JPH075390Y2 - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPH075390Y2 JPH075390Y2 JP1986012063U JP1206386U JPH075390Y2 JP H075390 Y2 JPH075390 Y2 JP H075390Y2 JP 1986012063 U JP1986012063 U JP 1986012063U JP 1206386 U JP1206386 U JP 1206386U JP H075390 Y2 JPH075390 Y2 JP H075390Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- pressure sensor
- metal container
- metal
- pressure
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
本考案は、ダイヤフラム部にゲージ抵抗が形成された半
導体基板が金属容器内に収容され、ゲージ抵抗を含む回
路に接続される端子導体が金属容器と絶縁して外部に引
き出され、金属容器内が気密に封止される半導体圧力セ
ンサに関する。
導体基板が金属容器内に収容され、ゲージ抵抗を含む回
路に接続される端子導体が金属容器と絶縁して外部に引
き出され、金属容器内が気密に封止される半導体圧力セ
ンサに関する。
第３図は従来の圧力変換器の構造を示したものであり、
（ａ）は平断面図，（ｂ）は側断面図である。このよう
な構造は、例えば特開昭57−128824号公報，特開昭57−
169644号公報等によって周知である。 第３図において、金属容器１（例えばアルミニウム製）
の中に圧力導管２から導入される測定圧力を検出する圧
力検出素子14と演算増幅器９およびセラミック厚膜配線
基板10を装着したプリント配線基板８が固定されてい
る。これらプリント配線基板８と容器１の間、圧力検出
素子14とプリント配線基板８の間及び演算増幅器９と厚
膜配線基板10の間には一般に応力緩和材13が介挿され
る。また容器１内は気密になっていないため、圧力検出
素子14は気密封止した構造となっている。さらに容器１
の内部空間にはゴム系樹脂11が充填されている。圧力検
出素子14と容器１の間は、測定圧が漏れないようにシー
リング12で封止されている。３は入出力用の端子導体で
あり、一端は配線基板８上の回路に接続され、他端は容
器１より外部に導出されている。該端子導体３の容器１
貫通部には貫通コンデンサ６が介挿されている。このよ
うな構成の圧力変換器において、圧力検出素子14はダイ
ヤフラム部にゲージ抵抗が形成された半導体基板を内部
に気密封止しており、該半導体基板によって検出された
圧力を電気信号として外部に出力する。この圧力検出素
子14の出力信号を増幅，補償，調整して更に容器１より
外部に出力する。 この圧力変換器を自動車に搭載する場合にトランシーバ
等より強電波ノイズ対策のために貫通型コンデンサ６を
容器１の入出力端子導出部に貫通固定しているが、貫通
コンデンサ６を容器１に対して気密に固定するというこ
とは行われていなかった。このため、金属容器１内は気
密とはなっておらず、ゴム系樹脂11によって封止するこ
とが必要であった。 このような構造では、容器１内に気密封止した圧力検出
素子14と演算増幅器９およびセラミック厚膜配線基板10
を装着したプリント配線基板８を搭載し、更に容器１に
貫通コンデンサ６を嵌挿しており、小型化が困難なばか
りでなく部品点数，加工費が大きいという欠点があっ
た。
（ａ）は平断面図，（ｂ）は側断面図である。このよう
な構造は、例えば特開昭57−128824号公報，特開昭57−
169644号公報等によって周知である。 第３図において、金属容器１（例えばアルミニウム製）
の中に圧力導管２から導入される測定圧力を検出する圧
力検出素子14と演算増幅器９およびセラミック厚膜配線
基板10を装着したプリント配線基板８が固定されてい
る。これらプリント配線基板８と容器１の間、圧力検出
素子14とプリント配線基板８の間及び演算増幅器９と厚
膜配線基板10の間には一般に応力緩和材13が介挿され
る。また容器１内は気密になっていないため、圧力検出
素子14は気密封止した構造となっている。さらに容器１
の内部空間にはゴム系樹脂11が充填されている。圧力検
出素子14と容器１の間は、測定圧が漏れないようにシー
リング12で封止されている。３は入出力用の端子導体で
