JPH0763168A - ダイアフラムポンプ - Google Patents
ダイアフラムポンプInfo
- Publication number
- JPH0763168A JPH0763168A JP5248431A JP24843193A JPH0763168A JP H0763168 A JPH0763168 A JP H0763168A JP 5248431 A JP5248431 A JP 5248431A JP 24843193 A JP24843193 A JP 24843193A JP H0763168 A JPH0763168 A JP H0763168A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pump
- chamber
- pressing plate
- diaphragm pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ダイアフラム式塗料ポンプの耐久性を維持しつ
つ、吐出量を大としてポンプ効率を向上する。 【構成】 ダイアフラム式塗料ポンプは、ダイアフラム
押さえ板の径が大であるほど吐出量ないしポンプ効率が
高まるが、この反面作動時のダイアフラムの曲げ角度が
大きくなるために耐久性が低下する。そこで、径の異な
る２枚の押さえ板１１４，１１５でダイアフラム１１１
を押さえるようになし、ダイアフラム上、曲げが生じる
箇所を分散させて耐久性を高め、かつポンプ効率を向上
する。また、ポンプ室１１２側の押さえ板１１４より駆
動室１１３側の押さえ板１１５を大とし、液吐出動作時
に面積の大きい押さえ板１１５でダイアフラム１１１を
押圧してその波打ちを規制して、液吐出量を安定させ
る。
つ、吐出量を大としてポンプ効率を向上する。 【構成】 ダイアフラム式塗料ポンプは、ダイアフラム
押さえ板の径が大であるほど吐出量ないしポンプ効率が
高まるが、この反面作動時のダイアフラムの曲げ角度が
大きくなるために耐久性が低下する。そこで、径の異な
る２枚の押さえ板１１４，１１５でダイアフラム１１１
を押さえるようになし、ダイアフラム上、曲げが生じる
箇所を分散させて耐久性を高め、かつポンプ効率を向上
する。また、ポンプ室１１２側の押さえ板１１４より駆
動室１１３側の押さえ板１１５を大とし、液吐出動作時
に面積の大きい押さえ板１１５でダイアフラム１１１を
押圧してその波打ちを規制して、液吐出量を安定させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイアフラムポンプに
関し、例えば塗料圧送用のエア駆動式ダイアフラムポン
プに関するものである。
関し、例えば塗料圧送用のエア駆動式ダイアフラムポン
プに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液を所定の目的のために、例えば塗料を
塗装のために移送する手段としてのポンプには、プラン
ジャポンプ、ギアポンプおよびダイアフラムポンプなど
種々のものが用いられているが、摺動部を有さないため
に長寿命化が図れること、価格が低廉であることから最
近ではダイアフラムポンプが注目されている。かかるダ
イアフラムポンプは、従来、同径の押さえ板をダイアフ
ラムの両側に配置し、かつ作動時のダイアフラムの曲げ
角度（中立すなわち非荷重状態でのダイアフラム平面に
対して、作動時すなわち荷重下にあるダイアフラムの押
さえ板外領域がなす角度）があまり大とならないよう
に、例えば最大でも４０゜〜５０゜程度であるようにポ
ンプストロークが設定され、繰り返し荷重に対するダイ
アフラムの耐久性を維持していた。
塗装のために移送する手段としてのポンプには、プラン
ジャポンプ、ギアポンプおよびダイアフラムポンプなど
種々のものが用いられているが、摺動部を有さないため
に長寿命化が図れること、価格が低廉であることから最
近ではダイアフラムポンプが注目されている。かかるダ
イアフラムポンプは、従来、同径の押さえ板をダイアフ
ラムの両側に配置し、かつ作動時のダイアフラムの曲げ
角度（中立すなわち非荷重状態でのダイアフラム平面に
対して、作動時すなわち荷重下にあるダイアフラムの押
さえ板外領域がなす角度）があまり大とならないよう
に、例えば最大でも４０゜〜５０゜程度であるようにポ
ンプストロークが設定され、繰り返し荷重に対するダイ
アフラムの耐久性を維持していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、ダイアフラムポ
ンプでは、加圧に伴って生じるダイアフラムの押さえ板
外領域の変形（たわみ）が大きいほど損失が増すため
に、１ポンプサイクルあたりの吐出量が減り、また駆動
用エアの消費量が増大する。これを避けようとすれば、
上記領域の面積を小さくすべく大面積の押さえ板を用い
れば良いとも言えるが、これに伴って曲げ角度が大とな
り、ダイアフラムの曲がり部分、すなわち押さえ板の外
周縁やハウジングの内周縁に沿った部分に作用する繰り
返し荷重により当該部分において破断が生じ易くなり、
ダイアフラムの耐久性を低下させることになる。本発明
は、かかる問題を解決し、ダイアフラムポンプの耐久性
を維持しつつ、ポンプ効率を向上することを目的とす
る。
ンプでは、加圧に伴って生じるダイアフラムの押さえ板
外領域の変形（たわみ）が大きいほど損失が増すため
に、１ポンプサイクルあたりの吐出量が減り、また駆動
用エアの消費量が増大する。これを避けようとすれば、
上記領域の面積を小さくすべく大面積の押さえ板を用い
れば良いとも言えるが、これに伴って曲げ角度が大とな
り、ダイアフラムの曲がり部分、すなわち押さえ板の外
周縁やハウジングの内周縁に沿った部分に作用する繰り
返し荷重により当該部分において破断が生じ易くなり、
ダイアフラムの耐久性を低下させることになる。本発明
は、かかる問題を解決し、ダイアフラムポンプの耐久性
を維持しつつ、ポンプ効率を向上することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明は、
ダイアフラムによって区画された２つの室を有し、一方
の室に対して駆動用流体の導入／排出を行わせることに
より他方の室に液のポンピングを行わせるダイアフラム
ポンプにおいて、前記２つの室にそれぞれの側に配され
て前記ダイアフラムに接合する一対の部材の当該接合領
域を前記ダイアフラムの表裏において完全には重畳させ
ないようにしたことを特徴とする。ここで、前記一対の
部材は、外形寸法の異なる２枚の押さえ板とすることが
できる。また、前記一方の室側に配された部材の前記接
合面を前記他方の室側に配された部材の接合面より大と
することがロスを小さくし、吐出量を大とする上で好ま
しい。さらに、前記ダイアフラムに結合したシャフト
と、該シャフトに同軸に設けられ、駆動用流体の導入／
排出に応じて作動し、前記ポンピングの作動圧を向上さ
せる手段を備えることができる。
ダイアフラムによって区画された２つの室を有し、一方
の室に対して駆動用流体の導入／排出を行わせることに
より他方の室に液のポンピングを行わせるダイアフラム
ポンプにおいて、前記２つの室にそれぞれの側に配され
て前記ダイアフラムに接合する一対の部材の当該接合領
域を前記ダイアフラムの表裏において完全には重畳させ
ないようにしたことを特徴とする。ここで、前記一対の
部材は、外形寸法の異なる２枚の押さえ板とすることが
できる。また、前記一方の室側に配された部材の前記接
合面を前記他方の室側に配された部材の接合面より大と
することがロスを小さくし、吐出量を大とする上で好ま
しい。さらに、前記ダイアフラムに結合したシャフト
と、該シャフトに同軸に設けられ、駆動用流体の導入／
排出に応じて作動し、前記ポンピングの作動圧を向上さ
せる手段を備えることができる。
【０００５】
【作用】本発明では、ダイアフラムに対して両側から接
合する２つの部材の接合領域をダイアフラム面に関して
非対称とし、例えば外形寸法（円盤状のものにあっては
直径）の異なる２枚の押さえ板でダイアフラムを押さえ
るようになして、ダイアフラム上の曲げが生じる箇所を
分散させる。
合する２つの部材の接合領域をダイアフラム面に関して
非対称とし、例えば外形寸法（円盤状のものにあっては
直径）の異なる２枚の押さえ板でダイアフラムを押さえ
るようになして、ダイアフラム上の曲げが生じる箇所を
分散させる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１は本発明ダイアフラムポンプの一実施例とし
て、いわゆる倍圧式の構造を有するとともに、第１液
（例えば主剤たる塗料）および第２液（例えば硬化剤）
のそれぞれを１ストロークで交互に圧送できるようにし
た２連式（デュアルタイプ）のダイアフラムポンプの構
成を示す。図において、第１液圧送用の第１ポンプ部１
００および第２液圧送用の第２ポンプ部２００は中間ロ
ッド３００により連結され、それぞれその中間ロッドの
両端部に配置されたダイアフラムポンプユニット１１０
および２１０をそれぞれ有し、作動に応じて第１液およ
び第２液の交互の吐き出しおよび吸い込みがなされる。
また、各ポンプ部には、それぞれダイアフラムポンプユ
ニット１１０および２１０の内側に、各ポンプ圧を増大
するためのダイアフラムポンプ形態のポンプ駆動ユニッ
ト１６０および２６０をそれぞれ配し、ポンプ圧をほぼ
２倍にする構成（以下倍圧ポンプ構成という）を採用し
ている。ダイアフラムポンプユニット１１０，２１０
は、ダイアフラム１１１，２１１によって区画されたポ
ンプ室１１２，２１２と駆動室１１３，２１３とを有
し、ロッド３００に固着してポンプ室１１２，２１２に
は円板上の押さえ板１１４，２１４を、騨動室１１３，
２１３にも同じく押さえ板１１５，２１５を配置してい
る。ダイアフラム１１１，２１１は、圧力の作用に応じ
て弾性変形する部材であって、例えばゴム部材と、その
ポンプ室１１２，２１２に面する側面に耐液性を考慮し
て貼着されたポリフッ化エチレン系樹脂製の部材とから
なるものとすることができる。
る。図１は本発明ダイアフラムポンプの一実施例とし
て、いわゆる倍圧式の構造を有するとともに、第１液
（例えば主剤たる塗料）および第２液（例えば硬化剤）
のそれぞれを１ストロークで交互に圧送できるようにし
た２連式（デュアルタイプ）のダイアフラムポンプの構
成を示す。図において、第１液圧送用の第１ポンプ部１
００および第２液圧送用の第２ポンプ部２００は中間ロ
ッド３００により連結され、それぞれその中間ロッドの
両端部に配置されたダイアフラムポンプユニット１１０
および２１０をそれぞれ有し、作動に応じて第１液およ
び第２液の交互の吐き出しおよび吸い込みがなされる。
また、各ポンプ部には、それぞれダイアフラムポンプユ
ニット１１０および２１０の内側に、各ポンプ圧を増大
するためのダイアフラムポンプ形態のポンプ駆動ユニッ
ト１６０および２６０をそれぞれ配し、ポンプ圧をほぼ
２倍にする構成（以下倍圧ポンプ構成という）を採用し
ている。ダイアフラムポンプユニット１１０，２１０
は、ダイアフラム１１１，２１１によって区画されたポ
ンプ室１１２，２１２と駆動室１１３，２１３とを有
し、ロッド３００に固着してポンプ室１１２，２１２に
は円板上の押さえ板１１４，２１４を、騨動室１１３，
２１３にも同じく押さえ板１１５，２１５を配置してい
る。ダイアフラム１１１，２１１は、圧力の作用に応じ
て弾性変形する部材であって、例えばゴム部材と、その
ポンプ室１１２，２１２に面する側面に耐液性を考慮し
て貼着されたポリフッ化エチレン系樹脂製の部材とから
なるものとすることができる。
【０００７】また、ダイアフラム１１１，２１１の押さ
え板１１４，２１４と押さえ板１１５，２１５とではそ
の径を異ならせ、本例ではポンプ室１１２，２１２側の
押さえ板１１４，２１４の径を小としてある。かかる構
成を採用することによって、両押さえ板１１４，２１
４；１１５，２１５のダイアフラム１１１，２１１に対
する接合面がダイアフラムの表裏において完全には重畳
せず、従って図２に示すように、破線で示す液吸い込み
時と一点鎖線で示す液吐出時とでダイアフラム１１１，
２１１上の曲げが生じる箇所を分散させることができ、
かつ、液吐出動作時に面積の大きい押さえ板１１５，２
１５でダイアフラム１１１，２１１を押圧してその波打
ちを規制することにより液吐出量を安定させることがで
きる。ここで、図１を用いて本例装置の倍圧ポンプ構成
について説明するに、本例では図１の左右端部付近に第
１液および第２液圧送用のポンプユニット１１０および
２１０が設けられるとともに、ガイド１２６および２２
６にて区画されたそれぞれのポンプユニットの内側に、
それぞれポンプユニットと同径のポンプ駆動ユニット１
６０，２６０がロッド３００により液圧送用ダイアフラ
ム１１１、２１１の取付軸１３１，２３１と同軸に連結
されている。ポンプユニット１１０，２１０は、液圧送
用ダイアフラム１１１，２１１を境に、外側に液の吸い
込み，吐き出しを行うポンプ室１１２，２１２、内側に
駆動用流体たる空気の導入，排気を行う駆動室１１３，
２１３が形成される。また、ポンプ駆動ユニット１６
０，２６０には、駆動用ダイアフラム１６１，２６１の
外側、すなわちガイド１２６，２２６側に大気と連通す
る空気室１６２，２６２が、内側に駆動用空気の導入，
排気を行う駆動室１６３，２６３が形成される。
え板１１４，２１４と押さえ板１１５，２１５とではそ
の径を異ならせ、本例ではポンプ室１１２，２１２側の
押さえ板１１４，２１４の径を小としてある。かかる構
成を採用することによって、両押さえ板１１４，２１
４；１１５，２１５のダイアフラム１１１，２１１に対
する接合面がダイアフラムの表裏において完全には重畳
せず、従って図２に示すように、破線で示す液吸い込み
時と一点鎖線で示す液吐出時とでダイアフラム１１１，
２１１上の曲げが生じる箇所を分散させることができ、
かつ、液吐出動作時に面積の大きい押さえ板１１５，２
１５でダイアフラム１１１，２１１を押圧してその波打
ちを規制することにより液吐出量を安定させることがで
きる。ここで、図１を用いて本例装置の倍圧ポンプ構成
について説明するに、本例では図１の左右端部付近に第
１液および第２液圧送用のポンプユニット１１０および
２１０が設けられるとともに、ガイド１２６および２２
６にて区画されたそれぞれのポンプユニットの内側に、
それぞれポンプユニットと同径のポンプ駆動ユニット１
６０，２６０がロッド３００により液圧送用ダイアフラ
ム１１１、２１１の取付軸１３１，２３１と同軸に連結
されている。ポンプユニット１１０，２１０は、液圧送
用ダイアフラム１１１，２１１を境に、外側に液の吸い
込み，吐き出しを行うポンプ室１１２，２１２、内側に
駆動用流体たる空気の導入，排気を行う駆動室１１３，
２１３が形成される。また、ポンプ駆動ユニット１６
０，２６０には、駆動用ダイアフラム１６１，２６１の
外側、すなわちガイド１２６，２２６側に大気と連通す
る空気室１６２，２６２が、内側に駆動用空気の導入，
排気を行う駆動室１６３，２６３が形成される。
【０００８】また、ポンプユニット１１０，２１０およ
び駆動ユニット１６０，２６０を作動させるための駆動
用空気は、圧縮空気源４１２から方向制御弁４１３を介
してそれぞれの駆動室に交互に供給される。実施例装置
の動作を説明するに、圧縮空気源４１２より駆動用空気
が方向制御弁４１３を介して左右交互にポンプユニット
１１０，２１０の駆動室１１３，２１３とポンプ駆動ユ
ニット１６０，２６０の駆動室１６３，２６３とに供給
されると、液圧送用ダイアフラム１１１，２１１と駆動
用ダイアフラム１６１，２６１とはそれぞれ交互に図中
左右方向に変形し、これにともなってボール弁１７４，
２７４を介してのポンプ室１１２，２１２への液の吸い
込み、およびボール弁１７５，２７５を介しての塗装装
置（不図示）への液（塗料）の圧送が行われる。ここ
で、圧縮空気源４１２より例えば１Ｋｇｆ／ｃｍ２の圧
縮空気が交互にポンプユニットの駆動室と駆動ユニット
の駆動室とに供給されると、ロッド３００に作用する力
は次のようになる。すなわち、ＰＰ１をポンプ圧、ＰＡ
１を駆動室に供給される空気圧力、ＰＡ２を駆動室に供
給される空気圧力、Ｓ１を液圧送用ダイアフラムの受圧
面積、Ｓ２を駆動用ダイアフラムの受圧面積とすると、
び駆動ユニット１６０，２６０を作動させるための駆動
用空気は、圧縮空気源４１２から方向制御弁４１３を介
してそれぞれの駆動室に交互に供給される。実施例装置
の動作を説明するに、圧縮空気源４１２より駆動用空気
が方向制御弁４１３を介して左右交互にポンプユニット
１１０，２１０の駆動室１１３，２１３とポンプ駆動ユ
ニット１６０，２６０の駆動室１６３，２６３とに供給
されると、液圧送用ダイアフラム１１１，２１１と駆動
用ダイアフラム１６１，２６１とはそれぞれ交互に図中
左右方向に変形し、これにともなってボール弁１７４，
２７４を介してのポンプ室１１２，２１２への液の吸い
込み、およびボール弁１７５，２７５を介しての塗装装
置（不図示）への液（塗料）の圧送が行われる。ここ
で、圧縮空気源４１２より例えば１Ｋｇｆ／ｃｍ２の圧
縮空気が交互にポンプユニットの駆動室と駆動ユニット
の駆動室とに供給されると、ロッド３００に作用する力
は次のようになる。すなわち、ＰＰ１をポンプ圧、ＰＡ
１を駆動室に供給される空気圧力、ＰＡ２を駆動室に供
給される空気圧力、Ｓ１を液圧送用ダイアフラムの受圧
面積、Ｓ２を駆動用ダイアフラムの受圧面積とすると、
【０００９】
【数１】 ＰＡ１・Ｓ１＋ＰＡ２・Ｓ２−ＰＰ１・Ｓ１＝０ のときロッドはつりあうことになる。そこで、
【数２】 ＰＰ１＝（ＰＡ１・Ｓ１＋ＰＡ２・Ｓ２）／Ｓ１ Ｓ１≒Ｓ２とすれば、
【数３】ＰＰ１≒ＰＡ１＋ＰＡ２ ＰＡ１≒ＰＡ２≒１Ｋｇｆ／ｃｍ２であればＰＰ１≒２
Ｋｇｆ／ｃｍ２となり、ポンプ室には駆動用空気圧力の
ほぼ２倍の液供給圧が得られることになる。なお、本例
では駆動ユニットにもダイアフラムポンプ構造を採用し
ているが、プランジャポンプ形態のものを用いることも
できる。また、本例では駆動用空気圧のほぼ２倍の液供
給圧が得られるようにポンプユニットと同径のポンプ駆
動ユニットを設けたが、所望の液供給圧に応じて適宜ポ
ンプ駆動ユニットを設計できるのは言うまでもない。ダ
イアフラムの押さえ板の面積をポンプ室１１２，２１２
側と駆動室１１３，２１３側とで異ならせることは、ダ
イアフラムポンプにおいて比較的大きな液供給圧を得る
場合、すなわち本例のように供給空気圧力に対しほぼ２
倍の液圧力を得る倍圧ポンプ構成を採る場合において、
ダイアフラムの耐久性を高めるうえで非常に有効な構成
である。また、ポンプ室側の押さえ板より駆動室側の押
さえ板を大とすることは、液吐出動作時に面積の大きい
押さえ板１１５，２１５でダイアフラム１１１，２１１
を押圧してその波打ちを規制するので、液吐出量を安定
させる上で好ましい構成である。
Ｋｇｆ／ｃｍ２となり、ポンプ室には駆動用空気圧力の
ほぼ２倍の液供給圧が得られることになる。なお、本例
では駆動ユニットにもダイアフラムポンプ構造を採用し
ているが、プランジャポンプ形態のものを用いることも
できる。また、本例では駆動用空気圧のほぼ２倍の液供
給圧が得られるようにポンプユニットと同径のポンプ駆
動ユニットを設けたが、所望の液供給圧に応じて適宜ポ
ンプ駆動ユニットを設計できるのは言うまでもない。ダ
イアフラムの押さえ板の面積をポンプ室１１２，２１２
側と駆動室１１３，２１３側とで異ならせることは、ダ
イアフラムポンプにおいて比較的大きな液供給圧を得る
場合、すなわち本例のように供給空気圧力に対しほぼ２
倍の液圧力を得る倍圧ポンプ構成を採る場合において、
ダイアフラムの耐久性を高めるうえで非常に有効な構成
である。また、ポンプ室側の押さえ板より駆動室側の押
さえ板を大とすることは、液吐出動作時に面積の大きい
押さえ板１１５，２１５でダイアフラム１１１，２１１
を押圧してその波打ちを規制するので、液吐出量を安定
させる上で好ましい構成である。
【００１０】なお、本発明は上述した実施例にのみ限ら
れることなく、種々の構成を採用することができる。例
えば、図１に示したような倍圧機構を用いる場合にあっ
て、ポンプ駆動ユニット側のダイアフラム接合部材にも
必要に応じてポンプユニット側と同様の構成を採用する
こともできるし、またそのような倍圧ポンプ構成を採用
しない場合にも本発明を適用することができる。さら
に、２液の交互圧送を行うデュアルタイプのものでなく
てもよい。また、吐出量の安定をさほど考慮しなくても
よいのであれば、ポンプ室側の押さえ板の面積を小とす
ることもできる。さらに、ダイアフラムの両側にあって
ダイアフラムに接触する部材の当該接触面が完全には重
畳しないようにして、折り返し部分を両側で分散させ、
もってダイアフラムの耐久性を向上させるという本発明
の技術思想から言えば、例えばダイアフラムを保持して
いる保持具１５０，２５０ないしガイド１２６，２２６
の内周縁部分１５１Ａ，２５１Ａに関しても適切な構成
を採用できるのは勿論である。
れることなく、種々の構成を採用することができる。例
えば、図１に示したような倍圧機構を用いる場合にあっ
て、ポンプ駆動ユニット側のダイアフラム接合部材にも
必要に応じてポンプユニット側と同様の構成を採用する
こともできるし、またそのような倍圧ポンプ構成を採用
しない場合にも本発明を適用することができる。さら
に、２液の交互圧送を行うデュアルタイプのものでなく
てもよい。また、吐出量の安定をさほど考慮しなくても
よいのであれば、ポンプ室側の押さえ板の面積を小とす
ることもできる。さらに、ダイアフラムの両側にあって
ダイアフラムに接触する部材の当該接触面が完全には重
畳しないようにして、折り返し部分を両側で分散させ、
もってダイアフラムの耐久性を向上させるという本発明
の技術思想から言えば、例えばダイアフラムを保持して
いる保持具１５０，２５０ないしガイド１２６，２２６
の内周縁部分１５１Ａ，２５１Ａに関しても適切な構成
を採用できるのは勿論である。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイアフラムに対して両側から接合する部材の接合領域
をダイアフラム面に関して非対称とし、例えば外形寸法
（円盤状のものにあっては直径）の異なる２枚の押さえ
板でダイアフラムを押さえるようにしたので、曲げが生
じる箇所を分散させることができ、従ってダイアフラム
の耐久性を高め、かつポンプ効率を向上することができ
る。
ダイアフラムに対して両側から接合する部材の接合領域
をダイアフラム面に関して非対称とし、例えば外形寸法
（円盤状のものにあっては直径）の異なる２枚の押さえ
板でダイアフラムを押さえるようにしたので、曲げが生
じる箇所を分散させることができ、従ってダイアフラム
の耐久性を高め、かつポンプ効率を向上することができ
る。
【００１２】
【図１】本発明ダイアフラムポンプの一実施例を示す側
断面図である。
断面図である。
【図２】その動作を説明するための模式図である。
【００１３】
１１０，２１０ ポンプユニット １１１，１６１，２１１，２６１ ダイアフラム １１２，２１２ ポンプ室 １１３，１６３，２１３，２６３ 駆動室 １１４，１１５，２１４，２１５ 押さえ板 １２６，２２６ ガイド １５０，２５０ 保持具 １６０，２６０ ポンプ駆動ユニット １６２，２６２ 空気室 １７４，１７５，２７４，２７５ ボール弁 ３００ロッド ４１２ 圧縮空気源 ４１３ 方向制御弁
Claims (4)
- 【請求項１】 ダイアフラムによって区画された２つの
室を有し、一方の室に対して駆動用流体の導入／排出を
行わせることにより他方の室に液のポンピングを行わせ
るダイアフラムポンプにおいて、前記２つの室にそれぞ
れの側に配されて前記ダイアフラムに接合する一対の部
材の当該接合領域を前記ダイアフラムの表裏において完
全には重畳させないようにしたことを特徴とするダイア
フラムポンプ。 - 【請求項２】 前記一対の部材は、外形寸法の異なる２
枚の押さえ板であることを特徴とする請求項１に記載の
ダイアフラムポンプ。 - 【請求項３】 前記一方の室側に配された部材の前記接
合面を前記他方の室側に配された部材の接合面より大と
したことを特徴とする請求項１または２に記載のダイア
フラムポンプ。 - 【請求項４】 前記ダイアフラムに結合したシャフト
と、該シャフトに同軸に設けられ、駆動用流体の導入／
排出に応じて作動し、前記ポンピングの作動圧を向上さ
せる手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１ない
し３のいずれかに記載のダイアフラムポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5248431A JPH0763168A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | ダイアフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5248431A JPH0763168A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | ダイアフラムポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763168A true JPH0763168A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=17178024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5248431A Pending JPH0763168A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | ダイアフラムポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763168A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017044178A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | フジクリーン工業株式会社 | 電磁式ポンプ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5598679A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-26 | Aisin Seiki Co Ltd | Diaphragm type air pump |
| JPS6270678A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-04-01 | Meiji Kikai Seisakusho:Kk | ダイヤフラムポンプ |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP5248431A patent/JPH0763168A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5598679A (en) * | 1979-01-19 | 1980-07-26 | Aisin Seiki Co Ltd | Diaphragm type air pump |
| JPS6270678A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-04-01 | Meiji Kikai Seisakusho:Kk | ダイヤフラムポンプ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017044178A (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-02 | フジクリーン工業株式会社 | 電磁式ポンプ |
| WO2017038146A1 (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-09 | フジクリーン工業株式会社 | 電磁式ポンプ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7322803B2 (en) | Pumps with diaphragms bonded as bellows | |
| US10794378B2 (en) | Fluid control device, decompression device, and compression device | |
| CN1136393C (zh) | 隔膜泵 | |
| US8066494B2 (en) | Micropump | |
| JP4957480B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
| US20090148318A1 (en) | Piezoelectric Pump | |
| US8454327B2 (en) | Piezoelectric micropump | |
| EP1369585A3 (en) | Pump | |
| JP4047803B2 (ja) | ダイアフラムポンプ | |
| WO2012140931A1 (ja) | 流体制御装置およびポンプ接続方法 | |
| JP4587098B2 (ja) | ポンプ装置 | |
| JP3462448B2 (ja) | ダイヤフラムおよび往復動ポンプ | |
| JPH0763168A (ja) | ダイアフラムポンプ | |
| JPS61171891A (ja) | 圧電型ポンプ | |
| JP6574464B2 (ja) | 小型流体制御装置 | |
| JPH07301182A (ja) | 圧電ポンプの駆動方法 | |
| JP2006220056A (ja) | 流体搬送装置 | |
| CN221277977U (zh) | 流体控制装置 | |
| CN108278196B (zh) | 流体控制装置 | |
| CN211500945U (zh) | 流体控制装置 | |
| JPH06501086A (ja) | ダイヤフラムとピストンポンプ | |
| JP2001165053A (ja) | ダイヤフラム式ポンプ | |
| JP2006132476A (ja) | 圧電気体ポンプ | |
| JP4364588B2 (ja) | ベローズポンプ、およびそれを用いたレジスト塗布装置 | |
| JPH0312917A (ja) | 半導体装置の製造装置 |