JPH0776748B2 - 無機物元素濃度測定装置 - Google Patents
無機物元素濃度測定装置Info
- Publication number
- JPH0776748B2 JPH0776748B2 JP63130485A JP13048588A JPH0776748B2 JP H0776748 B2 JPH0776748 B2 JP H0776748B2 JP 63130485 A JP63130485 A JP 63130485A JP 13048588 A JP13048588 A JP 13048588A JP H0776748 B2 JPH0776748 B2 JP H0776748B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- light
- rotary
- grating
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/44—Electric circuits
- G01J2001/4446—Type of detector
- G01J2001/446—Photodiode
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J2003/2866—Markers; Calibrating of scan
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2889—Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry
- G01J2003/2893—Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry with rotating grating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は合金に包含されている無機物元素の濃度を測定
する装置に係るもので、詳しくは少量の無機物を含む合
金の分析に適合した無機物元素濃度測定装置に関するも
のである。
する装置に係るもので、詳しくは少量の無機物を含む合
金の分析に適合した無機物元素濃度測定装置に関するも
のである。
一般に使用されている無機物元素濃度測定装置は、第７
図に示したように、測定しようとするサンプルＳの構成
元素を原子化させて光Ｌを発光するグロー放電管10、該
グロー放電管10から発生した光Ｌを回折して光の強度を
検知するスペクトロメータ20、前記グロー放電管10の内
部を適正電圧に維持しながらアルゴンガスを供給する真
空維持装置及びアルゴンガス供給システム30、前記グロ
ー放電管10に高電圧を印加する高電圧電源供給器40、前
記スペクトロメータ20から出力された信号をディジタル
信号に変換して増幅するアナログ／ディジタル変換及び
増幅器（以下、A/D変換及び増幅器と称す）50、該A/D変
換及び増幅器50から出力されたディジタル信号を処理し
てサンプルＳの構成元素の成分と強度を計算し且つ測定
装置を制御するコンピュータ60とで構成されている。
図に示したように、測定しようとするサンプルＳの構成
元素を原子化させて光Ｌを発光するグロー放電管10、該
グロー放電管10から発生した光Ｌを回折して光の強度を
検知するスペクトロメータ20、前記グロー放電管10の内
部を適正電圧に維持しながらアルゴンガスを供給する真
空維持装置及びアルゴンガス供給システム30、前記グロ
ー放電管10に高電圧を印加する高電圧電源供給器40、前
記スペクトロメータ20から出力された信号をディジタル
信号に変換して増幅するアナログ／ディジタル変換及び
増幅器（以下、A/D変換及び増幅器と称す）50、該A/D変
換及び増幅器50から出力されたディジタル信号を処理し
てサンプルＳの構成元素の成分と強度を計算し且つ測定
装置を制御するコンピュータ60とで構成されている。
そして、前記グロー放電管10は、内部作用空間11が、サ
ンプルＳとウインドー12に依り密閉され、高電圧が印加
するアノード13及びカソード14が具備されて、該カソー
ド14に前記サンプルＳが連結されることに依り、該サン
プルＳはカソード14の役割をするように成っている。
ンプルＳとウインドー12に依り密閉され、高電圧が印加
するアノード13及びカソード14が具備されて、該カソー
ド14に前記サンプルＳが連結されることに依り、該サン
プルＳはカソード14の役割をするように成っている。
又、前記スペクトロメータ20には、ケーシング21の所定
部位に前記グロー放電管10から発生した光Ｌが通過する
ウインドー22が設けられ、前記ケーシング21内部には、
前記光Ｌを集束する集束レンズ23、その集束された光Ｌ
を回折するグレーティング24、入射光の経路に設けられ
る入口側スリット25、前記グレーティング24で回折され
た光Ｌが通過する数個の出口側スリット26を具備したス
リット板27、及びそれら出口側スリット26を通過した回
折光の強度を測定する光電子増倍管28とがそれぞれ設け
られている。更に、該光電子増倍管28及び出口側スリッ
ト26は前記グレーティング24で回折された多くの波長の
中で、分析に必要な波長が通過し得る経路に設けられて
いる。
部位に前記グロー放電管10から発生した光Ｌが通過する
ウインドー22が設けられ、前記ケーシング21内部には、
前記光Ｌを集束する集束レンズ23、その集束された光Ｌ
を回折するグレーティング24、入射光の経路に設けられ
る入口側スリット25、前記グレーティング24で回折され
た光Ｌが通過する数個の出口側スリット26を具備したス
リット板27、及びそれら出口側スリット26を通過した回
折光の強度を測定する光電子増倍管28とがそれぞれ設け
られている。更に、該光電子増倍管28及び出口側スリッ
ト26は前記グレーティング24で回折された多くの波長の
中で、分析に必要な波長が通過し得る経路に設けられて
いる。
このように構成された従来の無機物元素濃度測定装置の
作用を説明すると次のようである。
作用を説明すると次のようである。
まず、合金に包含された元素の濃度が既知の標準サンプ
ルＳをグロー放電管10に付着せしめ、コンピュータ60に
依り調整される電源供給器40と真空維持装置及びアルゴ
ンガス供給システム30とに依り前記グロー放電管10の内
