JPH0778437A

JPH0778437A - 浮上型磁気ヘッド装置

Info

Publication number: JPH0778437A
Application number: JP22437793A
Authority: JP
Inventors: Naoto Kojima; 直人小島; Takashi Watanabe; 隆渡辺
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-09-09
Filing date: 1993-09-09
Publication date: 1995-03-20

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気ヘッドの記録再生特性を劣化させること
なくスライダの低浮上量化を実現させ、磁気ディスクの
大幅な高記録密度化に対応することを容易に可能とす
る。【構成】センターレール７をスライダ２の中央に設
け、このセンターレール７を、空気流出端領域で空気流
出溝６ｂへ向かうにつれてセンターレール７のレール幅
Ｄ（以下、ＡＢＳ幅Ｄと記す）が広くなる三角形状に形
成されたスカート部１１を有し、その他の部分では一定
の幅を有するように形成する。このセンターレール７の
幅を、スカート部１１においては空気流出端１０ｂ側の
端面１５において２００μｍ以上とし、上記その他の部
分では、２００μｍ以下の所定の値で形成して構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に対して、情報信号の書込み或は読出しを行うのに好適
な浮上型磁気ヘッド装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等に組み込まれ、情報の記
録及び再生を行うハードディスクドライブ装置は、当然
のことながら、情報の記録媒体である磁気ディスクと、
これに情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドより構成さ
れている。

【０００３】このとき、磁気ヘッドとしては、磁気ディ
スク表面との接触による摩耗損傷を避けるために、当該
磁気ディスクの高速回転時に磁気ディスク表面に発生す
る空気流によって磁気ヘッドを磁気ディスク面より微小
間隔（いわゆるフライングハイト）を有して浮上走行さ
せるように構成したいわゆる浮上型磁気ヘッドが用いら
れている。

【０００４】上記浮上型磁気ヘッド装置は、磁気ヘッド
の装着されたスライダと、このスライダに固着されてい
る可撓性を有する板バネ状のジンバルバネと、このジン
バルバネに一端が取り付けられている板バネ状のサスペ
ンションと、更にこのサスペンションの他端にベースプ
レートを介して取り付けられているアームとを有して構
成されている。なお、上記ジンバルバネのスライダ固着
部には、磁気ヘッドの装着されたスライダのディスク表
面からの浮上距離を規定する突起であるディンプルが設
けられている。

【０００５】スライダ１００は、図６に示すように、例
えばＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＯ等よりなる基板からなり、通常
砥石による機械加工で形成され、ハードディスクに対し
てスライダ１００を微小間隙をもって安定した浮上姿勢
で浮上させるための空気流入溝１０１と、この空気流入
溝１０１の両側に形成されたスライダレール１０２及び
１０３と、空気流入端側の端面１０４上のスライダレー
ル１０２側に、真空薄膜形成技術によって作製された磁
気ヘッド１０５とを有して構成されている。

【０００６】スライダレール１０２及び１０３上には、
空気潤滑面１０６及び１０７が形成され、これら空気潤
滑面１０６及び１０７の空気流入端側には、角度１゜以
下のごく緩やかな傾斜面であるテーパ部１０８が形成さ
れている。空気潤滑面１０６及び１０７に発生する空気
圧によってスライダ１００は浮上せしめられる。空気潤
滑面１０６及び１０７上における空気圧の発生は、かな
りテーパ部１０８に起因する。

【０００７】磁気ヘッド１０５は、図７に示すように、
基板上に下層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して
導体コイル１０９及び上層コアが形成されて成る。そし
て、上記上層及び下層コアは、導体コイル１０９を中央
部に挟んでバックギャップ１１０及び磁気ギャップを介
して磁気的に結合され、磁気回路部を形成する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】近年、磁気ディスクの
高記録密度化に伴い、浮上型磁気ヘッド装置におけるス
ライダの低浮上量化が求められている。スライダの浮上
量（微小間隙）は、対向するハードディスクの回転速度
に比例して増加する。従って、スライダ１００に加圧し
ているバネ荷重が一定の場合、浮上量を低減させるため
には、図８に示すように、空気潤滑面１０６及び１０７
の面積を小さくする、即ちスライダレール１０２及び１
０３のレール幅Ｄ（以下、ＡＢＳ幅Ｄと記す）を狭くす
る必要がある。現在、スライダ１００の浮上量を０．１
μｍ以下とすることが要求されているので、ＡＢＳ幅Ｄ
を２５０μｍ以下とすることが検討されている。

