JPH0774412A - コンデンサ及びパルスレーザ装置 - Google Patents
コンデンサ及びパルスレーザ装置Info
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- JPH0774412A JPH0774412A JP15943193A JP15943193A JPH0774412A JP H0774412 A JPH0774412 A JP H0774412A JP 15943193 A JP15943193 A JP 15943193A JP 15943193 A JP15943193 A JP 15943193A JP H0774412 A JPH0774412 A JP H0774412A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数のコンデンサを並べて配置し、このコン
デンサの冷却システムを設ける場合に、冷却システムの
構成を簡略化できるようなコンデンサを提供すると共
に、そのようなコンデンサを備えた簡略な構成のパルス
レーザ装置を提供する。 【構成】 本発明のコンデンサ１０は、両側に金属電極
１３，１４を有する複数の誘電体１１を並べて配設し、
この複数の誘電体１１の周囲を絶縁体１２で覆って一体
化して形成される。具体的には、複数の誘電体１１を並
列に配設するか、または、直列に配設し、あるいは、直
列及び並列に配設する。そしてまた、直列に配設した誘
電体の金属電極を、絶縁体の外側に引き出すか、あるい
は、絶縁体内部で短絡することも可能である。また、本
発明のパルスレーザ装置は、主放電電極１，２の上流側
及び下流側に前述の構成のコンデンサ１０を配設して構
成される。
デンサの冷却システムを設ける場合に、冷却システムの
構成を簡略化できるようなコンデンサを提供すると共
に、そのようなコンデンサを備えた簡略な構成のパルス
レーザ装置を提供する。 【構成】 本発明のコンデンサ１０は、両側に金属電極
１３，１４を有する複数の誘電体１１を並べて配設し、
この複数の誘電体１１の周囲を絶縁体１２で覆って一体
化して形成される。具体的には、複数の誘電体１１を並
列に配設するか、または、直列に配設し、あるいは、直
列及び並列に配設する。そしてまた、直列に配設した誘
電体の金属電極を、絶縁体の外側に引き出すか、あるい
は、絶縁体内部で短絡することも可能である。また、本
発明のパルスレーザ装置は、主放電電極１，２の上流側
及び下流側に前述の構成のコンデンサ１０を配設して構
成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、誘電体、電極、及び絶
縁物からなるコンデンサに係り、特に、パルスレーザ装
置に使用されるコンデンサの構成の改良に関する。
縁物からなるコンデンサに係り、特に、パルスレーザ装
置に使用されるコンデンサの構成の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、ガスを媒介としたガスレーザ技術
の進歩は著しく、特に、ＴＥＭＡ−ＣＯ2 レーザやエキ
シマレーザなどの短パルスレーザ光を発生させるパルス
レーザ装置は、各種の長所を有することから、一層の開
発が期待されている。また、ガスを媒介としたレーザに
おいて、良好なレーザ発振を得るためには、レーザガス
中で空間的に均一な放電の形成を必要とするが、ＴＥＭ
Ａ−ＣＯ2 レーザやエキシマレーザなどの短パルスレー
ザ光を発生させるパルスレーザ装置においては、レーザ
ガス中で放電が集束し、アーク放電になり易い。そのた
め、このような放電の集束を防止するために、これらの
パルスレーザ装置においては、一般的に、主放電に先立
って予備電離を行っている。
の進歩は著しく、特に、ＴＥＭＡ−ＣＯ2 レーザやエキ
シマレーザなどの短パルスレーザ光を発生させるパルス
レーザ装置は、各種の長所を有することから、一層の開
発が期待されている。また、ガスを媒介としたレーザに
おいて、良好なレーザ発振を得るためには、レーザガス
中で空間的に均一な放電の形成を必要とするが、ＴＥＭ
Ａ−ＣＯ2 レーザやエキシマレーザなどの短パルスレー
ザ光を発生させるパルスレーザ装置においては、レーザ
ガス中で放電が集束し、アーク放電になり易い。そのた
め、このような放電の集束を防止するために、これらの
パルスレーザ装置においては、一般的に、主放電に先立
って予備電離を行っている。
【０００３】図５は、このようなパルスレーザ装置のレ
ーザ放電部を示す構成図である。すなわち、この図５に
示すように、レーザガス流中に、第１、第２の主放電電
極１，２が、主放電空間３を挟んで対向する形で配設さ
れている。この第１、第２の主放電電極１，２のレーザ
ガス流の上流側及び下流側には、複数のコンデンサ４が
それぞれ配設されている。各コンデンサ４は、それぞ
れ、誘電体４ａと、この誘電体４ａの周囲を覆う絶縁体
