JPH077130B2 - 複屈折板 - Google Patents
複屈折板Info
- Publication number
- JPH077130B2 JPH077130B2 JP14429888A JP14429888A JPH077130B2 JP H077130 B2 JPH077130 B2 JP H077130B2 JP 14429888 A JP14429888 A JP 14429888A JP 14429888 A JP14429888 A JP 14429888A JP H077130 B2 JPH077130 B2 JP H077130B2
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- vapor
- film
- deposited film
- transparent resin
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は1/4波長位相差板などの光学機能素子として防
眩ミラーなどに利用される複屈折板に関する。
眩ミラーなどに利用される複屈折板に関する。
［従来の技術］ 酸化タングステン（WO3）、二酸化珪素（SiO2）などの
誘電体材料は、可視光線に対して透明であり、電子ビー
ム蒸着法などによりガラス基板に所望の蒸着角度で斜め
蒸着させて形成される蒸着膜は、複屈折作用を有し、1/
4波長位相差板などの光学機能素子として防眩ミラーな
どに利用されている（特開昭61−84625、特開昭62−275
224など）。
誘電体材料は、可視光線に対して透明であり、電子ビー
ム蒸着法などによりガラス基板に所望の蒸着角度で斜め
蒸着させて形成される蒸着膜は、複屈折作用を有し、1/
4波長位相差板などの光学機能素子として防眩ミラーな
どに利用されている（特開昭61−84625、特開昭62−275
224など）。
［発明が解決しようとする課題］ 前記の誘電体材料からなる斜め蒸着膜は、微視的に見れ
ば、基板表面に蒸着材料が、ある角度をもって柱状組織
に成長した構造を有している。このため、高温高湿雰囲
気、あるいは蒸着膜が直接外部にさらされる場合などの
ように、摩耗が起こり機械的強度の必要な厳しい環境下
では、蒸着膜への水分や他の液体の侵入、あるいは外力
による柱状組織の損傷などにより、蒸着膜の持つ複屈折
性が低下、消失する場合がある。
ば、基板表面に蒸着材料が、ある角度をもって柱状組織
に成長した構造を有している。このため、高温高湿雰囲
気、あるいは蒸着膜が直接外部にさらされる場合などの
ように、摩耗が起こり機械的強度の必要な厳しい環境下
では、蒸着膜への水分や他の液体の侵入、あるいは外力
による柱状組織の損傷などにより、蒸着膜の持つ複屈折
性が低下、消失する場合がある。
この斜め蒸着膜内への液体やガスの侵入、あるいは摩耗
などの外部からの機械的破壊に対応するため、従来は第
３図に示すように、蒸着膜２をさらにガラス基板11で覆
ってサンドイッチ状にし、周辺をシール材６でシールし
たり、あるいは蒸着膜の上に防湿コーティングを厚く塗
ったりしていた。しかし、これらの対応策は構造が複雑
となり、光学的な歪みを生じ、コストが高くなるなどの
欠点を有していた。
などの外部からの機械的破壊に対応するため、従来は第
３図に示すように、蒸着膜２をさらにガラス基板11で覆
ってサンドイッチ状にし、周辺をシール材６でシールし
たり、あるいは蒸着膜の上に防湿コーティングを厚く塗
ったりしていた。しかし、これらの対応策は構造が複雑
となり、光学的な歪みを生じ、コストが高くなるなどの
欠点を有していた。
本発明は、従来の誘電体材料を斜め蒸着して形成される
複屈折板の蒸着膜の前記のごとき問題点を解決すべくな
されたもので、防湿性に優れ、機械的強度の向上された
複屈折板を提供することを目的とする。
複屈折板の蒸着膜の前記のごとき問題点を解決すべくな
されたもので、防湿性に優れ、機械的強度の向上された
複屈折板を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明の複屈折板は、基板表面に斜め蒸着され複屈折作
用を有する蒸着膜と、透明樹脂からなり前記蒸着膜の柱
状組織内に含浸させた後硬化させた含浸層とからなるこ
とを要旨とする。
用を有する蒸着膜と、透明樹脂からなり前記蒸着膜の柱
状組織内に含浸させた後硬化させた含浸層とからなるこ
とを要旨とする。
基板に蒸着される誘電体材料としては可視光線に対して
透明なものであり、かつ斜め蒸着により複屈折を示すも
のあれば特に材料を限定しない。蒸着に用いられる誘電
体材料としては、例えば二酸化珪素SiO2、酸化タングス
テンWO3、五酸化タンタルTa2O5、三酸化ビスマスBi2O3
などと酸化物である。斜め蒸着の方法は公知の方法が用
いられ、例えば電子ビーム蒸着法や、斜め横方向からス
パッタリングする方法などが用いられる。
透明なものであり、かつ斜め蒸着により複屈折を示すも