【０００９】ところで、磁気ヘッド１０５を空気流出端
側の端面１０４上に形成するために必要な幅である素子
幅ｄは、図７に示すように、コイル（巻線）幅ｄ１と、
上層及び下層コアを接続するバックギャップ部の幅ｄ２
とで概ね決定される。巻線のピッチは通常４〜５μｍで
あり、現行のハードディスクに対しては、巻数は１０〜
１５ターンが普通であるので、コイル幅ｄ１は４０〜７
５μｍとなる。また、バックギャップ部の幅ｄ２は通常
５０μｍ程度である。従って、素子幅ｄとしては、最低
でも１３０〜２００μｍ程度の大きさが必要となる。

【００１０】更に、機械加工によりスライダレール１０
２上にグルーブを形成して空気潤滑面１０６を狭く形成
する場合では、このグルーブを形成する際に空気潤滑面
１０６の両側で２０〜５０μｍ程度のマージンが必要で
ある。従ってこの場合では、素子幅ｄとしては、最低で
も２００〜２５０μｍ程度の大きさが必要となる。

【００１１】従って、スライダ１００の浮上量を０．１
μｍ以下とするためには、ＡＢＳ幅Ｄは上記素子幅ｄと
ほぼ同じ大きさとする必要がある。しかしながら、スラ
イダ１００についての加工精度や量産時の作業効率を考
慮すると、上記素子幅ｄを確保することが困難であり、
従来のスライダ１００では十分な低浮上量化は達成困難
であるという問題がある。

【００１２】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、磁気ヘッドの記録
再生特性を劣化させることなくスライダの低浮上量化を
実現させ、磁気ディスクの大幅な高記録密度化に対応す
ることを容易に可能とする浮上型磁気ヘッド装置を提供
することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ヘッド１
が設けられたスライダ２をジンバルを介してサスペンシ
ョン４により指示してなる浮上型磁気ヘッド装置におい
て、３本以上のスライダレールを有し、該スライダレー
ルのうち、スライダ２の中央に設けられたセンターレー
ル７の幅を空気流出端側で広く形成して構成する。

【００１４】この場合、センターレール７を、空気流出
端で最大幅を有し、この最大幅の値が２００μｍ以上と
なるように形成する。

【００１５】

【作用】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置において
は、スライダ２の空気流出端１０ｂ側の端面１５上で、
センターレール７が最大幅を有する位置に磁気ヘッド１
が形成されている。この最大幅は、磁気ヘッド１を形成
するために必要な幅よりも広いので、センターレール７
を形成する際に磁気ヘッド１に損傷を与えて記録再生特
性を劣化させることがない。従って、磁気ヘッド１の十
分な記録特性を確保しながら、スライダレールの空気潤
滑面１２，１３，及び１４の面積を減少させて所望の値
となるように、容易にスライダレールを形成することが
可能となる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置の
実施例を図面を参照しながら説明する。

【００１７】本実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置は、
図１に示すように、磁気ヘッド１が取り付けられたスラ
イダ２と、このスライダ２に取り付けられ、外部から加
わる外力を緩衝させるジンバルバネ３と、このジンバル
バネ３を介してスライダ２を指示するサスペンション４
とから構成されている。

【００１８】スライダ２は、図２に示すように、例えば
Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＯ等の非磁性且つ導電性を有する材料
からなり、スライダ２のハードディスク５の対向面に
は、このスライダ２を該ハードディスク５に対して微小
間隙（いわゆるフライングハイト）をもって安定した浮
上姿勢で浮上させるための空気流入溝６ａ及び６ｂが設
けられている。これら空気流入溝６ａ及び６ｂは、溝の
深さ０．５〜１００μｍでスライダ２の長手方向に形成
されている。これらの溝が形成されることで、スライダ
２には、３本のスライダレールであるセンターレール７
とサイドレール８及び９が形成されることになる。これ
ら空気流入溝６ａ及び６ｂにおいては、空気流入端１０
ａ側からこれら空気流入溝６ａ及び６ｂ内に空気を導入
することによりスライダ２の左右方向の振れを防止する
ことで磁気ヘッド１の安定した浮上姿勢を確保するよう
になっている。

【００１９】センターレール７は、スライダ２の中央に
設けられている。このセンターレール７は、空気流出端
領域で空気流出溝６ｂへ向かうにつれてセンターレール
７のレール幅Ｄ（以下、ＡＢＳ幅Ｄと記す）が広くなる
三角形状に形成されたスカート部１１を有し、その他の
部分では一定の幅を有して形成されている。このセンタ
ーレール７の幅は、スカート部１１においては空気流出
端１０ｂ側の端面１５において２００μｍ以上とされ、
上記その他の部分では、２００μｍ以下の所定の値で形
成されている。また、センターレール７上の空気流入端
１０ａ側には、角度１゜以下のごく緩やかな傾斜面であ
るテーパ部７ａが形成されている。

【００２０】サイドレール８及び９は、それぞれスライ
ダ２の左右両端に一定の幅を有し、スライダ２の長手方
向の長さより短く形成されている。これらサイドレール
８及び９の幅は、どちらも同一の値を有し、２００μｍ
以下の所定の値で形成されている。また、サイドレール
８及び９上の空気流入端１０ａ側には、角度１゜以下の
ごく緩やかな傾斜面であるテーパ部８ａ及び９ａが形成
されている。