部を適切な真空度（例えば10−10-1Torr）に維持しなが
らアルゴンガスを注入した後、電源供給器40により高電
圧を印加すると、アノード13とカソード14の間に形成さ
れた電場によりアルゴンガスが標準サンプルＳ側に加速
されて衝突しながら標準サンプルＳの成分元素の原子を
分離させる。その分離された元素の原子はアルゴンガス
及び電極間の電子と相互衝突し、その衝突過程で原子は
エネルギーを吸収して基低状態から高いエネルギー準位
に励起される。次いで、励起された原子達はすぐ基低状
態に還元されながら原子の共鳴振動数に該当する光Ｌを
放出し、電圧が印加する間、このような状態が継続され
る。従って標準サンプルＳを構成するすべての元素の共
鳴振動数がグロー放電管10から放出され、その放出され
た光Ｌは前記グロー放電管10に付着したウインドー12を
経てスペクトロメータ20に付着したウインドー22に入射
し、再び集束レンズ23と入口側スリット25を経てグレー
ティング24に集束される。その后、該グレーティング24
で集束された光Ｌは波長別に分離されながら互いに異る
角度に回折され、光電子増倍管28に依り波長別に強度が
測定される。
ルＳをグロー放電管10に付着せしめ、コンピュータ60に
依り調整される電源供給器40と真空維持装置及びアルゴ
ンガス供給システム30とに依り前記グロー放電管10の内
部を適切な真空度（例えば10−10-1Torr）に維持しなが
らアルゴンガスを注入した後、電源供給器40により高電
圧を印加すると、アノード13とカソード14の間に形成さ
れた電場によりアルゴンガスが標準サンプルＳ側に加速
されて衝突しながら標準サンプルＳの成分元素の原子を
分離させる。その分離された元素の原子はアルゴンガス
及び電極間の電子と相互衝突し、その衝突過程で原子は
エネルギーを吸収して基低状態から高いエネルギー準位
に励起される。次いで、励起された原子達はすぐ基低状
態に還元されながら原子の共鳴振動数に該当する光Ｌを
放出し、電圧が印加する間、このような状態が継続され
る。従って標準サンプルＳを構成するすべての元素の共
鳴振動数がグロー放電管10から放出され、その放出され
た光Ｌは前記グロー放電管10に付着したウインドー12を
経てスペクトロメータ20に付着したウインドー22に入射
し、再び集束レンズ23と入口側スリット25を経てグレー
ティング24に集束される。その后、該グレーティング24
で集束された光Ｌは波長別に分離されながら互いに異る
角度に回折され、光電子増倍管28に依り波長別に強度が
測定される。
以下、標準サンプルＳが３種類の元素を包含している場
合を例をあげて説明する。
合を例をあげて説明する。
すなわち、グロー放電管10から放出される光Ｌには三種
類の共鳴振動数F1，F2，F3がそれぞれまじって放出さ
れ、スペクトロメータ20のグレーティング24で異る角度
に回折されて出口側スリット26を通過し、光電子増倍管
28がF1，F2，F3の振動数を有する光の強度を測定する。
次いで、その光電子増倍管で測定された光Ｌの強度I1，
I2，I3はA/D変換帯及び幅器50を経てディジタル信号に
変換且つ増幅されてコンピュータ60に記憶される。この
時、コンピュータ60に記憶される強度I1，I2，I3は既知
の標準サンプルＳの濃度C1，C2，C3に該当する強度であ
る。更に、以上の標準サンプルＳの測定が終わった後、
元素の種類が標準サンプルＳと同様で且つ濃度は未知の
合金をその標準サンプルＳと交替付着し、前述の過程と
同様な測定を行うと、その未知の合金の三元素の濃度
C1′，C2′，C3′に該当する強度Ｉ′1,I′2,I′3がコ
ンピュータ60に入力され、コンピュータ60内のソフトウ
エアーによりそれらＩ′1,I′2,I′3とI1，I2，I3とが
比較されて未知の濃度C1′，C2′，C3′の値が計算され
ることにより測定しようとする元素の濃度が測定され
る。
類の共鳴振動数F1，F2，F3がそれぞれまじって放出さ
れ、スペクトロメータ20のグレーティング24で異る角度
に回折されて出口側スリット26を通過し、光電子増倍管
28がF1，F2，F3の振動数を有する光の強度を測定する。
次いで、その光電子増倍管で測定された光Ｌの強度I1，
I2，I3はA/D変換帯及び幅器50を経てディジタル信号に
変換且つ増幅されてコンピュータ60に記憶される。この
時、コンピュータ60に記憶される強度I1，I2，I3は既知
の標準サンプルＳの濃度C1，C2，C3に該当する強度であ
る。更に、以上の標準サンプルＳの測定が終わった後、
元素の種類が標準サンプルＳと同様で且つ濃度は未知の
合金をその標準サンプルＳと交替付着し、前述の過程と
同様な測定を行うと、その未知の合金の三元素の濃度
C1′，C2′，C3′に該当する強度Ｉ′1,I′2,I′3がコ
ンピュータ60に入力され、コンピュータ60内のソフトウ
エアーによりそれらＩ′1,I′2,I′3とI1，I2，I3とが
比較されて未知の濃度C1′，C2′，C3′の値が計算され
ることにより測定しようとする元素の濃度が測定され
る。
併しながら、このような従来の無機物元素濃度測定装置
は、前述したように、測定しようとする元素の数に該当
するだけの光電子増倍管を必要とするために、製品の原
価が上昇する問題点があり、それら光電子増倍管を動作
させるために高電圧回路が複雑になり且つ完全装置が追
加される欠点があった。
は、前述したように、測定しようとする元素の数に該当
するだけの光電子増倍管を必要とするために、製品の原
価が上昇する問題点があり、それら光電子増倍管を動作
させるために高電圧回路が複雑になり且つ完全装置が追
加される欠点があった。
又、グレーティングから回折された光の分解能（resolu
tion）を上昇させるためには、そのグレーティングから
光電子増倍管を成るべく遠距離に設けなければならない
ために、スペクトロメータが大型化されて製品の容積が
大きくなる等の問題点があった。
tion）を上昇させるためには、そのグレーティングから
光電子増倍管を成るべく遠距離に設けなければならない
ために、スペクトロメータが大型化されて製品の容積が
大きくなる等の問題点があった。
このような課題を解決するために本発明者達は苦心惨憺
研究を続けた結果次のような装置を創案するに至った。
すなわち、グロー放電管から発生する光Ｌを回転式グレ
ーティングで回折し、只１個の光電子増倍管に依りその
