JPH0757107B2 - 誘電モータ - Google Patents
誘電モータInfo
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- JPH0757107B2 JPH0757107B2 JP3503037A JP50303791A JPH0757107B2 JP H0757107 B2 JPH0757107 B2 JP H0757107B2 JP 3503037 A JP3503037 A JP 3503037A JP 50303791 A JP50303791 A JP 50303791A JP H0757107 B2 JPH0757107 B2 JP H0757107B2
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- JP
- Japan
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- induction motor
- rotor
- electric field
- motor according
- rotors
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/004—Electrostatic motors in which a body is moved along a path due to interaction with an electric field travelling along the path
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は電界により駆動される誘電モータであって、複
数の電極により囲繞された回転子を備えている形式のも
のに関する。
数の電極により囲繞された回転子を備えている形式のも
のに関する。
この種の誘電モータは小型化に適しており、マイクロエ
レクトロニクスの各素子と組合せることが可能である
（システム結合）。この誘電モータは小型化された各種
の機械乃至ポンプの駆動装置として、または切換要素と
して用いられ、或いは位置規定のために利用することも
可能であって、例えばこの種のモータをステップ・バイ
・ステップ方式で操作するならば、情報伝送用の光学チ
ャネルを開放し或いは遮断することが出来る。更にこの
種の誘電モータで位置規定を行なうためには、該当の構
成要素が所定の位置を占めた場合にのみ回転子を回転さ
せればよい。またこの種のモータは顕微手術用の器械類
を操作するためにも利用される。
レクトロニクスの各素子と組合せることが可能である
（システム結合）。この誘電モータは小型化された各種
の機械乃至ポンプの駆動装置として、または切換要素と
して用いられ、或いは位置規定のために利用することも
可能であって、例えばこの種のモータをステップ・バイ
・ステップ方式で操作するならば、情報伝送用の光学チ
ャネルを開放し或いは遮断することが出来る。更にこの
種の誘電モータで位置規定を行なうためには、該当の構
成要素が所定の位置を占めた場合にのみ回転子を回転さ
せればよい。またこの種のモータは顕微手術用の器械類
を操作するためにも利用される。
［背景技術］ コンスタントな電界を介して駆動される連続回転式モー
タの作用形式に関しては、当該専門分野の文献に紹介さ
れており、ロータ回転特性についての計算も開示されて
いる（例えば1968年度に刊行された応用物理学ジャーナ
ルの第39号における2957頁乃至2961頁に掲載されている
P.E.ゼッカー並びにI.N.シャロームによる学術論文：
「単純液体沈下式の誘電モータ」（Secker,P.E.Scialo
m,I.N.:A Simple Liquid Immersed Dielectric Motor,
Journal of Applied Physicc,39, 1968,P.2957−296
1）。但しこの種のモータでは初期回転方向が確定され
ないので、始動のために付加的な補助装置を用いる必要
がある。
タの作用形式に関しては、当該専門分野の文献に紹介さ
れており、ロータ回転特性についての計算も開示されて
いる（例えば1968年度に刊行された応用物理学ジャーナ
ルの第39号における2957頁乃至2961頁に掲載されている
P.E.ゼッカー並びにI.N.シャロームによる学術論文：
「単純液体沈下式の誘電モータ」（Secker,P.E.Scialo
m,I.N.:A Simple Liquid Immersed Dielectric Motor,
Journal of Applied Physicc,39, 1968,P.2957−296
1）。但しこの種のモータでは初期回転方向が確定され
ないので、始動のために付加的な補助装置を用いる必要
がある。
日本国特許出願公開平１−107667号公報に開示されてい
るモータにおいては、円筒形に形成され静電的な影響下
にある２つの回転子が、中空円筒の内壁に装着された電
極によりそれぞれ別個の回転軸を中心とした回転運動を
行なうように励起される。
るモータにおいては、円筒形に形成され静電的な影響下
にある２つの回転子が、中空円筒の内壁に装着された電
極によりそれぞれ別個の回転軸を中心とした回転運動を
行なうように励起される。
更に種々異なった構造を有する小型化された誘電モータ
は、1988年度の刊行によるGEOの第10号第188頁、並びに
アメリカ合衆国特許第4740410号明細書に開示されてい
