よ
りも有利である。なお、本実施例による昇圧回路は、た
とえば図2の第1の昇圧ブロックの昇圧回路に適用でき
る。
【0088】
【実施例3】図11は、本発明に係る昇圧回路の第2の
実施例を示す回路図であって、従来例を示す図13と同
一構成部分は同一符号をもって表している。本実施例で
は、実施例2と同様に、最終段のnMOSトランジスタ
NT4 のソース側のノードND5 を、ノード昇圧用キャ
パシタC5 を用いて昇圧し、かつ、昇圧側の最終段ノー
ドND5 と負荷側に接続される出力端TOUT との間に抵
抗素子RS1を接続して、昇圧側と負荷側とを分離させた
構成としている。
【0089】本実施例においても、図10の回路と同様
に、昇圧回路の段数を少なくして所望の昇圧電圧を得る
ことができ、消費電力を抑えることができる。
【0090】
【実施例4】図12は、本発明に係る昇圧回路の第3の
実施例を示す回路図である。本実施例が実施例3を示す
図11の回路と異なる点は、昇圧回路の初段のノードN
0 と電源電圧VCCの供給ラインとの間に抵抗素子RS2
を接続したことにある。これにより、初段のノードND
0 の電位を外部電源電圧VCCレベル以上の保持できる。
本実施例においても、図10おいび図11の回路と同様
に、昇圧回路の段数を少なくして所望の昇圧電圧を得る
ことができ、消費電力を抑えることができる。
【0091】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の昇圧電源
回路によれば、定電圧電源化においても安定した4〜6
V電源を生成でき、半導体メモリのワード線電圧などに
応用することによりアクセスタイムの高速化を図れ、ま
た、スタンバイ時でも低消費電流で正確な電圧を発生で
きる。また、出力電圧よりも大きなツェナー電圧のツェ
ナーダイオードを適用できる。さらに、いわゆるチャー
ジポンプによる出力電圧のリップルの低減と電源ノイズ
の低減を図れる。
【0092】また、本発明の昇圧回路によれば、昇圧回
路の段数を少なくして所望の昇圧電圧を得ることができ
る。すなわち、回路面積や消費電力の増大を抑えて所望
の昇圧電圧を得ることができる。また、ノード昇圧用素
子およびゲート昇圧用素子に対して単なる相補型クロッ
クを印加するすることにより、昇圧回路の前段に設けら
れる発振器およびクロックバッファの複雑化を防止で
き、消費電力を小さくできる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るフラッシュメモリチップ回路の構
成例を示すブロック図である。
【図2】本発明に係る読出用昇圧回路の構成例を示す回
路図である。
【図3】第1の昇圧ブロックの発振器、クロックバッフ
ァおよび昇圧回路の具体的な構成例を示す回路図であ
る。
【図4】発振器を構成するインバータの具体的な構成例
を示す回路図である。
【図5】図2のコントロール電圧発生回路の構成例を示
す回路図である。
【図6】第2の昇圧ブロックの発振器、クロックバッフ
ァおよび昇圧回路の具体的な構成例を示す回路図であ
る。
【図7】図6の発振器を構成する3入力ナンドゲートの
具体的な構成例を示す回路図である。
【図8】図6のクロックバッファCKB21におけるクロ
ック信号φ1 の出力段の説明図で、同図(a)は回路
図、同図(b)はタイミングチャートである。
【図9】第2の昇圧ブロックMVC2により電流ノイズ
の低減を図れる理由を説明するための図で、同図(a)
は第1の昇圧ブロックMVC1のように一の昇圧回路を
用いている場合のクロック、昇圧回路出力およびVCC
流波形を示し、同図(b)が第2の昇圧ブロックMVC
2の各クロック、昇圧回路出力およびVCC電流波形を示
している。
【図10】本発明に係る昇圧回路の第1の実施例を示す
回路図である。
【図11】本発明に係る昇圧回路の第2の実施例を示す
回路図である。
【図12】本発明に係る昇圧回路の第3の実施例を示す
回路図である。
【図13】従来の昇圧回路の一例を示す回路図である。
【図14】図13の回路に適用されるクロック信号の波
形例を示す回路図である。
【図15】図13の昇圧回路の動作を説明するための波
形図である。
【図16】ゲート電圧を昇圧してしきい値電圧分を補償
する従来の昇圧回路を示す回路図である。
【図17】図16の回路の用いられる4相クロック信号
の波形例を示す図である。
【図18】4相クロックの発生回路の構成例を示す回路
図である。
【符号の説明】
1…読出用昇圧回路 MVC1…第1の昇圧ブロック OSC11…発振器 CKB11…クロックバッファ BST11…昇圧回路 C11…キャパシタ ZD…ツェナーダイオード R11,R12…抵抗素子 CVG11…コントロール電圧発生回路 MVC2…第2の昇圧ブロック OSC21…発振器 CKB21〜CKB24…クロックバッファ BST21〜BST24…昇圧回路 C21,C22…キャパシタ CMP21,CMP22…比較器 R21〜R24…抵抗素子 NT21…nMOSトランジスタ TFG21…トランスファゲート R3 …抵抗素子 VR1 …リファレンス電圧 CNV…コントロール電圧 2…消去/書込用昇圧回路 3…コントロール回路 4…アドレスバッファ 5…ローデコーダ 6…カラムデコーダ 7…センスアンプ/書込回路 8…Yゲート 9…ソース電圧コントロール回路 10…ソース・スイッチ 11…I/Oバッファ VCC…電源電圧 C1 〜C5 …ノード昇圧用キャパシタ CG1 〜CG5 …ゲート昇圧用キャパシタ RS1,RS2…抵抗素子 ND0 〜ND5 …ノード NT0 〜NT4 ,NTG0 〜NTG4 …nMOSトラン