あり、一端は配線基板８上の回路に接続され、他端は容
器１より外部に導出されている。該端子導体３の容器１
貫通部には貫通コンデンサ６が介挿されている。このよ
うな構成の圧力変換器において、圧力検出素子14はダイ
ヤフラム部にゲージ抵抗が形成された半導体基板を内部
に気密封止しており、該半導体基板によって検出された
圧力を電気信号として外部に出力する。この圧力検出素
子14の出力信号を増幅，補償，調整して更に容器１より
外部に出力する。 この圧力変換器を自動車に搭載する場合にトランシーバ
等より強電波ノイズ対策のために貫通型コンデンサ６を
容器１の入出力端子導出部に貫通固定しているが、貫通
コンデンサ６を容器１に対して気密に固定するというこ
とは行われていなかった。このため、金属容器１内は気
密とはなっておらず、ゴム系樹脂11によって封止するこ
とが必要であった。 このような構造では、容器１内に気密封止した圧力検出
素子14と演算増幅器９およびセラミック厚膜配線基板10
を装着したプリント配線基板８を搭載し、更に容器１に
貫通コンデンサ６を嵌挿しており、小型化が困難なばか
りでなく部品点数，加工費が大きいという欠点があっ
た。
本考案は、上述の欠点を除き、電気信号用の入出力端子
の金属容器引き出し部の構造が簡単でしかも小型な半導
体圧力センサを提供することを目的とする。
の金属容器引き出し部の構造が簡単でしかも小型な半導
体圧力センサを提供することを目的とする。
本考案は、貫通型コンデンサの内面および外面をそれぞ
れ金属被覆し、内面を端子導体と、外面を金属容器を貫
通して固定された金属管内面と気密にろう付けし、端子
導体を貫通型コンデンサのみを貫通させて外部へ引き出
すもので、コンデンサと端子導体および金属管との間は
気密性が保持され、コンデンサ機能と端子導体の気密封
止の複数機能を単部品で果たすため上述の目的を達成す
ることができる。
れ金属被覆し、内面を端子導体と、外面を金属容器を貫
通して固定された金属管内面と気密にろう付けし、端子
導体を貫通型コンデンサのみを貫通させて外部へ引き出
すもので、コンデンサと端子導体および金属管との間は
気密性が保持され、コンデンサ機能と端子導体の気密封
止の複数機能を単部品で果たすため上述の目的を達成す
ることができる。
第１図は本考案の一実施例の端子引き出し部を示し、第
２図は半導体圧力センサの外観を示し、第３図と共通の
部分には同一の符号が付されている。貫通コンデンサ６
は内面ばかりでなく外面にもメタライズが施されてお
り、金属管４および入出力端子導体３とろう７によって
それぞれ接合されている。この結果コンデンサ６の金属
管４および端子導体３との接合部は高気密性であり、気
密性を持たせるために使用する絶縁ガラス等を用いなく
ても金属容器１内への半導体基体の気密封入が行われ
る。 このような構成とすることにより、金属容器１内が気密
封止されるので、ダイヤフラム部にゲーシ抵抗が形成さ
れた半導体基板を容器１内にそのまま実装して、演算増
幅器及び各配線基板と同じ雰囲気中に搭載することがで
き、半導体基板だけを別に隔離して気密封止する必要が
なくなり、更に容器１内が基準圧力室となるので、ゴム
系樹脂による充填も不要となるので、部品点数を減ら
し、小型化が可能である。
２図は半導体圧力センサの外観を示し、第３図と共通の
部分には同一の符号が付されている。貫通コンデンサ６
は内面ばかりでなく外面にもメタライズが施されてお
り、金属管４および入出力端子導体３とろう７によって
それぞれ接合されている。この結果コンデンサ６の金属
管４および端子導体３との接合部は高気密性であり、気
密性を持たせるために使用する絶縁ガラス等を用いなく
ても金属容器１内への半導体基体の気密封入が行われ
る。 このような構成とすることにより、金属容器１内が気密
封止されるので、ダイヤフラム部にゲーシ抵抗が形成さ
れた半導体基板を容器１内にそのまま実装して、演算増
幅器及び各配線基板と同じ雰囲気中に搭載することがで
き、半導体基板だけを別に隔離して気密封止する必要が
なくなり、更に容器１内が基準圧力室となるので、ゴム
系樹脂による充填も不要となるので、部品点数を減ら
し、小型化が可能である。
本考案によれば、半導体圧力センサの入出力端子を、金
属容器に固定された金属管に気密に接合される貫通型コ
ンデンサ内を気密に貫通させて引き出すことにより、貫
通型コンデンサに気密封止と強電波遮蔽の両機能を保持
させることができ、金属容器自体を気密にすることがで
きるため、特に自動車用半導体圧力センサとしてトラン
シーバ等からの強電波ノイズの防止をより小型化と低価