る。この種のモータにおいては回転する電界が利用され
るので、始動装置を省略することが出来る。ヨーロッパ
特許出願公開第0233947号明細書に開示されている誘電
モータの回転子は、セクター状に形成され半径方向に配
置された複数の誘電体を備えている。この公知文献に開
示されたモータは静電作用に基づいて励起され、その交
番電界も常に準静的条件下で付勢される。つまりこのモ
ータは同期モータであって、その回転子は常に回転電界
の方向で回転運動を行なう。従ってこの種のモータの利
用分野は、同期モータとしての特性により限定されてい
る。
は、1988年度の刊行によるGEOの第10号第188頁、並びに
アメリカ合衆国特許第4740410号明細書に開示されてい
る。この種のモータにおいては回転する電界が利用され
るので、始動装置を省略することが出来る。ヨーロッパ
特許出願公開第0233947号明細書に開示されている誘電
モータの回転子は、セクター状に形成され半径方向に配
置された複数の誘電体を備えている。この公知文献に開
示されたモータは静電作用に基づいて励起され、その交
番電界も常に準静的条件下で付勢される。つまりこのモ
ータは同期モータであって、その回転子は常に回転電界
の方向で回転運動を行なう。従ってこの種のモータの利
用分野は、同期モータとしての特性により限定されてい
る。
1989年２月刊行のエレクトリー第43号の45頁乃至50頁に
掲載された公開論文「誘電モータ」（“Dielektrische
Motoren"in ELEKTRIE 43,1989,2,pp.45−50）によれ
ば、中央範囲の周囲に配置された複数の定置電極を有す
る誘電モータが既に公知となっている。この中央範囲に
は電界により駆動される誘電材料製の２つの回転子が回
動可能に配置されており、これらの回転子は共通の励起
電界を介して励起される。このモータにおける回転状態
の融通性（フレキシビリティー）は、回転子の運動が同
期的に行なわれることによって制限されている。
掲載された公開論文「誘電モータ」（“Dielektrische
Motoren"in ELEKTRIE 43,1989,2,pp.45−50）によれ
ば、中央範囲の周囲に配置された複数の定置電極を有す
る誘電モータが既に公知となっている。この中央範囲に
は電界により駆動される誘電材料製の２つの回転子が回
動可能に配置されており、これらの回転子は共通の励起
電界を介して励起される。このモータにおける回転状態
の融通性（フレキシビリティー）は、回転子の運動が同
期的に行なわれることによって制限されている。
［発明の要旨］ 本発明の課題とするところは、誘電モータに制御可能な
回転特性を与えて、簡単に調整できる複数の回転状態が
任意に利用されうるようにする点にある。
回転特性を与えて、簡単に調整できる複数の回転状態が
任意に利用されうるようにする点にある。
上記の課題は、冒頭に述べた類概念による誘電モータに
おいて、請求の範囲第１項に記載の特徴概念によって解
決される。
おいて、請求の範囲第１項に記載の特徴概念によって解
決される。
これらの回転子は、電極によって限定されている中央範
囲に各回転子を共に配置することにより共通の励起電界
を介して駆動される。この中央範囲における回転子の数
を適正な値に設定し且つ回転子の適宜な配置形式を選択
することによって、その都度の用途に応じた種々異なる
回転状態を生ぜしめることが出来る。
囲に各回転子を共に配置することにより共通の励起電界
を介して駆動される。この中央範囲における回転子の数
を適正な値に設定し且つ回転子の適宜な配置形式を選択
することによって、その都度の用途に応じた種々異なる
回転状態を生ぜしめることが出来る。
回転子は複数の異なった誘電材料から構成されているの
で、互いに異なる回転子はそれぞれ共通の励起電界を介
して別個に駆動される。この場合、各回転子はそれぞれ
同一のもしくは逆の回転方向で回動可能であり、同一の
もしくは互いに異なった角速度を有することができる。
で、互いに異なる回転子はそれぞれ共通の励起電界を介
して別個に駆動される。この場合、各回転子はそれぞれ
同一のもしくは逆の回転方向で回動可能であり、同一の
もしくは互いに異なった角速度を有することができる。
本発明によるその他の有利な構成様式及び種々異なる実
施態様は、各従属請求の範囲に開示されている。
施態様は、各従属請求の範囲に開示されている。
請求の範囲第２項による誘電モータにおいては、少なく
とも１つの回転子がその回転軸線に対して非回転対称な
回転子として構成されている。この措置を講じるために
は、回転軸線に対して非回転対称に配置された互いに異
なる誘電材料から成る複数の範囲を当該回転子に形成す
ればよい。なおこの回転子には、回転軸線に対して非回
転対称な幾何学形状を与えることも可能である。このよ
うに単に非回転対称な構造を与えるだけで、個々の回転
子は互いに異なった回転状態を呈することになる。これ
らの回転子が別の回転子と組合わせられるならば、モー
タにおける回転状態の総数は更に増大せしめられる。
とも１つの回転子がその回転軸線に対して非回転対称な
回転子として構成されている。この措置を講じるために
は、回転軸線に対して非回転対称に配置された互いに異
なる誘電材料から成る複数の範囲を当該回転子に形成す
ればよい。なおこの回転子には、回転軸線に対して非回
転対称な幾何学形状を与えることも可能である。このよ
うに単に非回転対称な構造を与えるだけで、個々の回転