４ｂから構成されている。そして、各コンデンサ４の対
向する側には、それぞれ、予備電離空間５を挟んで対向
する予備電離電極６が配設されている。また、図中７
は、パルス電源であり、このパルス電源７から、スイッ
チ８を介して、第１、第２の主放電電極１，２及びコン
デンサ４にパルス電圧が印加されるようになっている。
なお、図６は、コンデンサ４の具体的な構成の一例を示
す断面図である。この図６に示すように、誘電体４ａの
両側に、第１の電極４ｃと第２の電極４ｄが配設され、
誘電体４ａの周囲に絶縁体４ｂが配設されている。この
場合、第１の電極４ｃと第２の電極４ｄのいずれか一方
が、前記の予備電離電極６を構成する。
ーザ放電部を示す構成図である。すなわち、この図５に
示すように、レーザガス流中に、第１、第２の主放電電
極１，２が、主放電空間３を挟んで対向する形で配設さ
れている。この第１、第２の主放電電極１，２のレーザ
ガス流の上流側及び下流側には、複数のコンデンサ４が
それぞれ配設されている。各コンデンサ４は、それぞ
れ、誘電体４ａと、この誘電体４ａの周囲を覆う絶縁体
４ｂから構成されている。そして、各コンデンサ４の対
向する側には、それぞれ、予備電離空間５を挟んで対向
する予備電離電極６が配設されている。また、図中７
は、パルス電源であり、このパルス電源７から、スイッ
チ８を介して、第１、第２の主放電電極１，２及びコン
デンサ４にパルス電圧が印加されるようになっている。
なお、図６は、コンデンサ４の具体的な構成の一例を示
す断面図である。この図６に示すように、誘電体４ａの
両側に、第１の電極４ｃと第２の電極４ｄが配設され、
誘電体４ａの周囲に絶縁体４ｂが配設されている。この
場合、第１の電極４ｃと第２の電極４ｄのいずれか一方
が、前記の予備電離電極６を構成する。
【０００４】このように構成されたパルスレーザ装置の
レーザ放電部は、次に述べるようにして動作する。すな
わち、パルス電源７から、スイッチ８を介して、第１、
第２の主放電電極１，２及びコンデンサ４にパルス電圧
が印加されると、コンデンサ４にその静電容量に比例し
た電荷が蓄えられる。より詳細には、図６に示すような
コンデンサ４の第１の電極４ｃと第２の電極４ｄとの間
に電圧が印加されると、誘電体４ａの誘電率・形状と絶
縁体４ｂの誘電率・形状から決定される第１の電極４ｃ
と第２の電極４ｄとの間の静電容量に比例した電荷が蓄
えられる。その結果、第１の電極４ｃと第２の電極４ｄ
のいずれか一方によって構成される予備電離電極６の予
備電離空間５に対向する先端部でスパーク放電が発生
し、このスパーク放電による紫外光が第１、第２の主放
電電極１，２間の主放電空間３に側面から照射され、主
放電空間３にグロー状の放電が点弧する。
レーザ放電部は、次に述べるようにして動作する。すな
わち、パルス電源７から、スイッチ８を介して、第１、
第２の主放電電極１，２及びコンデンサ４にパルス電圧
が印加されると、コンデンサ４にその静電容量に比例し
た電荷が蓄えられる。より詳細には、図６に示すような
コンデンサ４の第１の電極４ｃと第２の電極４ｄとの間
に電圧が印加されると、誘電体４ａの誘電率・形状と絶
縁体４ｂの誘電率・形状から決定される第１の電極４ｃ
と第２の電極４ｄとの間の静電容量に比例した電荷が蓄
えられる。その結果、第１の電極４ｃと第２の電極４ｄ
のいずれか一方によって構成される予備電離電極６の予
備電離空間５に対向する先端部でスパーク放電が発生
し、このスパーク放電による紫外光が第１、第２の主放
電電極１，２間の主放電空間３に側面から照射され、主
放電空間３にグロー状の放電が点弧する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のパルスレーザ装置のレーザ放電部に使用さ
れているコンデンサには、次のような問題点がある。す
なわち、図５に示すように、レーザ放電部の側面に複数
のコンデンサを並べていることから、発熱によるコンデ
ンサの温度上昇を抑制するために冷却システムを設ける
ためには、各コンデンサ毎に冷却配管を個別に配設しな
ければならず、冷却システムの構成が非常に複雑になっ
てしまう。このことは、パルスレーザ装置全体の構成の
複雑化につながる。なお、このようなコンデンサの冷却
システムの複雑化という問題点は、パルスレーザ装置に
使用されるコンデンサに限らず、各種の装置に使用さ
れ、同様に複数並べて配設されるコンデンサにおいて、
同様に存在する問題点である。
ような従来のパルスレーザ装置のレーザ放電部に使用さ
れているコンデンサには、次のような問題点がある。す
なわち、図５に示すように、レーザ放電部の側面に複数
のコンデンサを並べていることから、発熱によるコンデ
ンサの温度上昇を抑制するために冷却システムを設ける
ためには、各コンデンサ毎に冷却配管を個別に配設しな
ければならず、冷却システムの構成が非常に複雑になっ
てしまう。このことは、パルスレーザ装置全体の構成の
複雑化につながる。なお、このようなコンデンサの冷却