格化のもとで達成でき、得られる効果は極めて大きい。
属容器に固定された金属管に気密に接合される貫通型コ
ンデンサ内を気密に貫通させて引き出すことにより、貫
通型コンデンサに気密封止と強電波遮蔽の両機能を保持
させることができ、金属容器自体を気密にすることがで
きるため、特に自動車用半導体圧力センサとしてトラン
シーバ等からの強電波ノイズの防止をより小型化と低価
格化のもとで達成でき、得られる効果は極めて大きい。
第１図は本考案の一実施例の端子引き出し部の断面図、
第２図は半導体圧力センサの側面図、第３図は従来の圧
力変換器の構造図であり、（ａ）は平断面図、（ｂ）は
側断面図である。 1:金属容器、3:入出力端子、4:金属管、6:貫通型コンデ
ンサ、7:ろう。
第２図は半導体圧力センサの側面図、第３図は従来の圧
力変換器の構造図であり、（ａ）は平断面図、（ｂ）は
側断面図である。 1:金属容器、3:入出力端子、4:金属管、6:貫通型コンデ
ンサ、7:ろう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−169644（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−203928（ＪＰ，Ａ) ・岡崎 清「セラミック誘電体工学」株 式会社学献社（昭53−５−10）Ｐ．308− Ｐ．310 ・茂木 充「電子回路ノイズ＆トラブル 対策」ＣＱ出版株式会社（昭53−９−10) Ｐ．25−Ｐ．29
Claims (1)
- 【請求項１】ダイヤフラム部にゲージ抵抗が形成された
半導体基板が金属容器内に収容され、該半導体基板の一
側が気密封入され、他側が圧力導管を介して外部に通じ
ており、ゲージ抵抗を含む回路に接続される端子導体が
金属容器と絶縁して外部に引き出される圧力センサにお
いて、貫通型コンデンサの内面および外面がそれぞれ金
属被覆され、内面が端子導体と、外面が金属容器を貫通
して気密に固定された金属管内面と気密にろう付けさ
れ、前記金属容器内を気密に封止したことを特徴とする
半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986012063U JPH075390Y2 (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986012063U JPH075390Y2 (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 半導体圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124533U JPS62124533U (ja) | 1987-08-07 |
| JPH075390Y2 true JPH075390Y2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=30799845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986012063U Expired - Lifetime JPH075390Y2 (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075390Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57203928A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-14 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure transducer |
-
1986
- 1986-01-30 JP JP1986012063U patent/JPH075390Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| ・岡崎清「セラミック誘電体工学」株式会社学献社（昭５３−５−１０）Ｐ．３０８−Ｐ．３１０ |
| ・茂木充「電子回路ノイズ＆トラブル対策」ＣＱ出版株式会社（昭５３−９−１０）Ｐ．２５−Ｐ．２９ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62124533U (ja) | 1987-08-07 |
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