JPH10122813A - 光学式変位センサ - Google Patents
光学式変位センサInfo
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- JPH10122813A JPH10122813A JP29954096A JP29954096A JPH10122813A JP H10122813 A JPH10122813 A JP H10122813A JP 29954096 A JP29954096 A JP 29954096A JP 29954096 A JP29954096 A JP 29954096A JP H10122813 A JPH10122813 A JP H10122813A
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- JP
- Japan
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- measured
- light
- light beam
- detecting means
- displacement sensor
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Focusing (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサの感度変化に影響を受けない、光学式
変位センサを提供する。 【解決手段】 被測定面６よりの反射光を第１の光束分
岐手段８によって分岐された一方の光束の集光点の手前
側に配置された第１のビーム径検出手段１１，１２と、
分岐されたもう一方の光束をさらに分岐する第２の光束
分岐手段９によって分岐されたそれぞれの光束の集光点
の後ろ側で、微少量だけずらして配置された第２，第３
のビーム径検出手段１３，１４，１５，１６を有する各
ビーム径検出手段の出力信号Ｖa，Ｖb，Ｖcより、被測
定面６と対物レンズ集光点の距離を演算して近接した２
本のフォーカスエラー信号を求める。非測定面の傾斜角
が大きく変化するレンズ面形状測定においても、フォー
カスエラー誤差の影響をキャンセルすることができる。
変位センサを提供する。 【解決手段】 被測定面６よりの反射光を第１の光束分
岐手段８によって分岐された一方の光束の集光点の手前
側に配置された第１のビーム径検出手段１１，１２と、
分岐されたもう一方の光束をさらに分岐する第２の光束
分岐手段９によって分岐されたそれぞれの光束の集光点
の後ろ側で、微少量だけずらして配置された第２，第３
のビーム径検出手段１３，１４，１５，１６を有する各
ビーム径検出手段の出力信号Ｖa，Ｖb，Ｖcより、被測
定面６と対物レンズ集光点の距離を演算して近接した２
本のフォーカスエラー信号を求める。非測定面の傾斜角
が大きく変化するレンズ面形状測定においても、フォー
カスエラー誤差の影響をキャンセルすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学式変位セン
サ、より詳細には、レンズ面等の形状測定に用いて好適
な高感度，高精度の非接触変位センサに関する。
サ、より詳細には、レンズ面等の形状測定に用いて好適
な高感度，高精度の非接触変位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】光蝕針式変位センサのうち、ピンホール
によるダブルビームサイズ法は、被測定面からの反射光
を２分割し、それぞれ集光点の手前側，後ろ側におかれ
たピンホールフィルタを透過した光をフォトディテクタ
で光電変換して信号を得る。この信号をそれぞれＶa，
Ｖbとすると、フォーカスエラー信号は、 Ｖ＝（Ｖa−Ｖb）／（Ｖa＋Ｖb） で得られる。
によるダブルビームサイズ法は、被測定面からの反射光
を２分割し、それぞれ集光点の手前側，後ろ側におかれ
たピンホールフィルタを透過した光をフォトディテクタ
で光電変換して信号を得る。この信号をそれぞれＶa，
Ｖbとすると、フォーカスエラー信号は、 Ｖ＝（Ｖa−Ｖb）／（Ｖa＋Ｖb） で得られる。
【０００３】対物レンズの集光点を原点とした被測定面
の位置ｄに対するフォーカスエラー信号Ｖの特性は、集
光点の近傍では、 Ｖ＝Ｋｄ で示されるような比例関係を示す（Ｋはセンサの感
度）。ここで、差信号（Ｖa−Ｖb）を総受光量（Ｖa＋
Ｖb）で割ることによって、被測定面の反射率の変化の
影響によるセンサの感度Ｋの変化をキャンセルしてい
る。実際には、センサ出力信号Ｖと感度Ｋを用いて距離
ｄを求める。
の位置ｄに対するフォーカスエラー信号Ｖの特性は、集
光点の近傍では、 Ｖ＝Ｋｄ で示されるような比例関係を示す（Ｋはセンサの感