ジスタ

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部電源電圧より高い電圧を発生する昇
    圧回路と、上記昇圧回路の出力に接続され、当該昇圧回
    路で発生された電圧を所定レベルに保持する外部電源電
    圧よりも大きなツェナー電圧を有するダイオードと、上
    記ダイオードにより所定レベルに保持された電圧に基づ
    いて所定レベルのリファレンス電圧を発生するリファレ
    ンス電圧発生手段とを有する第1の昇圧ブロックと、 上記第1の昇圧ブロックによるリファレンス電圧に基づ
    いて出力レベルを所定レベルに制御した電圧を生成し出
    力する、出力電流能力が上記第1の昇圧ブロックより高
    く、スタンバイ時は動作が停止される第2の昇圧ブロッ
    クとを有することを特徴とする昇圧電源回路。
  2. 【請求項2】 上記第2の昇圧ブロックは、出力電圧よ
    り高い電圧を蓄える前段と、出力電圧が設定レベル以下
    になったか否かの判別を行う出力電圧判別回路を有する
    後段と、ゲート電極が上記後段の出力電圧判別回路の出
    力に接続され、出力電圧が設定レベル以下になったとき
    に上記前段の出力と上記後段の電圧出力ラインとを接続
    するトランスファゲートとからなる請求項1記載の昇圧
    電源回路。
  3. 【請求項3】 上記第2の昇圧ブロックは、各々位相の
    異なるクロック対により駆動される少なくとも2つの昇
    圧回路を有し、各昇圧回路の出力を合成して出力電圧を
    得る請求項1記載の昇圧電源回路。
  4. 【請求項4】 上記昇圧回路を駆動するクロック対は、
    電位が異なる2つの基準電源間に直列に接続されたpチ
    ャネルトランジスタおよびnチャネルトランジスタから
    なるインバータを有するクロック発生回路により発生さ
    れ、 上記pチャネルトランジスタおよびnチャネルトランジ
    スタの両者は一旦オフ状態を経てからいずれか一方がオ
    ン状態となるように制御される請求項3記載の昇圧電源
    回路。
  5. 【請求項5】 上記第1の昇圧ブロックはスタンバイ時
    も駆動され、かつ、スタンバイ時に、上記ダイオードに
    より所定レベルに保持された電圧に基づいて外部電源電
    圧により高い一定の電圧を生成し出力するスタンバイ時
    用出力回路を有する請求項1、2、3または4記載の昇
    圧電源回路。
  6. 【請求項6】 上記スタンバイ時用出力回路は、抵抗分
    割により出力電圧を生成する請求項5記載の昇圧電源回
    路。
  7. 【請求項7】 相補的に昇圧される隣接するノード間を
    トランジスタにより作動的に接続し、ノード昇圧用素子
    により昇圧されたノードから次段のノードに対して電荷
    を転送し、外部電源電圧より高い電圧を生成して負荷側
    に供給する昇圧回路であって、 最終段のノードと負荷側との間に抵抗素子が接続されて
    いることを特徴とする昇圧回路。
  8. 【請求項8】 最終段のノードに昇圧用素子が接続され
    ている請求項7記載の昇圧回路。
  9. 【請求項9】 上記トランジスタのゲートがゲート昇圧
    用素子に接続され、 昇圧するノードに接続されたノード昇圧用素子およびそ
    の電荷を転送するトランジスタのゲートに接続されたゲ
    ート用昇圧素子には互いに同相となる期間を含む第1お
    よび第2のクロック信号が印加され、 電荷が転送される次段のノードに接続されたノード昇圧
    用素子および昇圧するノードの前段に接続されたトラン
    ジスタのゲートに接続されたゲート昇圧用素子には上記
    第1および第2のクロック信号と逆相で、かつ互いに同
    相となる期間を含む第3および第4のクロック信号が印
    加される請求項7または請求項8記載の昇圧回路。
  10. 【請求項10】 上記第1のクロック信号および第2の
    クロック信号が全期間で同相で、上記第3のクロック信
    号および第4のクロック信号が全期間で同相である請求
    項9記載の昇圧回路。
  11. 【請求項11】 最終段のノードに昇圧用素子が接続さ
    れた請求項9または請求項10の昇圧回路において、 最終段のノードに接続された昇圧用素子の容量と上記抵
    抗素子の抵抗値は、両者で決まる時定数が、上記第1、
    第2、第3および第4のクロック信号の周波数のサイク
    ル時間の4分の1以上となるように設定されていること
    を特徴とする昇圧回路。
  12. 【請求項12】 外部電源電圧と初段のノードとの間に
    抵抗素子が接続されている請求項7、8、9、10また
    は11記載の昇圧回路。
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