のあれば特に材料を限定しない。蒸着に用いられる誘電
体材料としては、例えば二酸化珪素SiO2、酸化タングス
テンWO3、五酸化タンタルTa2O5、三酸化ビスマスBi2O3
などと酸化物である。斜め蒸着の方法は公知の方法が用
いられ、例えば電子ビーム蒸着法や、斜め横方向からス
パッタリングする方法などが用いられる。
蒸着膜はガラス、樹脂などの基板表面に、基板の法線に
対して斜め方向（60゜〜80゜）から蒸着して形成する。
蒸着膜は柱状組織を成長させるに十分な厚さとし、複屈
折性Δｎが0.03〜0.09になるように蒸着膜厚および蒸着
角度が適宜選択される。
対して斜め方向（60゜〜80゜）から蒸着して形成する。
蒸着膜は柱状組織を成長させるに十分な厚さとし、複屈
折性Δｎが0.03〜0.09になるように蒸着膜厚および蒸着
角度が適宜選択される。
蒸着膜を形成した基板は、蒸着膜内の水分やガラスなど
を除去するため、80〜100℃の乾燥雰囲気中で30分〜１
時間放置した後、デシケータ中で放冷する。
を除去するため、80〜100℃の乾燥雰囲気中で30分〜１
時間放置した後、デシケータ中で放冷する。
含浸層を形成する透明樹脂は比較的低粘度（10〜500poi
se）のもの、例えばエポキシ樹脂などが用いられる。透
明樹脂は蒸着膜面に均一に塗布し、15〜30分放置した
後、余分の透明樹脂をスクレイパーなどで除去する。
se）のもの、例えばエポキシ樹脂などが用いられる。透
明樹脂は蒸着膜面に均一に塗布し、15〜30分放置した
後、余分の透明樹脂をスクレイパーなどで除去する。
次の透明樹脂の含浸および硬化工程では、透明樹脂を蒸
着膜内に含浸させる程度によって、透明樹脂の塗布量と
加熱時間が調節される。すなわち、蒸着膜の表面近傍の
みに含浸層を形成し水のバリヤ層とする場合は、少ない
目に透明樹脂を塗布するのが良く、透明樹脂を蒸着膜全
体に含浸させて含浸層を形成し、機械的強度を持たせた
い場合は、ゆっくりと加熱し、必要ならば減圧に保って
蒸着膜内部のガス成分の脱気などの処理を施す。なお、
透明樹脂はエポキシ樹脂に限定しないが、透明度が高
く、屈折率が低く、化学的に安定なものが望ましい。
着膜内に含浸させる程度によって、透明樹脂の塗布量と
加熱時間が調節される。すなわち、蒸着膜の表面近傍の
みに含浸層を形成し水のバリヤ層とする場合は、少ない
目に透明樹脂を塗布するのが良く、透明樹脂を蒸着膜全
体に含浸させて含浸層を形成し、機械的強度を持たせた
い場合は、ゆっくりと加熱し、必要ならば減圧に保って
蒸着膜内部のガス成分の脱気などの処理を施す。なお、
透明樹脂はエポキシ樹脂に限定しないが、透明度が高
く、屈折率が低く、化学的に安定なものが望ましい。
［作用］ 本発明の複屈折板は、基板表面に斜め蒸着され複屈折作
用を有する蒸着膜と、透明樹脂からなり前記蒸着膜の柱
状組織内に含浸させた後硬化させた含浸層とからなり、
蒸着膜の表面および蒸着膜の柱状組織は含浸層によって
防護されているので、水分、ガスあるいは有機溶剤等の
侵入が防がれる。さらに、蒸着膜全体に透明樹脂を含浸
させて含浸層を形成するときは、蒸着膜全体の機械的強
度が向上し、摩耗に強く、外部からの機械的応力によっ
ても容易に破壊されない。
用を有する蒸着膜と、透明樹脂からなり前記蒸着膜の柱
状組織内に含浸させた後硬化させた含浸層とからなり、
蒸着膜の表面および蒸着膜の柱状組織は含浸層によって
防護されているので、水分、ガスあるいは有機溶剤等の
侵入が防がれる。さらに、蒸着膜全体に透明樹脂を含浸
させて含浸層を形成するときは、蒸着膜全体の機械的強
度が向上し、摩耗に強く、外部からの機械的応力によっ
ても容易に破壊されない。
また、第２図に示したように、透明樹脂の屈折率によ
り、含浸層の厚さによって複屈折数Δｎが変化するの
で、蒸着膜へ含浸させる透明樹脂量を調節することによ
り、複屈折性の微少な調節が可能となる。
り、含浸層の厚さによって複屈折数Δｎが変化するの
で、蒸着膜へ含浸させる透明樹脂量を調節することによ
り、複屈折性の微少な調節が可能となる。
［実施例］ 本発明の好適な実施例について、以下図面に基づき説明
し、本発明を具体的に明らかにする。なお、本発明は以
下に述べる実施例の記載によって何等限定的に解釈され
るものではない。
し、本発明を具体的に明らかにする。なお、本発明は以
下に述べる実施例の記載によって何等限定的に解釈され
るものではない。
第１図は本発明を液晶式防眩ミラーに適用した実施例の
断面図である。ゲストホスト型液晶セル１の片側のガラ
ス基板11の表面に、蒸着角度70゜でTa2O5を約４μｍの
厚さで斜め蒸着し、1/4波長複屈折膜として作用する蒸
着膜２を形成した。
断面図である。ゲストホスト型液晶セル１の片側のガラ
ス基板11の表面に、蒸着角度70゜でTa2O5を約４μｍの
厚さで斜め蒸着し、1/4波長複屈折膜として作用する蒸
着膜２を形成した。
次にこの蒸着膜２の表面に透明樹脂としてエポキシ接着