度）。ここで、差信号（Ｖa−Ｖb）を総受光量（Ｖa＋
Ｖb）で割ることによって、被測定面の反射率の変化の
影響によるセンサの感度Ｋの変化をキャンセルしてい
る。実際には、センサ出力信号Ｖと感度Ｋを用いて距離
ｄを求める。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記センサを
レンズ形状などの形状測定に用いる場合、感度Ｋは被測
定面の傾斜角変化の影響も受ける。被測定面の傾斜角が
０［ｄｅｇ］から３０［ｄｅｇ］に変化した場合、感度
Ｋは約１／４にまで減衰し、フォーカスエラー信号から
変位ｄを求めるときに誤差を生む原因になる。
レンズ形状などの形状測定に用いる場合、感度Ｋは被測
定面の傾斜角変化の影響も受ける。被測定面の傾斜角が
０［ｄｅｇ］から３０［ｄｅｇ］に変化した場合、感度
Ｋは約１／４にまで減衰し、フォーカスエラー信号から
変位ｄを求めるときに誤差を生む原因になる。
【０００５】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、センサの感度変化に影響を受けない、光学
式変位センサを提供することを目的としてなされたもの
である。
れたもので、センサの感度変化に影響を受けない、光学
式変位センサを提供することを目的としてなされたもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、光源
よりの光ビームを対物レンズを介して被測定面に集光
し、その反射光を受光してフォーカスエラー信号を得、
該フォーカスエラー信号より被測定面と対物レンズ集光
点の距離を算出する光学式変位センサにおいて、前記被
測定面よりの反射光を前記対物レンズを通して受光する
第１の光束分岐手段と、該第１の光束分岐手段によって
分岐された一方の光束の集光点の手前側に配置された第
１のビーム径検出手段と、分岐されたもう一方の光束を
さらに分岐する第２の光束分岐手段と、該第２の光束分
岐手段によって分岐されたそれぞれの光束の集光点の後
ろ側で、微少量だけずらして配置された第２，第３のビ
ーム径検出手段と、各ビーム径検出手段の出力信号よ
り、被測定面と対物レンズ集光点の距離を演算する信号
処理装置とを備え、近接した２本のフォーカスエラー信
号を用いて変位を求めることを特徴とし、もって、被測
定面の傾斜角が大きく変化するレンズ面形状測定におい
ても、フォーカスエラー誤差の影響をキャンセルするこ
とができるようにしたものである。
よりの光ビームを対物レンズを介して被測定面に集光
し、その反射光を受光してフォーカスエラー信号を得、
該フォーカスエラー信号より被測定面と対物レンズ集光
点の距離を算出する光学式変位センサにおいて、前記被
測定面よりの反射光を前記対物レンズを通して受光する
第１の光束分岐手段と、該第１の光束分岐手段によって
分岐された一方の光束の集光点の手前側に配置された第
１のビーム径検出手段と、分岐されたもう一方の光束を
さらに分岐する第２の光束分岐手段と、該第２の光束分
岐手段によって分岐されたそれぞれの光束の集光点の後
ろ側で、微少量だけずらして配置された第２，第３のビ
ーム径検出手段と、各ビーム径検出手段の出力信号よ
り、被測定面と対物レンズ集光点の距離を演算する信号
処理装置とを備え、近接した２本のフォーカスエラー信
号を用いて変位を求めることを特徴とし、もって、被測
定面の傾斜角が大きく変化するレンズ面形状測定におい
ても、フォーカスエラー誤差の影響をキャンセルするこ
とができるようにしたものである。
【０００７】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ビーム径検出手段が、ピンホールフィルタとフ
ォトダイオードとから構成されることを特徴とし、もっ
て、部品点数を減らすことができるようにしたものであ
る。
て、前記ビーム径検出手段が、ピンホールフィルタとフ
ォトダイオードとから構成されることを特徴とし、もっ
て、部品点数を減らすことができるようにしたものであ
る。
【０００８】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ビーム径検出手段が、同心円状に領域分割され
た２分割フォトダイオードであることを特徴とし、もっ
て、中央部分の受光量を、全受光量で割ることによっ
て、出力を無次元化することにより、フォトディテクタ
へ入射する光束の絶対量のばらつきをキャンセルし、こ
れによって、ビームスプリッタやフォトディテクタの固
体差による出力の絶対値のばらつきの影響をキャンセル
するようにしたものである。
て、前記ビーム径検出手段が、同心円状に領域分割され
た２分割フォトダイオードであることを特徴とし、もっ
