JPH0772377A - 顕微鏡自動焦点装置 - Google Patents

顕微鏡自動焦点装置

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JPH0772377A
JPH0772377A JP5167559A JP16755993A JPH0772377A JP H0772377 A JPH0772377 A JP H0772377A JP 5167559 A JP5167559 A JP 5167559A JP 16755993 A JP16755993 A JP 16755993A JP H0772377 A JPH0772377 A JP H0772377A
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JP
Japan
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image
objective lens
focus position
magnification
subject
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JP5167559A
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Masahiko Otomo
正彦 大友
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学系の数を増やさずに1個の撮像素子を使
用して連続的な動作での自動焦点制御を可能にし、省ス
ペースとコストダウンとを図る。 【構成】 被写体4の光学像を拡大する対物レンズ3
と、光学像を結像させる結像レンズ2と、この結像レン
ズ2を前焦点位置、焦点位置及び後焦点位置の位置の間
で一定周期で移動させる駆動装置17と、前記各位置の
光学像をそれぞれ各位置に対応する画像信号に変換する
1つの撮像素子1とを備えている。撮像素子1による各
画像信号から高周波成分を検出し、検出した高周波成分
に基づいて対物レンズ3を光軸方向に移動させて焦点位
置を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は顕微鏡自動焦点装置に
関し、特に顕微鏡で被写体を観察するときにその被写体
を常に最適焦点位置に制御する顕微鏡自動焦点装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】1個の撮像素子を用いた従来の顕微鏡自
動焦点装置として、いわゆる山登り法、すなわちトリガ
信号(オートフォーカス信号)の入力後、ステージを上
下動させて最適焦点位置を得るものがある。
【0003】また、3個の撮像素子を用いた従来の顕微
鏡自動焦点装置としては、光路を3分割し、3個の撮像
素子を前焦点位置、適正焦点位置及び後焦点位置にそれ
ぞれ配置し、連続的に最適焦点位置を得るものがある
(特開平4−260015号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、1個の撮像
素子を用いた顕微鏡自動焦点装置には、連続的な動作で
の自動焦点検出ができず、また光路を複数に分割するた
めの複数の光学系が必要になるという問題がある。
【0005】これに対し、3個の撮像素子を用いた顕微
鏡自動焦点装置には、3個の撮像素子とそれぞれの光路
に分割するための光学系とを必要とし、またこれらの取
付けに大きな空間を必要とするとともに、コスト高にな
るという問題がある。
【0006】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は光学系の数を増やさずに1個の撮
像素子を使用して連続的な動作での自動焦点制御を行う
ことができる顕微鏡自動焦点装置を提供することであ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明の顕微鏡自動焦点装置は、対物レ
ンズ(3)と、前記対物レンズを介して得られる被写体
の光学像を結像させる結像光学系(2)と、この結像光
学系を光軸方向の異なる第1、第2及び第3の位置の間
で一定周期で移動させる駆動手段(17)と、前記結像
光学系が前記第1、第2及び第3の位置に位置するとき
の前記被写体の光学像を撮像し、それぞれ第1、第2及