子は互いに異なった回転状態を呈することになる。これ
らの回転子が別の回転子と組合わせられるならば、モー
タにおける回転状態の総数は更に増大せしめられる。
請求の範囲第３項によれば、少なくとも１つの回転子が
モータの中央範囲で固定された位置を占めている。立体
的に位置固定されない回転子のポジションは、励起電界
とその他の回転子のポジションと周辺媒体と誘電モータ
の位置とによって左右される。従って回転子の回転状態
を観察することにより、例えばモータの位置を推定する
ことが可能である。このような構成様式によれば、各回
転子が部分的にもしくは常に相互の乃至は電極とのダイ
レクトな機械的接触状態を維持するように、或いは全く
接触しない状態を保つようにすることが出来る。
モータの中央範囲で固定された位置を占めている。立体
的に位置固定されない回転子のポジションは、励起電界
とその他の回転子のポジションと周辺媒体と誘電モータ
の位置とによって左右される。従って回転子の回転状態
を観察することにより、例えばモータの位置を推定する
ことが可能である。このような構成様式によれば、各回
転子が部分的にもしくは常に相互の乃至は電極とのダイ
レクトな機械的接触状態を維持するように、或いは全く
接触しない状態を保つようにすることが出来る。
利用することの出来る回転状態は、例えば請求の範囲第
４項に開示されたように導電性の領域を回転子に組込む
か、或いは請求の範囲第５項に開示されたように電気分
極可能な要素をモータの中央範囲に装着することによっ
てもコントロールすることが可能である。この措置によ
れば個々の回転子における回転特性が制御されるので、
互いに異なる回転子を同一の時点で連続的または非連続
的もしくはステップ・パイ・ステップ方式により駆動す
ることが出来る。
４項に開示されたように導電性の領域を回転子に組込む
か、或いは請求の範囲第５項に開示されたように電気分
極可能な要素をモータの中央範囲に装着することによっ
てもコントロールすることが可能である。この措置によ
れば個々の回転子における回転特性が制御されるので、
互いに異なる回転子を同一の時点で連続的または非連続
的もしくはステップ・パイ・ステップ方式により駆動す
ることが出来る。
請求の範囲第６項には本発明の特に有利な実施態様が開
示されている。この場合、回転子は歯付きロールとして
構成されており、並列的な位置を占める２本の歯付きロ
ールにそれぞれ逆方向の回転運動が与えられると、周辺
媒体が優先的な方向で加速される。従って本発明による
この実施例は、特に液相もしくは気相の媒体を用いるポ
ンプに適している。なおこの場合、請求の範囲第７項に
開示された誘電モータにおけるように、少なくとも１つ
の回転子を変形可能に構成しておくと特に有利である。
この措置によれば、近接した位置を占める回転子がポン
プが媒体中に含まれる固体粒子によって損傷されるよう
な事態は確実に回避される。
示されている。この場合、回転子は歯付きロールとして
構成されており、並列的な位置を占める２本の歯付きロ
ールにそれぞれ逆方向の回転運動が与えられると、周辺
媒体が優先的な方向で加速される。従って本発明による
この実施例は、特に液相もしくは気相の媒体を用いるポ
ンプに適している。なおこの場合、請求の範囲第７項に
開示された誘電モータにおけるように、少なくとも１つ
の回転子を変形可能に構成しておくと特に有利である。
この措置によれば、近接した位置を占める回転子がポン
プが媒体中に含まれる固体粒子によって損傷されるよう
な事態は確実に回避される。
請求の範囲第８項によれば、駆動のために用いられる電
界が回転子の回転運動に対して著しく非同期的に回転せ
しめられる。この実施例では、回転子及び電界に互いに
等しい回転方向を与えてもよいし、或いはそれぞれ逆の
回転方向を与えてもよく、電界は回転子の107倍の回転
速度で回転させることが出来る。
界が回転子の回転運動に対して著しく非同期的に回転せ
しめられる。この実施例では、回転子及び電界に互いに
等しい回転方向を与えてもよいし、或いはそれぞれ逆の
回転方向を与えてもよく、電界は回転子の107倍の回転
速度で回転させることが出来る。
請求の範囲第９項に開示されているごとく、駆動のため
に用いられる電界が１回転ごとに交替する振幅で回転す
るように構成されているならば、本発明により達成され
る機能を一段と強化することが出来る。更に請求の範囲
第10項に開示された誘電モータにおけるように、例えば
移相された方形電圧を電極に印加することによって電界
の回転運動を非連続的に行なわせることも可能である。
この措置によれば、単一の回転子もしくは全ての回転子
に強制的な非連続回転運動を与えることが出来る。
に用いられる電界が１回転ごとに交替する振幅で回転す
るように構成されているならば、本発明により達成され
る機能を一段と強化することが出来る。更に請求の範囲
第10項に開示された誘電モータにおけるように、例えば
移相された方形電圧を電極に印加することによって電界
の回転運動を非連続的に行なわせることも可能である。
この措置によれば、単一の回転子もしくは全ての回転子
に強制的な非連続回転運動を与えることが出来る。
本発明による誘電モータは著しく小型化することが可能
であって、請求の範囲第11項乃至第13項によれば、この
モータはマイクロ機械工学的な製法を応用した基板から
製作されるので、モータは100μｍ未満の規模で製作可
能になる。
であって、請求の範囲第11項乃至第13項によれば、この
モータはマイクロ機械工学的な製法を応用した基板から
製作されるので、モータは100μｍ未満の規模で製作可
能になる。
基板としては特に珪素が、それも必要に応じて薄い絶縁
コーティングの施された珪素、例えば二酸化珪素（Si
O2）、窒化珪素（Si3N4）またはガラスが用いられる。
電極は写真製版プロセスによって構成され、且つ電気鍍
金方式で例えば金により型取られる。これによれば電極
の幾何学形状をマイクロメートル精度で規定することが
可能になり、凹版方式を利用すれば電極の高さを数百マ
イクロメートルの値に設定することが出来る。
コーティングの施された珪素、例えば二酸化珪素（Si
O2）、窒化珪素（Si3N4）またはガラスが用いられる。
電極は写真製版プロセスによって構成され、且つ電気鍍
金方式で例えば金により型取られる。これによれば電極
の幾何学形状をマイクロメートル精度で規定することが
可能になり、凹版方式を利用すれば電極の高さを数百マ
イクロメートルの値に設定することが出来る。
各回転子もやはりマイクロ機械工学的な方法により誘電
材料から製作される。コーティング処理された層からは
マイクロメートル範囲の高さを有する回転子を製作する
ことが可能であり、それより高い寸法の回転子はフォト
ラッカーを素材とした写真凹版方式によって製作可能で
ある。
材料から製作される。コーティング処理された層からは
マイクロメートル範囲の高さを有する回転子を製作する
ことが可能であり、それより高い寸法の回転子はフォト
ラッカーを素材とした写真凹版方式によって製作可能で
ある。
回転子を位置固定し或いはモータの周辺溶液を接近乃至
離反案内するために用いられる精密な溝及び通路は、等
方性または異方性及び選択性の蝕刻法により基板にエッ
チング加工される。更に基板に結合される回転子軸も、
これと同じ方法によって製作することが出来る。当該シ
ステムは基板ウェーハ上に接着された第２のウェーハを
用いることによって申し分なく密閉処理される。また基
板材料として珪素が用いられるならば、モータを始動し
且つ制御するための電気回路を機械的な要素と共に共通
の基板上に集積する作用を特に効果的に実施することが
可能になる。
離反案内するために用いられる精密な溝及び通路は、等
方性または異方性及び選択性の蝕刻法により基板にエッ
チング加工される。更に基板に結合される回転子軸も、
これと同じ方法によって製作することが出来る。当該シ
ステムは基板ウェーハ上に接着された第２のウェーハを
用いることによって申し分なく密閉処理される。また基
板材料として珪素が用いられるならば、モータを始動し
且つ制御するための電気回路を機械的な要素と共に共通
の基板上に集積する作用を特に効果的に実施することが
可能になる。
本発明によって達成される特別な利点は、回転子を構成
する誘電体とその構造とを適宜に選定することにより、
互いに異なる回転子は、それぞれ共通の励起電界を介し
て別個に駆動することができ、種々異なった目的に応用
できる互いに角速度の異なる多くの回転状態を実現しう
るところにある。このように互いに異なった回転運動ま
たはグループごとに等しい回転運動を適性に利用するな
らば、本発明による誘電モータは、切換要素または可変
駆動装置として用いられ、薬物学、化学及びバイオテク
ノロジーのような各技術分野に応用可能な超小型配量装
置、ポンプ及びバルブ等に組込むことが出来る。本発明
におけるごとく特に顕著な小型化が実施されるならば、
モータの始動に要する時間をマイクロ秒範囲の時間に短
縮することが可能になる。
する誘電体とその構造とを適宜に選定することにより、
互いに異なる回転子は、それぞれ共通の励起電界を介し
て別個に駆動することができ、種々異なった目的に応用
できる互いに角速度の異なる多くの回転状態を実現しう
るところにある。このように互いに異なった回転運動ま
たはグループごとに等しい回転運動を適性に利用するな
らば、本発明による誘電モータは、切換要素または可変
駆動装置として用いられ、薬物学、化学及びバイオテク
ノロジーのような各技術分野に応用可能な超小型配量装
置、ポンプ及びバルブ等に組込むことが出来る。本発明
におけるごとく特に顕著な小型化が実施されるならば、
モータの始動に要する時間をマイクロ秒範囲の時間に短
縮することが可能になる。
［実施例］ 第１図には電界により駆動される誘電モータが示されて
いる。４つの電極7a乃至7dは中央範囲の周辺に装着され
ており、この中央範囲には２つの回転子4a,4bが配置さ
れている。両回転子における各回転軸線１は互いに立体
的に分離されている。回転子４は自体公知の形式により
基板２上に支承されている。中央範囲に位置するこれら
の回転子４は、弱導電性の周辺媒体５、例えば水または
アルコールによって囲繞されているが、この周辺媒体５
としては気体を用いてもよい。各電極7a乃至7dはそれぞ
れ絶縁性の範囲３によって相互絶縁状態におかれてい
る。
いる。４つの電極7a乃至7dは中央範囲の周辺に装着され
ており、この中央範囲には２つの回転子4a,4bが配置さ
れている。両回転子における各回転軸線１は互いに立体
的に分離されている。回転子４は自体公知の形式により
基板２上に支承されている。中央範囲に位置するこれら
の回転子４は、弱導電性の周辺媒体５、例えば水または
アルコールによって囲繞されているが、この周辺媒体５
としては気体を用いてもよい。各電極7a乃至7dはそれぞ
れ絶縁性の範囲３によって相互絶縁状態におかれてい
る。
各電極7a乃至7dにそれぞれ90度づつ移相された正弦電圧
が印加されるか、或いは電極から電極に飛躍する電界ベ
クトルが印加されると、回転子4a,4bが電界の角周波数
とその振幅とに応じた回転運動を行なう。この場合、両
回転子間の距離が小さければ小さいほど、それだけ顕著
な集合的回転状態が出現する。誘電的に非対称な回転子
が用いられるか、回転対称形状または球面形状もしくは
円筒形状からそれぞれ偏倚している回転子が用いられる
か、或いは単に１つの回転子のみがこのような形式で構
成されているような場合には、電極７の選択（制御）様
式に応じて、一方もしくは双方の回転子に強制的な連続
回転運動または非連続回転運動が与えられる。
が印加されるか、或いは電極から電極に飛躍する電界ベ
クトルが印加されると、回転子4a,4bが電界の角周波数
とその振幅とに応じた回転運動を行なう。この場合、両
回転子間の距離が小さければ小さいほど、それだけ顕著
な集合的回転状態が出現する。誘電的に非対称な回転子
が用いられるか、回転対称形状または球面形状もしくは
円筒形状からそれぞれ偏倚している回転子が用いられる
か、或いは単に１つの回転子のみがこのような形式で構
成されているような場合には、電極７の選択（制御）様
式に応じて、一方もしくは双方の回転子に強制的な連続
回転運動または非連続回転運動が与えられる。
第２図に示された実施例によるモータは、８つの電極7a
乃至7hと、中央に配置された１つの大きな誘電回転子4a
と、８つの小さな誘電回転子4b乃至4iとから構成されて
おり、この場合、小さな誘電回転子4b乃至4iはそれぞれ
電極7a乃至7hと大きな誘電回転子4aとの間に配置されて
いる。これらの回転子４は、例えば水，アルコールまた
はこれら両媒体の混合物のような周辺媒体５内に収容さ
れ、固定されたポジションに配置され、回転軸線１を中
心にして回転可能に支承されている。この実施例による
モータの支承形式及び物理的な構造は、第１実施例にお
けるのと同等である。各回転子４は１つのアンサンブル
（集団）を成しており、その集合的な交番電気作用が個
別回転子における回転状態の特徴を規定している。回転
子4aはこの作用の規模に応じて支配的な機能を発揮す
る。回転子を構成する誘電体とその構造（誘電的に均
質、セクター状、シェル状または回転軸線１の方向で成
層された構造）とを適宜に選定するならば、個々の回転
子における回転特性を変化させ、且つ回転子アンサンブ
ルの状態を左右することが出来る。更にこれらの回転子
を同一の運動領域で対向的に回転させることも可能であ
る。このように互いに異なった回転運動またはグループ
ごとに等しい回転運動を適正に利用するならば、その都
度所望される切換操作または駆動操作もしくは小型化さ
れたセンサー操作に応用できる回転状態を生ぜしめるこ
とが可能になる。連続的な回転運動は連続回転する電界
（45度移相された正弦電圧の８倍）を介して生ぜしめら
れる。電極スペース内に装入される回転子の数が多けれ
ば多いほど、回転子アンサンブルの集合効果はそれだけ
強力に顕現する。
乃至7hと、中央に配置された１つの大きな誘電回転子4a
と、８つの小さな誘電回転子4b乃至4iとから構成されて
おり、この場合、小さな誘電回転子4b乃至4iはそれぞれ
電極7a乃至7hと大きな誘電回転子4aとの間に配置されて
いる。これらの回転子４は、例えば水，アルコールまた
はこれら両媒体の混合物のような周辺媒体５内に収容さ
れ、固定されたポジションに配置され、回転軸線１を中
心にして回転可能に支承されている。この実施例による
モータの支承形式及び物理的な構造は、第１実施例にお
けるのと同等である。各回転子４は１つのアンサンブル
（集団）を成しており、その集合的な交番電気作用が個
別回転子における回転状態の特徴を規定している。回転
子4aはこの作用の規模に応じて支配的な機能を発揮す
る。回転子を構成する誘電体とその構造（誘電的に均
質、セクター状、シェル状または回転軸線１の方向で成
層された構造）とを適宜に選定するならば、個々の回転
子における回転特性を変化させ、且つ回転子アンサンブ
ルの状態を左右することが出来る。更にこれらの回転子
を同一の運動領域で対向的に回転させることも可能であ
る。このように互いに異なった回転運動またはグループ
ごとに等しい回転運動を適正に利用するならば、その都
度所望される切換操作または駆動操作もしくは小型化さ
れたセンサー操作に応用できる回転状態を生ぜしめるこ
とが可能になる。連続的な回転運動は連続回転する電界
（45度移相された正弦電圧の８倍）を介して生ぜしめら
れる。電極スペース内に装入される回転子の数が多けれ
ば多いほど、回転子アンサンブルの集合効果はそれだけ
強力に顕現する。
第３図に示された誘電モータは、４つの電極7a乃至7dと
固定ポジションで回転軸線１を中心にして回動可能な２
つの誘電回転子4a,4bとから成っており、この場合、一
方の回転子4bは内位の誘電体Ａと外殻つまりシェルＢと
から構成されている。これら２つの回転子4a,4bにおけ
る誘電特性は、電極７を介して生ぜしめられる外部回転
電界の所定の角周波数で各回転子4a,4bを対向的に運動
させるように設定されている。図においては、各回転子
の対向的な運動が彎曲した矢印とこれに付した角速度ω
1,ω２とによって示されている。この対向運動により周
辺媒体５（液体または気体）は優先的な方向で加速され
る。矢印Ｆで示されたように、媒体の搬送は電極7c,7d
が設けられた側面から電極7a,7bが設けられた側面に向
って行なわれ、回転子室内におけるその他の側面は電気
的に絶縁された範囲３によって遮蔽されている。このポ
ンプ搬送方向は電界の回転方向を切換えるか、或いは電
界の角周波数を変動させることによって逆転可能であ
る。第３図に示されたこの実施態様によれば、極端に小
さなマイクロ配量装置及びポンプもしくは各種のバルブ
を構成することが出来る。
固定ポジションで回転軸線１を中心にして回動可能な２
つの誘電回転子4a,4bとから成っており、この場合、一
方の回転子4bは内位の誘電体Ａと外殻つまりシェルＢと
から構成されている。これら２つの回転子4a,4bにおけ
る誘電特性は、電極７を介して生ぜしめられる外部回転
電界の所定の角周波数で各回転子4a,4bを対向的に運動
させるように設定されている。図においては、各回転子
の対向的な運動が彎曲した矢印とこれに付した角速度ω
1,ω２とによって示されている。この対向運動により周
辺媒体５（液体または気体）は優先的な方向で加速され
る。矢印Ｆで示されたように、媒体の搬送は電極7c,7d
が設けられた側面から電極7a,7bが設けられた側面に向
って行なわれ、回転子室内におけるその他の側面は電気
的に絶縁された範囲３によって遮蔽されている。このポ
ンプ搬送方向は電界の回転方向を切換えるか、或いは電
界の角周波数を変動させることによって逆転可能であ
る。第３図に示されたこの実施態様によれば、極端に小
さなマイクロ配量装置及びポンプもしくは各種のバルブ
を構成することが出来る。
第４図には第３図による両回転子の角速度と回転電界の
周波数との相関関係を示す特性曲線がグラフとして示さ
れている。このダイアグラムの縦座標には角速度がその
最大角速度を基準にしてプロットされ、横座標には励起
電界の周波数が対数目盛でプロットされている。特性曲
線１は回転子4aに関するものであり、特性曲線２は回転
子4bに関するものである。これらの回転子は約105ヘル
ツの周波数において最大の角速度に達し、ポンプとして
稼働するモータはこの周波数で最大のポンプ機能を発揮
する。
周波数との相関関係を示す特性曲線がグラフとして示さ
れている。このダイアグラムの縦座標には角速度がその
最大角速度を基準にしてプロットされ、横座標には励起
電界の周波数が対数目盛でプロットされている。特性曲
線１は回転子4aに関するものであり、特性曲線２は回転
子4bに関するものである。これらの回転子は約105ヘル
ツの周波数において最大の角速度に達し、ポンプとして
稼働するモータはこの周波数で最大のポンプ機能を発揮
する。
規定の電界回転方向においては、回転子の誘電体及び周
辺溶液の導電性を適宜に選定しておくことにより、電界
周波数に対する最大角速度の位置状態を変化させること
が可能であり、このことは特性曲線２′で示されてい
る。ポンプ機能は電界のみならず回転子におけるパッシ
ブな電気特性及びポンプ液によっても左右される。更に
これらの回転子はその誘導された双極電界を介して相互
に影響される。各回転子は単に油圧機械的に連結されて
いるのみならず、電気的に無接触連結されてもいるの
で、その都度の用途に申し分なく適合させることが出来
る複雑なシステム特性が生ぜしめられる。
辺溶液の導電性を適宜に選定しておくことにより、電界
周波数に対する最大角速度の位置状態を変化させること
が可能であり、このことは特性曲線２′で示されてい
る。ポンプ機能は電界のみならず回転子におけるパッシ
ブな電気特性及びポンプ液によっても左右される。更に
これらの回転子はその誘導された双極電界を介して相互
に影響される。各回転子は単に油圧機械的に連結されて
いるのみならず、電気的に無接触連結されてもいるの
で、その都度の用途に申し分なく適合させることが出来
る複雑なシステム特性が生ぜしめられる。
図面の簡単な説明 添付の図面には本発明による３つの実施例が示されてお
り、以下ではこれらの図面について説明する。
り、以下ではこれらの図面について説明する。
第１図は４つの電極と２つの誘電回転子とを有する誘電
モータの平面図及び側面図、第２図は１つの大きな回転
子と８つの小さな回転子とを有する誘電モータの平面
図、第３図は２つの回転子を有する誘電モータの平面
図、第４図は２つの回転子における角速度を回転励起電
界の周波数に関連してプロットしたダイアグラムであ
る。
モータの平面図及び側面図、第２図は１つの大きな回転
子と８つの小さな回転子とを有する誘電モータの平面
図、第３図は２つの回転子を有する誘電モータの平面
図、第４図は２つの回転子における角速度を回転励起電
界の周波数に関連してプロットしたダイアグラムであ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギムザ ヤン ドイツ連邦共和国 1000 ベルリン 1058 ドゥンケルシュトラーセ 22 (72)発明者 フア ギュンター ドイツ連邦共和国 1000 ベルリン 1113 13―19，シュトラーセ 64，ヌマ ６ (72)発明者 ハーゲドルン ロルフ ドイツ連邦共和国 1000 ベルリン 1094 フリッツ―グロッセ―シュトラーセ 34 (72)発明者 グラーザー ローラント ドイツ連邦共和国 1000 ベルリン 1020 14／05，フィッシャリンゼル ９
Claims (12)
- 【請求項１】電界により駆動される誘電モータにおい
て、中央範囲の周囲に装着され所定の角周波数で回転電
界を生ぜしめる複数の定置電極と、前記中央範囲に回動
可能に配置され互いに立体的に分離された回転軸線
（１）を備えた誘電材料から成る少なくとも２つの回転
子（４）とを有し、これらの回転子（４）が複数の異な
る誘電材料から構成され、これらの回転子の誘電特性
と、電極を介して生ぜしめられる回転電界の所定の角周
波数とに基いて各回転子における回転特性が設定されて
いることを特徴とする誘電モータ。 - 【請求項２】請求の範囲第１項に記載の誘電モータにお
いて、少なくとも１つの回転子（４）がその回転軸線に
対して非回転対称な回転子として構成されていることを
特徴とする誘電モータ。 - 【請求項３】請求の範囲第１項または第２項に記載の誘
電モータにおいて、少なくとも１つの回転子（4a）の回
転軸線（１）が立体的に固定されており、少なくとも１
つの他の回転子（4b）の回転軸線（１）が中央範囲で移
動可能ならしめられていることを特徴とする誘電モー
タ。 - 【請求項４】請求の範囲第１項乃至第３項のいづれか１
項に記載の誘電モータにおいて、少なくとも１つの回転
子（４）が導電性の領域を有していることを特徴とする
誘電モータ。 - 【請求項５】請求の範囲第１項乃至第４項のいづれか１
項に記載の誘電モータにおいて、中央範囲に電気分極可
能な要素が装着されていることを特徴とする誘電モー
タ。 - 【請求項６】請求の範囲第１項乃至第５項のいづれか１
項に記載の誘電モータにおいて、回転子（４）が歯付き
ロールとして構成されていることを特徴とする誘電モー
タ。 - 【請求項７】請求の範囲第１項乃至第６項のいづれか１
項に記載の誘電モータにおいて、少なくとも１つの回転
子（４）が変形可能であることを特徴とする誘電モー
タ。 - 【請求項８】請求の範囲第１項乃至第７項のいづれか１
項に記載の誘電モータにおいて、駆動のために用いられ
る電界の回転運動が回転子（４）の回転運動に対して著
しく非同期的に行なわれるように構成されていることを
特徴とする誘電モータ。 - 【請求項９】請求の範囲第１項乃至第８項のいづれか１
項に記載の誘電モータにおいて、駆動のために用いられ
る電界が１回転ごとに交替する振幅で回転するように構
成されていることを特徴とする誘電モータ。 - 【請求項１０】請求の範囲第１項乃至第９項のいづれか
１項に記載の誘電モータにおいて、非連続的に回転する
電界を介して駆動が行なわれるように構成されているこ
とを特徴とする誘電モータ。 - 【請求項１１】請求の範囲第１項乃至第10項のいづれか
１項に記載の誘電モータにおいて、誘電体として、二酸
化珪素（SiO2）、窒化珪素（Si3N4）、またはガラスの
中から１つを選択したことを特徴とする誘電モータ。 - 【請求項１２】請求の範囲第１項乃至第11項のいづれか
１項に記載の誘電モータにおいて、基板として半導体結
晶が用いられていることを特徴とする誘電モータ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4003115A DE4003115A1 (de) | 1990-02-02 | 1990-02-02 | Dielektrischer motor |
| DE4003115.2 | 1990-02-02 | ||
| PCT/DE1991/000089 WO1991011848A1 (de) | 1990-02-02 | 1991-01-31 | Dielektrischer motor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05505300A JPH05505300A (ja) | 1993-08-05 |
| JPH0757107B2 true JPH0757107B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=6399300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3503037A Expired - Fee Related JPH0757107B2 (ja) | 1990-02-02 | 1991-01-31 | 誘電モータ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5430339A (ja) |
| EP (1) | EP0513052B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0757107B2 (ja) |
| DE (2) | DE4003115A1 (ja) |
| WO (1) | WO1991011848A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5466980A (en) * | 1994-11-29 | 1995-11-14 | International Business Machines Corporation | Charged rotor pole micromachine motor |
| US20030170131A1 (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-11 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Microfluidic device including a micropump |
Citations (5)