【００２１】スライダレールであるセンターレール７と
サイドレール８及び９とは、これらセンターレール７と
サイドレール８及び９の浮上面である空気潤滑面１２，
１３，及び１４とハードディスク５との間の空気層の剛
性を高めることにより、該スライダ２をハードディスク
５に対してフライングハイトをもって浮上させる役目を
する。

【００２２】スライダ２に設けられる磁気ヘッド１とし
ては、例えばバルク型の磁気ヘッドやスライダ２と一体
化したモノリシック型の磁気ヘッドあるいは薄膜磁気ヘ
ッド等が用いられるが、中でも高透磁率且つ高飽和密度
の磁性薄膜を用いることができ、しかも微小寸法化が高
精度で行える等の観点から薄膜磁気ヘッドを用いること
が望ましい。かかる磁気ヘッド１は、センターレール７
の空気流出端１０ｂ側の端面１５上に設けられている。

【００２３】ここで、スライダ２の空気流入溝６ａ及び
６ｂの形成方法について、図３を参照しながら説明す
る。

【００２４】先ず、スライダ２のブロック２１を洗浄
後、フォトレジスト２２のベースフィルム２３を剥離し
てブロック２１上に載置し、フォトレジスト２２の保護
フィルム２４上及びブロック２１の下部においてローラ
ー２５ａ及び２５ｂによって温度８０℃で熱圧縮して、
フォトレジスト２２をブロック２１上にラミネートする
（ラミネート工程Ｓ１）。

【００２５】次に、フォトレジスト２２がラミネートさ
れたブロック２１上に紫外線を照射して所定のマスク状
のパターンを転写する。その後、Ｎａ₂ＣＯ₃溶液を、
このワーク表面上に噴射し、未露光部洗い流す（ＵＶ露
光／現像工程Ｓ２）。

【００２６】そして、搬送ガスの圧力を利用して、セラ
ミクス微粒子を上記ワーク表面上に噴射し、研磨加工を
行う（ＰＢＥ（パウダー・ビーム・エッチング法）工程
Ｓ３）。

【００２７】ここで、上記ＰＢＥのみならず、例えば、
ＩＢＥ（イオン・ビーム・エッチング法），ＲＩＥ（リ
アクティブ・イオンエッチング法），レーザ・ビーム・
エッチング法（レーザ・アシスト法も含む）等を用いて
もよい。

【００２８】以上の工程Ｓ１〜Ｓ３において、転写され
た所定のマスク状のパターンを残して研磨加工が施さ
れ、スライダ２に空気流入溝６ａ及び６ｂが形成され
る。

【００２９】上記実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置に
おいては、スライダ２の空気流出端１０ｂ側の端面１５
上で、センターレール７が最大幅（２００μｍ以上）を
有する位置に磁気ヘッド１が形成されている。この最大
幅は、磁気ヘッド１を形成するために必要な幅よりも広
いので、センターレール７を形成する際に磁気ヘッド１
に損傷を与えて記録再生特性を劣化させることがない。
従って、磁気ヘッド１の十分な記録特性を確保しなが
ら、スライダレールの空気潤滑面１２，１３，及び１４
の面積を減少させて所望の値となるように、容易にスラ
イダレールを形成することが可能となる。

【００３０】従って、スライダ２のフライングハイトの
値を、容易に０．１μｍ以下とすることができ、ハード
ディスクの高記録密度化に十分対応することが可能とな
る。

【００３１】次に、上記実施例のいくつかの変形例を、
図面を参照しながら説明する。なお、図２と対応するも
のについては同符号を記す。

【００３２】まず、第１の変形例を図４に示す。この第
１の変形例は、上記実施例とほぼ同様の構成を有し、同
様の方法により作製されるが、センターレール７が、空
気流入溝６ａから空気流入溝６ｂにかけて曲線的に広が
る扇型形状に形成されている点で異なる。この場合、上
記実施例と同様に、空気流入溝６ｂ側の端面１５におい
てＡＢＳ幅が２００μｍ以上とされている。

【００３３】この第１の変形例においても、上記実施例
と同様に、スライダ２の空気流出端１０ｂ側の端面１５
上で、センターレール７が最大幅（２００μｍ以上）を
有する位置に磁気ヘッド１が形成されている。この最大
幅は、磁気ヘッド１を形成するために必要な幅よりも広
いので、センターレール７を形成する際に磁気ヘッド１
に損傷を与えて記録再生特性を劣化させることがない。
従って、磁気ヘッド１の十分な記録特性を確保しなが
ら、スライダレールの空気潤滑面１２，１３，及び１４
の面積を減少させて所望の値となるように、容易にスラ
イダレールを形成することが可能となる。