び第3の画像信号を出力する1つの撮像手段(1)と、
この撮像手段による前記第1、第2及び第3の画像信号
から高周波成分を検出し、検出した高周波成分に基づい
て前記対物レンズを光軸方向に移動させて焦点位置を制
御する制御手段(16)とを備えている。
【0008】また、請求項2記載の発明の顕微鏡自動焦
点装置は、前記対物レンズの倍率を検出する倍率検出手
段(19)と、前記被写体の種類を識別する被写体種類
識別手段(20)と、検出された前記対物レンズの倍率
及び前記被写体の種類に応じて前記結像光学系の移動す
る前記第1、第2及び第3の位置間の距離を変える結像
光学系移動距離制御手段(16)とを備えている。
【0009】
【作用】結像光学系を一定周期で移動させて光軸方向の
異なる第1、第2及び第3の位置の各光学像を1つの撮
像手段に取り込み、各位置に対応する画像信号から高周
波成分を検出し、検出した高周波成分値に基づいて前記
対物レンズを光軸方向に移動させて焦点位置を制御する
ようにして、光学系を増やさずに連続的な動作での自動
焦点検出を可能にした。
【0010】また、倍率検出手段及び被写体種類識別手
段により対物レンズの倍率及び被写体の種類を検出し、
検出した対物レンズの倍率及び被写体の種類に応じて結
像光学系の移動する第1、第2及び第3の位置間の距離
を変えるようにすれば、より速く最適焦点位置へ合わせ
ることができる。
【0011】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0012】図1はこの発明の一実施例に係る顕微鏡自
動焦点装置の全体構成図である。
【0013】ステージ5上には被写体4が載せられ、被
写体4の上方には撮像素子1が対向配置されている。被
写体4と撮像素子1との光路上には、被写体4の光学像
を拡大する対物レンズ3と、対物レンズ3により拡大さ
れた被写体4の光学像を撮像素子1に結像させる結像レ
ンズ2とが配置されている。撮像素子1は被写体4の光
学像を電気信号に変換し、映像信号を自動焦点装置6に
送出する。
【0014】図2は図1の顕微鏡自動焦点装置を詳細に
示すブロック図である。
【0015】撮像素子1はアナログ信号をデジタル信号
に変換するA/D変換部11に接続され、A/D変換部
11はマルチプレクサ12を介してメモリ13〜15に
接続されている。マルチプレクサ12は制御回路16の
出力端子に接続され、メモリ13〜15は制御回路16
の入力端子にそれぞれ接続されている。
【0016】結像レンズ2はモータ等の駆動装置17に
より、対物レンズ3はモータ等の駆動装置18によりそ
れぞれ光軸方向に移動可能である。これらの駆動装置1
7,18は制御回路16の出力端子にそれぞれ接続され
ている。
【0017】制御回路16は、結像レンズ2の駆動指令
と、それに同期させたマルチプレクサ12の選択切換え
指令と、光軸方向の異なる3つの位置(焦点位置、後焦
点位置及び前焦点位置)の高周波成分より最適焦点位置
を検出して、最適焦点位置に顕微鏡を設定させるように
対物レンズ3を移動させる駆動指令とを出力する。本願
発明では試料を透過したコントラストが最も強いとき最
適焦点位置と判断する。
【0018】次に、この顕微鏡自動焦点装置の動作を説
明する。
【0019】図示しない入力スイッチを操作してオート
フォーカス開始を指示すると、制御回路16は駆動装置
17を駆動し、レンズ2を焦点位置から、後焦点位置、
焦点位置、前焦点位置へと一定周期で常時移動させる
(図3)。ここで焦点位置から後焦点位置までの距離
と、焦点位置から前焦点位置までの距離とは等しい。
【0020】結像レンズ2が駆動装置17により焦点位
置にあるとき、撮像素子1からの画像信号はA/D変換
部11に入力され、A/D変換部11で被写体4の高周
波成分情報が検出され、それがデジタル信号に変換され
る。変換されたデジタル信号はマルチプレクサ12によ
って選択されたメモリ14のアドレス1に記憶される。
【0021】また、結像レンズ2が駆動装置17により
後焦点位置にあるとき、上述と同様にして変換されたデ
ジタル信号はマルチプレクサ12によって選択されたメ
モリ15に記憶される。
【0022】更に、結像レンズ2が駆動装置17により
前焦点位置にあるとき、上述と同様にして変換されたデ
ジタル信号はマルチプレクサ12によって選択されたメ
モリ13に記憶される。
【0023】マルチプレクサ12は図3に示すように結