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| JPS6395866A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
| JPS63161879A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 静電モ−タ |
| JPS63265572A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-11-02 | Toshiaki Watanabe | 半導体型静電モーター |
| JPS642588B2 (ja) * | 1979-07-05 | 1989-01-18 | Sumitomo Pharma | |
| JPH01107667A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 静電モータ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3024371A (en) * | 1958-09-05 | 1962-03-06 | Gulton Ind Inc | Dielectric generator |
| US3729925A (en) * | 1969-06-03 | 1973-05-01 | Gen Time Corp | Drive arrangement for timekeeping system |
| JPS6244079A (ja) * | 1985-08-20 | 1987-02-26 | Masafumi Yano | エネルギ−変換装置 |
| JPS63136982A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-09 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
| US4740410A (en) * | 1987-05-28 | 1988-04-26 | The Regents Of The University Of California | Micromechanical elements and methods for their fabrication |
-
1990
- 1990-02-02 DE DE4003115A patent/DE4003115A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-01-31 DE DE59101388T patent/DE59101388D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-31 WO PCT/DE1991/000089 patent/WO1991011848A1/de active IP Right Grant
- 1991-01-31 JP JP3503037A patent/JPH0757107B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-31 EP EP91902666A patent/EP0513052B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-09-21 US US07/915,858 patent/US5430339A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS642588B2 (ja) * | 1979-07-05 | 1989-01-18 | Sumitomo Pharma | |
| JPS6395866A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-26 | Canon Inc | 静電アクチユエ−タ |
| JPS63265572A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-11-02 | Toshiaki Watanabe | 半導体型静電モーター |
| JPS63161879A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-05 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 静電モ−タ |
| JPH01107667A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 静電モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5430339A (en) | 1995-07-04 |
| EP0513052A1 (de) | 1992-11-19 |
| DE59101388D1 (de) | 1994-05-19 |
| DE4003115A1 (de) | 1991-08-08 |
| WO1991011848A1 (de) | 1991-08-08 |
| JPH05505300A (ja) | 1993-08-05 |
| EP0513052B1 (de) | 1994-04-13 |
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