システムの複雑化という問題点は、パルスレーザ装置に
使用されるコンデンサに限らず、各種の装置に使用さ
れ、同様に複数並べて配設されるコンデンサにおいて、
同様に存在する問題点である。
【０００６】本発明は、上記のような従来技術の問題点
を解決するために提案されたものであり、その目的は、
複数のコンデンサを並べて配置し、発熱によるコンデン
サの温度上昇を抑制するために冷却システムを設ける場
合に、冷却システムの構成を簡略化できるようなコンデ
ンサを提供すると共に、そのようなコンデンサを備えた
簡略な構成のパルスレーザ装置を提供することである。
を解決するために提案されたものであり、その目的は、
複数のコンデンサを並べて配置し、発熱によるコンデン
サの温度上昇を抑制するために冷却システムを設ける場
合に、冷却システムの構成を簡略化できるようなコンデ
ンサを提供すると共に、そのようなコンデンサを備えた
簡略な構成のパルスレーザ装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のコンデンサは、
誘電体の両側に金属電極を配設し、この誘電体の周囲を
絶縁体で覆ったコンデンサにおいて、複数の誘電体を並
べて配設し、この複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って
一体化したことを特徴としている。すなわち、まず、請
求項１のコンデンサは、複数の誘電体を並列に配設し、
この複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って一体化したこ
とを特徴としている。次に、請求項２のコンデンサは、
複数の誘電体を直列に配設し、この複数の誘電体の周囲
を絶縁体で覆って一体化したことを特徴としている。さ
らに、請求項３のコンデンサは、複数の前記誘電体を直
列及び並列に配設し、この誘電体の周囲を絶縁体で覆っ
て一体化したことを特徴としている。そしてまた、請求
項４のコンデンサは、請求項２または請求項３に記載の
コンデンサにおいて、直列に配設した誘電体の金属電極
を絶縁体の外側に引き出したことを特徴としている。請
求項５のコンデンサは、直列に配設した誘電体の金属電
極を絶縁体内部で短絡したことを特徴としている。
誘電体の両側に金属電極を配設し、この誘電体の周囲を
絶縁体で覆ったコンデンサにおいて、複数の誘電体を並
べて配設し、この複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って
一体化したことを特徴としている。すなわち、まず、請
求項１のコンデンサは、複数の誘電体を並列に配設し、
この複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って一体化したこ
とを特徴としている。次に、請求項２のコンデンサは、
複数の誘電体を直列に配設し、この複数の誘電体の周囲
を絶縁体で覆って一体化したことを特徴としている。さ
らに、請求項３のコンデンサは、複数の前記誘電体を直
列及び並列に配設し、この誘電体の周囲を絶縁体で覆っ
て一体化したことを特徴としている。そしてまた、請求
項４のコンデンサは、請求項２または請求項３に記載の
コンデンサにおいて、直列に配設した誘電体の金属電極
を絶縁体の外側に引き出したことを特徴としている。請
求項５のコンデンサは、直列に配設した誘電体の金属電
極を絶縁体内部で短絡したことを特徴としている。
【０００８】一方、請求項６に記載の本発明によるパル
スレーザ装置は、レーザガス流中に主放電空間を挟んで
対向する主放電電極を配設し、この主放電電極の前記レ
ーザガス流の上流側及び下流側にコンデンサを配設し、
このコンデンサに予備電離空間を挟んで対向する予備電
離電極を配設したパルスレーザ装置において、コンデン
サが、その両側に金属電極を有する複数の誘電体を並列
または直列に配設し、この複数の誘電体の周囲を絶縁体
で覆って一体化して構成されたことを特徴としている。
スレーザ装置は、レーザガス流中に主放電空間を挟んで
対向する主放電電極を配設し、この主放電電極の前記レ
ーザガス流の上流側及び下流側にコンデンサを配設し、
このコンデンサに予備電離空間を挟んで対向する予備電
離電極を配設したパルスレーザ装置において、コンデン
サが、その両側に金属電極を有する複数の誘電体を並列
または直列に配設し、この複数の誘電体の周囲を絶縁体
で覆って一体化して構成されたことを特徴としている。
【０００９】
【作用】以上のように構成された本発明のコンデンサ
は、複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って一体化してい
ることから、発熱によるコンデンサの温度上昇を抑制す
るために冷却システムを設ける場合には、絶縁体内に複
数の誘電体に共通の冷却配管を配設することができる。
そのため、冷却システムの構成を簡略化することができ
る。したがって、このようなコンデンサを備えたパルス
レーザ装置全体の構成の簡略化に貢献できる。
は、複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って一体化してい
ることから、発熱によるコンデンサの温度上昇を抑制す
るために冷却システムを設ける場合には、絶縁体内に複
数の誘電体に共通の冷却配管を配設することができる。
そのため、冷却システムの構成を簡略化することができ
る。したがって、このようなコンデンサを備えたパルス
レーザ装置全体の構成の簡略化に貢献できる。
【００１０】
【実施例】以下には、本発明によるコンデンサ及びパル
スレーザ装置の複数の実施例について、図１〜図４を参
照して具体的に説明する。ここで、図１は、第１実施例
のパルスレーザ装置のレーザ放電部を示す構成図、図２
は、図１のパルスレーザ装置に使用されるコンデンサの
構成を示す断面図、図３は、第２実施例のコンデンサの
構成を示す断面図、図４は、第３実施例のコンデンサの
構成を示す断面図である。
スレーザ装置の複数の実施例について、図１〜図４を参
照して具体的に説明する。ここで、図１は、第１実施例
のパルスレーザ装置のレーザ放電部を示す構成図、図２
は、図１のパルスレーザ装置に使用されるコンデンサの
構成を示す断面図、図３は、第２実施例のコンデンサの
構成を示す断面図、図４は、第３実施例のコンデンサの
構成を示す断面図である。
【００１１】（１）第１実施例 第１実施例のパルスレーザ装置のレーザ放電部は、図１
に示すような構成を有する。すなわち、図１に示すよう
に、レーザガス流内に、第１、第２の主放電電極１，２
が、主放電空間３を挟んで対向する形で配設されてい
る。そして、この第１、第２の主放電電極１，２のレー
ザガス流の上流側及び下流側には、従来の複数のコンデ
ンサ４に代わり、本発明によるコンデンサ１０が配設さ
れている。このコンデンサ１０は、複数の誘電体１１を
絶縁体１２で覆って一体化して構成されている。そし
て、コンデンサ１０の対向する側には、それぞれ、予備
電離空間５を挟んで対向する予備電離電極６が配設され
ている。これらの予備電離電極６は、コンデンサ１０の
複数の誘電体１１の各々から引き出されている。また、
図中７は、パルス電源であり、このパルス電源７から、
スイッチ８を介して、第１、第２の主放電電極１，２及
びコンデンサ１０にパルス電圧が印加されるようになっ
ている。
に示すような構成を有する。すなわち、図１に示すよう
に、レーザガス流内に、第１、第２の主放電電極１，２
が、主放電空間３を挟んで対向する形で配設されてい
る。そして、この第１、第２の主放電電極１，２のレー
ザガス流の上流側及び下流側には、従来の複数のコンデ
ンサ４に代わり、本発明によるコンデンサ１０が配設さ
れている。このコンデンサ１０は、複数の誘電体１１を
絶縁体１２で覆って一体化して構成されている。そし
て、コンデンサ１０の対向する側には、それぞれ、予備
電離空間５を挟んで対向する予備電離電極６が配設され
ている。これらの予備電離電極６は、コンデンサ１０の
複数の誘電体１１の各々から引き出されている。また、
図中７は、パルス電源であり、このパルス電源７から、
スイッチ８を介して、第１、第２の主放電電極１，２及
びコンデンサ１０にパルス電圧が印加されるようになっ
ている。
【００１２】より詳細には、本実施例のコンデンサ１０
は、図２に示すように構成されている。すなわち、両側
に第１の電極１３と第２の電極１４を有する１つの誘電
体１１を単位として、電極配設方向と直交する方向に複
数の誘電体１１が一列に並べられ、電気的に並列に接続
されている。そして、この複数の誘電体１１の全体が、
絶縁体１２で覆われて、１ユニットとして構成されてお
り、第１、第２の電極１３，１４の先端部は、絶縁体１
２の外側に突出している。
は、図２に示すように構成されている。すなわち、両側
に第１の電極１３と第２の電極１４を有する１つの誘電
体１１を単位として、電極配設方向と直交する方向に複
数の誘電体１１が一列に並べられ、電気的に並列に接続
されている。そして、この複数の誘電体１１の全体が、
絶縁体１２で覆われて、１ユニットとして構成されてお
り、第１、第２の電極１３，１４の先端部は、絶縁体１
２の外側に突出している。
【００１３】以上のような構成を有する本実施例のパル
スレーザ装置の作用は次の通りである。すなわち、パル
ス電源７から、スイッチ８を介して、第１、第２の主放
電電極１，２及びコンデンサ１０にパルス電圧が印加さ
れると、コンデンサ１０にその静電容量に比例した電荷
が蓄えられる。より詳細には、図２に示すようなコンデ
ンサ１０の第１の電極１３と第２の電極１４との間に電
圧が印加されると、誘電体１１の誘電率・形状と絶縁体
１２の誘電率・形状から決定される第１の電極１３と第
２の電極１４との間の静電容量に比例した電荷が蓄えら
れる。その結果、第１の電極１３と第２の電極１４のい