像レンズ2が前焦点位置及び後焦点位置にあるとき以外
(図3の〜の期間)はメモリ14を選択する。メモ
リ14が選択されている間は、A/D変換部11の最速
時間でメモリ14に記憶される。図3のの間は焦点位
置からメモリ14のアドレス1000より1999に記
憶し、図3のの間は後焦点位置からメモリ14のアド
レス2000より2999に記憶し、図3のの間は焦
点位置からメモリ14のアドレス3000より3999
に記憶し、図3のの間は前焦点位置からメモリ14の
アドレス4000より4999に記憶する。
【0024】このようにして前焦点位置高周波成分、焦
点位置高周波成分及び後焦点位置高周波成分が一定周期
毎に、各メモリ13〜15に書き換えられる。結像レン
ズ2が後焦点位置から前焦点位置に移動するまでに少な
くとも3個の画像を取り込む。
【0025】制御回路16は、メモリ13〜15に記憶
された各焦点位置高周波成分を比較し、メモリ13>メ
モリ14のアドレス1>メモリ15であるならば前焦点
位置と判断し、駆動装置18に対物レンズ3が正方向
(図1の上方向)に移動する駆動信号を出力する。
【0026】メモリ13<メモリ14のアドレス1<メ
モリ15であるならば後焦点位置と判断し、駆動装置1
8に対物レンズ3が負方向(図1の下方向)に移動する
駆動指令を出力する。
【0027】メモリ13<メモリ14のアドレス1>メ
モリ15であるならばとりあえず駆動装置18に停止信
号を出力する。そして、メモリ14のアドレス1000
以降のデータの中で最大の値の位置(コントラストが最
も強い位置)を最適焦点位置と判断し、その位置まで対
物レンズ3が移動する駆動指令を駆動装置18に出力す
る。
【0028】前述のようにメモリ13〜15への記憶は
周期的に行われるので、最適焦点位置から外れたとき
は、メモリ13>メモリ14のアドレス1>メモリ15
の状態か、メモリ13<メモリ14のアドレス1<メモ
リ15の状態になり、最適な状態(メモリ13<メモリ
14のアドレス1>メモリ15)になるように駆動装置
18に駆動指令が出力され、対物レンズ3が移動する。
【0029】以上のようにして光路を分割する光学系を
用いずに1個の撮像素子1を使用して被写体4を常に最
適焦点位置に制御することができる。その結果省スペー
スとコストダウンとを図り得る。
【0030】図4はこの発明の他の実施例に係る顕微鏡
自動焦点装置を詳細に示すブロック図である。前述の実
施例と共通する部分には同一符号を付して説明を省略す
る。
【0031】この実施例の顕微鏡自動焦点装置では、レ
ボ倍率を検出するレボ倍率検出装置19と、被写体4の
種類(例えばコントラストの強弱)を識別する被写体種
類識別手段20とを備え、制御回路16が検出されたレ
ボ倍率及び被写体4の種類に応じて結像レンズ2の移動
する各焦点位置間の距離を変える構成とした。
【0032】レボ倍率検出装置19は例えば実開昭56
−93713号公報、あるいは特開昭62−21891
5号公報に開示されているようなものであり、光路上に
配置されている対物レンズを認識することができる。ま
た、被写体種類識別装置20は撮像素子1からの画像信
号を増幅し、この増幅信号から高周波成分を取り出し、
この高周波成分の振幅を所定値と比較することによって
コントラストの高低を識別する。
【0033】一般にレボ倍率が低いほど焦点深度は深く
(広く)、被写体4の入力可能な範囲も深く(広く)な
る。例えばレボ倍率1×と20×とでは被写体4の高周
波成分の入力可能な範囲は、100〜200倍ほどレボ
倍率1×の方が深い。レボ倍率20×で自動焦点検出を
させようとした場合、結像レンズ2はレボ倍率1×の被
写体4の高周波成分入力可能範囲より深い距離で移動す
る。前述のようにレボ倍率20×の被写体4の高周波成
分入力可能範囲はレボ倍率1×よりも1/100〜1/
200だけ狭くなるので、レボ倍率20×では余分な範
囲まで結像レンズ2が移動していることになり、最適焦
点位置へ合わせるまでに時間がかかる。
【0034】また、被写体4の種類によっても被写体4
の高周波成分入力可能範囲が変化し、コントラストの強
い被写体4ほどその高周波成分入力可能範囲が広くな
る。
【0035】この実施例の顕微鏡自動焦点装置によれ
ば、レボ倍率検出装置19によりレボ倍率を検出し、そ
のレボ倍率に応じた距離だけ結像レンズ2を移動させる
ようにするとともに、被写体種類識別装置20により被
写体の種類を検出し、その種類に合った範囲で結像レン
ズ2を移動させるようにしたので、より速く最適焦点位
置へ合わせることができる。
【0036】この図4に示す実施例は、レボ倍率検出装
置19と被写体種類識別装置20とを備えているが、ど
ちらか一方のみでもよいし、また電動レボルバのような
場合は、対物レンズ切換指令信号に基づいてレンズ2の
移動距離を制御してもよいし、被写体種類も顕微鏡の各
種スイッチ群の1つに被写体種類入力スイッチを設け、
このスイッチによりレンズ2の移動距離を制御してもよ
い。
【0037】また、前述の実施例ではレンズ2の移動周
期を一定としたが、この周期を対物レンズの倍率、被写
体のコントラスト等で制御してもよい。この場合、対物
レンズの倍率が高い場合ほど、あるいは被写体のコント
ラストが低い場合ほど周期を長くして、サンプリング数
を多くするように制御する。
【0038】更に、図1に示すように本実施例の対物レ
ンズは無限遠系を用いたが、有限遠系でもよいし、対物
レンズで一度結像した像を再度結像させる光学系を実施
例のレンズ2としてもよい。
【0039】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の顕微鏡自
動焦点装置によれば、光学系の数を増やさずに1個の撮
像素子を使用して連続的な動作での自動焦点制御を可能
にし、省スペースとコストダウンとを図り得る。
【0040】また、倍率検出手段及び被写体種類識別手
段により対物レンズの倍率及び被写体の種類を検出し、
検出した対物レンズの倍率及び被写体の種類に応じて結
像光学系の移動する第1、第2及び第3の位置間の距離
を変えるようにすれば、より速く最適焦点位置へ合わせ
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施例に係る顕微鏡自動焦
点装置の全体構成図である。
【図2】図2は図1の顕微鏡自動焦点装置を詳細に示す
ブロック図である。
【図3】図3はマルチプレクサの切換えタイミング図で
ある。
【図4】図4はこの発明の他の実施例に係る顕微鏡自動
焦点装置を詳細に示すブロック図である。
【符号の説明】
1 撮像素子 2 結像レンズ 3 対物レンズ 4 被写体 11 A/D変換部 12 マルチプレクサ 13〜15 メモリ 16 制御回路 17,18 駆動装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04N 5/232 H

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対物レンズと、 前記対物レンズを介して得られる被写体の光学像を結像
    させる結像光学系と、 この結像光学系を光軸方向の異なる第1、第2及び第3
    の位置の間で一定周期で移動させる駆動手段と、 前記結像光学系が前記第1、第2及び第3の位置に位置
    するときの前記被写体の光学像を撮像し、それぞれ第
    1、第2及び第3の画像信号を出力する1つの撮像手段
    と、 この撮像手段による前記第1、第2及び第3の画像信号
    から高周波成分を検出し、検出した高周波成分に基づい
    て前記対物レンズを光軸方向に移動させて焦点位置を制
    御する制御手段とを備えていることを特徴とする顕微鏡
    自動焦点装置。
  2. 【請求項2】 前記対物レンズの倍率を検出する倍率検
    出手段と、前記被写体の種類を識別する被写体種類識別
    手段と、検出された前記対物レンズの倍率及び前記被写
    体の種類に応じて前記結像光学系の移動する前記第1、
    第2及び第3の位置間の距離を変える結像光学系移動距
    離制御手段とを備えていることを特徴とする請求項1記
    載の顕微鏡自動焦点装置。
JP5167559A 1993-06-14 1993-06-14 顕微鏡自動焦点装置 Pending JPH0772377A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009258746A (ja) * 2001-07-06 2009-11-05 Palantyr Research Llc 撮像システムおよび逆空間光学設計を用いる方法
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Effective date: 20020528