【００３４】従って、上記実施例と同様に、スライダ２
のフライングハイトの値を、容易に０．１μｍ以下とす
ることができ、ハードディスクの高記録密度化に十分対
応することが可能となる。

【００３５】更に、センターレール７の形状が、空気流
入溝６ａから空気流入溝６ｂにかけて曲線的に広がる扇
型形状であるため、スライダレールの空気潤滑面１２，
１３，及び１４における空気流線が連続的となる。従っ
て、使用を重ねた際に、摩耗粉が空気潤滑面１２，１
３，及び１４上に滞留することがないので、大幅に耐久
性を向上させることが可能となる。

【００３６】次に、第２の変形例を図５に示す。この第
２の変形例は、上記実施例とほぼ同様の構成を有し、同
様の方法により作製されるが、スライダ２上に、４本以
上（図示の例では４本）のサイドレール８ｃ及び８ｄ，
９ｃ及び９ｄと、空気流入溝６ａ〜６ｄとが形成されて
いる点で異なる。

【００３７】この第２の変形例においても、上記実施例
と同様に、スライダ２の空気流出端１０ｂ側の端面１５
上で、センターレール７が最大幅（２００μｍ以上）を
有する位置に磁気ヘッド１が形成されている。この最大
幅は、磁気ヘッド１を形成するために必要な幅よりも広
いので、センターレール７を形成する際に磁気ヘッド１
に損傷を与えて記録再生特性を劣化させることがない。
従って、磁気ヘッド１の十分な記録特性を確保しなが
ら、スライダレールの空気潤滑面１２，１３ａ，１３
ｂ，１４ａ及び１４ｂの面積を減少させて所望の値とな
るように、容易にスライダレールを形成することが可能
となる。

【００３８】従って、上記実施例と同様に、スライダ２
のフライングハイトの値を、容易に０．１μｍ以下とす
ることができ、ハードディスクの高記録密度化に十分対
応することが可能となる。

【００３９】更に、サイドレール８ｃ及び８ｄ，９ｃ及
び９ｄの形状及びこれらの空気潤滑面１３ａ，１３ｂ，
１４ａ及び１４ｂを所望の形状及び面積に設計すること
によって、最適な低浮上量特性を容易に得ることが可能
となる。

【００４０】また更に、サイドレール８ｃ及び８ｄ，９
ｃ及び９ｄの空気流入端１０ａ側におけるＡＢＳ幅Ｄを
増大させて、ピッチ量を大きくすることによって、良好
なＣＳＳ特性を得ることが可能となる。

【００４１】

【発明の効果】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置によ
れば、磁気ヘッドが設けられたスライダをジンバルを介
して磁気ヘッド指示部材により指示してなる浮上型磁気
ヘッド装置において、３本以上のスライダレールを有
し、該スライダレールのうち、スライダの中央に設けら
れたセンターレールの幅を、空気流出端側で最大幅を有
し、この最大幅の値を２００μｍ以上となるように形成
して構成したので、磁気ヘッドの記録再生特性を劣化さ
せることなくスライダの低浮上量化を実現させ、磁気デ
ィスクの大幅な高記録密度化に対応することが容易に可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置を模式的に
示す斜視図である。

【図２】本実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置のスライ
ダを模式的に示す斜視図である。

【図３】上記実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置のスラ
イダの空気流入溝の形成方法を模式的に示す断面図であ
る。

【図４】上記実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置の第１
の変形例のスライダを模式的に示す平面図である。

【図５】上記実施例に係る浮上型磁気ヘッド装置の第２
の変形例のスライダを模式的に示す平面図である。

【図６】従来例に係る浮上型磁気ヘッド装置のスライダ
を模式的に示す拡大斜視図である。

【図７】従来例に係る浮上型磁気ヘッド装置の磁気ヘッ
ドを模式的に示す拡大正面図である。

【図８】スライダレールのレール幅（ＡＢＳ幅）と浮上
型磁気ヘッド装置のスライダの浮上量との関係を、ハー
ドディスクの回転速度別に示す特性図である。

【符号の説明】

１・・・磁気ヘッド２・・・スライダ６・・・空気流入溝７・・・センターレール８，９・・・サイドレール１１・・・スカート部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッドが設けられたスライダをジン
バルを介して磁気ヘッド指示部材により指示してなる浮
上型磁気ヘッド装置において、上記スライダは、３本以上のスライダレールを有し、該
スライダレールのうち、スライダの中央に設けられたセ
ンターレールの幅が空気流出端側で広く形成されている
ことを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置。
【請求項２】上記スライダレールは、空気流出端で最
大幅を有し、この最大幅の値が２００μｍ以上であるこ
とを特徴とする請求項１記載の浮上型磁気ヘッド装置。