ずれか一方によって構成される予備電離電極６の予備電
離空間５に対向する先端部でスパーク放電が発生し、こ
のスパーク放電による紫外光が第１、第２の主放電電極
１，２間の主放電空間３に側面から照射され、主放電空
間３にグロー状の放電が点弧する。
スレーザ装置の作用は次の通りである。すなわち、パル
ス電源７から、スイッチ８を介して、第１、第２の主放
電電極１，２及びコンデンサ１０にパルス電圧が印加さ
れると、コンデンサ１０にその静電容量に比例した電荷
が蓄えられる。より詳細には、図２に示すようなコンデ
ンサ１０の第１の電極１３と第２の電極１４との間に電
圧が印加されると、誘電体１１の誘電率・形状と絶縁体
１２の誘電率・形状から決定される第１の電極１３と第
２の電極１４との間の静電容量に比例した電荷が蓄えら
れる。その結果、第１の電極１３と第２の電極１４のい
ずれか一方によって構成される予備電離電極６の予備電
離空間５に対向する先端部でスパーク放電が発生し、こ
のスパーク放電による紫外光が第１、第２の主放電電極
１，２間の主放電空間３に側面から照射され、主放電空
間３にグロー状の放電が点弧する。
【００１４】そしてまた、本実施例において、発熱によ
るコンデンサ１０の温度上昇を抑制するために冷却シス
テムを設ける場合には、複数の誘電体１１が全て絶縁体
１２内に配設された１ユニット構成であるため、この絶
縁体１２内に、複数の誘電体１１に共通の冷却配管を配
設することによって、簡略な構成の冷却システムを設け
ることができる。
るコンデンサ１０の温度上昇を抑制するために冷却シス
テムを設ける場合には、複数の誘電体１１が全て絶縁体
１２内に配設された１ユニット構成であるため、この絶
縁体１２内に、複数の誘電体１１に共通の冷却配管を配
設することによって、簡略な構成の冷却システムを設け
ることができる。
【００１５】したがって、本実施例によれば、良好な予
備電離を行うことができ、均一なグロー放電を得て、良
好なレーザ発振を得ることができると共に、コンデンサ
１０のユニット化によって、コンデンサ１０の冷却シス
テムの構成を簡略化することができるため、パルスレー
ザ装置全体の構成の簡略化に貢献できる。
備電離を行うことができ、均一なグロー放電を得て、良
好なレーザ発振を得ることができると共に、コンデンサ
１０のユニット化によって、コンデンサ１０の冷却シス
テムの構成を簡略化することができるため、パルスレー
ザ装置全体の構成の簡略化に貢献できる。
【００１６】（２）第２実施例 第２実施例のコンデンサ２０は、図３に示すように、直
列に接続した複数の誘電体２１を絶縁体２２で覆って一
体化して構成されている。すなわち、複数の誘電体２１
が、複数の連結電極２３を介して一列に並べられて電気
的に直列に接続されており、この複数の連結電極２３
は、それぞれ連結方向と直交する方向に分岐された引き
出し部２４を有している。また、両端の誘電体２１の外
側には、第１の電極２５と第２の電極２６がそれぞれ配
設されている。そして、この複数の誘電体２１の全体
が、絶縁体２２で覆われて、１ユニットとして構成され
ており、第１、第２の電極２５，２６の先端部、及び連
結電極２３の引き出し部２４の先端部は、絶縁体２２の
外側に突出している。
列に接続した複数の誘電体２１を絶縁体２２で覆って一
体化して構成されている。すなわち、複数の誘電体２１
が、複数の連結電極２３を介して一列に並べられて電気
的に直列に接続されており、この複数の連結電極２３
は、それぞれ連結方向と直交する方向に分岐された引き
出し部２４を有している。また、両端の誘電体２１の外
側には、第１の電極２５と第２の電極２６がそれぞれ配
設されている。そして、この複数の誘電体２１の全体
が、絶縁体２２で覆われて、１ユニットとして構成され
ており、第１、第２の電極２５，２６の先端部、及び連
結電極２３の引き出し部２４の先端部は、絶縁体２２の
外側に突出している。
【００１７】以上のような構成を有する本実施例のコン
デンサによれば、前記第１実施例のコンデンサと同様の
作用が得られる。すなわち、本実施例において、発熱に
よるコンデンサ２０の温度上昇を抑制するために冷却シ
ステムを設ける場合には、前記第１実施例と同様に、複
数の誘電体２１が全て絶縁体２２内に配設された１ユニ
ット構成であるため、この絶縁体２２内に、複数の誘電
体２１に共通の冷却配管を配設することによって、簡略
な構成の冷却システムを設けることができる。特に、本
実施例においては、両端の誘電体２１の外側に配設され
た第１、第２の電極２５，２６の先端部に加えて、誘電
体２１間を接続する複数の連結電極２３の引き出し部２
４の先端部が、絶縁体２２の外側に引き出されているた
め、電気回路の配線の自由度が向上するという利点があ
る。
デンサによれば、前記第１実施例のコンデンサと同様の
作用が得られる。すなわち、本実施例において、発熱に
よるコンデンサ２０の温度上昇を抑制するために冷却シ
ステムを設ける場合には、前記第１実施例と同様に、複