剤（三井東圧化学、Ｘ−7428）を均一にコーティング
し、蒸着膜２の柱状組織に含浸させた後硬化させて含浸
層３を形成した。さらに、この含浸層３の表面にアルミ
ニウムを蒸着させて反射膜４を形成した後、全体にアル
ミニウムの錆止めの保護ペイント５を施した。
剤（三井東圧化学、Ｘ−7428）を均一にコーティング
し、蒸着膜２の柱状組織に含浸させた後硬化させて含浸
層３を形成した。さらに、この含浸層３の表面にアルミ
ニウムを蒸着させて反射膜４を形成した後、全体にアル
ミニウムの錆止めの保護ペイント５を施した。
なお、アルミニウム蒸着膜からなる反射膜５は、微視的
には多孔性であるので、透明樹脂の含浸と反射膜５の形
成の順序を逆にしても差し支えない。また、Ta2O5は本
来３μｍで所望の位相差が得られるものであるが、樹脂
含浸部分の複屈折性の変化を予備実験で調べた結果、４
μｍと30％程度厚く形成したものである。
には多孔性であるので、透明樹脂の含浸と反射膜５の形
成の順序を逆にしても差し支えない。また、Ta2O5は本
来３μｍで所望の位相差が得られるものであるが、樹脂
含浸部分の複屈折性の変化を予備実験で調べた結果、４
μｍと30％程度厚く形成したものである。
次に、本発明の効果を確認するため、本実施例の液晶型
防眩ミラーと、従来の樹脂含浸層なしの液晶式防眩ミラ
ーについて、防湿試験を行った。防湿試験は防眩ミラー
を60℃、95％相対湿度の中に置き、蒸着膜の劣化を調べ
た。従来品は200時間で蒸着膜が劣化したが、本実施例
品は1000時間でも蒸着膜の機能は全く異常がなく、本発
明の効果が確認された。
防眩ミラーと、従来の樹脂含浸層なしの液晶式防眩ミラ
ーについて、防湿試験を行った。防湿試験は防眩ミラー
を60℃、95％相対湿度の中に置き、蒸着膜の劣化を調べ
た。従来品は200時間で蒸着膜が劣化したが、本実施例
品は1000時間でも蒸着膜の機能は全く異常がなく、本発
明の効果が確認された。
なお、本実施例においては、含浸層３の厚さは特に規制
しなかったが、複屈折板の用途や使用条件に応じて、適
宜選択することができる。また、本発明の複屈折板は液
晶式防眩ミラーに限らず、種々の液晶表示装置の光学機
能素子として用いることができる。
しなかったが、複屈折板の用途や使用条件に応じて、適
宜選択することができる。また、本発明の複屈折板は液
晶式防眩ミラーに限らず、種々の液晶表示装置の光学機
能素子として用いることができる。
［発明の効果］ 本発明の複屈折板は以上詳述したように、基板表面に斜
め蒸着され複屈折作用を有する蒸着膜と、透明樹脂から
なり前記蒸着膜の柱状組織内に含浸させた後硬化させた
含浸層とからなることを特徴とするものであり、蒸着膜
の表面および蒸着膜の柱状組織は含浸層によって防護さ
れているので、水分、ガスあるいは有機溶剤等の侵入が
防がれ、耐湿性に優れ劣悪な環境下でも蒸着膜の複屈折
性の低下がない。また、蒸着膜は透明樹脂の含浸および
硬化により形成された含浸層により補強されるので、耐
摩耗性に優れ、外部からの機械的応力によっても容易に
破壊されない。さらに、付随的な効果として、含浸層の
厚さによって複屈折性Δｎが変化するので、蒸着膜へ含
浸させる透明樹脂量を調節することにより、複屈折性の
微少な調節が可能となる。
め蒸着され複屈折作用を有する蒸着膜と、透明樹脂から
なり前記蒸着膜の柱状組織内に含浸させた後硬化させた
含浸層とからなることを特徴とするものであり、蒸着膜
の表面および蒸着膜の柱状組織は含浸層によって防護さ
れているので、水分、ガスあるいは有機溶剤等の侵入が
防がれ、耐湿性に優れ劣悪な環境下でも蒸着膜の複屈折
性の低下がない。また、蒸着膜は透明樹脂の含浸および
硬化により形成された含浸層により補強されるので、耐
摩耗性に優れ、外部からの機械的応力によっても容易に
破壊されない。さらに、付随的な効果として、含浸層の
厚さによって複屈折性Δｎが変化するので、蒸着膜へ含
浸させる透明樹脂量を調節することにより、複屈折性の
微少な調節が可能となる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明を液晶式防眩ミラーに適用した実施例の
断面図、第２図は含浸層の厚さによって複屈折性が変化
する状態を説明するための複屈折板の断面図、第３図は
従来の複屈折板の断面図である。 １……液晶セル、11……液晶セルのガラス基盤、２……
蒸着膜、３……含浸層、４……反射膜、５……保護ペイ
ント。
断面図、第２図は含浸層の厚さによって複屈折性が変化
する状態を説明するための複屈折板の断面図、第３図は
従来の複屈折板の断面図である。 １……液晶セル、11……液晶セルのガラス基盤、２……
蒸着膜、３……含浸層、４……反射膜、５……保護ペイ