回折された光の強度を測定し、レーザビームLBの発生器
と、反射鏡及びフォトダイオードとを利用してその回折
光の波長を検知して簡便にサンプルＳの元素の成分と濃
度を分析し得るようにスペクトロメータを構成し、該ス
ペクトロメータをA/D変換及び増幅器並びにコンピュー
タ等に連結させることに依り、製品原価が減少し且つ製
品の小型化が可能な無機物元素濃度測定装置を提供しよ
うとする。
研究を続けた結果次のような装置を創案するに至った。
すなわち、グロー放電管から発生する光Ｌを回転式グレ
ーティングで回折し、只１個の光電子増倍管に依りその
回折された光の強度を測定し、レーザビームLBの発生器
と、反射鏡及びフォトダイオードとを利用してその回折
光の波長を検知して簡便にサンプルＳの元素の成分と濃
度を分析し得るようにスペクトロメータを構成し、該ス
ペクトロメータをA/D変換及び増幅器並びにコンピュー
タ等に連結させることに依り、製品原価が減少し且つ製
品の小型化が可能な無機物元素濃度測定装置を提供しよ
うとする。
以下、本発明に依る実施例を図面を用いて詳細に説明す
るが、本発明は特許請求の範囲をはずれない限り本実施
例に限定されるものではないことは勿論である。
るが、本発明は特許請求の範囲をはずれない限り本実施
例に限定されるものではないことは勿論である。
第１図並びに第２図は本発明の無機物元素濃度測定装置
の概略構成図で、図面に示したように、100はグロー放
電により測定しようとするサンプルの構成元素を原子化
して発光させるグロー放電管を示し、200はそのグロー
放電管100からケーシング200′のウインドー201を通っ
て入射する光Ｌを分光し、強度を検出するスペクトロメ
ータを示す。300はそのスペクトロメータ200から発生さ
れた電気的信号をディジタル信号に変換且つ増幅するA/
D変換及び増幅器を示し、400はデータを分析して測定装
置を制御するコンピュータを示している。
の概略構成図で、図面に示したように、100はグロー放
電により測定しようとするサンプルの構成元素を原子化
して発光させるグロー放電管を示し、200はそのグロー
放電管100からケーシング200′のウインドー201を通っ
て入射する光Ｌを分光し、強度を検出するスペクトロメ
ータを示す。300はそのスペクトロメータ200から発生さ
れた電気的信号をディジタル信号に変換且つ増幅するA/
D変換及び増幅器を示し、400はデータを分析して測定装
置を制御するコンピュータを示している。
前記スペクトロメータ200はレーザビームLBを発生する
レーザビーム発生器203、レーザビームを集束する集束
レンズ211、集束レンズ202に集束された光Ｌを回折する
回転式グレーティング206、前記レーザビームLBを反射
する回転式反射鏡207、前記回転式グレーティング206及
び回転式反射鏡207が上・下部に付着されて駆動モータ2
04に依り高速回転する回転多面体205とを具備すると共
に、前記回転式グレーティング206で回折された回折光
を測定する一個の光電子増倍管209、反射鏡208の両側に
設けた入・出口側スリット210,210′、前記回転式反射
鏡207から反射されたレーザビームLBが通過する各スリ
ット212を円弧状に配列させた円弧状にスリット板213、
それらスリット212の後方に設けられてレーザビームLB
を感知し且つその可変する回折光の波長を検知する各フ
ォトダイオード215、前記レーザビームLBの走査開始点
を知らせるスリット212′及びその走査開始点感知用フ
ォトダイオード214とから構成されている。
レーザビーム発生器203、レーザビームを集束する集束
レンズ211、集束レンズ202に集束された光Ｌを回折する
回転式グレーティング206、前記レーザビームLBを反射
する回転式反射鏡207、前記回転式グレーティング206及
び回転式反射鏡207が上・下部に付着されて駆動モータ2
04に依り高速回転する回転多面体205とを具備すると共
に、前記回転式グレーティング206で回折された回折光
を測定する一個の光電子増倍管209、反射鏡208の両側に
設けた入・出口側スリット210,210′、前記回転式反射
鏡207から反射されたレーザビームLBが通過する各スリ
ット212を円弧状に配列させた円弧状にスリット板213、
それらスリット212の後方に設けられてレーザビームLB
を感知し且つその可変する回折光の波長を検知する各フ
ォトダイオード215、前記レーザビームLBの走査開始点
を知らせるスリット212′及びその走査開始点感知用フ
ォトダイオード214とから構成されている。
そして、前記スペクトロメータ200に設けられた各フォ
トダイオード214,215は増幅器500を経てコンピュータ40
0に連結し、前記駆動モータ204は駆動回路部600を経て
コンピュータ400に連結される。又、前記レーザビームL
B発生器203には半導体レーザを使用するのが好ましく、
前記回転式グレーティング206はホログラフィ技術を利
用して作られたホログラムグレーティングを使用するの
が好ましい。そして、前記レーザビームLBを集束する光
学系の光軸は所定角度離角させてレーザビームLBと測定
光Ｌの経路が接しないようにする。図中、未説明符号70
0はサンプルＳと、ウインドー104により密閉された作用
空間101を適正電圧に維持しながらその作用空間101にア
ルゴンガスを供給する真空維持装置及びアルゴンガス供
給システムを示したもので、800はグロー放電管100のア
ノード102とカソード103に高電圧を印加する高圧電源供
給器を示す。又、Ｍは回転式反射鏡207の各面の中心点
を示し、該Ｍ点は常に前記スリット板213の曲率中心と
一致するように成っている。
トダイオード214,215は増幅器500を経てコンピュータ40
0に連結し、前記駆動モータ204は駆動回路部600を経て
コンピュータ400に連結される。又、前記レーザビームL
B発生器203には半導体レーザを使用するのが好ましく、
前記回転式グレーティング206はホログラフィ技術を利
用して作られたホログラムグレーティングを使用するの
が好ましい。そして、前記レーザビームLBを集束する光
学系の光軸は所定角度離角させてレーザビームLBと測定
光Ｌの経路が接しないようにする。図中、未説明符号70
0はサンプルＳと、ウインドー104により密閉された作用