数の誘電体２１が全て絶縁体２２内に配設された１ユニ
ット構成であるため、この絶縁体２２内に、複数の誘電
体２１に共通の冷却配管を配設することによって、簡略
な構成の冷却システムを設けることができる。特に、本
実施例においては、両端の誘電体２１の外側に配設され
た第１、第２の電極２５，２６の先端部に加えて、誘電
体２１間を接続する複数の連結電極２３の引き出し部２
４の先端部が、絶縁体２２の外側に引き出されているた
め、電気回路の配線の自由度が向上するという利点があ
る。
【００１８】また、本実施例のコンデンサ２０を図１に
示すようなパルスレーザ装置に適用した場合には、前記
第１実施例と同様に、良好な予備電離を行うことがで
き、均一なグロー放電を得て、良好なレーザ発振を得る
ことができると共に、コンデンサ２０のユニット化によ
って、コンデンサ２０の冷却システムの構成を簡略化す
ることができるため、パルスレーザ装置全体の構成の簡
略化に貢献できる。
示すようなパルスレーザ装置に適用した場合には、前記
第１実施例と同様に、良好な予備電離を行うことがで
き、均一なグロー放電を得て、良好なレーザ発振を得る
ことができると共に、コンデンサ２０のユニット化によ
って、コンデンサ２０の冷却システムの構成を簡略化す
ることができるため、パルスレーザ装置全体の構成の簡
略化に貢献できる。
【００１９】（３）第３実施例 第３実施例のコンデンサ３０は、図４に示すように、直
列に接続した複数の誘電体３１を絶縁体３２で覆って一
体化して構成されている。すなわち、複数の誘電体３１
が、複数の連結電極３３を介して一列に並べられて電気
的に直列に接続されており、この複数の連結電極３３
は、それぞれ連結方向と直交する方向に分岐された引き
出し部３５を有している。また、両端の誘電体３１の外
側には、第１の電極３５と第２の電極３６がそれぞれ配
設されている。さらに、このように直列接続された誘電
体３１の列が、複数列並列に配設され、電気的に並列に
接続されている。この場合、並列に接続された各列の誘
電体３１の数は同数とされ、かつ、誘電体３１間の配置
間隔は等しくされており、複数列の対応する誘電体３１
が、直線状に並ぶように配置されている。そして、この
複数の誘電体３１の全体が、絶縁体３２で覆われて、１
ユニットとして構成されており、第１、第２の電極３
５，３６の先端部、及び連結電極３３の引き出し部３４
の先端部は、絶縁体３２の外側に突出している。この場
合、連結電極３３のうち、並列方向に並ぶ一列または複
数列の連結電極３３が、絶縁体３２の内部で互いに短絡
させられている。例えば、図４中において、並列方向に
並ぶ一列の連結電極３３（ａ）が、互いに短絡させられ
ている。
列に接続した複数の誘電体３１を絶縁体３２で覆って一
体化して構成されている。すなわち、複数の誘電体３１
が、複数の連結電極３３を介して一列に並べられて電気
的に直列に接続されており、この複数の連結電極３３
は、それぞれ連結方向と直交する方向に分岐された引き
出し部３５を有している。また、両端の誘電体３１の外
側には、第１の電極３５と第２の電極３６がそれぞれ配
設されている。さらに、このように直列接続された誘電
体３１の列が、複数列並列に配設され、電気的に並列に
接続されている。この場合、並列に接続された各列の誘
電体３１の数は同数とされ、かつ、誘電体３１間の配置
間隔は等しくされており、複数列の対応する誘電体３１
が、直線状に並ぶように配置されている。そして、この
複数の誘電体３１の全体が、絶縁体３２で覆われて、１
ユニットとして構成されており、第１、第２の電極３
５，３６の先端部、及び連結電極３３の引き出し部３４
の先端部は、絶縁体３２の外側に突出している。この場
合、連結電極３３のうち、並列方向に並ぶ一列または複
数列の連結電極３３が、絶縁体３２の内部で互いに短絡
させられている。例えば、図４中において、並列方向に
並ぶ一列の連結電極３３（ａ）が、互いに短絡させられ
ている。
【００２０】以上のような構成を有する本実施例のコン
デンサによれば、前記第１、第２実施例のコンデンサと
同様の作用が得られる。すなわち、本実施例において、
発熱によるコンデンサ３０の温度上昇を抑制するために
冷却システムを設ける場合には、前記第１、第２実施例
と同様に、複数の誘電体３１が全て絶縁体３２内に配設
された１ユニット構成であるため、この絶縁体３２内
に、複数の誘電体３１に共通の冷却配管を配設すること
によって、簡略な構成の冷却システムを設けることがで
きる。また、本実施例においては、前記第２実施例と同
様に、両端の誘電体３１の外側に配設された第１、第２
の電極３５，３６の先端部に加えて、誘電体３１間を接
続する複数の連結電極３３の引き出し部３４の先端部
が、絶縁体３２の外側に引き出されているため、電気回
路の配線の自由度が向上するという利点がある。さら
に、本実施例においては、連結電極３３のうち、並列方
向に並ぶ一列の連結電極３３（ａ）を、互いに短絡させ
ているため、複数の誘電体３１の個体間に静電容量のば
らつきがある場合でも、静電容量が平均化され、コンデ
ンサとしての安定度が増すという利点がある。
デンサによれば、前記第１、第２実施例のコンデンサと
同様の作用が得られる。すなわち、本実施例において、
発熱によるコンデンサ３０の温度上昇を抑制するために
冷却システムを設ける場合には、前記第１、第２実施例
と同様に、複数の誘電体３１が全て絶縁体３２内に配設
された１ユニット構成であるため、この絶縁体３２内
に、複数の誘電体３１に共通の冷却配管を配設すること
によって、簡略な構成の冷却システムを設けることがで
きる。また、本実施例においては、前記第２実施例と同
様に、両端の誘電体３１の外側に配設された第１、第２
の電極３５，３６の先端部に加えて、誘電体３１間を接
続する複数の連結電極３３の引き出し部３４の先端部
が、絶縁体３２の外側に引き出されているため、電気回
路の配線の自由度が向上するという利点がある。さら
に、本実施例においては、連結電極３３のうち、並列方
向に並ぶ一列の連結電極３３（ａ）を、互いに短絡させ
ているため、複数の誘電体３１の個体間に静電容量のば
らつきがある場合でも、静電容量が平均化され、コンデ
ンサとしての安定度が増すという利点がある。
【００２１】また、本実施例のコンデンサ３０を図１に
示すようなパルスレーザ装置に適用した場合には、前記
第１実施例と同様に、良好な予備電離を行うことがで
き、均一なグロー放電を得て、良好なレーザ発振を得る
ことができると共に、コンデンサ３０のユニット化によ
って、コンデンサ３０の冷却システムの構成を簡略化す
ることができるため、パルスレーザ装置全体の構成の簡
略化に貢献できる。
示すようなパルスレーザ装置に適用した場合には、前記
第１実施例と同様に、良好な予備電離を行うことがで
き、均一なグロー放電を得て、良好なレーザ発振を得る
ことができると共に、コンデンサ３０のユニット化によ
って、コンデンサ３０の冷却システムの構成を簡略化す
ることができるため、パルスレーザ装置全体の構成の簡
略化に貢献できる。
【００２２】（４）他の実施例 なお、前記各実施例においては、直列または並列に接続
される誘電体の個数を特に指定していないが、直列接続
の誘電体個数及び並列接続の誘電体個数のいずれについ
ても、２個以上の任意の数を自由に選択可能である。ま
た、誘電体間に配設される連結電極の具体的な構成や、
その引き出し構成などは適宜変更可能である。さらに、
本発明のコンデンサは、パルスレーザ装置に限らず、各
種の装置に使用され、同様に複数並べて配設されるコン
デンサに対して同様に適用可能であり、同様に優れた作
用効果が得られるものである。
される誘電体の個数を特に指定していないが、直列接続
の誘電体個数及び並列接続の誘電体個数のいずれについ
ても、２個以上の任意の数を自由に選択可能である。ま
た、誘電体間に配設される連結電極の具体的な構成や、
その引き出し構成などは適宜変更可能である。さらに、
本発明のコンデンサは、パルスレーザ装置に限らず、各
種の装置に使用され、同様に複数並べて配設されるコン
デンサに対して同様に適用可能であり、同様に優れた作
用効果が得られるものである。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明においては、
複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って一体化するという
構成により、複数のコンデンサを並べて配置し、発熱に
よるコンデンサの温度上昇を抑制するために冷却システ
ムを設ける場合に、冷却システムの構成を簡略化できる
ようなコンデンサを提供することができると共に、その
ようなコンデンサを備えた簡略な構成のパルスレーザ装
置を提供することができる。
複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆って一体化するという
構成により、複数のコンデンサを並べて配置し、発熱に
よるコンデンサの温度上昇を抑制するために冷却システ
ムを設ける場合に、冷却システムの構成を簡略化できる
ようなコンデンサを提供することができると共に、その
ようなコンデンサを備えた簡略な構成のパルスレーザ装
置を提供することができる。
【図１】本発明による第１実施例のパルスレーザ装置の
レーザ放電部を示す構成図。
レーザ放電部を示す構成図。
【図２】図１のパルスレーザ装置に使用されるコンデン
サの構成を示す断面図。
サの構成を示す断面図。
【図３】本発明による第２実施例のコンデンサの構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図４】本発明による第３実施例のコンデンサの構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図５】従来のパルスレーザ装置のレーザ放電部を示す
構成図。
構成図。
【図６】図５のパルスレーザ装置に使用されるコンデン
サの構成の一例を示す断面図。
サの構成の一例を示す断面図。
１…第１の主放電電極 ２…第２の主放電電極 ３…主放電空間 ４，１０，２０，３０…コンデンサ ４ａ，１１，２１，３１…誘電体 ４ｂ，１２，２２，３２…絶縁体 ４ｃ，１３，２５，３５…第１の電極 ４ｄ，１４，２６，３６…第２の電極 ５…予備電離空間 ６…予備電離電極 ７…パルス電源 ８…スイッチ ２３，３３…連結電極 ２４，３４…引き出し部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 9174−5Ｅ Ｈ０１Ｇ 4/38 Ａ (72)発明者 根本 和明 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 安岡 康一 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 沖田 裕二 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 誘電体の両側に金属電極を配設し、この
誘電体の周囲を絶縁体で覆ったコンデンサにおいて、 複数の前記誘電体を並列に配設し、この複数の誘電体の
周囲を絶縁体で覆って一体化したことを特徴とするコン
デンサ。 - 【請求項２】 誘電体の両側に金属電極を配設し、この
複数の誘電体の周囲を絶縁体で覆ったコンデンサにおい
て、 複数の前記誘電体を直列に配設し、この複数の誘電体の
周囲を絶縁体で覆って一体化したことを特徴とするコン
デンサ。 - 【請求項３】 誘電体の両側に金属電極を配設し、この
誘電体の周囲を絶縁体で覆ったコンデンサにおいて、 複数の前記誘電体を直列及び並列に配設し、この誘電体
の周囲を絶縁体で覆って一体化したことを特徴とするコ
ンデンサ。 - 【請求項４】 直列に配設した前記誘電体の前記金属電
極を前記絶縁体の外側に引き出したことを特徴とする請
求項２または請求項３に記載のコンデンサ。 - 【請求項５】 直列に配設した前記誘電体の前記金属電
極を前記絶縁体内部で短絡したことを特徴とする請求項
３に記載のコンデンサ。 - 【請求項６】 レーザガス流中に主放電空間を挟んで対
向する主放電電極を配設し、この主放電電極の前記レー
ザガス流の上流側及び下流側にコンデンサを配設し、こ
のコンデンサに予備電離空間を挟んで対向する予備電離
電極を配設したパルスレーザ装置において、 前記コンデンサが、その両側に金属電極を有する複数の
誘電体を並列または直列に配設し、この複数の誘電体の
周囲を絶縁体で覆って一体化して構成されたことを特徴
とするパルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15943193A JPH0774412A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | コンデンサ及びパルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15943193A JPH0774412A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | コンデンサ及びパルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774412A true JPH0774412A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=15693599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15943193A Pending JPH0774412A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | コンデンサ及びパルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774412A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190045298A (ko) | 2017-01-30 | 2019-05-02 | 닛폰세이테츠 가부시키가이샤 | 강판 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15943193A patent/JPH0774412A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190045298A (ko) | 2017-01-30 | 2019-05-02 | 닛폰세이테츠 가부시키가이샤 | 강판 |
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