て、中央部分の受光量を、全受光量で割ることによっ
て、出力を無次元化することにより、フォトディテクタ
へ入射する光束の絶対量のばらつきをキャンセルし、こ
れによって、ビームスプリッタやフォトディテクタの固
体差による出力の絶対値のばらつきの影響をキャンセル
するようにしたものである。
【０００９】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記信号処理装置が、前記第１，第２，第３の３つ
のビーム径検出手段それぞれの信号の強度を調整する第
１，第２，第３のボリュームを有し、前記３つの信号の
最大値をほぼ同じ大きさにすることを特徴とし、もっ
て、ボリュームの調整によってばらつきの影響をキャン
セルするようにしたものである。
て、前記信号処理装置が、前記第１，第２，第３の３つ
のビーム径検出手段それぞれの信号の強度を調整する第
１，第２，第３のボリュームを有し、前記３つの信号の
最大値をほぼ同じ大きさにすることを特徴とし、もっ
て、ボリュームの調整によってばらつきの影響をキャン
セルするようにしたものである。
【００１０】
（請求項１の発明）図１は、本発明の一実施例を説明す
るための構成図で、光源１から出射された点光源はコリ
メータレンズ２によって平行光束となり、偏光ビームス
プリッタ３，１／４波長板４を透過し、対物レンズ５に
よって集光されて被測定面６に照射される。被測定面６
からの反射光は対物レンズ５，１／４波長板４を透過
し、偏光ビームスプリッタ３で反射され、結像レンズ７
によって収束光となり、第１のビームスプリッタ８によ
って２分割される。第１のビームスプリッタ８で反射し
た光束は、結像レンズ７の焦点距離より距離ｄだけ手前
側の位置に配置された第１のピンホールフィルタ１１に
照射し、この透過光は第１のフォトディテクタ１２によ
って光電変換され、電気信号Ｖaを出力する。第１のビ
ームスプリッタ８を透過した光束は、さらに第２のビー
ムスプリッタ９によって２分割される。第２のビームス
プリッタ９で反射した光束は、結像レンズ７の焦点距離
の位置より距離ｄだけ後ろに配置された第２のピンホー
ルフィルタ１３に照射し、この透過光は第２のフォトデ
ィテクタ１４によって光電変換され、電気信号Ｖbを出
力する。第２のビームスプリッタ９を透過した光束は、
結像レンズ７の焦点距離の位置より距離ｄに微少量δを
足した値だけ後ろに配置された第３のピンホールフィル
タ１５に照射し、この透過光は第３のフォトディテクタ
１６によって光電変換され、電気信号Ｖcを出力する。
るための構成図で、光源１から出射された点光源はコリ
メータレンズ２によって平行光束となり、偏光ビームス
プリッタ３，１／４波長板４を透過し、対物レンズ５に
よって集光されて被測定面６に照射される。被測定面６
からの反射光は対物レンズ５，１／４波長板４を透過
し、偏光ビームスプリッタ３で反射され、結像レンズ７
によって収束光となり、第１のビームスプリッタ８によ
って２分割される。第１のビームスプリッタ８で反射し
た光束は、結像レンズ７の焦点距離より距離ｄだけ手前
側の位置に配置された第１のピンホールフィルタ１１に
照射し、この透過光は第１のフォトディテクタ１２によ
って光電変換され、電気信号Ｖaを出力する。第１のビ
ームスプリッタ８を透過した光束は、さらに第２のビー
ムスプリッタ９によって２分割される。第２のビームス
プリッタ９で反射した光束は、結像レンズ７の焦点距離
の位置より距離ｄだけ後ろに配置された第２のピンホー
ルフィルタ１３に照射し、この透過光は第２のフォトデ
ィテクタ１４によって光電変換され、電気信号Ｖbを出
力する。第２のビームスプリッタ９を透過した光束は、
結像レンズ７の焦点距離の位置より距離ｄに微少量δを
足した値だけ後ろに配置された第３のピンホールフィル
タ１５に照射し、この透過光は第３のフォトディテクタ
１６によって光電変換され、電気信号Ｖcを出力する。
【００１１】図２は、上記センサにおける被測定面との
距離とフォトディテクタの出力との関係を示し、信号Ｖ
aは信号Ｖb，Ｖcの２倍の光量が到達しているので、出
力を０.５倍してある。信号ＶbとＶcのずれが、Ｖaとの
ずれに比べて十分小さいように前記ｄ，δを調整する。
ここで、それぞれ第１と第２，第１と第３のフォトディ
テクタより、以下に示す式でフォーカスエラー信号を求
める。 Ｖb-a＝（Ｖb−Ｖa）／（Ｖb＋Ｖa） Ｖc-a＝（Ｖc−Ｖa）／（Ｖc＋Ｖa）
距離とフォトディテクタの出力との関係を示し、信号Ｖ
aは信号Ｖb，Ｖcの２倍の光量が到達しているので、出
力を０.５倍してある。信号ＶbとＶcのずれが、Ｖaとの
ずれに比べて十分小さいように前記ｄ，δを調整する。
ここで、それぞれ第１と第２，第１と第３のフォトディ
テクタより、以下に示す式でフォーカスエラー信号を求
める。 Ｖb-a＝（Ｖb−Ｖa）／（Ｖb＋Ｖa） Ｖc-a＝（Ｖc−Ｖa）／（Ｖc＋Ｖa）
【００１２】図３は、この時の距離とフォーカスエラー
信号の出力の関係を示す。図３から明らかなように、図
３の中央付近で、どちらの信号も直線に近似でき、ま
た、この２本の直線の感度がほぼ等しい範囲が存在す
る。これが測定可能範囲となる。
信号の出力の関係を示す。図３から明らかなように、図
３の中央付近で、どちらの信号も直線に近似でき、ま
た、この２本の直線の感度がほぼ等しい範囲が存在す
る。これが測定可能範囲となる。
【００１３】ここで、被測定面の傾斜角が変化した場
合、このフォーカス誤差信号の感度Ｋが変化する。しか
し、２つの信号の傾きは常に同一とみなせる。また、２
つの信号それぞれ出力信号が０を示す点の間隔は常に一
定の距離δ’である。よって、傾きＫは２つの差信号Ｖ
b-a，Ｖc-aとδ’から、以下の式で求めることができ
る。 Ｋ＝（Ｖb-a−Ｖc-a）／δ’ よって、フォーカス誤差信号の感度が変動しても、その
時の感度を求めることができるので、常に正確な変位を
求めることができる。従って、この光学式変位センサを
用いれば、非測定面の傾斜角が大きく変化するレンズ面
形状測定においても、フォーカスエラー誤差の影響をキ
ャンセルすることができる。
合、このフォーカス誤差信号の感度Ｋが変化する。しか
し、２つの信号の傾きは常に同一とみなせる。また、２
つの信号それぞれ出力信号が０を示す点の間隔は常に一
定の距離δ’である。よって、傾きＫは２つの差信号Ｖ
b-a，Ｖc-aとδ’から、以下の式で求めることができ
る。 Ｋ＝（Ｖb-a−Ｖc-a）／δ’ よって、フォーカス誤差信号の感度が変動しても、その
時の感度を求めることができるので、常に正確な変位を
求めることができる。従って、この光学式変位センサを
用いれば、非測定面の傾斜角が大きく変化するレンズ面
形状測定においても、フォーカスエラー誤差の影響をキ
ャンセルすることができる。
【００１４】なお、図１では、受光部として、ピンホー
ルとフォトディテクタを用いて例を示したが、これに代
ってピンホールと同じ径の円形の受光領域を持つフォト
ディテクタを用いると、部品点数を減らすことができ
る。また、受光部として、１つ目の領域がピンホールと
同じ径の円形であり、２つ目の受光部がそれを取り囲む
ような２分割フォトダイオードを用い、中央部分の受光
量を、全受光量で割ることによって、出力を無次元化す
ることにより、フォトディテクタへ入射する光束の絶対
量のばらつきをキャンセルすることによって、ビームス
プリッタやフォトディテクタの固体差による出力の絶対
値のばらつきの影響をキャンセルすることができる。更
には、フォトディテクタの出力信号を、ボリュームで調
整しておくと、３つの出力をその最大値（図２のそれぞ
れの信号の山の頂点の高さ）が同じになるように調整す
ることができ、該ボリュームの調整によって、前述のば
らつきの影響をキャンセルすることができる。
ルとフォトディテクタを用いて例を示したが、これに代
ってピンホールと同じ径の円形の受光領域を持つフォト
ディテクタを用いると、部品点数を減らすことができ
る。また、受光部として、１つ目の領域がピンホールと
同じ径の円形であり、２つ目の受光部がそれを取り囲む
ような２分割フォトダイオードを用い、中央部分の受光
量を、全受光量で割ることによって、出力を無次元化す
ることにより、フォトディテクタへ入射する光束の絶対
量のばらつきをキャンセルすることによって、ビームス
プリッタやフォトディテクタの固体差による出力の絶対
値のばらつきの影響をキャンセルすることができる。更
には、フォトディテクタの出力信号を、ボリュームで調
整しておくと、３つの出力をその最大値（図２のそれぞ
れの信号の山の頂点の高さ）が同じになるように調整す
ることができ、該ボリュームの調整によって、前述のば
らつきの影響をキャンセルすることができる。
【００１５】
【発明の効果】請求項１の発明は、光源よりの光ビーム
を対物レンズを介して被測定面に集光し、その反射光を
受光してフォーカスエラー信号を得、該フォーカスエラ
ー信号より被測定面と対物レンズ集光点の距離を算出す
る光学式変位センサにおいて、前記被測定面よりの反射
光を前記対物レンズを通して受光する第１の光束分岐手
段と、該第１の光束分岐手段によって分岐された一方の
光束の集光点の手前側に配置された第１のビーム径検出
手段と、分岐されたもう一方の光束をさらに分岐する第
２の光束分岐手段と、該第２の光束分岐手段によって分
岐されたそれぞれの光束の集光点の後ろ側で、微少量だ
けずらして配置された第２，第３のビーム径検出手段
と、各ビーム径検出手段の出力信号より、被測定面と対