空間101を適正電圧に維持しながらその作用空間101にア
ルゴンガスを供給する真空維持装置及びアルゴンガス供
給システムを示したもので、800はグロー放電管100のア
ノード102とカソード103に高電圧を印加する高圧電源供
給器を示す。又、Ｍは回転式反射鏡207の各面の中心点
を示し、該Ｍ点は常に前記スリット板213の曲率中心と
一致するように成っている。
このように構成された本発明に依る無機物元素濃度測定
装置の作用効果を説明すると次のようである。すなわ
ち、グロー放電管100に既知の元素濃度の標準サンプル
を付着し、前述したように、そのグロー放電管100を動
作させると、そのグロー放電管100から光Ｌが放出し、
該光Ｌはスペクトロメータ200のウインドー201を通って
集束レンズ202を通過し、第２図に示したように時計方
向に高速回転する回転多面体205のグレーティング206に
集束される。すると、集束された光Ｌは第３図に示した
ように次の公式により波長別に回折される。
装置の作用効果を説明すると次のようである。すなわ
ち、グロー放電管100に既知の元素濃度の標準サンプル
を付着し、前述したように、そのグロー放電管100を動
作させると、そのグロー放電管100から光Ｌが放出し、
該光Ｌはスペクトロメータ200のウインドー201を通って
集束レンズ202を通過し、第２図に示したように時計方
向に高速回転する回転多面体205のグレーティング206に
集束される。すると、集束された光Ｌは第３図に示した
ように次の公式により波長別に回折される。
ｄ（sinθｉ＋sinθｍ）＝ｍλ（１）ここで、ｄは回折
のグルーブ間隙、θｉは回折板に入射する角度、θｍは
回折角度、ｍはオーダ、λは波長を示す。
のグルーブ間隙、θｉは回折板に入射する角度、θｍは
回折角度、ｍはオーダ、λは波長を示す。
ところで、集束レンズ202を通過した光Ｌが回転多面体2
05の回転式グレーティング206面にθｉとして入射する
と、第３図に示したように波長に従って回折角θｍに回
折され、その回折された光の中で第４図に示したように
入口側スリット210を通過し得るようにθｍがθｒと一
致する波長の光のみが、反射鏡208で反射されて光電子
増倍管209に検知されるが、前記回転多面体205は回転し
ながら入射角θｉと回折角θｍが継続変化するために、
その回転多面体205の回転角度に従い反射鏡208で反射さ
れて光電子増倍管209で検知される光の波長は周期的に
継続変化される。結局、回転多面体205の回転に依りθ
ｉが可変するに従い光電子増倍管は各元素の波長の光も
検知し得るようになる。又、前記のようにグロー放電管
100から放出された光Ｌが回転式グレーティング206で回
折されて光電子増倍管209に検知されると同時に、レー
ザビーム発生器203からレーザビームLBが発生して前記
回転式グレーティング206と共に時計方向に回転する回
転式反射鏡207に入射され、第５図に示したようにＢか
らＣ方向に走査される。すると、フォトダイオード214
は回転多面体205の各面が走査する開始点を検知し、波
長分析用フォトダイオード215は回転多面体205の回転に
より反射経路が継続変化するレーザビームLBを検知す
る。
05の回転式グレーティング206面にθｉとして入射する
と、第３図に示したように波長に従って回折角θｍに回
折され、その回折された光の中で第４図に示したように
入口側スリット210を通過し得るようにθｍがθｒと一
致する波長の光のみが、反射鏡208で反射されて光電子
増倍管209に検知されるが、前記回転多面体205は回転し
ながら入射角θｉと回折角θｍが継続変化するために、
その回転多面体205の回転角度に従い反射鏡208で反射さ
れて光電子増倍管209で検知される光の波長は周期的に
継続変化される。結局、回転多面体205の回転に依りθ
ｉが可変するに従い光電子増倍管は各元素の波長の光も
検知し得るようになる。又、前記のようにグロー放電管
100から放出された光Ｌが回転式グレーティング206で回
折されて光電子増倍管209に検知されると同時に、レー
ザビーム発生器203からレーザビームLBが発生して前記
回転式グレーティング206と共に時計方向に回転する回
転式反射鏡207に入射され、第５図に示したようにＢか
らＣ方向に走査される。すると、フォトダイオード214
は回転多面体205の各面が走査する開始点を検知し、波
長分析用フォトダイオード215は回転多面体205の回転に
より反射経路が継続変化するレーザビームLBを検知す
る。
それで、測定しようとする元素の波長を有する光Ｌが光
電子増倍管209に依り検知される時、回転多面体205の回
転反射鏡207で同時に反射されるレーザビームLBの通過
する位置に各フォトダイオード215を設けることによ
り、その測定しようとする元素の波長を有する回折光の
強度を前記光電子増倍管209で検知し得ると同時に、前
記回転多面体205で反射されるレーザビームLBを前記各
フォトダイオード215で検知し得る。結局、前記光電子
増倍管209に依り元素の強度が検知されると同時に、前
記フォトダイオード215に依りその元素の成分（種類）
を検知し得るようになる。
電子増倍管209に依り検知される時、回転多面体205の回
転反射鏡207で同時に反射されるレーザビームLBの通過
する位置に各フォトダイオード215を設けることによ
り、その測定しようとする元素の波長を有する回折光の
強度を前記光電子増倍管209で検知し得ると同時に、前
記回転多面体205で反射されるレーザビームLBを前記各
フォトダイオード215で検知し得る。結局、前記光電子
増倍管209に依り元素の強度が検知されると同時に、前
記フォトダイオード215に依りその元素の成分（種類）
を検知し得るようになる。
例えば、測定用合金に含まれている種々の元素の中で、
３種の元素を測定する場合は、３種の元素の共鳴振動数
F1，F2，F3が光電子増倍管209に検知される回転多面体2
05の各角度θ1，θ2，θ3を前記公式（１）に依り求め
た後、前記回転多面体205の回転角度がθ1，θ2，θ3の
場合にレーザビームLBが前記回転式反射鏡207により反
射して集束される各位置P1，P2，P3を光の反射法則に依
り求めて、これら集束位置P1，P2，P3に各フォトダイオ
ード215を設けるのである。このように設置された状態
で、既知の濃度の３種類の元素を含む標準サンプルＳを
グロー放電管100に付着し、該グロー放電管100、レーザ
ビーム発生器203及び回転多面体205を動作させると、前
記グロー放電管100から光が放出し、その光Ｌはウイン
ドウー201と集束レンズ202を通って回転多面体205の回
転式グレーティング206に入射して回折される。又、レ
ーザビームLBがＢからＣに向かって走査しながら回転多
面体205の各面毎に第６図（Ａ）に示したようにフォト
ダイオード214から走査開始を現す信号b0が発生され、
各波長分析用フォトダイオード215からは回転多面体205
の各回転角度θ1，θ2，θ3から検知された信号b1，
b2，b3が発生される。同時に、同じ回転角度θ1，θ2，
θ3から各元素の共鳴振動数F1，F2，F3の光が光電子増
倍管209に依り検知されて各元素の強度I1，I2，I3が求
められる。若し、θ1，θ2、或いは、θ3の中で回転多
面体の回転角度がθ2にある場合、光電子増倍管209から
何等の信号も検知されない時は、共鳴振動数F2を有する
元素が標準サンプルＳに含まれていないことになる。
又、Ｎ面体の回転多面体205を使用して一個のサンプル
を測定する場合、ｍ回回転させると、各フォトダイオー
ド214,215はｍ×Ｎ回の信号をコンピュータ400に送り、
光電子増倍管209も各元素当りｍ×Ｎ回の強度を測定す
るので、そのコンピュータ400はその値を平均するよう
になり、各共鳴振動数F1，F2，F3を有する元素の各平均
強度1，2，3が求められ、該値は既知の元素の各
濃度C1，C2，C3に該当する値としてコンピュータ400に
記憶される。
３種の元素を測定する場合は、３種の元素の共鳴振動数
F1，F2，F3が光電子増倍管209に検知される回転多面体2
05の各角度θ1，θ2，θ3を前記公式（１）に依り求め
た後、前記回転多面体205の回転角度がθ1，θ2，θ3の
場合にレーザビームLBが前記回転式反射鏡207により反
射して集束される各位置P1，P2，P3を光の反射法則に依
り求めて、これら集束位置P1，P2，P3に各フォトダイオ
ード215を設けるのである。このように設置された状態
で、既知の濃度の３種類の元素を含む標準サンプルＳを
グロー放電管100に付着し、該グロー放電管100、レーザ
ビーム発生器203及び回転多面体205を動作させると、前
記グロー放電管100から光が放出し、その光Ｌはウイン
ドウー201と集束レンズ202を通って回転多面体205の回
転式グレーティング206に入射して回折される。又、レ
ーザビームLBがＢからＣに向かって走査しながら回転多
面体205の各面毎に第６図（Ａ）に示したようにフォト
ダイオード214から走査開始を現す信号b0が発生され、
各波長分析用フォトダイオード215からは回転多面体205
の各回転角度θ1，θ2，θ3から検知された信号b1，
b2，b3が発生される。同時に、同じ回転角度θ1，θ2，
θ3から各元素の共鳴振動数F1，F2，F3の光が光電子増
倍管209に依り検知されて各元素の強度I1，I2，I3が求
められる。若し、θ1，θ2、或いは、θ3の中で回転多
面体の回転角度がθ2にある場合、光電子増倍管209から
何等の信号も検知されない時は、共鳴振動数F2を有する
元素が標準サンプルＳに含まれていないことになる。
又、Ｎ面体の回転多面体205を使用して一個のサンプル
を測定する場合、ｍ回回転させると、各フォトダイオー
ド214,215はｍ×Ｎ回の信号をコンピュータ400に送り、
光電子増倍管209も各元素当りｍ×Ｎ回の強度を測定す
るので、そのコンピュータ400はその値を平均するよう
になり、各共鳴振動数F1，F2，F3を有する元素の各平均
強度1，2，3が求められ、該値は既知の元素の各
濃度C1，C2，C3に該当する値としてコンピュータ400に
記憶される。
標準サンプルＳに依る測定が終わった後、元素の成分
（種類）は既知であるが濃度が未知の合金のサンプルを
前述と同様に測定すると、それら元素の各濃度C1′，
C2′，C3′に該当する平均強度′1，′2，′3が
光電子増倍管209と、A/D変換及び増幅器に依り求めら
れ、コンピュータ400に記憶されてそのコンピュータ400
に内蔵された分析用ソフトウエアーが1，2，3と
′1，′2，′3を比較し、未知の各濃度C1′，
C2′，C3′の値を計算することに依り測定しようとする
各元素の包含の有無、並びに濃度を求めることがてき
る。
（種類）は既知であるが濃度が未知の合金のサンプルを
前述と同様に測定すると、それら元素の各濃度C1′，
C2′，C3′に該当する平均強度′1，′2，′3が
光電子増倍管209と、A/D変換及び増幅器に依り求めら
れ、コンピュータ400に記憶されてそのコンピュータ400
に内蔵された分析用ソフトウエアーが1，2，3と
′1，′2，′3を比較し、未知の各濃度C1′，
C2′，C3′の値を計算することに依り測定しようとする
各元素の包含の有無、並びに濃度を求めることがてき
る。
前述したように本発明による無機物元素濃度測定装置は
測定しようとする無機物元素の種類に関係なく只１個の
光電子増倍管を使用し、且つ、低廉で小型のフォトダイ
オードを用いることにより無機物元素の濃度を測定し得
るので、従来の装置に比べて製造原価が減少され、小型
化された製品が得られる。又、従来装置に比べて光電子
増倍管用の回路を一層簡素化し得る効果がある。
測定しようとする無機物元素の種類に関係なく只１個の
光電子増倍管を使用し、且つ、低廉で小型のフォトダイ
オードを用いることにより無機物元素の濃度を測定し得
るので、従来の装置に比べて製造原価が減少され、小型
化された製品が得られる。又、従来装置に比べて光電子
増倍管用の回路を一層簡素化し得る効果がある。
第１図は本発明の無機物元素濃度測定装置の概略構成
図、第２図は第１図のスペクトロメータをＡ方向から見
た側面図、第３図乃至第６図は本発明によるスペクトロ
メータの作用を示した図面で、第３図はグレーティング
に依る光の回折を示した説明図、第４図は回折角度に従
い一定波長の光のみが強度測定用光電子増倍管に到達す
るのを示した説明図、第５図は光電子増倍管に依り光の
強度が測定される時、どの波長の光が測定されるかを検
知するレーザビーム走査機構図、第６図A,Bは回転多面
体の一面回転時発生したフォトダイオード及び光電子増
倍管の信号波形図、第７図は従来の無機物元素濃度測定
装置の概略構成図で、 図中、 100……グロー放電管、200……スペクトロメータ、201
……ウインドー、202……集束レンズ、203……レーザビ
ーム発生器、204……駆動モータ、205……回転多面体、
206……回転式グレーティング、207……回転式反射鏡、
208……反射鏡、209……光電子増倍管、210,210′,212,
212′……スリット、211……集束レンズ、213……スリ
ット板、214,215……フォトダイオード、300……A/D変
換及び増幅器、400……コンピュータ、500……増幅器、
Ｌ……光、LB……レーザビーム、Ｍ……中心点。
図、第２図は第１図のスペクトロメータをＡ方向から見
た側面図、第３図乃至第６図は本発明によるスペクトロ
メータの作用を示した図面で、第３図はグレーティング
に依る光の回折を示した説明図、第４図は回折角度に従
い一定波長の光のみが強度測定用光電子増倍管に到達す
るのを示した説明図、第５図は光電子増倍管に依り光の
強度が測定される時、どの波長の光が測定されるかを検
知するレーザビーム走査機構図、第６図A,Bは回転多面
体の一面回転時発生したフォトダイオード及び光電子増
倍管の信号波形図、第７図は従来の無機物元素濃度測定
装置の概略構成図で、 図中、 100……グロー放電管、200……スペクトロメータ、201
……ウインドー、202……集束レンズ、203……レーザビ
ーム発生器、204……駆動モータ、205……回転多面体、
206……回転式グレーティング、207……回転式反射鏡、
208……反射鏡、209……光電子増倍管、210,210′,212,
212′……スリット、211……集束レンズ、213……スリ
ット板、214,215……フォトダイオード、300……A/D変
換及び増幅器、400……コンピュータ、500……増幅器、
Ｌ……光、LB……レーザビーム、Ｍ……中心点。
Claims (9)
- 【請求項１】サンプル（Ｓ）の元素に該当する光（Ｌ）
を発光するグロー放電管（100）、該グロー放電管（10
0）から入射する光（Ｌ）を集束して回折検出するスペ
クトロメータ（200）、該スペクトロメータ（200）から
発生する電気的信号をディジタル信号に変換して増幅す
るA/D変換及び増幅器（300）、データを分析且つ制御す
るコンピュータ（400）とを具備した無機物元素濃度測
定装置であって、 前記グロー放電管（100）から入射する光（Ｌ）の強度
を只１個の光電子増倍管（209）を使用して測定すると
共に、レーザビーム（LB）を使用して前記グロー放電管
（100）から入射する光（Ｌ）の波長を各フォトダイオ
ード（214）（215）により検知し得るように前記スペク
トロメータ（200）を設置し、前記各フォトダイオード
（214）（215）を増幅器（500）を経て前記コンピュー
タ（400）に連結させて成り、 前記スペクトロメータ（200）が、レーザビーム（LB）
を発生するレーザビーム発生器（203）、そのレーザビ
ーム（LB）を集束する集束レンズ（211）、前記グロー
放電管（100）から入射する光（Ｌ）を集束レンズ（20
2）に集束してその集束された光（Ｌ）を回折する回転
式グレーティング（206）、前記レーザビーム（LB）を
反射する回転式反射鏡（207）、それら各回転式グレー
ティング（206）及び反射鏡（207）が上下部位に付着さ
れて駆動モータ（204）の駆動に依り高速回転する回転
多面体（205）、前記回転式グレーティング（206）で回
折された回折光を反射する反射鏡（208）、その反射光
を検知して強度を測定する一個の光電子増倍管（20
9）、前記反射鏡（208）の入・出口側に設けられる入・
出口側スリット（210）・（210′）、前記回転式反射鏡
（207）で反射されたレーザビーム（LB）が通過する各
スリット（212）を円弧状に配列させたスリット板（21
3）、前記各スリットの后方に位置してレーザビーム（L
B）を感知し且つ可変する回折光の波長を区別する各波
長分析用フォトダイオード（215）、レーザビーム（L
B）の走査開始点を知らせるスリット（212′）、及びそ
の走査開始点を感知するフォトダイオード（214）とに
依り構成されたことを特徴とする無機物元素濃度測定装
置。 - 【請求項２】レーザビーム（LB）を集束する光学系の光
軸と、測定しようとする光を集束する光学系の光軸とが
互いに接しないようにそれら光学系の光軸を所定角度離
隔させたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
無機物元素濃度測定装置。 - 【請求項３】前記レーザビーム（LB）が入射する前記回
転式反射鏡（207）の各面の中心点（Ｍ）が前記スリッ
ト板（213）の曲率中心と一致するように成っているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無機物元素
濃度測定装置。 - 【請求項４】前記レーザビーム発生器（203）が半導体
レーザであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の無機物元素濃度測定装置。 - 【請求項５】前記回転式グレーティング（206）がホロ
グラムグレーティングであることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の無機物元素濃度測定装置。 - 【請求項６】サンプル（Ｓ）に含まれる元素の種類に応
じた波長成分を含む光（Ｌ）を発生する手段（100）
と、 回転可能に設けられ、光（Ｌ）を回折する回転式グレー
ティング（206）と、 該回転式グレーティングを回転させる駆動手段（204）
と、 該回転式グレーティングにより回折された回折光の強度
を測定する手段（209,300）と、 該回転式グレーティングの複数の回転位置を検出する手
段と、 該強度測定手段と該回転位置検出手段とに接続され、該
回転式グレーティングの複数の回転位置における回折光
の強度を決定する手段（400）とを具備し、 前記回転位置検出手段は、レーザビーム（LB）を発生す
る手段（203）と、 前記回転式グレーティングの回転と連動して回転し、該
レーザビームを反射する回転式反射鏡（207）と、 該回転式反射鏡により反射されたレーザビームを、該回
転式グレーティングの複数の回転位置に対応して検出す
るようにそれぞれ設けられた複数の光検出器（214,21