ント。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多賀 康訓 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１ 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 元廣 友美 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１ 株式会社豊田中央研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】基板表面に斜め蒸着され複屈折作用を有す
る蒸着膜と、透明樹脂からなり前記蒸着膜の柱状組織内
に含浸させた後硬化させた含浸層とからなることを特徴
とする複屈折板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14429888A JPH077130B2 (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | 複屈折板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14429888A JPH077130B2 (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | 複屈折板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312507A JPH01312507A (ja) | 1989-12-18 |
| JPH077130B2 true JPH077130B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=15358816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14429888A Expired - Fee Related JPH077130B2 (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | 複屈折板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077130B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101467281B1 (ko) * | 2008-03-19 | 2014-12-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 경사 증착에 의한 나노 금속 선격자 보호코팅 및 그의 보호코팅 방법 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3458763B2 (ja) | 1998-05-29 | 2003-10-20 | 株式会社豊田中央研究所 | 複屈折板 |
| JP5552727B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2014-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、プロジェクタ、液晶装置の光学補償方法及び位相差板 |
| JP5552728B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2014-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、プロジェクタ、液晶装置の光学補償方法及び位相差板 |
| JP2013228574A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Seiko Epson Corp | 位相差板、及び電子機器 |
| JP6223116B2 (ja) | 2013-10-22 | 2017-11-01 | デクセリアルズ株式会社 | 無機光学素子 |
| JP6122045B2 (ja) * | 2015-01-20 | 2017-04-26 | デクセリアルズ株式会社 | 波長板の製造方法 |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP14429888A patent/JPH077130B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101467281B1 (ko) * | 2008-03-19 | 2014-12-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 경사 증착에 의한 나노 금속 선격자 보호코팅 및 그의 보호코팅 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01312507A (ja) | 1989-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |