JPH0777406A - 位置センサ - Google Patents
位置センサInfo
- Publication number
- JPH0777406A JPH0777406A JP5224294A JP22429493A JPH0777406A JP H0777406 A JPH0777406 A JP H0777406A JP 5224294 A JP5224294 A JP 5224294A JP 22429493 A JP22429493 A JP 22429493A JP H0777406 A JPH0777406 A JP H0777406A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- filter
- light fluxes
- optical axis
- intensity
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】減光手段を有する位置センサの検出精度を高め
る。 【構成】分割手段１２によって１つの光束１１を２つに
分割して、分割された各光束１１ａ、１１ｂを複数の受
光手段１３で各々受光する。分割された各光束の光路上
の分割手段１２と受光手段１３との間には、それぞれ減
光手段４０が配置される。
る。 【構成】分割手段１２によって１つの光束１１を２つに
分割して、分割された各光束１１ａ、１１ｂを複数の受
光手段１３で各々受光する。分割された各光束の光路上
の分割手段１２と受光手段１３との間には、それぞれ減
光手段４０が配置される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光を受光してその光の
位置を検出する位置センサであって、光の強度を低下さ
せる減光手段を有する位置センサに関し、光学式測定装
置の受光手段等に使用されるものである。
位置を検出する位置センサであって、光の強度を低下さ
せる減光手段を有する位置センサに関し、光学式測定装
置の受光手段等に使用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】被測定物に光を照射してその反射光の光
の位置を検出すると、光が照射された被検物の照射面の
傾き具合を測定することが可能である。従来、このよう
な測定に際しては、光の検出手段として１次元位置セン
サが用いられていた。図２は、１次元位置センサを用い
て被検物の傾きを測定する測定光学系の構成を示す概略
図である。ここでは、加工が終わった加工面に光を照射
してこの加工面のうねりの程度を測定している。光源２
１から発した光（測定光）１１は、偏光ビームスプリッ
タ２３、1/4 波長板２４を通って被検物２５の表面（加
工面）に入射する。被検物２５表面で反射した光は、再
度1/4 波長板２４を通った後、偏光ビームスプリッタ２
３のスプリット面２３ａで反射されて１次元位置センサ
２６に導かれる。この１次元位置センサ２６は、導入さ
れた光１１の強度を所定の強度に減光するNDフィルタ３
１、NDフィルタ３１を通過した光１１を２つの光束１１
ａ、１１ｂに分割するプリズム１２、分割された各光束
１１ａ、１１ｂをそれぞれ受光するフォトディテクタ１
３ａ、１３ｂ、各フォトディテクタ１３から出力された
信号を電流電圧変換するＩ−Ｖアンプ１４ａ、１４ｂ、
Ｉ−Ｖアンプ１４ａおよび１４ｂからの出力の差をとっ
て増幅する差動アンプ１５を備えている。分割された各
光束１１ａ、１１ｂの強度が等しい場合、両フォトディ
テクタ１３ａ、１３ｂからは等しい大きさの信号が出力
されるので差動アンプ１５からの出力は０になる。これ
に対し、両光束の強度に差があると差動アンプ１５から
はこの強度差に応じた大きさの信号が出力される。
の位置を検出すると、光が照射された被検物の照射面の
傾き具合を測定することが可能である。従来、このよう
な測定に際しては、光の検出手段として１次元位置セン
サが用いられていた。図２は、１次元位置センサを用い
て被検物の傾きを測定する測定光学系の構成を示す概略
図である。ここでは、加工が終わった加工面に光を照射
してこの加工面のうねりの程度を測定している。光源２
１から発した光（測定光）１１は、偏光ビームスプリッ
タ２３、1/4 波長板２４を通って被検物２５の表面（加
工面）に入射する。被検物２５表面で反射した光は、再
度1/4 波長板２４を通った後、偏光ビームスプリッタ２
３のスプリット面２３ａで反射されて１次元位置センサ
２６に導かれる。この１次元位置センサ２６は、導入さ
れた光１１の強度を所定の強度に減光するNDフィルタ３
１、NDフィルタ３１を通過した光１１を２つの光束１１
ａ、１１ｂに分割するプリズム１２、分割された各光束
１１ａ、１１ｂをそれぞれ受光するフォトディテクタ１
３ａ、１３ｂ、各フォトディテクタ１３から出力された
信号を電流電圧変換するＩ−Ｖアンプ１４ａ、１４ｂ、
Ｉ−Ｖアンプ１４ａおよび１４ｂからの出力の差をとっ
て増幅する差動アンプ１５を備えている。分割された各
光束１１ａ、１１ｂの強度が等しい場合、両フォトディ
テクタ１３ａ、１３ｂからは等しい大きさの信号が出力
されるので差動アンプ１５からの出力は０になる。これ
に対し、両光束の強度に差があると差動アンプ１５から
はこの強度差に応じた大きさの信号が出力される。
【０００３】図２に示すような光学系においては、光１
１が照射された被検物２５表面（加工面）の法線方向と
被検物表面への光１１の入射光の光軸方向とが一致して
いるとき（実線Ａで示す）と、被検物２５が傾いて入射
光の光軸と一致していないとき（点線Ｂで示す）とで、
被検物２５で反射した反射光の光路が異なる。そのた
め、センサ２６に入射する光の光軸がずれる。従って、
この光学系において、被検物２５表面の法線方向と被検
物表面への光１１の入射光の光軸とが一致している状態
で各光束１１ａ、１１ｂの強度が一致するように設定し
ておけば、前記法線方向と入射光の光軸方向が一致して
いるときは差動アンプ１５からの出力が０になり、そう
でないときは被検物２５の傾きに応じた値の出力が得ら
れる。そして、この値から被検物２５の加工面のうねり
具合を検出することができる。
１が照射された被検物２５表面（加工面）の法線方向と
被検物表面への光１１の入射光の光軸方向とが一致して
いるとき（実線Ａで示す）と、被検物２５が傾いて入射
光の光軸と一致していないとき（点線Ｂで示す）とで、
被検物２５で反射した反射光の光路が異なる。そのた
め、センサ２６に入射する光の光軸がずれる。従って、
この光学系において、被検物２５表面の法線方向と被検
物表面への光１１の入射光の光軸とが一致している状態
で各光束１１ａ、１１ｂの強度が一致するように設定し
ておけば、前記法線方向と入射光の光軸方向が一致して
いるときは差動アンプ１５からの出力が０になり、そう
でないときは被検物２５の傾きに応じた値の出力が得ら
れる。そして、この値から被検物２５の加工面のうねり
具合を検出することができる。
【０００４】ところで、フォトディテクタは受光する光
の強度が大きすぎると、光電変換がうまく機能しないと
いう問題がある。そのため、強度が大きい光について
は、NDフィルタを通して所定の強度まで減光した後、フ
ォトディテクタで受光するようにしていた。しかし、ND
フィルタによる減光の割合（以下、減光率という）は一
定であるため、光の強度が変わると所望の強度にならな
い場合が生じる。そのため、使用する光の強度に応じて
NDフィルタを交換し、前記減光率を変えてフォトディテ
クタの感度領域に対して好ましい強度に光の強度を調整
（減光）する必要があった。その際、プリズム１２に入
射する光の光軸が交換前の位置からずれないようにNDフ
ィルタの位置を設定しなければならず、そのための調整
作業に多くの時間を要し効率が悪かった。そこで、NDフ
ィルタの交換作業を容易にするために、交換機構付きの
NDフィルタ４０を備えた１次元位置センサが提案され
た。図３（ａ）は、この交換機構付きNDフィルタ４０の
概略平面図、図３（ｂ）は、NDフィルタ４０のＡＡ’断
面図である。このNDフィルタ４０は、円板４２に設けら
れた、減光率の異なる複数のNDフィルタ４１を有し、回
転軸４３を中心に円板４２が回転することで所望の減光
率のフィルタ４１を選択できるように構成されている。
この交換機構付きNDフィルタ４０によれば、用いる光１
１の強度に応じて光１１の光路上に所望の減光率のフィ
ルタ４１が位置するように円板４１を回転させること
で、フォトディテクタの感度領域に対応した強度に光の
強度を調整（減光）することができる。
の強度が大きすぎると、光電変換がうまく機能しないと
いう問題がある。そのため、強度が大きい光について
は、NDフィルタを通して所定の強度まで減光した後、フ
ォトディテクタで受光するようにしていた。しかし、ND
フィルタによる減光の割合（以下、減光率という）は一
定であるため、光の強度が変わると所望の強度にならな
い場合が生じる。そのため、使用する光の強度に応じて
NDフィルタを交換し、前記減光率を変えてフォトディテ
クタの感度領域に対して好ましい強度に光の強度を調整
（減光）する必要があった。その際、プリズム１２に入
射する光の光軸が交換前の位置からずれないようにNDフ
ィルタの位置を設定しなければならず、そのための調整
作業に多くの時間を要し効率が悪かった。そこで、NDフ
ィルタの交換作業を容易にするために、交換機構付きの
NDフィルタ４０を備えた１次元位置センサが提案され
た。図３（ａ）は、この交換機構付きNDフィルタ４０の
概略平面図、図３（ｂ）は、NDフィルタ４０のＡＡ’断
面図である。このNDフィルタ４０は、円板４２に設けら
れた、減光率の異なる複数のNDフィルタ４１を有し、回
転軸４３を中心に円板４２が回転することで所望の減光
率のフィルタ４１を選択できるように構成されている。
この交換機構付きNDフィルタ４０によれば、用いる光１
１の強度に応じて光１１の光路上に所望の減光率のフィ
ルタ４１が位置するように円板４１を回転させること
で、フォトディテクタの感度領域に対応した強度に光の
強度を調整（減光）することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の交換
機構付きNDフィルタを備えた１次元位置センサでは、円
板を回転してNDフィルタを交換すると、センサに入射す
る光の光軸が一定であっても、フィルタの交換前後で受
光した光の位置が変化したように検出される現象が起き
ていた。そのため、検出精度が低いという問題があっ
た。本発明は、このような問題を解決することを目的と
する。
機構付きNDフィルタを備えた１次元位置センサでは、円
板を回転してNDフィルタを交換すると、センサに入射す
る光の光軸が一定であっても、フィルタの交換前後で受
光した光の位置が変化したように検出される現象が起き
ていた。そのため、検出精度が低いという問題があっ
た。本発明は、このような問題を解決することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らが上記問題の
原因を究明したところ、交換機構付きNDフィルタで所望
のNDフィルタに交換すると、フィルタを通過した後の光
の光軸の位置が交換前の位置からずれて光のプリズムへ
の入射位置が変わってしまうことが判明した。その結
果、プリズムによって分割された各光束の分割の比率が
NDフィルタの交換の前後で変わり、各フォトディテクタ
で受光される光束の光量の割合が変化して光の位置が変
化したように検出されていた。そこで、本発明者らは、
光を分光した後でそれぞれの分割光をNDフィルタに通す
ることで、NDフィルタ交換による光軸のずれが各フォト
ディテクタで受光される分割された光束（光量）の割合
に影響を与えないようにした。つまり、本発明は、１つ
の光束を２つ以上の光束に分割する分割手段、分割され
た各光束を受光する複数の受光手段および分割された各
光束の光路上において前記分割手段と受光手段との間に
設置された複数の減光手段とで位置センサを構成する。
原因を究明したところ、交換機構付きNDフィルタで所望
のNDフィルタに交換すると、フィルタを通過した後の光
の光軸の位置が交換前の位置からずれて光のプリズムへ
の入射位置が変わってしまうことが判明した。その結
果、プリズムによって分割された各光束の分割の比率が
NDフィルタの交換の前後で変わり、各フォトディテクタ
で受光される光束の光量の割合が変化して光の位置が変
化したように検出されていた。そこで、本発明者らは、
光を分光した後でそれぞれの分割光をNDフィルタに通す
ることで、NDフィルタ交換による光軸のずれが各フォト
ディテクタで受光される分割された光束（光量）の割合
に影響を与えないようにした。つまり、本発明は、１つ
の光束を２つ以上の光束に分割する分割手段、分割され
た各光束を受光する複数の受光手段および分割された各
光束の光路上において前記分割手段と受光手段との間に
設置された複数の減光手段とで位置センサを構成する。
【０００７】
【作用】本発明の位置センサでは、分割手段によって光
を分割してから各分割光を減光手段であるNDフィルタに
入射させる。そのため、NDフィルタの交換によって光軸
のずれが生じても、各フォトディテクタで受光される分
割された光束の光量の割合は変わらない。そのため、各
フォトディテクタから出力された信号の差をとって増幅
する差動アンプからの出力は、NDフィルタの交換による
光軸のずれが生じても変化しない。その結果、センサに
入射する光の光軸のずれだけに基づく出力を得ることが
できる。
を分割してから各分割光を減光手段であるNDフィルタに
入射させる。そのため、NDフィルタの交換によって光軸
のずれが生じても、各フォトディテクタで受光される分
割された光束の光量の割合は変わらない。そのため、各
フォトディテクタから出力された信号の差をとって増幅
する差動アンプからの出力は、NDフィルタの交換による
光軸のずれが生じても変化しない。その結果、センサに
入射する光の光軸のずれだけに基づく出力を得ることが
できる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の構成を示す概略
図である。なお、図１において図２と同一機能を有する
構成要件は同一符号を付してその説明を省略する。本実
施例の１次元位置センサ１０は、導入された光１１を２
つの光束１１ａ、１１ｂに分割するプリズム１２、分割
された各光束１１ａ、１１ｂをそれぞれ受光するフォト
ディテクタ１３ａ、１３ｂ、各光束１１ａ、１１ｂの光
路上においてプリズム１２と各ディテクタ１３ａ、１３
ｂとの間に配置されてこれら各光束の強度を所定の強度
に減光するための交換機構付きNDフィルタ４０ａ、４０
ｂ、各フォトディテクタ１３ａ、１３ｂからの信号を電
流電圧変換するＩ−Ｖアンプ１４ａ、１４ｂ、Ｉ−Ｖア
ンプ１４ａおよび１４ｂからの出力の差をとって増幅す
る差動アンプ１５とを備えている。なお、光１１の光軸
がずれても、各光束１１ａ、１１ｂ全体がフォトディテ
クタ１３に受光されるように、あらかじめ、各素子の配
置位置およびディテクタ１３の受光面の大きさ等を設定
しておく。
図である。なお、図１において図２と同一機能を有する
構成要件は同一符号を付してその説明を省略する。本実
施例の１次元位置センサ１０は、導入された光１１を２
つの光束１１ａ、１１ｂに分割するプリズム１２、分割
された各光束１１ａ、１１ｂをそれぞれ受光するフォト
ディテクタ１３ａ、１３ｂ、各光束１１ａ、１１ｂの光
路上においてプリズム１２と各ディテクタ１３ａ、１３
ｂとの間に配置されてこれら各光束の強度を所定の強度
に減光するための交換機構付きNDフィルタ４０ａ、４０
ｂ、各フォトディテクタ１３ａ、１３ｂからの信号を電
流電圧変換するＩ−Ｖアンプ１４ａ、１４ｂ、Ｉ−Ｖア
ンプ１４ａおよび１４ｂからの出力の差をとって増幅す
る差動アンプ１５とを備えている。なお、光１１の光軸
がずれても、各光束１１ａ、１１ｂ全体がフォトディテ
クタ１３に受光されるように、あらかじめ、各素子の配
置位置およびディテクタ１３の受光面の大きさ等を設定
しておく。
【０００９】本実施例では、交換機構付きNDフィルタ４
０ａ、４０ｂにおいて所望の減光率を有するNDフィルタ
に交換した際に各光束１１ａ、ｂの光軸が交換前の光軸
からずれても、各フォトディテクタ１３に入射する各光
束１１ａ、１１ｂの光量は変わらない。従って、各フォ
トディテクタ１３で受光される各光束１１ａ、１１ｂの
光量の比率も変わらない。よって、各ディテクタ１３か
ら出力された信号の差をとって増幅する差動アンプ１５
からの出力は一定となる。これに対して、例えば、光
（測定光）が照射された被検物の照射面（例えば、加工
面）が傾くと、位置センサ１０に入射する測定光は、照
射面が傾く前の状態からその光軸の位置がずれる。その
ため、プリズム１２への入射位置もずれ、２分割された
各光束１１ａ、１１ｂの光量（強度）の割合が変化す
る。これにより、各フォトディテクタから出力された信
号の差が変化するので、差動アンプ１５からはその差に
応じた出力が得られる。つまり、被検物の照射面の傾き
によってのみ、その傾き具合に応じた出力を得ることが
できるので正確な値が求まり検出精度が向上する。
０ａ、４０ｂにおいて所望の減光率を有するNDフィルタ
に交換した際に各光束１１ａ、ｂの光軸が交換前の光軸
からずれても、各フォトディテクタ１３に入射する各光
束１１ａ、１１ｂの光量は変わらない。従って、各フォ
トディテクタ１３で受光される各光束１１ａ、１１ｂの
光量の比率も変わらない。よって、各ディテクタ１３か
ら出力された信号の差をとって増幅する差動アンプ１５
からの出力は一定となる。これに対して、例えば、光
（測定光）が照射された被検物の照射面（例えば、加工
面）が傾くと、位置センサ１０に入射する測定光は、照
射面が傾く前の状態からその光軸の位置がずれる。その
ため、プリズム１２への入射位置もずれ、２分割された
各光束１１ａ、１１ｂの光量（強度）の割合が変化す
る。これにより、各フォトディテクタから出力された信
号の差が変化するので、差動アンプ１５からはその差に
応じた出力が得られる。つまり、被検物の照射面の傾き