5）とを含む無機物元素濃度測定装置。 - 【請求項７】前記回転式グレーティングにより回折され
た回折光を反射して前記強度測定手段へ入射させる反射
鏡（208）をさらに具備する特許請求の範囲第６項記載
の無機物元素濃度測定装置。 - 【請求項８】サンプル（Ｓ）の元素に該当する光を発光
するグロー放電管（100）と、 レーザビーム（LB）を発生するレーザビーム発生器（20
3）と、 前記グロー放電管（100）から入射する光（Ｌ）を回折
する回転式グレーティング（206）及び前記レーザビー
ム発生器（203）からのレーザビーム（LB）を反射する
回転式反射鏡（207）、又前記回転式グレーティング（2
06）と回転式反射鏡（207）が付着され駆動モータ（20
4）により回転可能な回転多面体（205）と、 前記グレーティング（206）で回折された回折光を反射
する反射鏡（208）と、該反射鏡（208）からの反射光を
検知して強度を測定する一個の光電子増倍管（209）
と、該光電子増倍管（209）から電気的信号をディジタ
ル信号に変換して増幅するA/D変換及び増幅器（300）
と、 前記回転式反射鏡（207）から反射されたレーザビーム
（LB）が通過する各スリット（212）を円弧状に配列さ
せたスリット板（213）と、前記スリット（212）の後方
に位置してレーザビーム（LB）でグロー放電管（100）
から入射する光（Ｌ）の波長を検知するフォトダイオー
ド（215）と、 前記A/D変換及び増幅器（300）、フォトダイオード（21
5）等からのデータを分析且つ制御するコンピュータ（4
00）とを連結させて成ることを特徴とする無機物元素濃
度測定装置。 - 【請求項９】前記スリット（213）にレーザビーム（L
B）の走査開始点を知らせるスリット（212′）が付加さ
れ、該スリット（212′）の後方にその走査開始点を感
知するフォトダイオード（214）が配置されたことを特
徴とする特許請求の範囲第８項記載の無機物元素濃度測
定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019870005527A KR900005331B1 (ko) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 무기질원소 농도측정장치 |
| KR5527/1987 | 1987-05-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63311151A JPS63311151A (ja) | 1988-12-19 |
| JPH0776748B2 true JPH0776748B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=19261863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63130485A Expired - Lifetime JPH0776748B2 (ja) | 1987-05-30 | 1988-05-30 | 無機物元素濃度測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4979123A (ja) |
| JP (1) | JPH0776748B2 (ja) |
| KR (1) | KR900005331B1 (ja) |
| GB (1) | GB2205157B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5153670A (en) * | 1990-01-12 | 1992-10-06 | Physical Optics Corporation | Holographic lippmann-bragg filter in a spectroscopic system |
| US5355815A (en) * | 1993-03-19 | 1994-10-18 | Ag-Chem Equipment Co., Inc. | Closed-loop variable rate applicator |
| US5408315A (en) * | 1993-07-28 | 1995-04-18 | Leco Corporation | Glow discharge analytical instrument for performing excitation and analyzation on the same side of a sample |
| DE19635046A1 (de) * | 1996-08-29 | 1998-03-05 | Nis Ingenieurgesellschaft Mbh | Spektralanalytische Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Elementzusammensetzungen und -konzentrationen |
| EP1393026A1 (en) * | 2001-06-01 | 2004-03-03 | CiDra Corporation | Optical channel monitor |
| US7253897B2 (en) | 2001-06-01 | 2007-08-07 | Cidra Corporation | Optical spectrum analyzer |
| CN101788340A (zh) * | 2010-03-24 | 2010-07-28 | 上海交通大学 | 波长扫描装置 |
| KR102240270B1 (ko) * | 2014-07-21 | 2021-04-14 | 삼성전자주식회사 | 광 변환 모듈 및 광학 측정 시스템 |
| CN115808408B (zh) * | 2023-01-18 | 2023-04-28 | 江苏奥文仪器科技有限公司 | 一种用激光增强辉光放电强度的辉光光谱仪激发装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3229566A (en) * | 1961-11-24 | 1966-01-18 | Cons Electrodynamics Corp | Spectroscopic alignment monitor |