物レンズ集光点の距離を演算する信号処理装置とを備
え、近接した２本のフォーカスエラー信号を用いて変位
を求めるようにしたので、非測定面の傾斜角が大きく変
化するレンズ面形状測定においても、フォーカスエラー
誤差の影響をキャンセルすることができる。
を対物レンズを介して被測定面に集光し、その反射光を
受光してフォーカスエラー信号を得、該フォーカスエラ
ー信号より被測定面と対物レンズ集光点の距離を算出す
る光学式変位センサにおいて、前記被測定面よりの反射
光を前記対物レンズを通して受光する第１の光束分岐手
段と、該第１の光束分岐手段によって分岐された一方の
光束の集光点の手前側に配置された第１のビーム径検出
手段と、分岐されたもう一方の光束をさらに分岐する第
２の光束分岐手段と、該第２の光束分岐手段によって分
岐されたそれぞれの光束の集光点の後ろ側で、微少量だ
けずらして配置された第２，第３のビーム径検出手段
と、各ビーム径検出手段の出力信号より、被測定面と対
物レンズ集光点の距離を演算する信号処理装置とを備
え、近接した２本のフォーカスエラー信号を用いて変位
を求めるようにしたので、非測定面の傾斜角が大きく変
化するレンズ面形状測定においても、フォーカスエラー
誤差の影響をキャンセルすることができる。
【００１６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ビーム径検出手段を、ピンホールフィルタとフ
ォトダイオードとで構成したので、部品点数を減らすこ
とができる。
て、前記ビーム径検出手段を、ピンホールフィルタとフ
ォトダイオードとで構成したので、部品点数を減らすこ
とができる。
【００１７】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記ビーム径検出手段を、同心円状に領域分割され
た２分割フォトダイオードで構成したので、中央部分の
受光量を、全受光量で割ることによって、出力を無次元
化することにより、フォトディテクタへ入射する光束の
絶対量のばらつきをキャンセルし、これによって、ビー
ムスプリッタやフォトディテクタの固体差による出力の
絶対値のばらつきの影響をキャンセルすることができ
る。
て、前記ビーム径検出手段を、同心円状に領域分割され
た２分割フォトダイオードで構成したので、中央部分の
受光量を、全受光量で割ることによって、出力を無次元
化することにより、フォトディテクタへ入射する光束の
絶対量のばらつきをキャンセルし、これによって、ビー
ムスプリッタやフォトディテクタの固体差による出力の
絶対値のばらつきの影響をキャンセルすることができ
る。
【００１８】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記信号処理装置が、前記第１，第２，第３の３つ
のビーム径検出手段それぞれの信号の強度を調整する第
１，第２，第３のボリュームを有し、これら３つの信号
の最大値をほぼ同じ大きさにすることができるようにし
たので、ボリュームの調整によってばらつきの影響をキ
ャンセルすることができる。
て、前記信号処理装置が、前記第１，第２，第３の３つ
のビーム径検出手段それぞれの信号の強度を調整する第
１，第２，第３のボリュームを有し、これら３つの信号
の最大値をほぼ同じ大きさにすることができるようにし
たので、ボリュームの調整によってばらつきの影響をキ
ャンセルすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による光学式変位センサの一実施例を
説明するための要部構成図である。
説明するための要部構成図である。
【図２】 上記センサにおける被測定面との距離とフォ
トディテクタの出力との関係を示した図である。
トディテクタの出力との関係を示した図である。
【図３】 被測定面と距離とフォーカスエラー信号の出
力の関係を示す図である。
力の関係を示す図である。
１…光源、２…コリメータレンズ、３…偏光ビームスプ
リッタ、４…１／４波長板、５…対物レンズ、６…被測
定面、７…結像レンズ、８…第１のビームスプリッタ、
９…第２のビームスプリッタ、１１…第１のピンホール
フィルタ、１２…第１のフォトディテクタ、１３…第２
のピンホールフィルタ、１４…第２のフォトディテク
タ、１５…第３のピンホールフィルタ、１６…第３のフ
ォトディテクタ。
リッタ、４…１／４波長板、５…対物レンズ、６…被測
定面、７…結像レンズ、８…第１のビームスプリッタ、
９…第２のビームスプリッタ、１１…第１のピンホール
フィルタ、１２…第１のフォトディテクタ、１３…第２
のピンホールフィルタ、１４…第２のフォトディテク
タ、１５…第３のピンホールフィルタ、１６…第３のフ
ォトディテクタ。
Claims (4)
- 【請求項１】 光源よりの光ビームを対物レンズを介し
て被測定面に集光し、その反射光を受光してフォーカス
エラー信号を得、該フォーカスエラー信号より被測定面
と対物レンズ集光点の距離を算出する光学式変位センサ
において、前記被測定面よりの反射光を前記対物レンズ
を通して受光する第１の光束分岐手段と、該第１の光束
分岐手段によって分岐された一方の光束の集光点の手前
側に配置された第１のビーム径検出手段と、分岐された
もう一方の光束をさらに分岐する第２の光束分岐手段
と、該第２の光束分岐手段によって分岐されたそれぞれ
の光束の集光点の後ろ側で、微少量だけずらして配置さ
れた第２，第３のビーム径検出手段と、各ビーム径検出
手段の出力信号より、被測定面と対物レンズ集光点の距
離を演算する信号処理装置とを備え、近接した２本のフ
ォーカスエラー信号を用いて変位を求めることを特徴と
した光学式変位センサ。 - 【請求項２】 前記ビーム径検出手段が、ピンホールフ
ィルタとフォトダイオードとからなることを特徴とした
請求項１記載の光学式変位センサ。 - 【請求項３】 前記ビーム径検出手段が、同心円状に領
域分割された２分割フォトダイオードであることを特徴
とした請求項１記載の光学式変位センサ。 - 【請求項４】 前記信号処理装置が、前記第１，第２，
第３の３つのビーム径検出手段それぞれの信号の強度を
調整する第１，第２，第３のボリュームを有し、前記３
つの信号の最大値をほぼ同じ大きさにすることを特徴と
した請求項１記載の光学式変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29954096A JPH10122813A (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | 光学式変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29954096A JPH10122813A (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | 光学式変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10122813A true JPH10122813A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17873941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29954096A Pending JPH10122813A (ja) | 1996-10-23 | 1996-10-23 | 光学式変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10122813A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098500A1 (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-20 | Olympus Corporation | 合焦情報取得用検出装置及びそれを用いた撮像装置 |
| US7345706B2 (en) | 2002-08-23 | 2008-03-18 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Auto focus system |
| CN113137924A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学测试系统及其方法 |
-
1996
- 1996-10-23 JP JP29954096A patent/JPH10122813A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7345706B2 (en) | 2002-08-23 | 2008-03-18 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Auto focus system |
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| CN113137924B (zh) * | 2020-01-17 | 2023-09-05 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 光学测试系统及其方法 |
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