によってのみ、その傾き具合に応じた出力を得ることが
できるので正確な値が求まり検出精度が向上する。
【００１０】なお、本実施例では１次元位置センサ１０
に導入された光（測定光）１１をプリズム１２表面で反
射させて２つの光束１１ａ、１１ｂに分割しているが、
本発明はこれに限定されるものではない。導入された光
（測定光）１１をプリズム１２に透過させて屈折により
分割してもよい。
に導入された光（測定光）１１をプリズム１２表面で反
射させて２つの光束１１ａ、１１ｂに分割しているが、
本発明はこれに限定されるものではない。導入された光
（測定光）１１をプリズム１２に透過させて屈折により
分割してもよい。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、NDフィ
ルタの交換によって分割後の光の光軸がずれてもその影
響を受けない。そのため、入射する光の光軸のずれだけ
に基づく出力を得ることができる、高精度な位置センサ
を提供することができる。また、従来の位置センサで
は、保守等のためにNDフィルタを一旦取り外して再度取
り付ける場合、分割手段に入射する光の光軸の調整を正
確に行っていたが、本発明ではそのような調整作業を行
う必要がないため、作業効率がよい。
ルタの交換によって分割後の光の光軸がずれてもその影
響を受けない。そのため、入射する光の光軸のずれだけ
に基づく出力を得ることができる、高精度な位置センサ
を提供することができる。また、従来の位置センサで
は、保守等のためにNDフィルタを一旦取り外して再度取
り付ける場合、分割手段に入射する光の光軸の調整を正
確に行っていたが、本発明ではそのような調整作業を行
う必要がないため、作業効率がよい。
【図１】は、本発明の一実施例を示す概略構成図であ
る。
る。
【図２】は、被検物（加工面）の傾きを検出するための
測定光学系の構成を示す概略図である。
測定光学系の構成を示す概略図である。
【図３】は、交換機構付きNDフィルタの構成を示す概略
図である。
図である。
１０ 一次元位置センサ １１ 光（測定光） １２ プリズム（分割手段） １３ フォトディテクタ（受光手段） １４ Ｉ−Ｖアンプ １５ 差動アンプ ２６ 一次元位置センサ ４０ 交換機構付きNDフィルタ（減光手段） ４１ NDフィルタ ４２ 円板 ４３ 回転軸
Claims (1)
- 【請求項１】 １つの光束を２つ以上の光束に分割する
分割手段、分割された各光束を各々受光する複数の受光
手段および分割された各光束の光路上において前記分割
手段と受光手段との間に設置された減光手段とを有する
ことを特徴とする位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5224294A JPH0777406A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5224294A JPH0777406A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 位置センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777406A true JPH0777406A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16811522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5224294A Pending JPH0777406A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100430688C (zh) * | 2005-11-18 | 2008-11-05 | 富士通株式会社 | 倾斜度检测方法和倾斜度检测设备 |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP5224294A patent/JPH0777406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100430688C (zh) * | 2005-11-18 | 2008-11-05 | 富士通株式会社 | 倾斜度检测方法和倾斜度检测设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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