| US3846024A (en) * | 1972-06-12 | 1974-11-05 | Baird Atomic Inc | Optical alignment system for optical spectrometers |
| US4191473A (en) * | 1978-01-09 | 1980-03-04 | Hansch Theodor W | Method of and apparatus for measuring the absolute wavelength of a source of unknown frequency radiation |
| US4575241A (en) * | 1981-04-16 | 1986-03-11 | Baird Corporation | Spectrometer |
| FR2519427A1 (fr) * | 1982-01-04 | 1983-07-08 | Instruments Sa | Dispositif de spectrometrie |
| US4648714A (en) * | 1985-09-11 | 1987-03-10 | University Of Utah | Molecular gas analysis by Raman scattering in intracavity laser configuration |
| JPS6255152U (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-06 | ||
| US4784486A (en) * | 1987-10-06 | 1988-11-15 | Albion Instruments | Multi-channel molecular gas analysis by laser-activated Raman light scattering |
-
1987
- 1987-05-30 KR KR1019870005527A patent/KR900005331B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1988
- 1988-05-26 GB GB8812492A patent/GB2205157B/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-27 US US07/199,765 patent/US4979123A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-30 JP JP63130485A patent/JPH0776748B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2205157B (en) | 1991-07-17 |
| KR880014364A (ko) | 1988-12-23 |
| GB2205157A (en) | 1988-11-30 |
| KR900005331B1 (ko) | 1990-07-27 |
| GB8812492D0 (en) | 1988-06-29 |
| JPS63311151A (ja) | 1988-12-19 |
| US4979123A (en) | 1990-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8553220B2 (en) | Optical device and analyzing apparatus | |
| KR20070087193A (ko) | 펄스화 광대역의 광원을 이용하는 플라즈마 에칭 및 퇴적프로세스의 인-시튜 모니터링 방법 및 장치 | |
| US5212537A (en) | Calibration technique for monochromators and spectrophotometers | |
| JPH0776748B2 (ja) | 無機物元素濃度測定装置 | |
| US20230251132A1 (en) | Multi-dispersive spectrometer | |
| US4752129A (en) | Wavelength modulation derivative spectrometer | |
| JPS5811567B2 (ja) | バツクグラウンドホセイオトモナウゲンシキユウシユウブンコウブンセキオヨビ ゲンシキユウシユウブンコウコウドケイ | |
| KR20030000274A (ko) | 반도체 제조공정에서 실시간 플라즈마 측정과 박막분석을위한 다채널 분광분석기 | |
| JPH07333062A (ja) | 分光器の波長走査機構及びその波長走査方法 | |
| JP7147143B2 (ja) | 分光器および分析装置 | |
| JP3473524B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| JPS59168345A (ja) | 分光分析方法 | |
| JP3126718B2 (ja) | マルチチャネル蛍光分光装置 | |
| KR900005328B1 (ko) | 무기물 분석장치의 분광계 | |
| JP7381952B2 (ja) | 分光器および分析装置 | |
| KR900005330B1 (ko) | 무기질 원소의 농도 측정방법 | |
| JPS6388430A (ja) | 絶対反射率測定装置 | |
| JPH0562943A (ja) | プラズマエツチヤーのエンドポイント検出装置 | |
| KR900005332B1 (ko) | 무기물 원소 농도 분석장치의 스펙트로메타 | |
| CN114878520A (zh) | 一种主动式连续光谱遥测系统 | |
| JPH01250778A (ja) | 光学検出装置 | |
| JP2550650B2 (ja) | 光スペクトラムアナライザ | |
| JP2000074742A (ja) | 分光器および光スペクトラムアナライザ | |
| JPH05340812A (ja) | モノクロメータおよび分光測定器 | |
| JP2001066256A (ja) | 微粒子成分分析装置 |